JPH07324923A - 被験表面にテストパターンを投影する装置 - Google Patents

被験表面にテストパターンを投影する装置

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JPH07324923A
JPH07324923A JP6146965A JP14696594A JPH07324923A JP H07324923 A JPH07324923 A JP H07324923A JP 6146965 A JP6146965 A JP 6146965A JP 14696594 A JP14696594 A JP 14696594A JP H07324923 A JPH07324923 A JP H07324923A
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JP
Japan
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test pattern
wedge
glass
projection
glass wedge
Prior art date
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Pending
Application number
JP6146965A
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English (en)
Inventor
Bernhard Groebler
グレープラー ベルンハルト
Hartmut Heinz
ハインツ ハルトムート
Peter Huettel
ヒュッテル ペーター
Guenter Schoeppe
ショッペ ギュンター
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Carl Zeiss Jena GmbH
Original Assignee
Jenoptik Jena GmbH
VEB Carl Zeiss Jena GmbH
Carl Zeiss Jena GmbH
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
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    • G01B11/2527—Projection by scanning of the object with phase change by in-plane movement of the patern
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Abstract

(57)【要約】 【目的】テストパターンを被験表面に投影する装置 【構成】光軸外を通り投影対物レンズに入射する投影光
路を生成するためテストパターン（３）に望ましくはほ
ぼ１８０度方位を回転できる光学的にガラス楔（４）を
前置もしくは後置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面あらさを測定する
ための顕微鏡の照明方式に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】投影対物レンズ上の格子縞の投影による
縞状パターンが表面法線と９０度でない位相角で被験表
面に投影され、表面で反射および／または散乱された歪
曲縞状パターンで表面あらさに関する情報を得る方法は
すでに公知となっている（ドイツ民主共和国特許第２２
８０８９号）。
【０００３】ドイツ民主共和国特許第２２８０８９号で
は、投影対物レンズの光軸に対し偏心している必須の光
路が高価な投影光学系によって実現されている。
【０００４】実現可能な方法として別に考えられるの
は、投影光源に偏心した開口絞りを後置する方法である
が、実際には照明の有効エネルギーをとくに望ましから
ざる程度まで制限してしまうことになる。
【０００５】その代りとして光源自体を偏心させて配置
すれば、通常の照明型顕微鏡にそのような装置を挿入し
た場合の問題を惹起する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の課
題は、良好な光量利得を得ながら市販の光学顕微鏡への
偏心縞状パターンの導入を成功させることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、本課題
はテストパターンに光学的に透明な楔を配置することに
よって解決する。好ましい別の態様は下位請求項に述べ
る。
【０００８】とりわけ、ガラス楔の方位を反転して投影
角度を変更し装置の感度を倍加する方法は効果的であ
る。
【０００９】さらに、発生収差や格子固有収差は陰影を
形成することで補正することができる。
【００１０】
【実施例】図１では、図示してない光源２に対し、光路
に偏心して設けた開口絞り１を後置し、該絞りを介して
直線格子３（テストパターン）を照射し、該直線格子を
コリメータレンズ５、ビームスプリッタ６、対物レンズ
７を介して被験表面８に投影する。入射角を表面法線に
対し９０度でなくするため、対物レンズ７の投影光路は
対物レンズ光軸の外側を通過しなければならない。
【００１１】図２で、このような状況が光軸内照明を用
い直線格子３に透明な楔であるガラス楔４を後置し光路
をずらして対物レンズ７に軸外の光束を導入して得られ
る。
【００１２】この場合図３に示すようにガラス楔４は直
線格子３と固着してある。
【００１３】図４で、ガラス楔４にはたとえばラックと
係合するピニオンのような駆動装置１０を介して回転可
能な環状マウント９が設けてある。このマウント９を用
いればガラス楔４の方位はほぼ１８０度変更できる。そ
のため停止位置発信器１２と協働する停止具１１を備え
ている。
【００１４】図５に、光路内のガラス楔の方位を変更で
きる別の装置を示す。光路と直角に摺動できる直線格子
３に後置したスライダー内に、逆向きに方位を採った２
個のガラス楔４を設け、任意に光路内に挿入できるよう
にしてある。ガラス楔４の方位を反転すると直線格子３
の表面８への投影光の入射方向が変更できる。表面状況
によって変化する格子縞の像は、図示していないたとえ
ばコンピュータと接続したＣＣＤカメラのような撮影兼
評価装置の方向にビームスプリッタ６で送られ評価され
る。
【００１５】本発明は図示した実施例に限られるもので
はない。とりわけガラス楔の方位変更は当業者にとって
普通の他の形式の機構手段で実施可能であるし、投影方
向における格子の手前での楔設置も同様である。
【００１６】
【発明の効果】本発明装置によれば、良好な光量利得を
失うことなく市販の偏心縞状パターンの導入が可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
以下に本発明を概略図を用いて詳説する。
【図１】偏心開口絞りを有する投影光路である。
【図２】本発明による投影光路である。
【図３】直線格子と接合したガラス楔である。
【図４】枠内にて回転可能なガラス楔である。
【図５】互いに反対方位にある２個のガラス楔を有する
摺動可能な保持器である。
【符号の説明】
１… 開口絞り ２… 光源 ３… 直線格子（テストパターン） ４… ガラス楔 ５… コリメーターレンズ ６… ビームスプリッタ ７… 対物レンズ ８… 披験表面 ９… 環状マウント 10… 駆動装置 11… 停止具 12… 停止位置発信器 13… 容器
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年７月１３日
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペーター ヒュッテル ドイツ Ｄ−07745 イエーナ マックス − スティーンベツク−ストラッセ ２エ ー (72)発明者 ギュンター ショッペ ドイツ Ｄ−07745 イエーナ ハンス− アイスラー−ストラッセ 24

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被験表面にテストパターンを投影する装
    置であって、テストパターン（３）が、投影光路内に光
    学的に透明な楔（４）を配置していることを特徴とする
    前記装置。
  2. 【請求項２】 請求項１による装置であって、該楔
    （４）がテストパターン（３）に前置あるいは後置して
    あることを特徴とする前記装置。
  3. 【請求項３】 請求項１から２までのいずれかの請求項
    による装置であって、テストパターンが直線格子である
    ことを特徴とする前記装置。
  4. 【請求項４】 請求項１から３までのいずれかの請求項
    による装置であって、透明な楔（４）がガラス楔であり
    その態様を投影光路の光軸に関して変更する手段を備え
    ていることを特徴とする前記装置。
  5. 【請求項５】 請求項４による装置であって、ガラス楔
    （４）が操作素子（１０）と係合し光軸を中心に回転す
    る環状マウント（９）を備えていることを特徴とする前
    記装置。
  6. 【請求項６】 請求項４または５による装置であって、
    ガラス楔（４）がほぼ１８０度回転することを特徴とす
    る前記装置。
  7. 【請求項７】 請求項４による装置であって、投影光路
    に直角に摺動でき、方位の異なる少なくとも２個のガラ
    ス楔（４）を含む容器（１３）を備えていることを特徴
    とする前期装置。
  8. 【請求項８】 請求項１から２までのいずれかの請求項
    による装置であって、テストパターン（３）とガラス楔
    （４）とが固着していることを特徴とする前記装置。
  9. 【請求項９】 請求項３による装置であって、該格子が
    矩形透過特性、あるいは正弦波形透過特性を有すること
    を特徴とする前記装置。
  10. 【請求項１０】 請求項１から９までのいずれかの請求
    項による装置であって、投影光路が、テストパターン
    （３）に前置する光源（２）と開口絞り（１）、テスト
    パターン（３）に後置するコリメータレンズ（５）とビ
    ームスプリッタ（６）、ならびにテストパターンを表面
    （８）に投影する対物レンズ（７）とからなることを特
    徴とする前記装置。
JP6146965A 1993-06-07 1994-06-07 被験表面にテストパターンを投影する装置 Pending JPH07324923A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9308486U DE9308486U1 (de) 1993-06-07 1993-06-07 Anordnung zur Projektion eines Testmusters auf eine zu untersuchende Oberfläche
DE9308486.2 1993-06-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07324923A true JPH07324923A (ja) 1995-12-12

Family

ID=6894126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6146965A Pending JPH07324923A (ja) 1993-06-07 1994-06-07 被験表面にテストパターンを投影する装置

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JP (1) JPH07324923A (ja)
DE (1) DE9308486U1 (ja)

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DE9308486U1 (de) 1993-07-15
US5493400A (en) 1996-02-20

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