JPH07325546A - 集積光電子パッケージ - Google Patents

集積光電子パッケージ

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JPH07325546A
JPH07325546A JP8452695A JP8452695A JPH07325546A JP H07325546 A JPH07325546 A JP H07325546A JP 8452695 A JP8452695 A JP 8452695A JP 8452695 A JP8452695 A JP 8452695A JP H07325546 A JPH07325546 A JP H07325546A
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semiconductor chip
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ロナルド・ジェイ・ネルソン
John W Stafford
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  • Led Devices (AREA)
  • Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体チップを含み、その上部に発光デバイ
スの大型アレーが形成され、このアレーが共に動作して
完全な実像を生成する、集積光電子パッケージが提供さ
れる。 【構成】 この発光デバイス12は、行および列状に配
置され、半導体チップ10の外側端部に隣接するパッド
20に接続される。窓枠基板25は、チップ10によっ
て生成される実像と同一の広がりを有する中心開口部2
7および実装パッド30を有し、チップ10上のパッド
20とバンプ接合される。複数の駆動回路57は、窓枠
基板25の上の端子33を介して、発光デバイス12と
接続される。レンズは、基板25の開口部27の上で、
チップ10と反対の側に取り付けられ、実像を拡大して
見やすい虚像を作る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は共に動作するように接続
された電気部材および光学部材を含むパッケージに関
し、さらに詳しくは、電気回路内で光学部材と半導体チ
ップとを電気的に接続するパッケージに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体チップまたは集積回路
は、プリント回路板などの上に実装され、チップを外部
回路に接続するのに受け入れられている方法は、標準の
ワイヤ・ボンド技術を使用することである。しかしなが
ら、電気部材またはデバイスの比較的大型のアレーが上
部に形成された半導体チップを接続する場合には、標準
のワイヤ・ボンド技術では極めて難しくなる可能性があ
る。たとえば、発光ダイオード(たとえば10,000
または100×100以上)の比較的大型のアレーが、
ピッチ(中心間距離)Pで半導体チップ上に形成される
場合、半導体チップの外周に位置する接合パッドは2P
のピッチを有することになる。このようになるのは、接
合パッド間の距離をできるだけ大きくするために、接合
パッドが1行おきおよび1列おきに外周の反対端部に存
在するからである。
【0003】現時点では、接合パッドからピッチ4.8
ミリインチのワイヤ・ボンド相互接続が、実現可能な最
良のものである。このため、前述の100×100の発
光ダイオードのアレーでは、半導体チップの外周にある
接合パッドは、最低ピッチが4.8ミリインチとなり、
外周の各端部に沿って50個の接合パッドが配置され
る。アレー内に含めるデバイスの数が多くなるにつれ
て、必要となる接合パッドの数も多くなり、増えた接合
パッドを収容する外周の大きさは一層増大する。すなわ
ち、接合パッドの最低ピッチが4.8ミリインチである
ので、アレー内のデバイスのピッチは2.4ミリイン
チ、すなわち約61ミクロンの大きさまでなら、チップ
のサイズに影響を与えない。このため、たとえ、デバイ
スを61ミクロンより小さく製造できても、接合パッド
のこの最低ピッチでは、チップの外周を小さくすること
ができない。半導体チップのサイズが、ワイヤ・ボンデ
ィング技術上の制約によって制限されることはすぐにも
分かる。
【0004】また半導体チップおよびインタフェース回
路は、1つの基板上に実装するのが通例になっている。
ここに生じる問題は、各種の部材を実装し接続するの
に、広い表面積が必要なことである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このため、半導体チッ
プのサイズに関する制約を大幅に減らすことができて、
所要の表面積も減らせるような、相互接続/パッケージ
ングの構造および技術に対する必要性が存在する。
【0006】したがって、本発明の目的は、電気接続に
よってサイズが制限されない集積光電子パッケージを提
供することである。
【0007】本発明のもう1つの目的は、従来の集積パ
ッケージよりも実質的に小さい集積光電子パッケージを
提供することである。
【0008】本発明のさらに別の目的は、従来の集積パ
ッケージよりも実質的に多数の発光デバイスを含む集積
光電子パッケージを提供することである。
【0009】本発明のさらなる目的は、発光デバイスの
アレーを含み、従来の集積パッケージよりも実質的に多
数のデバイスを有する集積光電子パッケージを提供する
ことである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記およびその他の問題
を実質的に解決し、また上記およびその他の目的を実現
するのが、集積光電子パッケージであって、このパッケ
ージは、半導体チップを含み、この半導体チップは主表
面を有して、発光デバイスのアレーがこの主表面の中央
部分の上に形成され、このアレーが共に動作して完全な
実像を生成する。各発光デバイスは、発光デバイスを活
動化する第1および第2の電極を有する。半導体チップ
はまた、その外側端部に隣接し、主表面の中央部分の外
側にあたる位置に、外部接続/実装パッドを有し、発光
デバイスの第1電極は、第1の複数の外部接続/実装パ
ッドと接続され、発光デバイスの第2電極は、第2の複
数の外部接続/実装パッドと接続される。窓枠基板は主
表面を有し、半導体チップの主表面の中央部分の実像と
同一の広がりを実質的に有する中央透過光路を確定す
る。窓枠基板はまた、内部に形成された複数の導線を有
し、各導線は、中央光路の端部に隣接する実装パッドか
ら、窓枠基板の主表面上の接続パッドへと伸びる。窓枠
基板は、たとえば、ガラスもしくはその他の適切な透明
材料で形成して、導線を窓の周囲の枠として形成するこ
とによって、窓を確定することもできれば、或いは、不
透明材料またはその他の材料を使って形成し、その中に
開口部を設けて、中央透過光路を確定することもでき
る。半導体チップの主表面は、窓枠基板の主表面の上に
実装され、第1および第2の複数の外部接続/実装パッ
ドは、窓枠基板の実装パッドと電気的に接触し、半導体
チップの主表面の中央部分の実像は、窓枠基板の主表面
内の中央光路に対して軸方向に位置合わせされ、この光
路と実質的に同一の広がりを有する。複数の駆動回路お
よび制御回路はデータ入力端子、さらには制御信号出力
端子を有し、これらの回路は、発光デバイスの第1およ
び第2端子と接続されて、発光デバイスを活動化して、
データ入力端子に入力されるデータ信号に従って、実像
を生成する。
【0011】好適な実施例では、半導体チップの外部接
続/実装パッドは、窓枠基板内の中央開口部の端部に隣
接する実装パッドとバンプ接合され、接続/実装パッド
の許容ピッチを実質的に逓減する。また、窓枠基板の主
表面上の接続パッドは、行と列から成るマトリックス状
に配置されて、実質的により狭い表面積に実質的により
多数の接続パッドが入るようにする。
【0012】
【実施例】具体的に図1を参照して、上部に発光デバイ
スのアレーを有する半導体チップ10の高倍率の拡大上
面図が示される。図を簡略化するため、半導体チップ1
0の代表的部分のみ完全な形で示す。半導体チップ10
は、複数の発光デバイス12が上部に形成された主表面
11を有する。この実施例では、発光デバイス12は発
光ダイオードであるが、各種のデバイス(発光ダイオー
ド,表面発光レーザー,電界放出デバイスなどを含むが
これらに限定されない)を利用できると理解されたい。
この実施例では、各発光デバイス12が画素を確定して
おり、発光デバイス12は行および列状に配置され、活
動化されると、共に動作して、主表面11の中央部分1
3において完全な実像を生成する。各発光デバイス12
は、第1および第2の電極(図示せず)を有して活性化
電位を与え、各発光デバイス12の第1電極は、複数の
水平導線15の内の1つと付着され、各発光デバイス1
2の第2電極は、複数の垂直導線17の内の1つに付着
される。半導体チップ10はまた、その外側端部に隣接
し、主表面11の中央部分13の外側にあたる位置に、
外部接続/実装パッド20を有する。発光デバイス12
の第1電極は、導線15によって、第1の複数の外部接
続/実装パッド20と接続されて、画素の行を確定し、
また発光デバイス12の第2電極は、導線17によって
第2の複数の外部接続/実装パッド20と接続されて、
画素の列を確定する。
【0013】発光デバイス12は、半導体チップ10上
の主表面11の領域内に、直径(W)約20ミクロン未
満(図に示す実施例では、直径約10ミクロン)で形成
される。また、ピッチP、すなわち、発光デバイス12
の中心間間隔は、約30ミクロン未満であり、本実施例
では20ミクロンである。半導体チップ10の周囲に外
部接続/実装パッド20をくまなく分布させるため、接
続/実装パッド20は、1つおきの水平導線15および
1つおきの垂直導線17に付着される。このため、隣り
合う接続/実装パッド20間の間隔は2P、すなわち、
この具体的実施例では20ミクロンである。
【0014】具体的に図2を参照して、窓枠基板25の
拡大上面図が示される。基板25をここで「窓枠」と称
するのは、中央透過光路すなわち窓が確定された主表面
26を有するからである。最も単純な実施例では、窓枠
基板25は、ガラスなどの平板な透過性材料の一片によ
って形成されて、中央光路27は、単純に基板25の何
もない部分にする。(ここで詳細に説明する)若干異な
る実施例では、窓枠基板は(不透明でもよい)、中央開
口部を有するように形成されており、開口部が中央光路
27として機能する。中央光路27は、半導体チップ1
0の中央部分13と実質的に同じサイズであって、半導
体チップ10が窓枠基板25上のレジスタ内に配置され
るときに、発光デバイス12が共に動作して生成する実
像が光路を通して完全に見えるようにする。複数の実装
パッド30は、中央光路27の周囲に配置されて、半導
体チップ10が適正に位置合わせされたときに、各パッ
ドが、半導体チップ10上の別個の接続/実装パッド2
0と接触するようにする。複数の導線31は、実装パッ
ド30と、基板25の主表面26の上部で、外周に沿っ
て配置される同様の複数の接続パッド33とを、電気的
に接続する。
【0015】実装パッド30のピッチは、半導体チップ
10の上の接続/実装パッド20の2Pの間隔と等しく
し、各実装パッド30をPの大きさにしても、電気的問
題を生じないようにする。また、導線31を扇状に伸ば
すことにより、接続パッド33は、電気接続を容易に設
けられるほど十分な大きさに作れる。たとえば、発光デ
バイス12のアレーが、40,000個のデバイス
(例:200×200)を含み、各デバイスが、直径1
0ミクロンの領域を含み、ピッチPが20ミクロンの場
合には、半導体チップ10の中央部分13の領域は、1
辺が0.2インチ未満になる。この具体的実施例で、窓
枠基板25は、1辺が約0.2インチの中央光路27、
および1辺が0.5インチの外周を有するように作られ
る。このため、窓枠基板25の各辺の上に位置する20
0個の接続パッドは、約60ミクロンのピッチが得られ
る。
【0016】具体的に図3を参照して、窓枠基板40の
別の実施例について、拡大切り欠き上面図が示される。
基板40の一部は、基板40の各部を詳細に示した、図
4の高倍率の拡大図に示す。この実施例では、中央透過
光路41は、図2と関連づけて配置され、複数の導線4
3は、基板40の主表面42の上に配置され、中央光路
41の周囲から扇状に広がって複数の接続パッド4と接
触する。接続パッド45は、主表面42上で中央光路4
1の周囲に、行と列から成るマトリックス状に配置され
る。一般に、接続パッド45は、マトリックス内で、約
25ミリインチから50ミリインチの範囲のピッチで配
置されて、導線43が図に示すように伸びるのに十分な
スペースを得られるように予め見込んでおく。たとえ
ば、ピッチ40ミリインチの接続パッド45のマトリッ
クスでは、0.2インチ×0.4インチの中央光路41
を有する1インチ×1インチの基板上に、500以上の
接続パッド43を配置できる。
【0017】多くの用途で、導線の幅およびパッドのサ
イズは、間隔とともに、製造、特に窓枠基板25の製造
において、困難にぶつかる部分であろう。しかしなが
ら、ピッチ40ミクロンで10から15ミクロン幅の導
線を上に作ることができ、しかも方形の開口部を収容で
きる基板材料の例には、ガラス;研磨アルミナ磁器;研
磨アルミナ磁器またはアルミナ窒化物で、ポリイミドま
たはBCBなどの薄い有機誘電材の1つの層を有し、薄
膜パターンがその上に作られたもの;異方性エッチング
が可能なシリコンが含まれる。
【0018】窓枠基板25がガラスで形成される場合に
は、標準の薄膜メタライゼーションを利用でき、この場
合、金属層は、たとえばスパッタリングによって蒸着さ
れる。通常のメタライゼーション・システムでは、第1
のクロム層は、スパッタリングによって塗布されて、ガ
ラス上の粘着層として機能する。第2の銅層は、クロム
の上に塗布されて所望の導体を設け、金層が銅層の上に
塗布されて、障壁、およびバンプもしくは以後の接続の
ための粘着層を設ける。メタライゼーションは、アディ
ティブ法またはサブトラクティブ法のいずれでも可能で
あり、パターン形成およびエッチングが、技術上周知の
各種の方法のいずれかによって実施されて、所望の最終
構造を設ける。
【0019】また、窓枠基板25がガラスで形成される
例では、ガラスは、半導体チップ10の熱膨張係数とほ
ぼ同じ係数を有するように選択して、半導体チップ10
が窓枠基板25にしっかりと接合されるときに、周囲温
度の変化によって、実質的に同じ量の膨張または収縮が
生じて、半導体チップ10に損傷を与えないようにす
る。むろん、膨張/収縮にごくわずかな違いを生じるよ
うな熱膨張係数のごくわずかな食い違いは、半導体チッ
プ10と窓枠基板25との間の変化の程度が、構造体の
動作温度範囲にわたり、半導体チップ10に損傷を与え
るほど大きくないのなら、許容できると理解されたい。
【0020】図1および図2の(または図3の)部材
と、光電子パッケージ50に含まれる付加部材の相対位
置を示す分解組立斜視図を、図5に示す。完全な光電子
パッケージ50に組み立てられた図5の部材の拡大切り
欠き図を図6に示す。組立工程では、半導体チップ10
は逆さにして、主表面13を下にし、接続/実装パッド
20は、半導体チップ10が適正に位置合わせされると
きに、窓枠基板25上の別個の実装パッド30とそれぞ
れ接触するように配置される。半導体チップ10は、接
続/実装パッド20の上に蒸着された接触材料から成る
バンプ56(図6参照)を有して、半導体チップ10を
基板25と電気的および物理的に接続する。バンプ56
は、比較的良好な導体であり、少なくとも部分的に溶融
され、整形されて良好な物理的接続を形成できる材料に
よって形成される。この目的に利用できる材料は、金,
銅,半田および特殊高温半田,導電エポキシなどを含
む。高さ80ミクロンまでのバンプが、直径20ミクロ
ンの方形または円形の接続/実装パッドの上に形成でき
る。より少ないピッチでは、直径5ミクロンの銅バンプ
が、ピッチ10ミクロンで、20ミクロンのバンプ高さ
に形成された。また、直径15ミクロンの金のバンプが
30ミクロンのピッチで、30から45ミクロンの高さ
に形成された。いくつかの適合金属は、組立手順(例:
基板25の実装パッド30に対する金のメタライゼーシ
ョンまたは金メッキ)を改良できる。
【0021】ある製造技術では、半導体チップ10は、
金バンプを含み、窓枠基板25に対して熱圧着される。
図5に示すような、半導体チップ10が基板25と接合
される時点では、半導体チップ10は、パッケージをさ
らに組み立てる前に、容易に試験もしくはバーンを実施
できる。このように中間試験ポイントを提供できるため
に、パッケージング手順においてコストと時間を実質的
に節減できる。
【0022】図1の半導体チップ10および図2の窓枠
基板25の他に、パッケージ50の具体的実施例は、上
部主表面の上に複数の駆動/制御回路57が実装された
実装基板55を含む。駆動/制御回路57は一般に、よ
り小型の集積回路として形成され、この回路は、実装基
板55の上部主表面上にある電気接点とワイヤ・ボンデ
ィングまたはバンプ接合される。実装基板55は、たと
えば、FR4など、適切なプリント回路板とし、C5半
田などの接点材料,半田可能なメッキ金属などから成る
バンプ58、または接続ピン59を有する。接続パッド
33のピッチは比較的大きくなる(または大きくでき
る)ので、この時点では、比較的大きなバンプまたはピ
ンを利用できる。
【0023】パッケージ50内の最終付加部材は、レン
ズ60であり、これは、窓枠基板25内の中央光路の上
に、半導体基板10と反対の側に載るように作られる。
レンズ60は、半導体基板10上の発光デバイス12の
アレーによって生成される実像を拡大するように設計さ
れる。この具体的実施例では、レンズ60は、適切な透
明エポキシなどによって窓枠基板25の下側に付着され
て、窓枠基板25の中央光路27の上に単に載るように
作られる。窓枠基板25とその上に実装される半導体チ
ップ10との間の隙間は少なくとも、透過性材料62に
よって充填される。また、窓枠基板25と実装基板55
との間の隙間は、封入材料63によって充填され、この
材料は、サポートを提供し、パッケージ50をより強靭
なパッケージにするのに適する材料ならいずれでも可能
である。ここでは、半導体チップ10の端部が、封入材
をせき止める働きをするほど、実装基板55の十分近く
にあって、封入材のダムの働きをして、半導体チップ1
0の上部表面と実装基板55との間の隙間が、オープン
または未充填状態になっていることに注意されたい。こ
のため、半導体チップ10と実装基板55とは、物理的
に付着しておらず、熱膨張係数が異なってもほとんど影
響を与えない。パッケージ50内の全部の隙間を、同一
の透過性材料62によって封入する方が適する場合もあ
れば、隙間を異なる封入材料で埋める方が適し、費用も
安い場合もある。
【0024】いずれのケースでも、最適な結果を得るた
め、透過性材料62,窓枠基板25およびレンズ60の
ガラスは、全部合わせて実際に近い屈折率となるように
作られるべきだと理解されたい。たとえば、透過性材料
62と、窓枠基板25のガラスの屈折率が実質的に異な
る場合には、光が、インタフェース部分で半導体チップ
10の方に反射して、パッケージ50の効率が減少する
傾向がある。同様に、窓枠基板25とレンズ60との間
のインターフェースは、実用可能または許容可能な程度
に変化を小さくすべきである。一般に、窓枠基板25で
は約1.5の屈折率が許容可能と認められている。
【0025】このため、基板25のように、ガラス等の
窓枠基板では、半導体チップの環境保護を付加するとい
う利点が加わる。また、ガラス等のような透過性材料
は、半導体チップの熱膨張係数と同一または近似の熱膨
張係数を有するように提供できるので、この実施例によ
って熱サイクル寿命の実質的向上が達成される。
【0026】別の実施例において、完全な光電子パッケ
ージ50’に組み立てられた図5の部材の拡大図(図6
と同様)を図7に示す。図7の実施例において、図6と
関連し、これと類似する部分には同様の番号が付され、
異なる実施例であることを示すためにプライム記号が付
される。この実施例では、窓枠基板25’は、中央透過
光路となる中央開口部を有する形で形成され、レンズ6
0’は、中央開口部に少なくとも一部がフィットするよ
うに作られる。また、透過性材料62’は、半導体チッ
プ10’とレンズ60’との間の隙間を充填するのに利
用され、レンズ60’を適正位置に固定する。
【0027】半導体チップ10上の発光デバイス12の
アレーによって生成される実像は、小さすぎて人間の目
では正しく捉えられないので、見やすい完全なビューを
得るには、一般に、少なくとも10倍の拡大が必要であ
る。レンズ60は単一レンズにして、外部システムによ
ってさらに光学的拡大を提供するようにでき、或いは、
レンズ60に完全な拡大システムを含めることもでき
る。また、レンズ60はガラス,プラスチックまたは当
業者に周知のその他の材料もしくは方法で製造できる。
また一部の用途では、レンズ60は、完全な外部拡大シ
ステムにすることができ、パッケージ50の一部として
物理的に付着されなくてもよい。レンズ60に組み込め
る、または外部に適用できる光学的拡大システムの数例
を以下に説明する図8から図10に示す。
【0028】図8を参照して、小型虚像表示装置65
が、簡略化された概略図に示される。表示装置65は、
領域67に実像を生成する像生成装置66を含み、この
装置は、上記の光電子パッケージ50と似通っている。
固定光学系70は、この具体的実施例では、光ファイバ
ーおよびレンズ系73のコヒーレント・バンドル(cohe
rent bundle )71を含む。バンドル71は、装置66
の領域67に隣接して配置される第1表面75、および
バンドル71の反対側に確定される第2表面76を有す
る。レンズ系73を表す単一レンズは、バンドル71の
表面76から間隔を開けて配置され、バンドル71と共
に動作して、レンズ系73によって一般に確定されるビ
ューイング開口部78から間隔を空けて、眼77が捉え
られる虚像を作る。
【0029】半導体技術によって、半導体チップおよび
/またはチップ上の発光デバイスが小型化されるに伴
い、倍率の拡大およびレンズ系の小型化が必要になる。
レンズを小型化する一方で、拡大倍率を上げると、その
結果、視界が大幅に制限され、射出ひとみ距離(eye re
lief)が実質的に逓減され、レンズ系の作動距離が短く
なる。
【0030】バンドル71の表面75は、装置66の領
域67に隣接して配置されて、装置66によって生成さ
れる実像を取り出して、光ファイバーにより、表面76
に像を転送するようにする。バンドル71は、その長さ
全体に渡って勾配が付けられ、表面76の像が表面75
の実像よりも大きくなるようにする。この実施例の勾配
によって、表面76には、表面75の像の2倍の大きさ
の像が生成され、これは、倍率2に相当する。当業者
は、必要に応じ、さらに拡大(勾配)を盛り込めること
を理解しよう。
【0031】単一レンズによって概略的に表されるレン
ズ系73は、バンドル71の表面76から間隔を開けて
取り付けられ、表面76から像を受け取って、これを予
め確定された追加倍率で拡大するようにする。本実施例
では、レンズ系73は、像をさらに10倍(10×)拡
大して、装置66からの実像が、合計20倍に拡大され
るようにする。無論、レンズ系は、必要に応じて焦点合
わせおよび追加拡大の調整を可能にすることもできれ
ば、或いは筐体内に固定してシンプルにすることもでき
ると理解されたい。レンズ系73がバンドル71から受
け取る像は、装置66が生成する実像より大幅に大きい
ので、レンズ系は、全部の拡大を行わず、そのため、よ
り大きく作られ、倍率が少なくなる。このようにサイズ
が大きくなるので、レンズ系は視界が大きくなり、動作
距離が大きくなる。 射出ひとみ距離は、眼77をビュ
ーイング開口部78に近づけて、依然正しく像が見える
距離をいい、この距離を図7では「d」で示す。レンズ
系73のサイズによって、射出ひとみ距離すなわち距離
dは、見やすさを提供するのに十分な距離になってお
り、本実施例では、見る人が、必要に応じて通常の眼鏡
を装用できるくらいゆとりを持たせている。射出ひとみ
距離が改善されたため、オペレータは通常の視力矯正レ
ンズ(眼鏡)を装用でき、焦点合わせおよび他の調整機
能の複雑性を減らすことができ、そのため、虚像表示装
置65の構造を単純化する。
【0032】図9を参照して、別の小型虚像表示装置8
0が、簡略化された概略図に示される。導波管虚像表示
装置80では、像生成装置81(前述の光電子パッケー
ジ50と似通っている)は、光導波管82の入り口に固
定されて、そこに実像を生じる。導波管82は、一般
に、対辺83,84と85,86は等しく平行だが、隣
りあう辺が直角を成さない平行四辺形の形状に形成され
る。辺83は、入り口を確定し、装置81の実像からの
光線を、(4つの辺全部によって確定される)光路長に
沿って、隣接する辺85の予め確定された領域に導く。
3つの回析レンズ87,88,89は、隣合う辺85,
84,86のそれぞれに沿って、予め確定された3つの
領域に配置され、拡大された虚像は、辺86の出口で見
ることができる。この具体的実施例が示す表示装置は、
全体のサイズが若干小さくなっており、導波管内の材料
の量が逓減され、重量および利用する材料が逓減され
る。
【0033】図10を参照して、別の小型虚像表示装置
90が、簡略化された概略図に示される。導波管虚像表
示装置90では、側面が全体に三角形の光導波管が利用
される。実像を生じる像生成装置92は、前述の光電子
パッケージ50に似通っており、光導波管91の第1辺
93に固定されて、光線を発し、光線は、光路長に沿っ
て、第2辺95に固定された回析レンズ94に直接向か
う。光線は、レンズ94で反射して、第3辺97の上に
取り付けられた回析レンズ96に向かう。レンズ96は
ついで、光導波管91の辺93の出口に固定された最終
回析レンズ98を介して、光線を反射し、レンズ98
は、表示装置90のビューイング開口部を確定する。こ
の具体的な実施例において、表示装置の辺は、互いに直
角を成すように配置されて、光線が入り口と出口のとこ
ろでそれぞれ垂直に入射・反射するようにする。
【0034】図11は、小型虚像表示装置102が内部
に取り付けられたハンドヘルド・マイクロホン101を
有する携帯通信受信機100を示す。無論、携帯通信受
信機100は、セルラ・フォンまたはコードレス電話,
双方向無線,ページャなど周知の携帯通信受信機のいず
れでも可能であると理解されよう。本実施例では、説明
目的に限り、携帯通信受信機100を携帯双方向警察無
線としており、一般に、職務中の警官もしくは警備員が
携行するタイプのものである。携帯通信受信機100
は、発呼する制御パネル105、および呼び出した番号
もしくは呼出中の番号を必要に応じて表示する標準表示
装置106を含む。また、106は、表示装置の他に、
もしくはこれに代えてスピーカを含む。ハンドヘルド・
マイクロホン101は、プッシュ・ツー・トーク(push
-to-talk)スイッチ107およびヴォイス・ピックアッ
プ(voice pick-up )108を含む。
【0035】図12を参照して、線11- 11から見
た、ハンドヘルド・マイクロホン101の簡略化した断
面図を示す。小型虚像表示装置102は、実像を固定光
学系120に与える像生成装置121を有する、前述の
パッケージ50に似た光電子パッケージを含み、これ
は、開口部122を通してオペレータが見ることができ
る虚像を作る。固定光学系120は、像生成装置121
からの実像全体を可動部材を利用せずに、拡大するよう
に作られ、開口部122を通して見える虚像が完全なフ
レームまたは像になり、これが極めて大きく(一般に印
刷ページのサイズ)見えて、オペレータが容易に視認で
きるようにする。光電子パッケージ全体は比較的小さ
く、ハンドヘルド・マイクロホン11に対するスペース
条件を事実上追加しない。光学系120は、焦点合わ
せ、ズーム・レンズなどの光学機能以外には、可動部材
を持たない構造を有する。また装置121は、実像を生
成するのにほとんど電力を必要とせず、そのため、携帯
通信受信機100の電力条件はほとんど追加されない。
【0036】具体的に図13および図14を参照して、
第2実施例が示され、この図では、図11および図12
に関連し、これに類似する部材には同様の番号が付さ
れ、異なる実施例であることを示すために、番号にはプ
ライム記号が付される。この実施例では、携帯通信受信
機100’は、ハンドヘルド・マイクロホンの内部にで
はなく本体に、小型虚像表示装置102’を含む。ハン
ドヘルド・マイクロホンはオプションであり、この具体
的実施例は、ハンドヘルド・マイクロホンを利用しない
もしくは利用できない場合か、またはページャなど送信
できない装置で利用するのが望ましい。小型虚像表示装
置102’は、基本的に図11および図12の小型虚像
表示装置102と似通っており、受信機100’のサイ
ズ,重量または電力消費量はほとんど追加されない。
【0037】図15は、小型虚像表示装置102のビュ
ーイング開口部122をオペレータが覗いた場合に見え
る典型的なビュー125を示し、この図は、図11およ
び図12と関連している。ビュー125には、たとえ
ば、オペレータ(警官)が入力しようとする建物の間取
り図が考えられる。操作上、間取り図は、警察署のファ
イルにあり、警察官から支援が要請されると、警察署
は、以前記録された間取り図を示す映像を単に伝送すれ
ばよい。同様に、小型虚像表示装置102は、失踪者ま
たは指名手配中の犯人,地図,極めて長いメッセージな
どを伝送するのに利用されよう。メッセージが可聴では
なくて表示装置102上に示されるような、無声受信機
動作など他の多くの変形が可能である。
【0038】いくつかの用途では、半導体チップ10上
の発光デバイス12および導線15,17は、極小のミ
クロンもしくはサブミロン単位のサイズにできるが、ピ
ッチPは、実用可能な外部接続/実装パッド20を形成
するのには小さすぎる。このような用途では、接続/実
装パッド20間の間隔は、発光デバイスを、以下に説明
する図16から図19に関連して述べるプッシュプル・
アレーに形成すれば、増大できる。
【0039】具体的に図16を参照して、発光ダイオー
ドのプッシュプル・アレー210が示される。アレー2
10は、1つの基板上に形成され、5つの行と4つの列
に配列される20個の発光ダイオードを含む。簡略化す
るため、20個のダイオードだけ示すが、それらは前述
の大型アレーを代表するものであることを理解された
い。番号212から216の接続導線の行は、基板上に
配置されて、1つずつ、ダイオードの行に相当し、番号
220から223の接続導線の列は、基板上に配置され
て、1つずつ、ダイオードの列と相当する。この接続導
線は、ダイオードのそれぞれの陽極および陰極と結合さ
れて、アドレス可能アレー210を提供し、ダイオード
は1つおきの列ですべて逆に接続される。このため、1
つおきの列内のすべてのダイオードは、陰極が、列導
線、すなわち導線220,222と接続され、残りの交
互列内のダイオードはすべて、陽極が、列導線、すなわ
ち導線221,223と接続される。同様に、各行で
も、1つおきのダイオードの陽極が、行導線と接続さ
れ、残りの交互のダイオードは陰極が行導線と接続され
る。アレー210は、LED表示装置向けに設計されて
おり、そのため、ダイオードの交互列は、ここで明かに
する理由から逆に接続される。無論、多くの用途では、
ダイオードの交互行を逆に接続する方が適しており、そ
のため、「行」と「列」という語は、一般に取り替え可
能な形で使用されることを理解されたい。
【0040】LEDイメージング・アレーに適用される
逆接続LEDが実現可能なのは、LEDイメージング・
アレーが、ガリウム砒素基板上に作られ、ダイオード
は、許容可能なピッチを維持しつつ、内部で逆に接合さ
れるからである。この実施例の結果、効率的な内部相互
接続が得られ、これは、LEDアレー上でのデバイスの
追加を必要とせず、アレーの製造中、ほとんど追加の作
業を行う必要がない。他の実施例も存在するが、製造が
困難でスペースの追加を要するようなデバイスを追加す
る必要がある。
【0041】行導線212から216にはそれぞれ、接
続/実装パッドが接続される。1つおきの列導線はそれ
ぞれ、隣接する交互の列導線と接続されて、列導線22
0,221と222,223の対を形成する。列導線の
各対には、1つの接続/実装パッドが接続される。プッ
シュプル・アレー210では、4つの列220から22
3全部に対し2つの接続/実装パッドしかない。このた
め、簡略化されたプッシュプル・アレー210では、外
部接続/実装パッドの数は、従来の9つからわずか7つ
に減っている。当業者には、プッシュプル・アレー21
0を128の行と240の列に拡大すれば、その結果、
合計外部接続数が、トータルで128×240/2=2
48になることは明かであろう。このため、外部接続の
総数は、120だけ減少する。
【0042】具体的に図17を参照して、列駆動回路2
30が示され、この回路は、プッシュプル・アレー21
0と共に利用されるように設計される。列駆動回路23
0は、カウンタ231,および複数の論理回路232
(その1つを図に示す)を含む。論理回路232はそれ
ぞれ、第1論理ゲート233,1対の論理ゲート23
4,235,およびP形,N形の相補ドライバ236,
237を含む。この具体的実施例において、カウンタ2
31は9ビット・カウンタであり、これはたとえば、単
純なリプル・カウンタでもよい。また各論理回路232
内で、第1論理ゲート233は、8入力NANDゲート
であり、論理ゲート234,235は、2入力NORゲ
ートである。相補形ドライバ236,237は、電源V
DDと基準電圧との間に直列接続されたP形およびN形F
ETであり、この例では接地される。
【0043】カウンタ231の第1ビット出力は、極性
ビットとして使用されて、各論理回路232内では、ゲ
ート235の1つの入力端子に直接入力され、またイン
バータを介して、ゲート234の1つの入力端子に入力
される。カウンタ231の次の8つの出力ビットは、各
論理回路232内で、ゲート233の8入力端子に入力
される。8入力端子は、出力ビットの1つの特定の組み
合わせだけが、各論理回路232内で、ゲート233に
出力を生じさせるように符号化される。各ゲート233
との接続の符号化は、たとえば第1論理回路内のすべて
の入力を反転するなど、種々の方法で達成できる。この
ようにして、第1論理回路のゲート233は、カウンタ
231が出力00000000を発生するたびに1つの
出力を発生する。同様に、次の論理回路のゲート233
は、カウンタ231からの出力00000001に応答
して出力が発生するように符号化される。
【0044】ゲート233の出力端子は、ゲート23
4,235それぞれの第2入力端子と直接接続される。
ゲート234の出力端子は反転されて、ドライバ236
の制御ゲートに入力され、ゲート235の出力端子は、
ドライバ237の制御ゲートに直接入力される。ドライ
バ236,237の接合部は、出力端子238であり、
プッシュプル・アレー210の列220,221の接続
/実装パッドと接続される。この具体的実施例では、カ
ウンタ231の第1出力ビット(最下位)はゲート23
5(0出力ビット)と、(次のクロック・パルスで)ゲ
ート234(1出力ビット)とを交互に選択する。また
残りの8出力ビットは、第1ビットのこのように切り替
わる間ずっと、一定を保ち、カウンタ231に入力され
た最初の2つのクロック・パルスでは、最初に、ドライ
バ237が活動化されて、出力端子238を接地し、つ
いでドライバ236が活動化されて、出力端子238に
DDを入力するようにする。このため、プッシュプル・
アレー210の列220は、第1クロック・パルスでア
ドレス指定され、列221は、第2クロック・パルスで
アドレス指定される。カウンタ231の8出力ビット
は、複数の論理回路233をアドレス指定するのに利用
されるので、256もの論理回路が個々にアドレス指定
できる。
【0045】具体的に図18を参照して、1つの行駆動
回路240が示される。行接続/実装パッドそれぞれに
対し、同様の行駆動回路240が設けられる。行駆動回
路240はそれぞれ、一対の2入力端子ゲート241,
242,2つのP形ドライバ243,244および2つ
のN形ドライバ245,246を含む。P形ドライバ2
43,244は、電源VDDと出力端子247との間に、
直列に接続される。N形ドライバ245,246は、出
力端子245と基準電位との間に直列に接続され、この
実施例では接地される。P形ドライバ243およびN形
ドライバ246は、定電流源として働き、制御ゲートに
入力されたバイアス電圧によって活動化される。ゲート
241の出力端子は、P形ドライバ244の制御ゲート
と接続され、ゲート242の出力端子は、N形ドライバ
245の制御ゲートと接続される。ゲート241,24
2それぞれの1つの入力端子は、データ入力端子248
と接続される。ゲート241の第2入力端子は、インバ
ータを介してカウンタ231の第1(最下位)出力ビッ
ト端子と接続され、ゲート242の第2入力端子は、カ
ウンタ231の第1出力ビット端子と直接接続される。
【0046】この実施例では、端子248のデータは、
個々のLEDを活動化するか否かを示す一連の1と0に
よって構成される。しかしながら、交互列221,22
3内のダイオードは逆に接続されるので、交互列22
1,223に加えられる電位より低い電位を行に与え
て、これらのダイオードを活動化する必要がある。ま
た、ダイオードが逆に接続されていない交互列の場合、
選択した行に正の電位を与えて、ダイオードを活動化し
なければならない。このため、交互列220,222
が、カウンタ231の第1出力ビットによって選択され
るとき、カウンタ231の同一出力ビットによって、行
駆動回路のゲート241,242は、P形ドライバ24
4を選択し、このドライバは、現在のデータビットが1
の場合にオンになる。同様に、交互列221,223
が、カウンタ231の第1出力ビットによって選択され
るとき、カウンタ231の同一出力ビットによって、行
駆動回路のゲート241,242は、N形ドライバ24
5を選択し、このドライバは、現在のデータ・ビットが
1の場合にオンになる。
【0047】図19は電子通信装置249を示し、図1
6のアレーを完全な表示装置にするための完全な駆動回
路250の簡略ブロック図を含む。通信装置249は、
送信および/または受信するメッセージを表示する表示
装置を含む任意の装置、たとえば、双方向無線またはペ
ージャである。駆動回路250は、カウンタ231,複
数の論理回路232,複数の行駆動回路240,および
外部インタフェースから像データを受け取るために接続
されたランダム・アクセス・メモリ(RAM)252を
含む。カウンタ231は、極性ビットおよび8ビット・
アドレスを、前述の複数の論理回路232のそれぞれに
与える。このため、各列は順次アドレス指定される。カ
ウンタ231はまた、複数の行ドライバ240のそれぞ
れに極性ビットを与え、RAM252をクロック(cloc
k )して、データ・ビットは、論理回路232および行
ドライバ240に与えられるアドレス入力および極性ビ
ットと同期されて、複数の行ドライバ240に与えられ
るようにする。
【0048】アレー内の列をアドレス指定するのに必要
な接続/実装パッドの数は半減する。また、交互列との
接続を逆にすることは内部的に達成され、その一方で、
追加スペースが不要で、追加の加工工程も事実上不要と
なる形でアレーを製造する。また内部接続は、アレー上
でのデバイスの追加を必要としない。プッシュプル・ア
レーは、複雑な駆動回路の追加,または駆動回路内の母
線の追加,または高価な外部回路を必要としない。駆動
回路の単純さは、開示した駆動回路を見れば分かる。C
MOS回路の速度と利便性を組み込んだ具体的な駆動回
路を開示したが、種々の導電率を利用する他の駆動回路
も考案できることを理解されたい。また、図17から図
19を参照して説明したすべての駆動回路は、図5およ
び図6に示す駆動/制御回路57に含まれる、もしくは
含められる。
【0049】このため本発明が教示するのは、集積光電
子パッケージであって、このパッケージは、電気接続に
よってサイズが制限されず、また同一機能を実行する従
来の集積パッケージより実質的に小さい。また、本発明
は、従来の集積パッケージよりも実質的に多数のデバイ
スを有する発光デバイスのアレーを含む、集積光電子パ
ッケージを教示する。また、半導体チップのサイズに関
する制限を実質的に減らすことができて、所要表面積も
実質的に減らせる相互接続およびパッケージング構造お
よび技術に対する必要性が、本発明によって実質的に逓
減もしくは排除される。
【図面の簡単な説明】
【図1】発光デバイスのアレーを有する半導体チップを
高倍率で拡大した上面図である。
【図2】窓枠基板の拡大上面図である。
【図3】窓枠基板の別の実施例に関する高倍率の拡大切
り欠き上面図である。
【図4】図3の一部をより詳細に示した高倍率の拡大図
である。
【図5】図1および図2の部材の相対位置を示す分解組
立斜視図である。
【図6】完全なパッケージに組み立てられた図5の部材
の、拡大切り欠き図である。
【図7】異なる実施例において、完全なパッケージに組
み立てられた図5の部材の、拡大切り欠き図である。
【図8】図6または図7のパッケージを組み込んだ小型
虚像表示装置を簡略化して示す概略図である。
【図9】図6または図7を組み込んだ他の小型虚像表示
装置(図8と同様)を簡略化して示したさらなる概略図
である。
【図10】図6または図7を組み込んだ他の小型虚像表
示装置(図8と同様)を簡略化して示したさらなる概略
図である。
【図11】図8の小型虚像表示装置を組み込んだ携帯通
信受信機の斜視図である。
【図12】図11を線12- 12から見た全体的な簡略
図である。
【図13】図8の小型虚像表示装置を組み込んだ別の携
帯通信受信機の斜視図である。
【図14】図13を線14- 14から見た全体的な簡略
図である。
【図15】図11の携帯通信受信機のオペレータから見
た典型的なビューを示す透視図である。
【図16】発光ダイオードのプッシュプル・アレーの概
略図である。
【図17】図16のアレーの駆動回路の一部のブロック
図である。
【図18】図16のアレーの駆動回路の別の部分を示
す。
【図19】図16のアレーおよび電子装置に組み込んだ
図17および図18のドライバを示す。
【符号の説明】
10 半導体チップ 11 主表面 12 発光デバイス 13 中央部分 15 水平導線 17 垂直導線 20 外部接続/実装パッド 25 窓枠基板 26 主表面 27 中央光路 30 実装パッド 31 導線 33 接続パッド 40 窓枠基板 41 中央光路 42 主表面 43 導線 45 接続パッド 50 光電子パッケージ 55 実装基板 56,58 バンプ 57 制御回路 59 接続ピン 60 レンズ 62 透過性材料 63 封入材料 65 小型虚像表示装置 66 像生成装置 67 領域 70 固定光学系 71 コヒーレント・バンドル 73 レンズ系 75 第1表面 76 第2表面 77 眼 78 ビューイング開口部 80 導波管虚像表示装置 81 像生成装置 82 光導波管 83,84,85,86 辺 87,88,89 回析レンズ 90 小型虚像表示装置 91 光導波管 92 像生成装置 93 第1辺 94,96,98 回析レンズ 95 第2辺 97 第3辺 100 携帯通信受信機 101 ハンドヘルド・マイクロホン 102 小型虚像表示装置 105 制御パネル 106 虚像表示装置 107 プッシュ・ツー・トーク・スイッチ 108 ヴォイス・ピックアップ 120 固定光学系 121 像生成装置 122 ビューイング開口部 125 ビュー 210 発光ダイオードのプッシュプル・アレー 212,213,214,215,216 行導線 220,221,222,223 列導線 230 列駆動回路 231 9ビット・カウンタ 232 論理回路,列ドライバ(図19) 233 第1論理ゲート 234,235 論理ゲート 236 P形ドライバ 237 N形ドライバ 238 出力端子 240 行駆動回路 241,242 2入力ゲート 243,244 P形ドライバ 245,246 N形ドライバ 247 出力端子 248 データ入力端子 249 通信装置 250 駆動回路 252 RAM
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 33/00 L M N J

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 集積光電子パッケージであって:発光デ
    バイス(12)のアレーが上部に形成され、これが共に
    動作して完全な実像を生成する半導体チップ(10)で
    あって、前記発光デバイス(12)は、行および列状に
    配置されて前記実像のすべての画素を確定し、前記半導
    体チップ(10)の外側端部に隣接する接続/実装パッ
    ド(20)に動作可能な形で接続される、半導体チップ
    (10);前記半導体チップによって生成される前記実
    像と実質的に同一の広がりを有する中央透過光路(2
    7)、および前記中央光路(27)の周囲の表面(2
    6)の上に形成される実装パッド(30)を確定する窓
    枠基板(25)であって、前記チップ(10)上の前記
    接続/実装パッド(20)は、前記基板(25)上の前
    記実装パッド(30)とバンプ接合される窓枠基板(2
    5);前記窓枠基板(25)上の端子(33)および前
    記実装パッド(30)を介して、前記発光デバイス(1
    2)と接続される複数の駆動回路(57);および、 前記基板(25)の、前記中央光路の上で、前記半導体
    チップ(10)と反対の側に取り付けられて、前記実像
    を受け取って拡大し、容易に見ることができる虚像を作
    るレンズ系(60);によって構成されることを特徴と
    する集積光電子パッケージ。
  2. 【請求項2】 集積光電子パッケージであって:主表面
    (11)を有し、前記主表面(11)の中央部分(1
    3)の上に、発光デバイス(12)のアレーが形成され
    て、これが共に動作して完全な実像を生成する半導体チ
    ップ(10)であって、前記発光デバイス(12)はそ
    れぞれ、前記発光デバイス(12)を活動化する第1お
    よび第2電極を有し、前記半導体チップ(10)はさら
    に、その外側端部に隣接し、前記主表面(11)の前記
    中央部分(13)の外側にあたる位置に、外部接続/実
    装パッド(20)を有して、前記発光デバイス(12)
    の前記第1電極が、第1の複数の前記外部接続/実装パ
    ッド(20)と接続され、前記発光デバイス(12)の
    前記第2電極が、第2の複数の前記外部接続/実装パッ
    ド(20)と接続される、半導体チップ(10);主表
    面(26)を有し、前記半導体チップ(10)の前記主
    表面(11)の前記中央部分(13)における前記実像
    と実質的に同一の広がりを有する中央透過光路27を確
    定する窓枠基板(25)であって、前記窓枠基板25は
    さらに、内部に形成された複数の導線(31)を有し、
    前記導線はそれぞれ、前記中央光路27の端部に隣接す
    る実装パッド(20)から、前記窓枠基板(25)の前
    記主表面(26)上の接続パッド(33)へと伸び、前
    記半導体チップ(10)の前記主表面(11)は、前記
    窓枠基板(25)の前記主表面(26)の上に実装され
    て、前記第1および第2の複数の外部接続/実装パッド
    20は、前記窓枠基板(25)の前記実装パッド(3
    0)と電気的に接触し、前記半導体チップ(10)の前
    記主表面(11)の前記中央部分(13)における前記
    実像は、前記窓枠基板(25)の前記主表面(26)内
    の前記中央光路(27)と軸方向に位置合わせされて、
    前記光路と同一の広がりを有する、窓枠基板(25);
    および、 データ入力端子を有し、さらに前記発光デバイス(1
    2)の前記第1および第2端子と接続される制御信号出
    力端子を有して、前記発光デバイス(12)を活動化し
    て、前記データ入力端子に入力されるデータ信号に従っ
    て実像を生成する、複数の駆動回路および制御回路(5
    7);によって構成されることを特徴とする集積光電子
    パッケージ。
  3. 【請求項3】 集積光電子パッケージであって:主表面
    (11)を有し、前記主表面(11)の上に複数の発光
    デバイス(12)が形成された半導体チップ(10)で
    あって、前記発光デバイス(12)はそれぞれ、前記発
    光デバイス(12)を活動化する第1および第2電極を
    有し、前記発光デバイス(12)は、行および列状に配
    置され、活動化されたときに、共に動作して前記主表面
    (11)の中央部分(13)に完全な実像を生成する複
    数の画素を確定し、前記半導体チップ(10)はさら
    に、その外側端部に隣接し、前記主表面(11)の前記
    中央部分(13)の外側にあたる位置に、外部接続/実
    装パッド(20)を有して、前記発光デバイス(12)
    の前記第1電極は、第1の複数の前記外部接続/実装パ
    ッド(20)と接続されて画素の行を確定し、前記発光
    デバイス(12)の前記第2電極は、第2の複数の前記
    外部接続/実装パッド(20)と接続されて画素の列を
    確定する、半導体チップ;主表面(26)を有し、前記
    半導体チップ(10)の前記主表面(11)の前記中央
    部分(13)における前記実像と実質的に同一の広がり
    を有する中央透過光路(27)を確定する窓枠基板(2
    5)であって、前記窓枠基板(25)はさらに、内部に
    形成された複数の導線(13)を有し、前記各導線は、
    前記中央光路(27)の端部に隣接する実装パッド(3
    0)から、前記窓枠基板(25)の前記主表面(26)
    上の接続パッド(33)へと伸び、前記半導体チップ
    (10)の前記主表面(11)は、前記窓枠基板(2
    5)の前記主表面(26)の上に実装されて、前記第1
    および第2の複数の外部接続/実装パッド(20)は、
    前記窓枠基板(25)の前記実装パッド(30)と電気
    的に接触し、前記半導体チップ(10)の前記主表面
    (11)の前記中央部分(13)における前記実像は、
    前記窓枠基板(25)の前記主表面(26)内の前記中
    央光路(27)と軸方向に位置合わせされ、前記光路と
    同一の広がりを有する、窓枠基板(25);データ入力
    端子を有し、さらに前記発光デバイス(12)の前記第
    1および第2端子と接続されるように対応した制御信号
    端子を有して、前記発光デバイス(12)を活動化し
    て、前記データ入力端子に入力されるデータ信号に従っ
    て実像を生成する、複数の駆動回路および制御回路(5
    7);および、 向かい合う第1および第2の主表面を有する実装基板
    (55)であって、前記第1主表面の上の第1電気接続
    パッド、前記第2主表面の上の第2電気接続パッド、前
    記実装基板内の前記第1および第2電気接続パッド間に
    形成された電気接続を有し、前記複数の駆動回路および
    制御回路(57)は、前記実装基板(55)の前記第1
    表面の上に実装され、前記制御信号出力端子は、前記第
    1電気接続パッドと電気的に接触し、前記窓枠基板(2
    5)は、前記実装基板(55)の前記第2主表面の上に
    実装されて、前記第2電気接続パッドは、前記第1およ
    び第2の複数の外部接続/実装パッド33と電気的に接
    触する、実装基板(55);によって構成されることを
    特徴とする集積光電子パッケージ。
  4. 【請求項4】 視覚表示装置を有する携帯電子装置であ
    って:データ出力端子を有する携帯電子装置(10
    0);およびビューイング開口部(122)を有する小
    型虚像表示装置(102)であって、前記表示装置(1
    02)は、動作可能な形で前記電子装置(100)に付
    着され、また主表面(11)を有する半導体チップ(1
    0)であって、前記主表面(11)の上に複数の発光デ
    バイス(12)が形成された半導体チップ(10)を含
    み、前記発光デバイス(12)はそれぞれ、前記発光デ
    バイス(12)を活動化する第1および第2電極を有
    し、前記発光デバイス(12)は、行および列状に配置
    され、活動化されたときに、共に動作して前記主表面
    (11)の中央部分(13)に完全な実像を生成する複
    数の画素を確定し、前記半導体チップ(10)はさら
    に、その外側に隣接して、および前記主表面(11)の
    前記中央部分(13)の外側に、外部接続/実装パッド
    (20)を有し、前記発光デバイス(12)の前記第1
    電極は、第1の複数の前記外部接続/実装パッド(2
    0)に接続されて画素の行を確定し、前記発光デバイス
    (12)の前記第2電極は、第2の複数の前記外部接続
    /実装パッド(20)と接続されて画素の列を確定す
    る、小型虚像表示装置;主表面(26)を有し、前記半
    導体チップ(10)の前記主表面(11)の前記中央部
    分(13)における前記実像と実質的に同一の広がりを
    有する中央透過光路(27)を確定する窓枠基板(2
    5)であって、前記窓枠基板(25)はさらに、内部に
    形成された複数の導線を有し、前記各導線は、前記中央
    光路(27)の端部に隣接する実装パッド(30)か
    ら、前記窓枠基板(25)の前記主表面(26)上の接
    続パッド(33)へと伸び、前記半導体チップ(10)
    の前記主表面(11)は、前記窓枠基板(25)の前記
    主表面(26)の上に実装され、前記第1および第2の
    複数の外部接続/実装パッド(20)は、前記窓枠基板
    (25)の前記実装パッド(30)と電気的に接触し、
    前記半導体チップ(10)の前記主表面(11)の前記
    中央部分(13)における前記実像は、前記窓枠基板
    (25)の前記主表面(25)内の前記中央光路(2
    7)と軸方向に位置合わせされ、前記中央光路と同一の
    広がりを有する、窓枠基板(25);前記電子装置の前
    記データ出力端子と接続されるデータ入力端子を有し、
    さらに前記発光デバイス(12)の前記第1および第2
    端子と接続されるのに対応した制御信号出力端子を有し
    て、前記発光デバイス(12)を活動化して、前記デー
    タ入力端子に入力されるデータ信号に従って実像を生成
    する、複数の駆動回路および制御回路(57);およ
    び、 向かい合う第1および第2の主表面を有する実装基板
    (55)であって、前記第1主表面上の第1電気接続パ
    ッド,前記第2主表面上の第2電気接続パッド、および
    前記実装基板内の前記第1および第2電気接続パッド間
    に形成される電気接続を有し、前記複数の駆動回路およ
    び制御回路(57)は、前記実装基板(55)の前記第
    1表面の上に実装されて、前記制御信号出力端子は、前
    記第1電気接続パッドと電気的に接触し、前記窓枠基板
    (25)は、前記実装基板(55)の前記第2主表面の
    上に実装され、前記第2電気接続パッドは、前記第1お
    よび第2の複数の外部接続/実装パッドと電気的に接触
    する、実装基板(55);および、 前記電子装置(100)内に実装され、前記窓枠基板
    (25)内の前記中央光路(27)と軸方向に位置合わ
    せされて、前記開口部(122)を確定し、前記発光デ
    バイス(12)の前記アレーによって生成される前記実
    像から虚像を提供する光学系(60)であって、前記実
    像は、前記電子装置(100)のオペレータが容易に見
    ることができる光学系(60);によって構成されるこ
    とを特徴とする携帯電子装置。
  5. 【請求項5】 光電子パッケージを製造する方法であっ
    て:半導体チップ(10)の主表面(11)の上に複数
    の発光デバイス(12)を形成する段階であって、前記
    発光デバイス(12)はそれぞれ、前記発光デバイス
    (12)を活動化する第1および第2電極を有し、前記
    発光デバイス(12)は、行および列状に配置され、活
    動化されたときに、共に動作して前記主表面(11)の
    中央部分(13)に完全な実像を生成する複数の画素を
    確定する段階であって、前記半導体チップ(10)はさ
    らに、その外側端部に隣接し、前記主表面(11)の前
    記中央部分(13)の外側にあたる位置に、外部接続/
    実装パッド(20)を有するように形成され、前記発光
    デバイス(12)の前記第1電極は、第1の複数の前記
    外部接続/実装パッド(20)と接続されて画素の行を
    確定し、前記発光デバイス(12)の前記第2電極は、
    第2の複数の前記外部接続/実装パッド(20)と接続
    されて画素の列を確定する段階;主表面(26)を有し
    て、前記半導体チップ(10)の前記主表面(11)の
    前記中央部分(13)における実像と実質的に同一の広
    がりを有する中央透過光路(27)を確定する窓枠基板
    (25)を形成し、前記窓枠基板(25)内に複数の導
    線(31)を、前記中央光路(27)の端部に隣接して
    複数の実装パッド(30)を、および前記窓枠基板(2
    5)の前記主表面(26)の上に複数の接続パッド(3
    3)を形成して、各導線(31)が、接続パッド(3
    3)を実装パッド(30)と接続する段階;前記半導体
    チップ(10)の前記主表面(11)を、前記窓枠基板
    (25)の前記主表面(26)の上に実装して、前記半
    導体チップ(10)の前記第1および第2の複数の外部
    接続/実装パッド(20)が、前記窓枠基板(25)の
    前記実装パッド(30)と電気的に接触し、前記半導体
    チップ(10)の前記主表面(11)の前記中央部分
    (13)における前記実像が、前記窓枠基板(25)の
    前記主表面(26)内の前記中央光路(27)と軸方向
    に位置合わせされる段階;データ入力端子を有し、さら
    に前記発光デバイス(12)の前記第1および第2端子
    と接続されるように対応した制御信号出力端子を有する
    複数の駆動回路および制御回路を形成して、前記発光デ
    バイス(12)を活動化して、前記データ入力端子に入
    力されるデータ信号に従って実像を生成する段階;向か
    い合う第1および第2の主表面を有する実装基板(5
    5)を形成し、前記第1主表面の上に第1電気接続パッ
    ドを形成し、前記第2主表面の上に第2電気接続パッド
    を形成し、前記実装基板(55)内の前記第1および第
    2電気接続パッド間に電気接続を形成する段階;前記実
    装基板(55)の前記第1表面の上に、複数の駆動回路
    および制御回路(57)を実装し、前記制御信号出力端
    子は、前記第1電気接続パッドと電気的に接触する段
    階;および、 前記窓枠基板(25)を前記実装基板(55)の前記第
    2主表面の上に実装して、前記第2電気接続パッドは、
    前記第1および第2の複数の外部接続/実装パッド(3
    3)と電気的に接触する段階;によって構成されること
    を特徴とする製造方法。
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