JPH0732851B2 - 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 - Google Patents
高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙Info
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- JPH0732851B2 JPH0732851B2 JP3047146A JP4714691A JPH0732851B2 JP H0732851 B2 JPH0732851 B2 JP H0732851B2 JP 3047146 A JP3047146 A JP 3047146A JP 4714691 A JP4714691 A JP 4714691A JP H0732851 B2 JPH0732851 B2 JP H0732851B2
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- JP
- Japan
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- glass fiber
- filter paper
- pressure loss
- filter
- maximum pore
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工場のクリ
ーンルーム等に用いられる空気清浄用の高性能エアフィ
ルタ用ガラス繊維濾紙に関する。
ーンルーム等に用いられる空気清浄用の高性能エアフィ
ルタ用ガラス繊維濾紙に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルーム、クリーンベン
チ、無菌室など高度な清浄環境を要求される分野、ある
いは原子炉などから放射される放射性超微粉塵などを除
去する必要のある分野に、高性能エアフィルタ用ガラス
濾紙が用いられている。高性能エアフィルタ用ガラス濾
紙としては、粒径０．３μm ＤＯＰ（ジオクチルフタレ
ート）粒子を９９．９７% 以上捕集するＨＥＰＡ（高性
能エアフィルタ）濾紙と、粒径０．１μm のＤＯＰ粒子
を対象としＨＥＰＡ以上の捕集効率を持つＵＬＰＡ（超
高性能エアフィルタ）用濾紙がある。これら濾紙につい
て要求されるクリーンルーム等の清浄度に応じて、各種
捕集効率の濾紙が濾材メーカーにより準備されている。
捕集効率を上げるためには、繊維径のより小さい極細ガ
ラス繊維の配合率を上げることで対処できるが、それに
伴い圧力損失も上昇し、ＨＥＰＡよりＵＬＰＡ、またＵ
ＬＰＡの中でも捕集効率の要求度の高くなるほど圧力損
失もまた上昇しているのが現状である。ちなみに現在実
用化されている高性能エアフィルタ用ガラス繊維の圧力
損失は、面風速５．３３ｃｍ／秒の条件で２４〜６３ｍ
ｍＨ2 Ｏの範囲にある。圧力損失６０ｍｍＨ2 Ｏ以上の
ＵＬＰＡ用濾紙は、１６メガビットＬＳＩを製造する際
に必要なクリーンルームの空気清浄度に充分対応できる
と言われているが、圧力損失が高いことによる運転負荷
が大きいため、省エネの目的で圧力損失の低減が望まれ
ている。またＨＥＰＡ用濾紙においては、ＭＩＬ規格で
規定される捕集効率９９．９７% を満足させ、かつ圧力
損失が２４ｍｍＨ2 Ｏ以下のものはまだ実用化されてい
ない。
チ、無菌室など高度な清浄環境を要求される分野、ある
いは原子炉などから放射される放射性超微粉塵などを除
去する必要のある分野に、高性能エアフィルタ用ガラス
濾紙が用いられている。高性能エアフィルタ用ガラス濾
紙としては、粒径０．３μm ＤＯＰ（ジオクチルフタレ
ート）粒子を９９．９７% 以上捕集するＨＥＰＡ（高性
能エアフィルタ）濾紙と、粒径０．１μm のＤＯＰ粒子
を対象としＨＥＰＡ以上の捕集効率を持つＵＬＰＡ（超
高性能エアフィルタ）用濾紙がある。これら濾紙につい
て要求されるクリーンルーム等の清浄度に応じて、各種
捕集効率の濾紙が濾材メーカーにより準備されている。
捕集効率を上げるためには、繊維径のより小さい極細ガ
ラス繊維の配合率を上げることで対処できるが、それに
伴い圧力損失も上昇し、ＨＥＰＡよりＵＬＰＡ、またＵ
ＬＰＡの中でも捕集効率の要求度の高くなるほど圧力損
失もまた上昇しているのが現状である。ちなみに現在実
用化されている高性能エアフィルタ用ガラス繊維の圧力
損失は、面風速５．３３ｃｍ／秒の条件で２４〜６３ｍ
ｍＨ2 Ｏの範囲にある。圧力損失６０ｍｍＨ2 Ｏ以上の
ＵＬＰＡ用濾紙は、１６メガビットＬＳＩを製造する際
に必要なクリーンルームの空気清浄度に充分対応できる
と言われているが、圧力損失が高いことによる運転負荷
が大きいため、省エネの目的で圧力損失の低減が望まれ
ている。またＨＥＰＡ用濾紙においては、ＭＩＬ規格で
規定される捕集効率９９．９７% を満足させ、かつ圧力
損失が２４ｍｍＨ2 Ｏ以下のものはまだ実用化されてい
ない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、従来
のＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ用ガラス繊維濾紙の捕集効率を維
持しながら、圧力損失が従来品に比べ４〜８ｍｍＨ2 Ｏ
低い高性能エアフィルタ用濾紙を提供することにある。
のＨＥＰＡ、ＵＬＰＡ用ガラス繊維濾紙の捕集効率を維
持しながら、圧力損失が従来品に比べ４〜８ｍｍＨ2 Ｏ
低い高性能エアフィルタ用濾紙を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、圧力損失
および捕集効率のフィルタ特性と濾紙物性の関係につい
て鋭意検討した結果、最大孔径で示される濾材内部の細
孔径サイズにより、上記フィルタ特性が大いに影響を受
けるという点に着目し、本発明に至った。
および捕集効率のフィルタ特性と濾紙物性の関係につい
て鋭意検討した結果、最大孔径で示される濾材内部の細
孔径サイズにより、上記フィルタ特性が大いに影響を受
けるという点に着目し、本発明に至った。
【０００５】本発明の濾紙についてさらに詳しく説明す
る。
る。
【０００６】本発明でいう高性能エアフィルタ用ガラス
繊維濾紙とは、０．３μm ＤＯＰ粒子の捕集効率が面風
速５．３３ｃｍ／秒の条件下で９９．９７％以上の性能
を示すガラス繊維濾紙を意味し、通常ＨＥＰＡ及びＵＬ
ＰＡと呼ばれるエアフィルタ用ガラス繊維濾紙を意味す
るものである。
繊維濾紙とは、０．３μm ＤＯＰ粒子の捕集効率が面風
速５．３３ｃｍ／秒の条件下で９９．９７％以上の性能
を示すガラス繊維濾紙を意味し、通常ＨＥＰＡ及びＵＬ
ＰＡと呼ばれるエアフィルタ用ガラス繊維濾紙を意味す
るものである。
【０００７】ガラス繊維濾紙の最大孔径は、主に液体フ
ィルター、バッテリーセパレーター関係の最大孔径の測
定に使用される細孔サイズ／サイズ分布測定装置を用
い、溶媒としてポロフィル（商品名； Coulter Electro
nics社) を用いて測定される。
ィルター、バッテリーセパレーター関係の最大孔径の測
定に使用される細孔サイズ／サイズ分布測定装置を用
い、溶媒としてポロフィル（商品名； Coulter Electro
nics社) を用いて測定される。
【０００８】本発明では上記方法で測定される最大孔径
Ｐm が、Ｐc ＝−０．１３５×ΔＰ＋１５で計算される
最大孔径に対し、Ｐm ≦Ｐc であることが必要であり、
Ｐm がＰc と比較し、低い程性能が向上する。
Ｐm が、Ｐc ＝−０．１３５×ΔＰ＋１５で計算される
最大孔径に対し、Ｐm ≦Ｐc であることが必要であり、
Ｐm がＰc と比較し、低い程性能が向上する。
【０００９】前記Ｐc ＝−０．１３５×ΔＰ＋１５とい
う式は、市販の高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙お
よび圧力損失を極細ガラス繊維の配合量を変え作成した
濾紙について分析した結果、見出した式である。すなわ
ちガラス繊維濾紙の圧力損失と最大孔径は逆比例の関係
にあり、圧力損失が高くなる程、最大孔径は小さくな
り、また同一圧力損失では最大孔径が小さい程、捕集効
率が向上することを見出した。図１に示すように、従来
品の分析結果では、実測される最大孔径Ｐm は圧力損失
から計算されるＰc に対し、Ｐm ＞Ｐc の関係にあっ
た。
う式は、市販の高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙お
よび圧力損失を極細ガラス繊維の配合量を変え作成した
濾紙について分析した結果、見出した式である。すなわ
ちガラス繊維濾紙の圧力損失と最大孔径は逆比例の関係
にあり、圧力損失が高くなる程、最大孔径は小さくな
り、また同一圧力損失では最大孔径が小さい程、捕集効
率が向上することを見出した。図１に示すように、従来
品の分析結果では、実測される最大孔径Ｐm は圧力損失
から計算されるＰc に対し、Ｐm ＞Ｐc の関係にあっ
た。
【００１０】図２は、抄造条件を変えて実際の抄紙機で
抄造したエアフィルタ用濾紙について最大孔径と圧力損
失、捕集効率の関係を見たものである。本発明の最大孔
径Ｐ m ＜Ｐc であるガラス繊維濾紙はその差が大きい
程、同一圧力損失における捕集効率が上昇することが判
った。また、Ｐm ＜Ｐc であるガラス繊維濾紙は圧力損
失２６ｍｍＨ2 Ｏにおいて０．３μm ＤＯＰ粒子の捕集
効率がＨＥＰＡクラスに必要な９９．９７% 以上を満た
しているのに対し、Ｐm ＞Ｐc の濾紙は９９．９７% 以
下となっている。０．１μm のＤＯＰ粒子を用い、ＵＬ
ＰＡ用濾紙で行っても同様のことが観察できる。
抄造したエアフィルタ用濾紙について最大孔径と圧力損
失、捕集効率の関係を見たものである。本発明の最大孔
径Ｐ m ＜Ｐc であるガラス繊維濾紙はその差が大きい
程、同一圧力損失における捕集効率が上昇することが判
った。また、Ｐm ＜Ｐc であるガラス繊維濾紙は圧力損
失２６ｍｍＨ2 Ｏにおいて０．３μm ＤＯＰ粒子の捕集
効率がＨＥＰＡクラスに必要な９９．９７% 以上を満た
しているのに対し、Ｐm ＞Ｐc の濾紙は９９．９７% 以
下となっている。０．１μm のＤＯＰ粒子を用い、ＵＬ
ＰＡ用濾紙で行っても同様のことが観察できる。
【００１１】ガラス繊維濾紙の最大孔径ＰｍをＰｃより
小さくする方法としては各種の方法が考えられ、特に１
つの方法に限定されるものでないが、本発明のガラス繊
維濾紙で特定する最大孔径レベルに到達するには原料配
合、とりわけ極細ガラス繊維とチョップドストランド繊
維の配合率を一定範囲内におさめることが極めて有効で
あることを本発明者は見出した。すなわち、ガラス繊維
の組成において繊維径１０μｍ以下のチョップドストラ
ンド繊維の含有率が１０〜５０重量％、極細ガラス繊維
の含有率が９０〜５０重量％である高性能エアフィルタ
用濾紙は本発明の有利な実施形態である。通常、濾紙を
構成する極細ガラス繊維の繊維径を細くすることによ
り、最大孔径Ｐｍを低めること、またそれによって捕集
効率を上げることが可能である。しかるに繊維径をたん
に細くすることは濾紙の圧力損失の増大をまねいてしま
い、本発明のＰｍ≦Ｐｃを満足させる濾紙を得る方法と
しては不適当である。本発明では、強度保持の目的で通
常数％配合されているチョップドガラス繊維の割合を規
定値以上に高め、これにより圧力損失の増大を防ぐこと
ができかつ最大孔径を小さくし、Ｐｍ≦Ｐｃの濾紙を得
ることができる。チョップドガラス繊維の割合が高くな
る程、繊維径の細い極細ガラス繊維を配合することがで
きるので、最大孔径は小さくなり、フィルタ性能は向上
する。Ｐ ｍ ≦Ｐ ｃ にするためには、チョップドストラン
ドガラス繊維の配合率は１０％以上にすることが必要で
ある。さらに好ましくは１５％以上である。
小さくする方法としては各種の方法が考えられ、特に１
つの方法に限定されるものでないが、本発明のガラス繊
維濾紙で特定する最大孔径レベルに到達するには原料配
合、とりわけ極細ガラス繊維とチョップドストランド繊
維の配合率を一定範囲内におさめることが極めて有効で
あることを本発明者は見出した。すなわち、ガラス繊維
の組成において繊維径１０μｍ以下のチョップドストラ
ンド繊維の含有率が１０〜５０重量％、極細ガラス繊維
の含有率が９０〜５０重量％である高性能エアフィルタ
用濾紙は本発明の有利な実施形態である。通常、濾紙を
構成する極細ガラス繊維の繊維径を細くすることによ
り、最大孔径Ｐｍを低めること、またそれによって捕集
効率を上げることが可能である。しかるに繊維径をたん
に細くすることは濾紙の圧力損失の増大をまねいてしま
い、本発明のＰｍ≦Ｐｃを満足させる濾紙を得る方法と
しては不適当である。本発明では、強度保持の目的で通
常数％配合されているチョップドガラス繊維の割合を規
定値以上に高め、これにより圧力損失の増大を防ぐこと
ができかつ最大孔径を小さくし、Ｐｍ≦Ｐｃの濾紙を得
ることができる。チョップドガラス繊維の割合が高くな
る程、繊維径の細い極細ガラス繊維を配合することがで
きるので、最大孔径は小さくなり、フィルタ性能は向上
する。Ｐ ｍ ≦Ｐ ｃ にするためには、チョップドストラン
ドガラス繊維の配合率は１０％以上にすることが必要で
ある。さらに好ましくは１５％以上である。
【００１２】本発明の高性能エアフィルタ用ガラス繊維
濾紙は、極細ガラス繊維およびチョップドガラス繊維の
他にバインダーを含有している。このバインダーは有機
系バインダーであり、その量は１０% 以下、好ましくは
７% 以下であり、必要強度が維持される範囲内で少ない
程好ましい。バインダーの量が増加するにつれた、圧力
損失は上昇し、捕集効率を低下させる。
濾紙は、極細ガラス繊維およびチョップドガラス繊維の
他にバインダーを含有している。このバインダーは有機
系バインダーであり、その量は１０% 以下、好ましくは
７% 以下であり、必要強度が維持される範囲内で少ない
程好ましい。バインダーの量が増加するにつれた、圧力
損失は上昇し、捕集効率を低下させる。
【００１３】
【作用】エアフィルタの最大孔径を小さくすることによ
る捕集効率の上昇の作用機構についてはこれまで理論づ
けされてはいないが、次の様に推定される。
る捕集効率の上昇の作用機構についてはこれまで理論づ
けされてはいないが、次の様に推定される。
【００１４】極細ガラス繊維を使用した高性能エアフィ
ルタ用ガラス繊維濾紙の捕集機構は、濾紙を構成するガ
ラス繊維の充填のばらつきに関係していると言われてい
る。従って、充填のばらつきが大きければ、これに伴っ
て濾紙内で形成される細孔のばらつきが大きくなり、最
大孔径が大きくなり捕集効率は低下する。最大孔径が小
さくなるように細孔のばらつきを減少させる方向にコン
トロールすれば、繊維の充填は均一になりフィルタ性能
は向上すると考えられる。チョップドストランドの配合
割合の増加は、より繊維径の細い極細ガラス繊維の使用
割合増加による細孔全体のサイズの減少と同時に、充填
の均一性に影響していると考える。従来エアフィルタの
最大孔径については注目されていないかったが、これを
制御することにより捕集効果が有効に発揮され、その結
果フィルタ性能の向上につながると考える。
ルタ用ガラス繊維濾紙の捕集機構は、濾紙を構成するガ
ラス繊維の充填のばらつきに関係していると言われてい
る。従って、充填のばらつきが大きければ、これに伴っ
て濾紙内で形成される細孔のばらつきが大きくなり、最
大孔径が大きくなり捕集効率は低下する。最大孔径が小
さくなるように細孔のばらつきを減少させる方向にコン
トロールすれば、繊維の充填は均一になりフィルタ性能
は向上すると考えられる。チョップドストランドの配合
割合の増加は、より繊維径の細い極細ガラス繊維の使用
割合増加による細孔全体のサイズの減少と同時に、充填
の均一性に影響していると考える。従来エアフィルタの
最大孔径については注目されていないかったが、これを
制御することにより捕集効果が有効に発揮され、その結
果フィルタ性能の向上につながると考える。
【００１５】
【実施例】実施例１ 平均繊維径１μｍ以下の極細ガラス繊維９０重量% 、平
均繊維径６μｍのチョップドガラス繊維１０重量% をパ
ルパーでｐＨ３．５の酸性水を用い、濃度０．５％で１
０分間離解した。次いでインレット濃度０．０５重量%
で抄紙機にて抄紙した。アクリル系ラテックス（ＨＡ−
１６、製造元：日本アクリル）を湿紙に付与し、その後
ドライヤーで乾燥し、後記表１に記載の通りＰm ＜Ｐc
である目付６９ｇ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維濾紙を
得た。
均繊維径６μｍのチョップドガラス繊維１０重量% をパ
ルパーでｐＨ３．５の酸性水を用い、濃度０．５％で１
０分間離解した。次いでインレット濃度０．０５重量%
で抄紙機にて抄紙した。アクリル系ラテックス（ＨＡ−
１６、製造元：日本アクリル）を湿紙に付与し、その後
ドライヤーで乾燥し、後記表１に記載の通りＰm ＜Ｐc
である目付６９ｇ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維濾紙を
得た。
【００１６】実施例２ 実施例１においてチョップドガラス繊維の配合率を３０
重量% とし、圧力損失が同レベルになるように平均繊維
径１μm 以下の極細ガラス繊維７０重量% 中の平均繊維
径０．６５μm のガラス繊維成分を増加させて調節した
以外は実施例１と同様にして後記表１に記載の通りＰm
＜Ｐc である目付７１g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維
濾紙を得た。
重量% とし、圧力損失が同レベルになるように平均繊維
径１μm 以下の極細ガラス繊維７０重量% 中の平均繊維
径０．６５μm のガラス繊維成分を増加させて調節した
以外は実施例１と同様にして後記表１に記載の通りＰm
＜Ｐc である目付７１g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維
濾紙を得た。
【００１７】実施例３ 実施例１においてチョップドガラス繊維の配合率を４５
重量% とし、圧力損失が同レベルになるように平均繊維
径１μm 以下の極細ガラス繊維５５重量% 中の平均繊維
径０．６５μm のガラス繊維成分を増加させて調節した
以外は実施例１と同様にして後記表１に記載の通りＰm
＜Ｐc である目付７０g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維
濾紙を得た。
重量% とし、圧力損失が同レベルになるように平均繊維
径１μm 以下の極細ガラス繊維５５重量% 中の平均繊維
径０．６５μm のガラス繊維成分を増加させて調節した
以外は実施例１と同様にして後記表１に記載の通りＰm
＜Ｐc である目付７０g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維
濾紙を得た。
【００１８】実施例４ 実施例１において平均繊維径１μm 以下の極細ガラス繊
維９０重量% 中の平均繊維径０．３２μm の極細ガラス
繊維を５重量% 配合した以外は実施例１と同様にして後
記表１に記載の通りＰm ＜Ｐcである目付７３g ／ｍ2
のＵＬＰＡ用ガラス繊維濾紙を得た。
維９０重量% 中の平均繊維径０．３２μm の極細ガラス
繊維を５重量% 配合した以外は実施例１と同様にして後
記表１に記載の通りＰm ＜Ｐcである目付７３g ／ｍ2
のＵＬＰＡ用ガラス繊維濾紙を得た。
【００１９】実施例５ 実施例１においてチョップドガラス繊維の配合率を３０
重量% とし、平均繊維径１μm 以下の極細ガラス繊維７
０重量% 中の平均繊維径０．３２μm のガラス繊維成分
を実施例４と圧力損失が同レベルになるように増加させ
て調節した以外は実施例１と同様にして後記表１に記載
の通りＰm＜Ｐc である目付７４g ／ｍ 2 のＵＬＰＡ用
ガラス繊維濾紙を得た。
重量% とし、平均繊維径１μm 以下の極細ガラス繊維７
０重量% 中の平均繊維径０．３２μm のガラス繊維成分
を実施例４と圧力損失が同レベルになるように増加させ
て調節した以外は実施例１と同様にして後記表１に記載
の通りＰm＜Ｐc である目付７４g ／ｍ 2 のＵＬＰＡ用
ガラス繊維濾紙を得た。
【００２０】比較例 比較例１、２および３は実施例１〜３に、比較例４は実
施例４、５に対応するものである。
施例４、５に対応するものである。
【００２１】比較例１ 実施例１において、１μm 以下の極細ガラス繊維を１０
０重量% とし、圧力損失が同レベルになるよう平均繊維
径０．６５μm のガラス繊維成分を減少させて調節した
以外は実施例１と同様にして後記表１に記載の通りＰm
＞Ｐc である目付６８g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維
濾紙を得た。
０重量% とし、圧力損失が同レベルになるよう平均繊維
径０．６５μm のガラス繊維成分を減少させて調節した
以外は実施例１と同様にして後記表１に記載の通りＰm
＞Ｐc である目付６８g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維
濾紙を得た。
【００２２】比較例２ 実施例１においてチョップドガラス繊維の配合率を３重
量% とし、平均繊維径１μm 以下の極細ガラス繊維９７
重量% とし、圧力損失が同レベルになるよう調節した以
外は実施例１と同様にして後記表１に記載の通りＰm ＞
Ｐc である目付７０g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維濾
紙を得た。
量% とし、平均繊維径１μm 以下の極細ガラス繊維９７
重量% とし、圧力損失が同レベルになるよう調節した以
外は実施例１と同様にして後記表１に記載の通りＰm ＞
Ｐc である目付７０g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維濾
紙を得た。
【００２３】比較例３ 実施例１において、配合率をチョップドガラス繊維を６
０重量% とし、極細ガラス繊維を４０重量% とし、圧力
損失が同レベルになるよう調節した以外は実施例１と同
様にして後記表１に記載の通りＰm ＞Ｐc である目付６
８g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維濾紙を得た。
０重量% とし、極細ガラス繊維を４０重量% とし、圧力
損失が同レベルになるよう調節した以外は実施例１と同
様にして後記表１に記載の通りＰm ＞Ｐc である目付６
８g ／ｍ2 のＨＥＰＡ用ガラス繊維濾紙を得た。
【００２４】比較例４ 実施例４において、チョップドガラス繊維を３重量% と
し、極細ガラス繊維を９７重量% とし、圧力損失が同レ
ベルになるよう調節した以外は実施例４と同様にして後
記表１に記載の通りＰm ＞Ｐc である目付７２g ／ｍ2
のＵＬＰＡ用ガラス繊維濾紙を得た。
し、極細ガラス繊維を９７重量% とし、圧力損失が同レ
ベルになるよう調節した以外は実施例４と同様にして後
記表１に記載の通りＰm ＞Ｐc である目付７２g ／ｍ2
のＵＬＰＡ用ガラス繊維濾紙を得た。
【００２５】実施例１〜５、比較例１〜４の濾紙の分析
を下記の方法で行ない、結果を表１に示した。 （1) 最大孔径 Ｐmax Coulter Electronics 製コールターポロメータを使用
し、異なる場所で３点測定し、それらの平均を持って最
大孔径とした。
を下記の方法で行ない、結果を表１に示した。 （1) 最大孔径 Ｐmax Coulter Electronics 製コールターポロメータを使用
し、異なる場所で３点測定し、それらの平均を持って最
大孔径とした。
【００２６】(2) 圧力損失 自製の装置を用い有効面積１００ｃｍ2 の濾紙に面風速
５．３３ｃｍ／秒（＝Ｓ）で通風し、その時の圧力損失
を微差圧計で測定した。
５．３３ｃｍ／秒（＝Ｓ）で通風し、その時の圧力損失
を微差圧計で測定した。
【００２７】(3) ＤＯＰ捕集効率 ラスキンノズルで発生させた多分散ＤＯＰ粒子を含む空
気を、有効面積１００ｃｍ2 の濾紙に面風速で５．３３
ｃｍ／秒で通風した時のＤＯＰ捕集効率をリオン社製レ
ーザーパーティクルカウンターを使用し測定した。尚、
ＨＥＰＡ用ガラス繊維濾紙については０．３μm 、ＵＬ
ＰＡ用ガラス繊維濾紙については０．１μm のＤＯＰ粒
子について測定した。
気を、有効面積１００ｃｍ2 の濾紙に面風速で５．３３
ｃｍ／秒で通風した時のＤＯＰ捕集効率をリオン社製レ
ーザーパーティクルカウンターを使用し測定した。尚、
ＨＥＰＡ用ガラス繊維濾紙については０．３μm 、ＵＬ
ＰＡ用ガラス繊維濾紙については０．１μm のＤＯＰ粒
子について測定した。
【００２８】(4) 可燃物 ９２５±２５℃、１０分間電気炉にて加熱し、加熱前後
の重量差を加熱前重量で割り、百分率として求めた。
の重量差を加熱前重量で割り、百分率として求めた。
【００２９】(5) 引張強度 濾紙の縦方向および横方向より採取した２５ｍｍ幅の試
験片について、スパン長１００ｍｍ、引張速度１２．５
ｍｍ／分で定速引張試験機を用い測定した。
験片について、スパン長１００ｍｍ、引張速度１２．５
ｍｍ／分で定速引張試験機を用い測定した。
【００３０】(6) α値 濾紙のフィルタ性能の指標となるα値は、(2) と(3) の
測定値に基づき、次式より求めた。( α値の値が高い
程、同一圧力損失で高捕集効率を示す。)
測定値に基づき、次式より求めた。( α値の値が高い
程、同一圧力損失で高捕集効率を示す。)
【００３１】
【表１】
【００３２】
【効果】本発明は従来クリーンルーム用として用いられ
てきたＨＥＰＡおよびＵＬＰＡ用ガラス繊維濾紙につい
て、最大孔径を圧力損失との関係で規定値以下に制御す
ることでより低圧損、高捕集効率の新規なガラス繊維濾
紙を提供するものであり以下の効果が期待できる。 (1) 捕集効率を従来品と同一レベルにした場合、圧力損
失の低減が可能であり、クリーンルームに用いた場合、
クリーンルームの空気清浄度を落とすことなく、省エネ
ルギー、ファンの騒音低減に寄与する。 (2) 圧力損失を同一レベルにした場合、捕集効率は上昇
し、同一エネルギー消費量でクリーンルームの空気清浄
度を上げることができる。 (3) 従来品にくらべ、ほぼ同様のコストで製造できる。 (4) 強度が向上するため、濾紙の目付重量を下げること
ができ、フィルタ加工品中の濾紙の使用量を節減でき
る。
てきたＨＥＰＡおよびＵＬＰＡ用ガラス繊維濾紙につい
て、最大孔径を圧力損失との関係で規定値以下に制御す
ることでより低圧損、高捕集効率の新規なガラス繊維濾
紙を提供するものであり以下の効果が期待できる。 (1) 捕集効率を従来品と同一レベルにした場合、圧力損
失の低減が可能であり、クリーンルームに用いた場合、
クリーンルームの空気清浄度を落とすことなく、省エネ
ルギー、ファンの騒音低減に寄与する。 (2) 圧力損失を同一レベルにした場合、捕集効率は上昇
し、同一エネルギー消費量でクリーンルームの空気清浄
度を上げることができる。 (3) 従来品にくらべ、ほぼ同様のコストで製造できる。 (4) 強度が向上するため、濾紙の目付重量を下げること
ができ、フィルタ加工品中の濾紙の使用量を節減でき
る。
【００３３】以上に述べたように本発明の実用的価値は
極めて高く、半導体産業のみならず、クリーンルームを
使用する食品産業、医療産業等、他産業にも十分貢献す
るものである。
極めて高く、半導体産業のみならず、クリーンルームを
使用する食品産業、医療産業等、他産業にも十分貢献す
るものである。
【図１】図１は圧力損失の異なるガラス繊維濾紙につい
て圧力損失と最大孔径の関係を示したグラフである。
て圧力損失と最大孔径の関係を示したグラフである。
【図２】図２は最大孔径条件の異なるガラス繊維濾紙に
ついて圧力損失と捕集効率との関係を示すグラフであ
る。
ついて圧力損失と捕集効率との関係を示すグラフであ
る。
Claims (2)
- 【請求項１】 濾紙の最大孔径Ｐm が下記式（ａ）で計
算される最大孔径Ｐ c に対し、Ｐm ≦Ｐc の関係にある
ことを特徴とする高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾
紙。 Ｐc ＝ −０．１３５×ΔＰ＋１５ （ａ） Ｐc ：最大孔径（単位：μm ） ΔＰ：面風速５．３３ｃｍ／Ｓにおける圧力損失（ｍｍ
Ｈ2 Ｏ） - 【請求項２】 ガラス繊維の組成において、繊維径１０
μm 以下のチョップストランドガラス繊維の含有率が１
０〜５０重量% 、極細ガラス繊維の含有率が９０〜５０
重量% であることを特徴とする、請求項 1に記載の高性
能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3047146A JPH0732851B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3047146A JPH0732851B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04284803A JPH04284803A (ja) | 1992-10-09 |
| JPH0732851B2 true JPH0732851B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=12766964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3047146A Expired - Lifetime JPH0732851B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | 高性能エアフィルタ用ガラス繊維濾紙 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0732851B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4639419B2 (ja) * | 2000-02-04 | 2011-02-23 | 日本無機株式会社 | 高温用エアフィルタ用濾紙及びその製造方法 |
| JP6964033B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2021-11-10 | 北越コーポレーション株式会社 | エアフィルタ用濾材 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624418A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-10 | Nippon Muki Kk | 超高性能エアフイルタ−用ガラス繊維濾紙 |
| JPS6393316A (ja) * | 1986-10-07 | 1988-04-23 | Yoshimi Oshitari | 濾過層 |
| JPH07102293B2 (ja) * | 1989-03-24 | 1995-11-08 | 北越製紙株式会社 | 高性能エアーフィルター用ガラス繊維濾紙及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP3047146A patent/JPH0732851B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04284803A (ja) | 1992-10-09 |
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