JPH07328571A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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- JPH07328571A JPH07328571A JP15431794A JP15431794A JPH07328571A JP H07328571 A JPH07328571 A JP H07328571A JP 15431794 A JP15431794 A JP 15431794A JP 15431794 A JP15431794 A JP 15431794A JP H07328571 A JPH07328571 A JP H07328571A
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】５００ｋＨｚ以上の超音波を利用した２重槽構
造の超音波洗浄装置のプラスチック製外槽１の側面下部
が、内槽２の傾斜した底面で反射される超音波によって
加熱，軟化，破損に至るのを防ぐ。 【構成】外槽１の反射波が当たる側面下方部分に、プラ
スチック遮蔽板９を設ける。遮蔽板９が発熱して軟化す
るのを防ぐため、取付具１０によって外槽１の内壁面と
間隙を設けて固定する。
造の超音波洗浄装置のプラスチック製外槽１の側面下部
が、内槽２の傾斜した底面で反射される超音波によって
加熱，軟化，破損に至るのを防ぐ。 【構成】外槽１の反射波が当たる側面下方部分に、プラ
スチック遮蔽板９を設ける。遮蔽板９が発熱して軟化す
るのを防ぐため、取付具１０によって外槽１の内壁面と
間隙を設けて固定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波洗浄装置に関し、
特に、半導体関連のシリコンウェハ，化合物半導体ウェ
ハ，半導体デバイス等を洗浄するため、金属イオンの付
着混入のない精密洗浄用の５００ｋＨｚ以上の高周波を
利用した超音波洗浄装置に関するものである。
特に、半導体関連のシリコンウェハ，化合物半導体ウェ
ハ，半導体デバイス等を洗浄するため、金属イオンの付
着混入のない精密洗浄用の５００ｋＨｚ以上の高周波を
利用した超音波洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体材料のウェハや半導体デバイスに
付着している汚れの粒子は小さく、０．１μｍ〜１０μ
ｍのサイズが大部分であり、付着力は概して弱く、超音
波洗浄で剥離可能であるが、反面これら被洗浄物の材質
はもろく、一般の２０ｋＨｚ〜５０ｋＨｚの超音波洗浄
装置を利用すると、超音波の作用によって傷や欠陥が発
生しやすい。この問題点は５００ｋＨｚ以上の高周波を
利用した超音波洗浄装置を使用することによってほぼ解
決されている。
付着している汚れの粒子は小さく、０．１μｍ〜１０μ
ｍのサイズが大部分であり、付着力は概して弱く、超音
波洗浄で剥離可能であるが、反面これら被洗浄物の材質
はもろく、一般の２０ｋＨｚ〜５０ｋＨｚの超音波洗浄
装置を利用すると、超音波の作用によって傷や欠陥が発
生しやすい。この問題点は５００ｋＨｚ以上の高周波を
利用した超音波洗浄装置を使用することによってほぼ解
決されている。
【０００３】しかしながら、ステンレスやその他の金属
製の洗浄槽や振動板を使用した洗浄装置では洗浄槽や振
動板から溶出する金属イオンがこれらの被洗浄物に付着
してしまう問題があり、これを解決するために、洗浄槽
を２重槽構造とし、内槽として純度の高い石英ガラス製
のビーカを使用し、プラスチック製外槽を備えた２重槽
式洗浄装置が用いられている。
製の洗浄槽や振動板を使用した洗浄装置では洗浄槽や振
動板から溶出する金属イオンがこれらの被洗浄物に付着
してしまう問題があり、これを解決するために、洗浄槽
を２重槽構造とし、内槽として純度の高い石英ガラス製
のビーカを使用し、プラスチック製外槽を備えた２重槽
式洗浄装置が用いられている。
【０００４】図７は本発明を適用しようとする２重槽構
造の超音波洗浄槽の斜視図であり、図８は従来の構造例
を示す縦断面図である。図７，図８において、１は外
槽、２は内槽、３は超音波振動子、４は振動板、５はパ
ッキン、６は超音波伝達方向を示す矢印、７は超音波媒
体液、８は洗浄液である。外槽１は材質がプラスチッ
ク、例えば、耐熱用硬質塩化ビニール（ＰＶＣ）で板厚
は１０ｍｍである。内槽２は材質が石英ガラスで板厚は
４ｍｍである。外槽１の寸法は、例えば、３００ｍｍ×
３００ｍｍ×２００ｍｍ（深さ）であり、内槽２の寸法
は２００ｍｍ×２００ｍｍ×１８０ｍｍ（深さ）で、６
インチウェハ２５枚用のカセットを収納可能な寸法とな
っている。内槽２の底面は、超音波の作用によって発生
し、底面の下面に付着する気泡を除く目的で３°〜１０
°程度の勾配が設けられている。更に、洗浄液８も媒体
液７も超音波エネルギによる温度上昇を防ぐために新し
い液を順次供給して冷却している。外槽１の底面に、パ
ッキン５を介して振動板４が取付けられ、この振動板４
に超音波振動子３が取付けられている。振動板４から放
射される超音波は矢印６の方向に伝達される。例えば、
超音波振動子３は１０００ｋＨｚ，１０００Ｗで駆動さ
れる。
造の超音波洗浄槽の斜視図であり、図８は従来の構造例
を示す縦断面図である。図７，図８において、１は外
槽、２は内槽、３は超音波振動子、４は振動板、５はパ
ッキン、６は超音波伝達方向を示す矢印、７は超音波媒
体液、８は洗浄液である。外槽１は材質がプラスチッ
ク、例えば、耐熱用硬質塩化ビニール（ＰＶＣ）で板厚
は１０ｍｍである。内槽２は材質が石英ガラスで板厚は
４ｍｍである。外槽１の寸法は、例えば、３００ｍｍ×
３００ｍｍ×２００ｍｍ（深さ）であり、内槽２の寸法
は２００ｍｍ×２００ｍｍ×１８０ｍｍ（深さ）で、６
インチウェハ２５枚用のカセットを収納可能な寸法とな
っている。内槽２の底面は、超音波の作用によって発生
し、底面の下面に付着する気泡を除く目的で３°〜１０
°程度の勾配が設けられている。更に、洗浄液８も媒体
液７も超音波エネルギによる温度上昇を防ぐために新し
い液を順次供給して冷却している。外槽１の底面に、パ
ッキン５を介して振動板４が取付けられ、この振動板４
に超音波振動子３が取付けられている。振動板４から放
射される超音波は矢印６の方向に伝達される。例えば、
超音波振動子３は１０００ｋＨｚ，１０００Ｗで駆動さ
れる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来構造の超音波
洗浄装置において、内槽２として使用する石英ガラス製
のビーカの板厚は、大きさや構造によっても異なるが、
概略３〜５ｍｍ程度である。一方、洗浄液８や外槽１内
の超音波媒体液７中での超音波の波長は、５００ｋＨｚ
〜１ＭＨｚでは１．５ｍｍ〜３ｍｍで、上記の板厚に比
して短いか同等程度であって十分大きくないため、超音
波エネルギはビーカの底面や側面の表面で大部分が反射
してしまっている。
洗浄装置において、内槽２として使用する石英ガラス製
のビーカの板厚は、大きさや構造によっても異なるが、
概略３〜５ｍｍ程度である。一方、洗浄液８や外槽１内
の超音波媒体液７中での超音波の波長は、５００ｋＨｚ
〜１ＭＨｚでは１．５ｍｍ〜３ｍｍで、上記の板厚に比
して短いか同等程度であって十分大きくないため、超音
波エネルギはビーカの底面や側面の表面で大部分が反射
してしまっている。
【０００６】また、ビーカの底面は、上述のように、媒
体液７中に含まれている空気等の気体が超音波の作用に
よって気泡となって付着するため勾配が設けられ、気泡
自体の浮力によって気泡が除かれるようになっており、
超音波エネルギは、この勾配が設けられたビーカの底面
で反射しプラスチック製の外槽１の側面の内壁の下方部
分に当り、加熱軟化させ、穴を開けてしまうまでに至る
という欠点がある。例えば、１０００ｋＨｚ，１０００
Ｗの超音波が１時間照射されると、室温２５℃の雰囲気
中で外槽１の反射波が当たる部分の温度が１１０℃まで
上昇し、軟化し変形して振動子取付部との間に隙間が生
じ、媒体液７の漏出に至るという問題が発生した。
体液７中に含まれている空気等の気体が超音波の作用に
よって気泡となって付着するため勾配が設けられ、気泡
自体の浮力によって気泡が除かれるようになっており、
超音波エネルギは、この勾配が設けられたビーカの底面
で反射しプラスチック製の外槽１の側面の内壁の下方部
分に当り、加熱軟化させ、穴を開けてしまうまでに至る
という欠点がある。例えば、１０００ｋＨｚ，１０００
Ｗの超音波が１時間照射されると、室温２５℃の雰囲気
中で外槽１の反射波が当たる部分の温度が１１０℃まで
上昇し、軟化し変形して振動子取付部との間に隙間が生
じ、媒体液７の漏出に至るという問題が発生した。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
した超音波洗浄装置は、第１の実施例を示すものであ
り、底面が傾斜した内槽と、５００ｋＨｚ以上の周波数
の超音波振動子を取付けた振動板が底面に固定され該振
動板から前記内槽の底面に対して超音波を放射するよう
に構成されたプラスチック製の外槽とを備えた２重槽構
造の超音波洗浄装置において、前記外槽は、前記内槽に
洗浄液が収容され前記外槽に超音波媒体液が収容されて
前記超音波が放射されたとき該放射された超音波が前記
内槽の底面によって反射し照射される内壁面の部分に、
プラスチック製の遮蔽板を前記内壁面と所定の間隙を設
けて固定したことを特徴とするものである。
した超音波洗浄装置は、第１の実施例を示すものであ
り、底面が傾斜した内槽と、５００ｋＨｚ以上の周波数
の超音波振動子を取付けた振動板が底面に固定され該振
動板から前記内槽の底面に対して超音波を放射するよう
に構成されたプラスチック製の外槽とを備えた２重槽構
造の超音波洗浄装置において、前記外槽は、前記内槽に
洗浄液が収容され前記外槽に超音波媒体液が収容されて
前記超音波が放射されたとき該放射された超音波が前記
内槽の底面によって反射し照射される内壁面の部分に、
プラスチック製の遮蔽板を前記内壁面と所定の間隙を設
けて固定したことを特徴とするものである。
【０００８】さらに、請求項２に記載した超音波洗浄装
置は、第２の実施例を示すものであり、前記遮蔽板が、
反射し照射される内壁面を含む４側面の内壁面に設けら
れたことを特徴とするものである。
置は、第２の実施例を示すものであり、前記遮蔽板が、
反射し照射される内壁面を含む４側面の内壁面に設けら
れたことを特徴とするものである。
【０００９】また、請求項３に記載した超音波洗浄装置
は、第３の実施例を示すものであり、前記遮蔽板は、反
射し照射される内壁面の部分と前記底面の振動板に至る
折り曲げ部分とを有することを特徴とするものである。
は、第３の実施例を示すものであり、前記遮蔽板は、反
射し照射される内壁面の部分と前記底面の振動板に至る
折り曲げ部分とを有することを特徴とするものである。
【００１０】また、請求項４に記載した超音波洗浄装置
は、第４の実施例を示すものであり、請求項３記載の遮
蔽板が、反射し照射される内壁面を含む４側面の内壁面
に設けられたことを特徴とするものである。
は、第４の実施例を示すものであり、請求項３記載の遮
蔽板が、反射し照射される内壁面を含む４側面の内壁面
に設けられたことを特徴とするものである。
【００１１】本発明の請求項５に記載した超音波洗浄装
置は、第５の実施例を示すものであり、底面が傾斜した
内槽と、５００ｋＨｚ以上の周波数の超音波振動子を取
付けた振動板が底面に固定され該振動板から前記内槽の
底面に対して超音波を放射するように構成されたプラス
チック製の外槽とを備えた２重槽構造の超音波洗浄装置
において、前記外槽は、前記内槽に洗浄液が収容され前
記外槽に超音波媒体液が収容されて前記超音波が放射さ
れたとき該放射された超音波が前記内槽の底面によって
反射し照射される内壁面に、該内壁面の全面と前記底面
の振動板に至る折り曲げ部分とを有するステンレス製の
遮蔽板を密接して固定したことを特徴とする超音波洗浄
装置。
置は、第５の実施例を示すものであり、底面が傾斜した
内槽と、５００ｋＨｚ以上の周波数の超音波振動子を取
付けた振動板が底面に固定され該振動板から前記内槽の
底面に対して超音波を放射するように構成されたプラス
チック製の外槽とを備えた２重槽構造の超音波洗浄装置
において、前記外槽は、前記内槽に洗浄液が収容され前
記外槽に超音波媒体液が収容されて前記超音波が放射さ
れたとき該放射された超音波が前記内槽の底面によって
反射し照射される内壁面に、該内壁面の全面と前記底面
の振動板に至る折り曲げ部分とを有するステンレス製の
遮蔽板を密接して固定したことを特徴とする超音波洗浄
装置。
【００１２】また、請求項６に記載した超音波洗浄装置
は、第６の実施例を示すものであり、請求項５記載の遮
蔽板が、反射し照射される内壁面を含む４側面の内壁面
に設けられたことを特徴とするものである。
は、第６の実施例を示すものであり、請求項５記載の遮
蔽板が、反射し照射される内壁面を含む４側面の内壁面
に設けられたことを特徴とするものである。
【００１３】
【作用】ビーカの底面で反射した超音波エネルギが外槽
の内面にまで到達しないようにするために、超音波エネ
ルギを他のプラスチックの板を介在させて吸収させる方
法と金属板を用いて反射させる方法とが有効である。前
者は超音波エネルギによる加熱から保護すべき部分に薄
いプラスチックの板を設ける。この板も超音波エネルギ
を吸収して発熱するが、薄いため両面に接している水で
冷却され軟化する程度の温度上昇には至らない。材質と
しては、軟化点（柔軟温度または熱変形温度）の高いテ
フロン（１４５℃）やポリプロピレン（１１０℃）が良
く、厚さは１〜２ｍｍ程度が好ましい。後者は音を反射
させるため、半波長の整数倍の共振条件を避けた厚い板
厚が必要であり、例えば、１ＭＨｚの超音波のときステ
ンレス板の厚さは４ｍｍまたは５ｍｍが適当である。超
音波は、ビーカの表面と、このステンレスの板との間で
順次反射を繰り返して移動していくので、媒体液に接し
ている部分をほとんどすべて覆う必要がある。
の内面にまで到達しないようにするために、超音波エネ
ルギを他のプラスチックの板を介在させて吸収させる方
法と金属板を用いて反射させる方法とが有効である。前
者は超音波エネルギによる加熱から保護すべき部分に薄
いプラスチックの板を設ける。この板も超音波エネルギ
を吸収して発熱するが、薄いため両面に接している水で
冷却され軟化する程度の温度上昇には至らない。材質と
しては、軟化点（柔軟温度または熱変形温度）の高いテ
フロン（１４５℃）やポリプロピレン（１１０℃）が良
く、厚さは１〜２ｍｍ程度が好ましい。後者は音を反射
させるため、半波長の整数倍の共振条件を避けた厚い板
厚が必要であり、例えば、１ＭＨｚの超音波のときステ
ンレス板の厚さは４ｍｍまたは５ｍｍが適当である。超
音波は、ビーカの表面と、このステンレスの板との間で
順次反射を繰り返して移動していくので、媒体液に接し
ている部分をほとんどすべて覆う必要がある。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の第１の実施例を示す縦断面図
である。図８の従来構造の同じ部分には同符号を付して
ある。この実施例は、反射波の当たる外槽１の内壁面下
方部分にプラスチック製の遮蔽板９を設けたものであ
り、この遮蔽板９は、反射波が当たって発熱軟化しない
ように、取付具１０によって外槽１の内面と間隙ができ
るように取付けられている。こうすることによって、遮
蔽板９の両面が媒体液７によって常に冷却され、発熱を
防ぐことができる。遮蔽板９の材質としてテフロンまた
はポリプロピレンを使用した。遮蔽板９を、ビーカの底
面の勾配面に対面している一側面のみに設けた例であ
る。図２は本発明の第２の実施例であり、図１の遮蔽板
９を外槽１の内側面の４面に取付けたものである。
である。図８の従来構造の同じ部分には同符号を付して
ある。この実施例は、反射波の当たる外槽１の内壁面下
方部分にプラスチック製の遮蔽板９を設けたものであ
り、この遮蔽板９は、反射波が当たって発熱軟化しない
ように、取付具１０によって外槽１の内面と間隙ができ
るように取付けられている。こうすることによって、遮
蔽板９の両面が媒体液７によって常に冷却され、発熱を
防ぐことができる。遮蔽板９の材質としてテフロンまた
はポリプロピレンを使用した。遮蔽板９を、ビーカの底
面の勾配面に対面している一側面のみに設けた例であ
る。図２は本発明の第２の実施例であり、図１の遮蔽板
９を外槽１の内側面の４面に取付けたものである。
【００１５】図３は、本発明の第３の実施例であり、遮
蔽板１１は外槽底面の振動板４に至るまでの面を保護す
るような折り曲げ部が設けられ、外槽１の一側面にのみ
設けられている。以下、いずれの図にも超音波振動子３
を駆動する超音波発振器とこれらを接続するケーブルの
図示は省略してある。
蔽板１１は外槽底面の振動板４に至るまでの面を保護す
るような折り曲げ部が設けられ、外槽１の一側面にのみ
設けられている。以下、いずれの図にも超音波振動子３
を駆動する超音波発振器とこれらを接続するケーブルの
図示は省略してある。
【００１６】図４は本発明の第４の実施例を示し、図３
の遮蔽板１１を外槽１の内側面の４面に取付けたもので
ある。
の遮蔽板１１を外槽１の内側面の４面に取付けたもので
ある。
【００１７】図５，図６は本発明の第５の実施例，第６
の実施例を示す断面図であり、遮蔽板１２の材質として
ステンレスを使用し外槽１の内壁面に密着させて取付け
たものであり、図５はビーカの底面の勾配面に対面して
いる一側面のみに遮蔽板１２を設けた場合で、図６は図
５の遮蔽板１２を更に外槽１の内側面の４面に取付けた
ものである。
の実施例を示す断面図であり、遮蔽板１２の材質として
ステンレスを使用し外槽１の内壁面に密着させて取付け
たものであり、図５はビーカの底面の勾配面に対面して
いる一側面のみに遮蔽板１２を設けた場合で、図６は図
５の遮蔽板１２を更に外槽１の内側面の４面に取付けた
ものである。
【００１８】これらの図１，２，３，４，５，６に示し
た第１〜第６の各実施例では、外槽１の表面の温度上昇
は２０℃以下にとどまり、軟化には至らなかった。尚、
ビーカの底の勾配面が外槽１の４面のどの面にも対面さ
せる場合は遮蔽板を４面に設ける必要があるが、１面の
みに限定している場合は遮蔽板は１面のみでよい。
た第１〜第６の各実施例では、外槽１の表面の温度上昇
は２０℃以下にとどまり、軟化には至らなかった。尚、
ビーカの底の勾配面が外槽１の４面のどの面にも対面さ
せる場合は遮蔽板を４面に設ける必要があるが、１面の
みに限定している場合は遮蔽板は１面のみでよい。
【００１９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明を実
施することにより、石英ガラス製の内槽の傾斜底面から
反射する超音波エネルギによって、プラスチック製の外
槽の壁面を軟化破損させることを防ぐことができる。
施することにより、石英ガラス製の内槽の傾斜底面から
反射する超音波エネルギによって、プラスチック製の外
槽の壁面を軟化破損させることを防ぐことができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す縦断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す縦断面図である。
【図３】本発明の第３の実施例を示す縦断面図である。
【図４】本発明の第４の実施例を示す縦断面図である。
【図５】本発明の第５の実施例を示す縦断面図である。
【図６】本発明の第６の実施例を示す縦断面図である。
【図７】２重槽方式の洗浄槽の斜視図である。
【図８】従来の構造例を示す縦断面図である。
１ 超音波洗浄槽の外槽 ２ 超音波洗浄槽の内槽 ３ 超音波振動子 ４ 振動板 ５ パッキン ６ 超音波伝達方向 ７ 超音波媒体液（水） ８ 洗浄液 ９ プラスチック遮蔽板 １０ 遮蔽板取付具 １１ 折り曲げたプラスチック遮蔽板 １２ ステンレス遮蔽板
Claims (6)
- 【請求項１】 底面が傾斜した内槽と、５００ｋＨｚ以
上の周波数の超音波振動子を取付けた振動板が底面に固
定され該振動板から前記内槽の底面に対して超音波を放
射するように構成されたプラスチック製の外槽とを備え
た２重槽構造の超音波洗浄装置において、 前記外槽は、前記内槽に洗浄液が収容され前記外槽に超
音波媒体液が収容されて前記超音波が放射されたとき該
放射された超音波が前記内槽の底面によって反射し照射
される内壁面の部分に、プラスチック製の遮蔽板を前記
内壁面と所定の間隙を設けて固定したことを特徴とする
超音波洗浄装置。 - 【請求項２】 前記遮蔽板が、反射し照射される内壁面
を含む４側面の内壁面に設けられたことを特徴とする請
求項１記載の超音波洗浄装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の遮蔽板は、反射し照射さ
れる内壁面の部分と前記底面の振動板に至る折り曲げ部
分とを有することを特徴とする請求項１記載の超音波洗
浄装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の遮蔽板が、反射し照射さ
れる内壁面を含む４側面の内壁面に設けられたことを特
徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。 - 【請求項５】 底面が傾斜した内槽と、５００ｋＨｚ以
上の周波数の超音波振動子を取付けた振動板が底面に固
定され該振動板から前記内槽の底面に対して超音波を放
射するように構成されたプラスチック製の外槽とを備え
た２重槽構造の超音波洗浄装置において、 前記外槽は、前記内槽に洗浄液が収容され前記外槽に超
音波媒体液が収容されて前記超音波が放射されたとき該
放射された超音波が前記内槽の底面によって反射し照射
される内壁面に、該内壁面の全面と前記底面の振動板に
至る折り曲げ部分とを有するステンレス製の遮蔽板を密
接して固定したことを特徴とする超音波洗浄装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の遮蔽板が、反射し照射さ
れる内壁面を含む４側面の内壁面に設けられたことを特
徴とする請求項５記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15431794A JPH07328571A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15431794A JPH07328571A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 超音波洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07328571A true JPH07328571A (ja) | 1995-12-19 |
Family
ID=15581488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15431794A Pending JPH07328571A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07328571A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008004890A (ja) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Tokyo Electron Ltd | 超音波洗浄装置 |
| JP2015024503A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-05 | 凸版印刷株式会社 | 印刷機及び印刷方法並び印刷物 |
| CN116000013A (zh) * | 2023-03-27 | 2023-04-25 | 泉州艾奇科技有限公司 | 一种抑制驻波的超声清洗装置及方法 |
| CN121222742A (zh) * | 2025-12-01 | 2025-12-30 | 陕西伍德秦骏运输装备科技有限公司 | 一种汽车零件加工用油污清洗装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5521072B1 (ja) * | 1971-02-03 | 1980-06-06 | ||
| JPS5638168A (en) * | 1979-07-30 | 1981-04-13 | Sonic Ferro Kk | Ultrasonic washing tank |
| JPH03222419A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-01 | Kokusai Denki Erutetsuku:Kk | 超音波洗浄装置 |
-
1994
- 1994-06-14 JP JP15431794A patent/JPH07328571A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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