JPH07323548A

JPH07323548A - インクジェット記録ヘッド

Info

Publication number: JPH07323548A
Application number: JP11927694A
Authority: JP
Inventors: Hiroto Takahashi; 博人高橋; Keisuke Matsuo; 圭介松尾
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-05-31
Filing date: 1994-05-31
Publication date: 1995-12-12

Abstract

(57)【要約】【目的】廉価な構成で、時分割駆動による安定した高
速記録の達成を可能とするインクジェット記録ヘッドを
提供する。【構成】複数のインク吐出口（２０１）と、インク吐
出のための熱エネルギー発生手段（２０３）を有する液
路（２０２）と、液路にインクを供給する共通液室（２
０４）と、共通液室内の圧力変動を吸収するための気体
保持室（１０１）とを具備し、気体保持室にインクの電
気分解により気体の発生が可能な電極を設けたインクジ
ェット記録ヘッド（１００）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッドに関し、詳しくは、熱エネルギーを利用してインク
吐出口からインクを吐出させ、飛翔液滴となして被記録
材上に着弾させることにより記録を行うインクジェット
記録ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のインクジェット記録ヘッドが用
いられるインクジェット記録装置は、ノンインバクト型
として騒音の発生が極めて少なく、かつ、高速記録が可
能であり、しかも特別な紙種の被記録材を用いる必要が
ないなどの多くの利点を有していることから、種々な形
態のインクジェット記録ヘッドが開発されてきた。

【０００３】なかでも、熱エネルギーをインクに作用さ
せて発泡せしめ、その圧力変化を利用してインク吐出口
からインク滴を吐出させるタイプの記録ヘッドは、記録
信号に対する応答性が良いこと、インク吐出口を高密度
に多数個配置することが容易であることなどの利点を有
している。

【０００４】しかし、このような利点を有する所謂バブ
ルジェット記録ヘッドではあるが、近年のますますの高
速化記録が叫ばれる中、色々な問題が発生している。

【０００５】図３にこのようなバブルジェット記録ヘッ
ドの一例を示す。記録ヘッド２００はインクを吐出して
飛翔インク滴を形成するため設けたインク吐出口２０１
と、該インク吐出口２０１に連通しインクを供給するた
めの液路２０２と、インクを吐出して飛翔インク滴を形
成するための熱作用部として機能する電気熱変換体２０
３と、各液路２０２に連通する共通液室２０４と、該共
通液室２０４にインクを供給するために天板２０５に設
けられたインク供給口２０６とを有している。なお、２
０７は液路壁、２０８はヘッド基板、２０９は電気熱変
換体２０３を駆動するための電源線，信号線に接続され
る電気接続部である。

【０００６】ついで、このようなバブルジェット記録ヘ
ッド２００の記録原理を図４に従って説明する。

【０００７】電気熱変換体２０３により液路２０２中の
インクが急激に加熱されると、電気熱変換体２０３に接
するインクが過熱限界を越えて図４の（Ｂ）に示すよう
に気化し、気泡２２０が形成される。そしてその時の圧
力上昇によりインクがインク吐出口２０１側、および共
通液室２０４側に押し出され、インク吐出口２０１側に
押し出されたインクは、柱状に形成された上インク柱が
液路中のインクから離れ、（Ｃ），（Ｄ）に示すように
飛翔インク滴２１０となり不図示の被記録材に向けて飛
翔する。そのあと液路２０２中のインクは（Ｅ）に示す
ようにインク吐出口２０１近傍でメニスカス２１１を形
成し、毛管力によって、（Ｆ）に示すように元の（Ａ）
の状態に徐々に復帰する。かくして、このような１サイ
クルが終了して、次のサイクルに入ることになる。

【０００８】さて、このような原理による記録動作を行
うバブルジェット記録ヘッドにより高速記録するために
は、インクの吐出口２０１の数を増加させること、およ
び記録ヘッド２００における応答周波数を上げること、
または、その双方を採用するなどの方法がとられてい
る。ところで、記録ヘッド２００における応答周波数を
上げるには、インク吐出口２０１に発生するメニスカス
２１１の後退量を小さくすること、およびそのメニスカ
スの毛管力による復帰速度を速めること、によって達成
される。そこで、これまで上記メニスカスの後退量を小
さくするために、流体ダイオードを液路２０２のインク
吐出口近傍に取り付けたり、また、上記のメニスカスの
毛管力による復帰速度を高めるために、液路２０２の長
さを短くすることがとられてきた。しかし実際には多く
の場合、この２つの手だてを併用することで高速化記録
を図るようにしている。

【０００９】ここで、バブルジェットヘッドの駆動方法
について説明する。

【００１０】記録ヘッドの電気熱変換体２０３の過熱に
用いられるヒートパルスは、通常数μＳ〜数十μＳであ
って、その時に流れる最大瞬間電流は数十ミリＡ〜数百
ミリＡである。また、インク吐出口２０１の配列数は通
常数十本〜数千本であり、一度に全てのインク吐出口か
らインクを吐出させるように駆動すると流れる電流が大
きくなりすぎるため、全吐出口および液路をいくつかの
ブロックに分け、時間的にずらしてブロック別に電気熱
変換体２０３を駆動する方式（時分割駆動方式）が採用
されてきた。図５の（Ａ）〜（Ｃ）は、このようにして
各ブロックに印加するパルスの状態を示すもので、通常
は各ブロックごとに同時に流れる電流が数Ａ程度になる
ように同一ブロックに属する吐出口数が決定される。

【００１１】しかし、前述したような高速記録ヘッドを
用いて、時分割駆動を行っても、期待した効果が必ずし
も得られるとは限らず、例えば図６に、このようにして
駆動した高速化記録ヘッドのメニスカスの復帰時間を示
す。図６において、横軸は吐出口２０１の配列順序（ブ
ロックの配列順序もこれに準ずる）、縦軸は印加パルス
が立上ってから後退したメニスカスが復帰するまでの時
間（リフィル時間）を示す。このように、駆動の順番が
遅くなるほどメニスカスが復帰するまでに要する時間
が、長くなるという傾向が生じる。

【００１２】そこで、図３に示したバブルジェット記録
ヘッド２００において、図６に示すような特性が発生す
る理由を更に具体的に説明する。

【００１３】いま第１のブロックが駆動されるとインク
が急激に過熱されて気化し、その時の圧力上昇により、
インクがインク吐出口側と共通液室側とに押し出され、
飛翔インク滴が形成されてそのあとメニスカス２１１が
後退する（図４参照）。そしてメニスカスは毛管力によ
って復帰しようとする。その後、図５（Ｂ）に示したよ
うに第２ブロックが駆動され、インクが急激に過熱され
ると、インクが気化され、その時の圧力上昇により、イ
ンクがインク吐出口２０１側と共通液室２０４側とに同
様に押し出される。このとき前述のように第１ブロック
のインク吐出口２０６では、メニスカス２１１が復帰し
ようとしているときであり、そのために第２ブロックで
共通液室２０４側に押し出されたインクは第１ブロック
でのメニスカス復帰の手助けとなる。続いて第２ブロッ
ク近傍においては、共通液室２０４の圧力が下がるため
に、メニスカスの復帰に要する時間の方は第１ブロック
に比べて長くなる。同様にして次々と第３ブロック、第
４ブロックが駆動されるごとに、メニスカスが復帰しつ
つあるインク吐出口の数が増えるために、共通液室２０
４側に押し出されたインクがメニスカスの復帰しつつあ
るインク吐出口の液路２０２に向けて流れる。このため
先に駆動されたブロックに比べ後に駆動されたブロック
の方がメニスカスの後退量が大きくなる。また、このと
き共通液室２０４からメニスカスの復帰しつつある液路
２０２に向けてインクの流れが生じており、共通液室２
０４の圧力が低下する。この２つの理由により、後に駆
動されるブロックの方がメニスカスの復帰に要する時間
が多くかかる。

【００１４】なお、このような共通液室２０４の圧力変
動は空気層によって吸収されることが知られているが、
空気層の形成位置いかんにより効果の程度が違うことを
実験により本発明者は先に確かめた。

【００１５】１番効果のある場所は、液路の後方であ
り、ここに空気層があれば、発熱抵抗体すなわち、電気
熱変換体２０３の大きさや、共通液室２０４の大きさの
いかんによらず、時分割駆動においても高速駆動が可能
になる。但し、このような場所に空気を安定して留めて
おくことは簡単ではなく、インク吐出口の目づまり防止
の為の回復動作により無くなってしまうという問題が生
じている。

【００１６】また、共通液室２０４にインク吐出口２０
１側から空気を導入することにより、上記問題を解決す
ることが試みられている。しかし、この場合、インク吐
出口側から導入された空気が共通液室２０４内に固定さ
れず、自由に動くことができるため、液路２０２にも入
り込み、インクの吐出を妨げることがしばしば生じた
り、せっかく入れた空気が排出されてしまったりする問
題が生じている。

【００１７】また共通液室２０４の上部に空気を保持さ
せるようにすることで、共通液室２０４内での瞬間的な
圧力低下を防ぐ試みが提案されている。しかし、共通液
室の大きさ、インクを過熱する電気熱変換体の大きさ等
によって必ずしも万全な効果を示すとは限らなかった。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、イ
ンクジェット記録ヘッドによる高速記録達成のためには
数多くの問題があり、それぞれに対してこれまで解決が
図られてきたが万全ではなく、特に、共通液室後方の空
気室にどのようにして空気層を安定した状態に保持させ
るかという問題があった。

【００１９】本発明の目的は、以上の問題点の解決を図
り、廉価な構成で高速記録を可能にするインクジェット
記録ヘッドを提供することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明は、複数のインク吐出口と、個々の該イン
ク吐出口ごとに設けられ、インクを吐出するための熱エ
ネルギー発生手段を有する並列の液路と、該並列の液路
にインクを供給する共通液室と、該共通液室の前記液路
と対向する位置に開口し、インク吐出時に発生する前記
共通液室内の圧力変動を吸収するための気体保持室とを
具備し、当該気体保持室に、前記インクの電気分解によ
り気体の発生が可能な電極を設けたことを特徴とするも
のである。

【００２１】

【作用】本発明によれば、気体保持室に気液界面を形成
しておくことにより気体を保持させ、インク吐出時に液
路を介して共通液室に伝達されるインクの圧力変動を気
体に吸収させることができると共に、インク吐出口から
のインク吸引動作による回復動作時などによって気体保
持室に気体が保持されない虞のあるとき、気体保持室に
設けた電極に通電することでインクを電気分解させて気
体を発生させることができるので、高速記録のために熱
エネルギー発生手段をブロック別に駆動するように構成
されたものでも、安定した記録を行わせることができ
る。

【００２２】

【実施例】以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳
細かつ具体的に説明する。

【００２３】図１は本発明の第１実施例を示す。なお、
以下で、これまでに説明してきた部材や個所と同様に機
能するものについては同一符号を付してその詳細な説明
は省略する。

【００２４】ここで、１００は本発明にかかるインクジ
ェット記録ヘッドであり、１０１は共通液室２０４の後
方、すなわち液路２０２連通例とは反対の側に設けた気
体保持室、１０２は気体保持室１０１と共通液室２０４
との間の仕切壁、１０３は仕切壁１０２に設けた複数の
開口部である。なお、個々の開口部１０３は各液路２０
２の入口部２０２Ａと対向する位置に設けられている。
また、１１０は本発明にかかるインク電気分解用の電
源、１１１および１１２はヘッド天板２０５上に取付け
られ、電源１１０からの通電が可能な電極部材、１１１
Ａおよび１１２Ａは電極部材１１１および１１２から気
体保持室１０１に向けて延在された電気分解用の電極棒
である。

【００２５】このように構成したインクジェット記録ヘ
ッド１００においては、通常の使用状態で液路２０２お
よび共通液室２０４にインクが充填されていると共に気
体保持室１０１には空気を主体とする気体が保持されて
おり、インク吐出の際インク吐出口２０１に形成される
メニスカスに対し、先にも述べたようにこのような気体
が液路２０２リフィルのために貢献する。しかし、イン
ク吐出口２０１からインクを吸引することで、液路２０
２内に増粘インクを排出させる目詰り防止のための回復
動作時には気体保持室１０１に保持されている気体まで
が排出されてインクに置換されることがあり、かかる場
合、先にも述べたように駆動順番の遅いインク液路およ
びインク吐出口ではリフィル完了時間が長くなることに
より高速記録に支障を斉らす虞がある。

【００２６】しかし、本実施例のように、気体保持室１
０１に電気分解用の電極棒１１１Ａ，１１２Ａを配置し
たことによって必要に応じてインク中に電気分解によっ
てガス体を発生させることができ、このような圧力変動
吸収体として機能する気体の発生により上述のような障
害を排除し、高速記録の達成に貢献できる。

【００２７】このようなインクジェット記録ヘッド１０
０の実際の製造について以下に述べる。

【００２８】Ｓｉウェハーの熱酸化により、３μｍ厚の
ＳｉＯ₂膜を上面に形成し、基板２０８とした。このよ
うな基板２０８上に更にスパッタ法により発熱抵抗体
（電気熱変換体）２０３を形成するためにＨｆＢ₂を１
５００オングストロームの厚さに形成し、続いて電子ビ
ーム蒸着によりＴｉ層を５０オングストローム、Ａｌ層
を６０００オングストロームそれぞれ連続的に積層し
た。しかる後、フォトリソ工程によりパターンを作製
し、電気熱変換体２０３を３６０ＤＰＩのピッチで作製
した。本例の場合の電気熱変換体２０３の大きさは、２
８μｍ×１１０μｍの長方形であり、５１２個の電気熱
変換体２０３の配列を得た。つぎにまたスパッタ法によ
り、ＳｉＯ₂，Ｔａ₂Ｏ₂，Ｔａ層をそれぞれ１．５μ
ｍ、５００オングストローム、５０００オングストロー
ム連続的に積層し、フォトリソ工程および、ドライエッ
チング工程によりパターニングを行い、保護膜とした。

【００２９】一方、ネガタイプのドライフィルム（感光
性樹脂）２５μｍ厚をラミネートし、フォトリソ工程に
より、インク吐出口、液路、共通液室および気体保持室
の１部を作製した。この場合気体保持室１０１が、液路
２０２の後方にあたる共通液室２０４の対応した場所に
形成されるようにした。次に共通液室２０４の１部とな
る彫り込み部（５０ｍｍ×４ｍｍ）とインク供給口２０
６とが形成されているガラスにネガタイプのドライフィ
ルム（感光性樹脂）をラミネートした後フォトリソ工程
によりパターニングし、前述した基板２０８と貼り合わ
せた。その後気体保持室１０１に露出するように電極棒
１１１Ａ，１１２Ａを差し込み接着した。次にプリント
板上にダイボンディングされたドライバーＩＣ（不図
示）と前記基板２０８上の電気接続部２０９とワイヤー
ボンディングで電気的に接続して、インクジェット記録
ヘッドを得た。

【００３０】なお、このようなインクジェット記録ヘッ
ド１００を用いて記録を行う前に、５０Ｖの電圧を前記
電極１１１，１１２に５秒間印加し、隣り合う６４個の
液路毎にブロックを形成し、合計８ブロックの駆動を行
った。

【００３１】このようにして作製したインクジェット記
録ヘッド１００は、高速駆動が可能であり、６ｋＨｚの
吐出周波数でも良好な記録状態を保つことができた。

【００３２】続いて図２により本発明の第２実施例を示
す。本例は、上述の第１実施例とはインク吐出口２０
１、液路２０７および電気熱変換体２０３の寸法が後述
するように異なる外、気体保持室を前段気体保持室１０
１Ｂと後段気体保持室１０１Ａとに分けて、後端気体保
持室１０１Ａに電極棒１１１Ａおよび１１２Ａを配設す
るようにした。１０４は前段気体保持室１０１Ｂと後段
気体保持室１０１Ａとの間に設けた中間壁部であり、中
間壁部１０４には開口部１０３より十分に大きい共通開
口部１０５が形成されている。なお、本例の場合は４つ
の開口部１０３ごとに対応して前段気体保持室１０１Ｂ
が間仕切されていて、このように間仕切りされた前段気
体保持室１０１Ｂごとに１つの共通開口部１０５が設け
られている。その他の構成については基本的に第１実施
例と変わるところはない。

【００３３】続いて、このような第２実施例のインクジ
ェット記録ヘッドの実際の製造について以下に説明す
る。

【００３４】Ｓｉウェハーの熱酸化により、３μｍ厚の
ＳｉＯ₂膜を上面に形成し、基板２０８とした。このよ
うな基板２０８上にスパッタ法により発熱抵抗体（電気
熱変換体）２０３を形成するためにＨｆＢ₂を１５００
オングストロームの厚さに形成し、続いて電子ビーム蒸
着によりＴｉ層を５０オングストローム、Ａｌ層を６０
００オングストロームそれぞれ連続的に積層した。しか
る後、フォトリソ工程によりパターンを作製し、電気熱
変換体２０３を２００ＤＰＩのピッチで作製した。この
ときの電気熱変換体２０３の大きさは、３４μｍ×１５
０μｍの長方形であり、５１２の電気熱変換体２０３の
配列を得た。

【００３５】つぎにまたスパッタ法により、ＳｉＯ₂，
Ｔａ₂Ｏ₅，Ｔａをそれぞれ１．０μｍ、５００オング
ストローム、３５００オングストローム連続的に積層
し、フォトリソ工程および、ドライエッチング工程によ
りパターニングを行い、保護膜とした。

【００３６】一方、ネガタイプのドライフィルム（感光
性樹脂）５０μｍ厚をラミネートし、フォトリソ工程に
より、インク吐出口、液路、共通液室の１部および気液
界面となる気体保持室を作製した。この場合、前段気体
保持室１０１Ｂが、液路２０２の後方にあたる共通液室
２０４の対応した場所に形成されるようにして、共通液
室２０４側の開口部を４５μｍ幅とし、またその４本毎
に共通開口部１０５を前段気体保持室１０１Ｂと後段気
体保持室１０１Ａとの間の中間壁部１０４に設けた。

【００３７】次に、共通液室の１部となる彫り込み部
（８０ｍｍ×４ｍｍ）とインク供給口２０６とが形成さ
れたガラスにネガタイプのドライフィルム（感光性樹
脂）をラミネートした後フォトリソ工程によりパターニ
ングし、前述した基板２０８と貼り合わせた。その後後
段気体保持室１０１Ａに露出するように電極棒１１１
Ａ，１１１Ｂを差込み接着した。次にプリント板上にダ
イボンディングされたドライバーＩＣ（不図示）と前記
基板２０８上の電気接続部２０９とをワイヤーボンディ
ングで電気的に接続して、図２に示すようなインクジェ
ット記録ヘッド１００を得た。

【００３８】このようなインクジェット記録ヘッド１０
０を用いて記録を行う前に、５０Ｖの電圧を前記電極１
１１，１１２に５ｓ間印加し、隣り合う３２個の液路毎
にブロックを形成し、合計１６ブロックの駆動を行っ
た。

【００３９】このようにして作製した第２実施例のイン
クジェット記録ヘッド１００は、高速駆動が可能であ
り、４ｋＨｚの吐出周波数でも良好な記録状態を保つこ
とができた。

【００４０】（その他）なお、本発明は、特にインクジ
ェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために
利用されるエネルギとして熱エネルギを発生する手段
（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エ
ネルギによりインクの状態変化を生起させる方式の記録
ヘッド、記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。かかる方式によれば記録の高密度化，高精細化が
達成できるからである。

【００４１】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型，
コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特
に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持
されているシートや液路に対応して配置されている電気
熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急
速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加
することによって、電気熱変換体に熱エネルギを発生せ
しめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結
果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体（インク）
内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成
長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐
出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信
号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が
行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐
出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信
号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第
４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが
適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する
発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されて
いる条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことが
できる。

【００４２】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体
の組合せ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に
熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示す
る米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４４
５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるも
のである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通
するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示
する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギの圧
力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開示す
る特開昭５９−１３８４６１号公報に基いた構成として
も本発明の効果は有効である。すなわち、記録ヘッドの
形態がどのようなものであっても、本発明によれば記録
を確実に効率よく行うことができるようになるからであ
る。

【００４３】さらに、記録装置が記録できる記録媒体の
最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドに対しても本発明は有効に適用できる。そのよう
な記録ヘッドとしては、複数記録ヘッドの組合せによっ
てその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の
記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。

【００４４】加えて、上例のようなシリアルタイプのも
のでも、装置本体に固定された記録ヘッド、あるいは装
置本体に装着されることで装置本体との電気的な接続や
装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチ
ップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一
体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの
記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。

【００４５】また、本発明の記録装置の構成として、記
録ヘッドの吐出回復手段、予備的な補助手段等を付加す
ることは本発明の効果を一層安定できるので、好ましい
ものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに
対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧或
は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或
はこれらの組み合わせを用いて加熱を行う予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出手段を挙げるこ
とができる。

【００４６】また、搭載される記録ヘッドの種類ないし
個数についても、例えば単色のインクに対応して１個の
みが設けられたものの他、記録色や濃度を異にする複数
のインクに対応して複数個数設けられるものであっても
よい。すなわち、例えば記録装置の記録モードとしては
黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによるか
いずれでもよいが、異なる色の複色カラー、または混色
によるフルカラーの各記録モードの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００４７】さらに加えて、本発明インクジェット記録
装置の形態としては、コンピュータ等の情報処理機器の
画像出力端末として用いられるものの他、リーダ等と組
合せた複写装置、さらには送受信機能を有するファクシ
ミリ装置の形態を採るもの等であってもよい。

【００４８】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、複数のインク吐出口と、個々の該インク吐出口ごと
に設けられ、インクを吐出するための熱エネルギー発生
手段を有する並列の液路と、該並列の液路にインクを供
給する共通液室と、該共通液室の前記液路と対向する位
置に開口し、インク吐出時に発生する前記共通液室内の
圧力変動を吸収するための気体保持室とを具備し、当該
気体保持室に、前記インクの電気分解により気体の発生
が可能な電極を設けたので、高速駆動が可能なインクジ
ェット記録ヘッドを基板サイズも小さくて済み、より廉
価で提供できるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による構成を、透視の斜視
図（Ａ）および横截断面図（Ｂ）によって示す説明図で
ある。

【図２】本発明の第２実施例による構成を、透視の斜視
図（Ａ）および横截断面図（Ｂ）によって示す説明図で
ある。

【図３】従来例の構成を透視して示す斜視図である。

【図４】バブルジェット記録ヘッドのインク吐出原理を
（Ａ）〜（Ｆ）の過程に分けて示す説明図である。

【図５】バブルジェット記録ヘッドによる時分割駆動例
を（Ａ）〜（Ｃ）のブロック別に示す説明図である。

【図６】従来のバブルジェット記録ヘッドによるインク
吐出時のメニスカス復帰時間を吐出口順に示すグラフで
ある。

【符号の説明】

１００インクジェット記録ヘッド１０１，１０１Ａ，１０１Ｂ気体保持室１０２仕切壁１０３開口部１０４中間壁部１０５共通開口部１１０電源１１１，１１２電極部材１１１Ａ，１１２Ａ電極棒２０１インク吐出口２０２液路２０３電気熱変換体２０４共通液室２０５天板２０８基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のインク吐出口と、個々の該インク吐出口ごとに設けられ、インクを吐出す
るための熱エネルギー発生手段を有する並列の液路と、該並列の液路にインクを供給する共通液室と、該共通液室の前記液路と対向する位置に開口し、インク
吐出時に発生する前記共通液室内の圧力変動を吸収する
ための気体保持室とを具備し、当該気体保持室に、前記インクの電気分解により気体の
発生が可能な電極を設けたことを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド。
【請求項２】前記熱エネルギー発生手段は、発生する
熱を利用して前記インクに膜沸騰を生じさせ、その圧力
変化を利用してインクを吐出させる電気熱変換体である
ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録
ヘッド。