JPH07330427A - 誘電体磁器組成物 - Google Patents
誘電体磁器組成物Info
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- JPH07330427A JPH07330427A JP6118415A JP11841594A JPH07330427A JP H07330427 A JPH07330427 A JP H07330427A JP 6118415 A JP6118415 A JP 6118415A JP 11841594 A JP11841594 A JP 11841594A JP H07330427 A JPH07330427 A JP H07330427A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】AgやCu等の導体金属と同時に焼成できると
ともに、ガラスと誘電体粒子との反応を抑制して高い比
誘電率を得ることができる誘電体磁器組成物を提供す
る。 【構成】金属元素を少なくとも2種以上を含有する酸化
物からなり、その表面がアルミナで被覆されている誘電
体粒子30〜70体積%と、ガラス70〜30体積%と
からなるものであり、誘電体粒子としては、高周波用材
料として(Mg0. 95Ca0.05)TiO3 、Ba2 Ti9
O20等のチタン酸塩やBa(Mg1/3 Ta2/3 )O3 、
コンデンサ材料として用いられるBaTiO3 、CaT
iO3 、SrTiO3 が使用される。
ともに、ガラスと誘電体粒子との反応を抑制して高い比
誘電率を得ることができる誘電体磁器組成物を提供す
る。 【構成】金属元素を少なくとも2種以上を含有する酸化
物からなり、その表面がアルミナで被覆されている誘電
体粒子30〜70体積%と、ガラス70〜30体積%と
からなるものであり、誘電体粒子としては、高周波用材
料として(Mg0. 95Ca0.05)TiO3 、Ba2 Ti9
O20等のチタン酸塩やBa(Mg1/3 Ta2/3 )O3 、
コンデンサ材料として用いられるBaTiO3 、CaT
iO3 、SrTiO3 が使用される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、誘電体粒子とガラスか
らなる誘電体磁器組成物に関するものであり、特に高周
波領域で使用する電子回路基板や電子部品等に適用され
る誘電体磁器組成物に関するものである。
らなる誘電体磁器組成物に関するものであり、特に高周
波領域で使用する電子回路基板や電子部品等に適用され
る誘電体磁器組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より誘電体材料として各種誘電体セ
ラミックスが電子回路基板や電子部品等に広く使用され
ており、近年、携帯電話に代表される移動体通信等の高
周波機器の発展と普及に伴い、高周波領域で使用する電
子回路基板や電子部品として誘電体セラミックスが積極
的に利用されるようになってきた。
ラミックスが電子回路基板や電子部品等に広く使用され
ており、近年、携帯電話に代表される移動体通信等の高
周波機器の発展と普及に伴い、高周波領域で使用する電
子回路基板や電子部品として誘電体セラミックスが積極
的に利用されるようになってきた。
【0003】前記誘電体セラミックスからなる電子回路
基板等と導体とを同時焼成するに際しては、基板上に印
刷された導体が誘電体セラミックスの焼成温度で溶融す
ることがないように、該導体には、アルミナ、ステアタ
イト、フォルステライト等の誘電体セラミックスの焼成
温度よりも高い融点を有する、例えば、Pt、Pd、
W、Mo等の金属が用いられていた。
基板等と導体とを同時焼成するに際しては、基板上に印
刷された導体が誘電体セラミックスの焼成温度で溶融す
ることがないように、該導体には、アルミナ、ステアタ
イト、フォルステライト等の誘電体セラミックスの焼成
温度よりも高い融点を有する、例えば、Pt、Pd、
W、Mo等の金属が用いられていた。
【0004】しかしながら、前記金属は導通抵抗が大き
いことから、従来の電子回路基板では、共振回路やイン
ダクタンスのQ値が小さくなってしまい、導体線路の伝
送損失が大きくなる等の問題があった。従来、上記のよ
うな問題点を解消するために導通抵抗の小さいAgやC
u等の金属を導体に採用し、低温で同時焼成できる磁器
として、特開昭59−107596号公報に開示される
ものが知られている。
いことから、従来の電子回路基板では、共振回路やイン
ダクタンスのQ値が小さくなってしまい、導体線路の伝
送損失が大きくなる等の問題があった。従来、上記のよ
うな問題点を解消するために導通抵抗の小さいAgやC
u等の金属を導体に採用し、低温で同時焼成できる磁器
として、特開昭59−107596号公報に開示される
ものが知られている。
【0005】この公報に開示される磁器は、ガラスと、
セラミックフィラーとしての石英ガラス等からなること
が開示されている。
セラミックフィラーとしての石英ガラス等からなること
が開示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この特
開昭59−107596号公報に開示される磁器組成物
は多層配線回路基板に用いられるもので、電子回路の信
号伝達速度を高速とするため1MHzでの比誘電率εr
が5以下と非常に小さく、また誘電損失も大きいため、
高誘電率で高Q値が要求される電子部品等の誘電体磁器
組成物としては全く適さなかった。
開昭59−107596号公報に開示される磁器組成物
は多層配線回路基板に用いられるもので、電子回路の信
号伝達速度を高速とするため1MHzでの比誘電率εr
が5以下と非常に小さく、また誘電損失も大きいため、
高誘電率で高Q値が要求される電子部品等の誘電体磁器
組成物としては全く適さなかった。
【0007】また、従来、高い比誘電率を有する誘電体
磁器組成物としてBaTiO3 、CaTiO3 が知られ
ているが、この誘電体磁器組成物をセラミックフィラー
とし、これにガラスを添加した場合には、フィラーとガ
ラスが反応し、高い比誘電率を有する誘電体材料を用い
たとしても、比誘電率が低下するという問題があった。
これは、フィラーとガラスが反応し、誘電体粒子の結晶
構造が崩れ、本来誘電体粒子が有する高誘電率、高Q値
等の特性が得られなくなるからである。このような傾向
は、より低温で焼成するためにガラス成分を多量に添加
する程顕著となるため、従来では、比誘電率等を維持す
るためガラスの添加は僅かであり、焼成温度もこれに伴
い高かった。
磁器組成物としてBaTiO3 、CaTiO3 が知られ
ているが、この誘電体磁器組成物をセラミックフィラー
とし、これにガラスを添加した場合には、フィラーとガ
ラスが反応し、高い比誘電率を有する誘電体材料を用い
たとしても、比誘電率が低下するという問題があった。
これは、フィラーとガラスが反応し、誘電体粒子の結晶
構造が崩れ、本来誘電体粒子が有する高誘電率、高Q値
等の特性が得られなくなるからである。このような傾向
は、より低温で焼成するためにガラス成分を多量に添加
する程顕著となるため、従来では、比誘電率等を維持す
るためガラスの添加は僅かであり、焼成温度もこれに伴
い高かった。
【0008】本発明は上記課題に鑑みなされたもので、
ガラス成分を比較的多量に含む誘電体磁器組成物であっ
て、850〜950℃の比較的低温でAgやCu等の導
体金属と同時に焼成できるとともに、ガラスとセラミッ
クフィラーとの反応を抑制することができる誘電体磁器
組成物を提供することを目的とする。
ガラス成分を比較的多量に含む誘電体磁器組成物であっ
て、850〜950℃の比較的低温でAgやCu等の導
体金属と同時に焼成できるとともに、ガラスとセラミッ
クフィラーとの反応を抑制することができる誘電体磁器
組成物を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、金属元素
を少なくとも2種以上を含有する酸化物で表面をアルミ
ナで被覆した誘電体粒子(セラミックフィラー)とガラ
スからなる誘電体磁器組成物は、ガラスとセラミックフ
ィラーとの反応を抑制することができることを見出し、
本発明に到った。
を少なくとも2種以上を含有する酸化物で表面をアルミ
ナで被覆した誘電体粒子(セラミックフィラー)とガラ
スからなる誘電体磁器組成物は、ガラスとセラミックフ
ィラーとの反応を抑制することができることを見出し、
本発明に到った。
【0010】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、金属
元素を少なくとも2種以上を含有する酸化物からなり、
その表面がアルミナで被覆されている誘電体粒子30〜
70体積%と、ガラス70〜30体積%とからなるもの
である。
元素を少なくとも2種以上を含有する酸化物からなり、
その表面がアルミナで被覆されている誘電体粒子30〜
70体積%と、ガラス70〜30体積%とからなるもの
である。
【0011】誘電体粒子としては、高周波材料として用
いられる(Mg0.95Ca0.05)TiO3 、Ba2 Ti9
O20等のチタン酸塩やBa(Mg1/3 Ta2/3 )O3 、
La(Mg1/3 Ti2/3 )O3 −CaTiO3 、コンデ
ンサ材料として用いられるBaTiO3 、CaTi
O3 、SrTiO3 等の金属元素を少なくとも2種以上
を含有したものが使用されるが、上記に限定されること
なく、従来知られている高誘電率材料であっても良い。
いられる(Mg0.95Ca0.05)TiO3 、Ba2 Ti9
O20等のチタン酸塩やBa(Mg1/3 Ta2/3 )O3 、
La(Mg1/3 Ti2/3 )O3 −CaTiO3 、コンデ
ンサ材料として用いられるBaTiO3 、CaTi
O3 、SrTiO3 等の金属元素を少なくとも2種以上
を含有したものが使用されるが、上記に限定されること
なく、従来知られている高誘電率材料であっても良い。
【0012】本発明によれば、この誘電体粒子の表面が
アルミナにより被覆されている。アルミナの被覆は、例
えば、水酸化アルミニウムの溶液を誘電体粒子に吹き付
け、熱処理したり、また、誘電体粒子にスパッタリング
することにより行われるが、アルミナ被覆層は0.01
〜1μm程度形成することが望ましい。このようにアル
ミナで被覆した誘電体粒子を用いることにより、焼結体
中において、誘電体粒子とガラスとの間にアルミナが存
在するため、誘電体粒子がガラスと直接接触することが
なく、分散された組織となる。これにより、誘電体粒子
とガラスとの反応が抑制され、高Q値と高比誘電率をも
った材料が得られる。
アルミナにより被覆されている。アルミナの被覆は、例
えば、水酸化アルミニウムの溶液を誘電体粒子に吹き付
け、熱処理したり、また、誘電体粒子にスパッタリング
することにより行われるが、アルミナ被覆層は0.01
〜1μm程度形成することが望ましい。このようにアル
ミナで被覆した誘電体粒子を用いることにより、焼結体
中において、誘電体粒子とガラスとの間にアルミナが存
在するため、誘電体粒子がガラスと直接接触することが
なく、分散された組織となる。これにより、誘電体粒子
とガラスとの反応が抑制され、高Q値と高比誘電率をも
った材料が得られる。
【0013】本発明において、磁器組成物中の誘電体粒
子量を30〜70体積%と、ガラス量を30〜70体積
%に限定したのは、誘電体粒子が30体積%よりも少な
い場合(ガラスが70体積%よりも多い場合)には、焼
成温度が低下し、Q値および比誘電率が低下するからで
ある。誘電体粒子が70体積%よりも多い場合(ガラス
が30体積%よりも少ない場合)には、焼成温度が95
0℃以上に上昇し、反応によるボイドが多数発生し、比
誘電率およびQ値が低下するからである。誘電体粒子は
40〜70体積%、ガラスは60〜30体積%が望まし
い。
子量を30〜70体積%と、ガラス量を30〜70体積
%に限定したのは、誘電体粒子が30体積%よりも少な
い場合(ガラスが70体積%よりも多い場合)には、焼
成温度が低下し、Q値および比誘電率が低下するからで
ある。誘電体粒子が70体積%よりも多い場合(ガラス
が30体積%よりも少ない場合)には、焼成温度が95
0℃以上に上昇し、反応によるボイドが多数発生し、比
誘電率およびQ値が低下するからである。誘電体粒子は
40〜70体積%、ガラスは60〜30体積%が望まし
い。
【0014】本発明において用いられるガラスは、その
軟化温度Tsが1000℃以下であることが望ましい
が、これは、軟化温度Tsが1000℃よりも高い場合
には、850〜950℃の焼成温度では緻密化しなくな
るからである。具体的なガラスの組成としては、例え
ば、SiO2 を30〜80重量%、B2 O3 を3〜20
重量%、BaOを5〜30重量%、Al2 O3 を3〜1
0重量%、CaOを3〜15重量%からなるものがあ
る。
軟化温度Tsが1000℃以下であることが望ましい
が、これは、軟化温度Tsが1000℃よりも高い場合
には、850〜950℃の焼成温度では緻密化しなくな
るからである。具体的なガラスの組成としては、例え
ば、SiO2 を30〜80重量%、B2 O3 を3〜20
重量%、BaOを5〜30重量%、Al2 O3 を3〜1
0重量%、CaOを3〜15重量%からなるものがあ
る。
【0015】本発明の誘電体磁器組成物は、例えば、そ
れ自体がコンデンサとなる電子部品や周知のガラスセラ
ミック基板内に内蔵される誘電体層として用いられる。
その場合ガラスセラミック基板と同時焼成も可能であ
る。
れ自体がコンデンサとなる電子部品や周知のガラスセラ
ミック基板内に内蔵される誘電体層として用いられる。
その場合ガラスセラミック基板と同時焼成も可能であ
る。
【0016】本発明の誘電体磁器組成物は、先ず、アル
ミナで被覆した誘電体粒子を作製する。例えば、BaT
iO3 からなる誘電体粒子をアルミナで被覆する場合に
は、BaTiO3 の原料となるBaCO3 およびTiO
2 をボールミルを用いて湿式混合し、この混合物を乾燥
した後、1100〜1400℃で1〜4時間仮焼し、こ
れを粉砕してBaTiO3 からなる誘電体粒子を得る。
このようなBaTiO3 は原料として市販されているも
のを最初から使用しても良い。この後、水酸化アルミニ
ウムの溶液を誘電体粒子に吹き付け、水酸化アルミニウ
ムの被覆層を形成した後、1000〜1200℃で熱処
理することにより、誘電体粒子にアルミナを被覆する。
ミナで被覆した誘電体粒子を作製する。例えば、BaT
iO3 からなる誘電体粒子をアルミナで被覆する場合に
は、BaTiO3 の原料となるBaCO3 およびTiO
2 をボールミルを用いて湿式混合し、この混合物を乾燥
した後、1100〜1400℃で1〜4時間仮焼し、こ
れを粉砕してBaTiO3 からなる誘電体粒子を得る。
このようなBaTiO3 は原料として市販されているも
のを最初から使用しても良い。この後、水酸化アルミニ
ウムの溶液を誘電体粒子に吹き付け、水酸化アルミニウ
ムの被覆層を形成した後、1000〜1200℃で熱処
理することにより、誘電体粒子にアルミナを被覆する。
【0017】そして、このようなアルミナで被覆された
誘電体粒子と、例えば、SiO2 ,B2 O3 ,Al2 O
3 等を含有するガラスを上記した組成で添加混合し、こ
の混合物にバインダーを添加して整粒し、得られた粉末
を、例えば、ドクターブレード法やプレス成形により所
定形状に成形し、300〜500℃で2〜12時間脱バ
インダー処理し、さらに850〜950℃の温度で0.
1〜2時間、大気中或いは窒素雰囲気中で焼成する。
誘電体粒子と、例えば、SiO2 ,B2 O3 ,Al2 O
3 等を含有するガラスを上記した組成で添加混合し、こ
の混合物にバインダーを添加して整粒し、得られた粉末
を、例えば、ドクターブレード法やプレス成形により所
定形状に成形し、300〜500℃で2〜12時間脱バ
インダー処理し、さらに850〜950℃の温度で0.
1〜2時間、大気中或いは窒素雰囲気中で焼成する。
【0018】また、導体と同時に焼成する場合には上記
成形体表面にAgやCuの導体ペーストをスクリーン印
刷して所望により積層圧着した後、上記と同様な条件で
焼成すれば良い。Cuの導体を同時焼成する場合には、
酸化を防止するため窒素雰囲気中で焼成する。
成形体表面にAgやCuの導体ペーストをスクリーン印
刷して所望により積層圧着した後、上記と同様な条件で
焼成すれば良い。Cuの導体を同時焼成する場合には、
酸化を防止するため窒素雰囲気中で焼成する。
【0019】本発明は、アルミナで被覆した誘電体粒子
とガラスからなるものであるが、誘電体粒子やガラスか
ら混入する不純物が混入しても良いし、さらに、製造過
程においては、粉砕用のボールから混入する元素等を含
有しても良い。
とガラスからなるものであるが、誘電体粒子やガラスか
ら混入する不純物が混入しても良いし、さらに、製造過
程においては、粉砕用のボールから混入する元素等を含
有しても良い。
【0020】
【作用】本発明の誘電体磁器組成物では、比較的ガラス
を多量に含有する場合であっても、ガラスと誘電体粒子
との反応を抑制することができるとともに、850〜9
50℃の比較的低温でAgやCu等の導体金属と同時に
焼成でき、さらに、高い比誘電率を得ることができる。
を多量に含有する場合であっても、ガラスと誘電体粒子
との反応を抑制することができるとともに、850〜9
50℃の比較的低温でAgやCu等の導体金属と同時に
焼成でき、さらに、高い比誘電率を得ることができる。
【0021】
【実施例】以下、本発明の誘電体磁器組成物を実施例に
基づいて詳細に説明する。先ず、(Mg0.95Ca0.05)
TiO3 からなる誘電体粒子を作製するために、出発原
料としてMgCO3 ,CaCO3 ,TiO2 を準備し、
組成が上記組成となるように秤量後、純水を加え、めの
う玉石を用いて24時間湿式混合を行った。この混合物
を乾燥後、1200℃で1時間仮焼した。さらに、純水
とめのう玉石を用いて平均結晶粒径が0.5〜5μmの
適度な粒径に調製し、これを誘電体粒子とした。
基づいて詳細に説明する。先ず、(Mg0.95Ca0.05)
TiO3 からなる誘電体粒子を作製するために、出発原
料としてMgCO3 ,CaCO3 ,TiO2 を準備し、
組成が上記組成となるように秤量後、純水を加え、めの
う玉石を用いて24時間湿式混合を行った。この混合物
を乾燥後、1200℃で1時間仮焼した。さらに、純水
とめのう玉石を用いて平均結晶粒径が0.5〜5μmの
適度な粒径に調製し、これを誘電体粒子とした。
【0022】そして、この誘電体粒子を水酸化アルミニ
ウムの溶液を吹き付け、1000℃で熱処理することに
より、誘電体粒子をアルミナで被覆した。
ウムの溶液を吹き付け、1000℃で熱処理することに
より、誘電体粒子をアルミナで被覆した。
【0023】また、SiO2 を50重量%、B2 O3 を
10重量%、BaOを25重量%、Al2 O3 を5重量
%、CaOを12重量%を含有する硼珪酸ガラス(軟化
温度Ts800℃)を準備し、前述した誘電体粒子と硼
珪酸ガラスを、その比が表1になるように秤量後、純水
を添加し、めのう玉石を用いて24時間湿式混合を行っ
た。この混合物に約1重量%のバインダーとしてポリビ
ニルアルコールを添加して整粒し、得られた粉末を1t
on/cm2 の圧力でプレス成形し、直径20mm、高
さ10mmの歪みのない円柱状の成形体を作製した。こ
の後、この成形体を400℃で4時間脱バインダー処理
し、さらに表1に示す温度で30分間大気中で焼成し
た。
10重量%、BaOを25重量%、Al2 O3 を5重量
%、CaOを12重量%を含有する硼珪酸ガラス(軟化
温度Ts800℃)を準備し、前述した誘電体粒子と硼
珪酸ガラスを、その比が表1になるように秤量後、純水
を添加し、めのう玉石を用いて24時間湿式混合を行っ
た。この混合物に約1重量%のバインダーとしてポリビ
ニルアルコールを添加して整粒し、得られた粉末を1t
on/cm2 の圧力でプレス成形し、直径20mm、高
さ10mmの歪みのない円柱状の成形体を作製した。こ
の後、この成形体を400℃で4時間脱バインダー処理
し、さらに表1に示す温度で30分間大気中で焼成し
た。
【0024】得られた磁器を平面研磨および円筒研削し
試料を得た。この試料を用いて誘電体円柱共振器法によ
り共振周波数6GHzにて比誘電率,Q値を測定し、ま
た、−40〜+85℃までの温度範囲における共振周波
数の温度変化を測定し共振周波数の温度係数(τf)を
計算した。これらの結果を表1に示した。
試料を得た。この試料を用いて誘電体円柱共振器法によ
り共振周波数6GHzにて比誘電率,Q値を測定し、ま
た、−40〜+85℃までの温度範囲における共振周波
数の温度変化を測定し共振周波数の温度係数(τf)を
計算した。これらの結果を表1に示した。
【0025】
【表1】
【0026】この表1の結果から、本発明の誘電体磁器
組成物では、850〜950℃で焼成することができる
とともに、比誘電率が9.5以上、Q値が580以上、
温度係数(τf)が0〜5ppm/℃以内であり、焼結
体自体のボイド状態も良好であった。
組成物では、850〜950℃で焼成することができる
とともに、比誘電率が9.5以上、Q値が580以上、
温度係数(τf)が0〜5ppm/℃以内であり、焼結
体自体のボイド状態も良好であった。
【0027】尚、本発明者等は、得られた試料No.2〜
6をX線回折装置により誘電体粒子を調べたところ、誘
電体粒子の相が殆ど残存していることを確認でき、ガラ
スと誘電体粒子が反応していないことを確認した。
6をX線回折装置により誘電体粒子を調べたところ、誘
電体粒子の相が殆ど残存していることを確認でき、ガラ
スと誘電体粒子が反応していないことを確認した。
【0028】また、比較例としてアルミナをコーティン
グしなかった試料(試料No.8)を作製したところ、比
誘電率が低く、また、Q値が低くて測定不能であった。
グしなかった試料(試料No.8)を作製したところ、比
誘電率が低く、また、Q値が低くて測定不能であった。
【0029】実施例2 本発明者等は、上記実施例1において、誘電体粒子をB
a(Mg1/3 Ta2/3)O3 、Ba2 Ti9 O20に置き
換えた以外は上記実施例と同様にして実験を行った。こ
の結果を表1に示した。
a(Mg1/3 Ta2/3)O3 、Ba2 Ti9 O20に置き
換えた以外は上記実施例と同様にして実験を行った。こ
の結果を表1に示した。
【0030】また、誘電体粒子を、BaTiO3 、Ca
TiO3 、SrTiO3 に置き換えた以外は上記実施例
と同様にして実験を行った。この結果を表2に示した。
TiO3 、SrTiO3 に置き換えた以外は上記実施例
と同様にして実験を行った。この結果を表2に示した。
【0031】
【表2】
【0032】尚、BaTiO3 、CaTiO3 、SrT
iO3 はコンデンサ材料として使用されるため、温度係
数(τf)は測定しなかった。
iO3 はコンデンサ材料として使用されるため、温度係
数(τf)は測定しなかった。
【0033】これらの表1,2より、本発明の誘電体磁
器組成物では、850〜950℃で焼成することができ
るとともに、高い比誘電率を得ることができ、焼結体自
体のボイド状態も良好であった。
器組成物では、850〜950℃で焼成することができ
るとともに、高い比誘電率を得ることができ、焼結体自
体のボイド状態も良好であった。
【0034】
【発明の効果】本発明の誘電体磁器組成物は、850〜
950℃の比較的低温でAgやCu等の導体金属と同時
に焼成でき、さらに、ガラスと誘電体粒子との反応を抑
制して高い比誘電率を得ることができ、高周波電子回路
基板の小型化と高性能化を実現できる。また、コンデン
サ材料としても優れた特性を有する。
950℃の比較的低温でAgやCu等の導体金属と同時
に焼成でき、さらに、ガラスと誘電体粒子との反応を抑
制して高い比誘電率を得ることができ、高周波電子回路
基板の小型化と高性能化を実現できる。また、コンデン
サ材料としても優れた特性を有する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井本 晃 鹿児島県国分市山下町1番1号 京セラ株 式会社鹿児島国分工場内 (72)発明者 藤川 信儀 鹿児島県国分市山下町1番4号 京セラ株 式会社総合研究所内
Claims (1)
- 【請求項1】金属元素を少なくとも2種以上を含有する
酸化物からなり、その表面がアルミナで被覆されている
誘電体粒子30〜70体積%と、ガラス70〜30体積
%とからなることを特徴とする誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06118415A JP3085625B2 (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06118415A JP3085625B2 (ja) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | 誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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