JPH07332502A - メカニカルシール診断装置 - Google Patents

メカニカルシール診断装置

Info

Publication number
JPH07332502A
JPH07332502A JP6130367A JP13036794A JPH07332502A JP H07332502 A JPH07332502 A JP H07332502A JP 6130367 A JP6130367 A JP 6130367A JP 13036794 A JP13036794 A JP 13036794A JP H07332502 A JPH07332502 A JP H07332502A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mechanical seal
seat ring
ring
diagnostic device
seal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP6130367A
Other languages
English (en)
Inventor
Masazumi Miyazawa
正純 宮澤
Hideki Imai
秀喜 今井
Yasunori Kobayashi
靖典 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Chemical Corp, Yokogawa Electric Corp filed Critical Mitsubishi Chemical Corp
Priority to JP6130367A priority Critical patent/JPH07332502A/ja
Publication of JPH07332502A publication Critical patent/JPH07332502A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F16J15/3492—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member with monitoring or measuring means associated with the seal
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F16J15/3464—Mounting of the seal
    • F16J15/3468—Means for controlling the deformations of the contacting faces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mechanical Sealing (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 シール部の予防保全或いは取り付け不良等の
故障検知が可能なメカニカルシール診断装置を提供す
る。 【構成】 シール部分にシートリングと従動リングとを
具備するメカニカルシールが使用されているメカニカル
シール装置のメカニカルシール診断装置において、前記
メカニカルシールに設けられた歪あるいは変形あるいは
応力を検出するセンサを具備したことを特徴とするメカ
ニカルシール診断装置である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シール部の予防保全或
いは取り付け不良等の故障検知が可能なメカニカルシー
ル診断装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ポンプや攪拌器等では、回転する軸と支
持フレームとの間から、ガスや液が漏れないように、メ
カニカルシールを用いてシールしている。図5は、従来
より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例え
ば、「渦巻ポンプ・歯車ポンプ・遠心ファン」頁47
押田良輝等著 (株)オーム社発行 1989年2月2
5日印刷発行に示されている。
【0003】図において、1は回転軸、2は密封流体3
が密封されたスタフィングボックスである。4は緩衝リ
ング5を介してスタフィングボックス2に取付られ密封
端面6を有するシートリングである。
【0004】緩衝リング5は、シートリング4とスタフ
ィングボックス2との間からの密封流体3の漏れを防止
する。7は、ばね8を介して回転軸1に取付られ密封端
面6においてシートリング4に接する従動リングであ
る。
【0005】ばね8は、密封端面6が磨耗すると、従動
リング7を移動して密封端面6に従動リング7を押圧す
る。また、振動によって、シートリング4と従動リング
7とが、密封端面6において互いに離れないようにす
る。9は、従動リング7に取付られ、従動リング7と回
転軸1との間からの密封流体3の漏れを防止する軸パッ
キングである。
【0006】以上の構成において、密封流体3は、主と
して、スタフィングボックス2に取付られて回転しない
シートリング4と、回転軸1と共に回転する従動リング
7との間の密封端面6において、シートリング4と従動
リング7とが、互いに摺動して、漏れが防止される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、シール部であるシートリング4と従
動リング7の劣化、或いは取付不良によるシール不十分
状態を検知する方法はなく、密封流体3が外部に漏れ出
してから、初めて分かることになる。それゆえ、メカニ
カルシールの管理は、時間基準で、定期点検時に機器を
止め、(1)無条件で交換する。(2)悪くなっていれ
ば交換する。(3)まだ使用出来ればそのまま使用する
としていた。
【0008】このことは、例えば、「メンテナンス便
覧」頁819 日本プラントメンテナンス協会編
(財)日本プラントメンテナンス協会発行 1992年
3月25日印刷発行に示されている。今までは、このシ
ール部の故障は、漏れたガスや液をガスセンサ等で検知
してきたが、この方式だと、漏れた後しか検知できない
し、手遅れとなる事が多かつた。
【0009】本発明は、この問題点を、解決するもので
ある。本発明の目的は、シール部の予防保全或いは取り
付け不良等の故障検知が可能なメカニカルシール診断装
置を提供するにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 (1)シール部分にシートリングと従動リングとを具備
するメカニカルシールが使用されているメカニカルシー
ル装置のメカニカルシール診断装置において、前記メカ
ニカルシールに設けられた歪あるいは変形あるいは応力
を検出するセンサを具備したことを特徴とするメカニカ
ルシール診断装置。
【0011】(2)シール部分にシートリングと従動リ
ングとを具備するメカニカルシールが使用されているメ
カニカルシール装置のメカニカルシール診断装置におい
て、前記シートリングに設けられた歪あるいは変形ある
いは応力を検出する歪センサを具備したことを特徴とす
るメカニカルシール診断装置。
【0012】(3)シール部分にシートリングと従動リ
ングとを具備するメカニカルシールが使用されているメ
カニカルシール装置のメカニカルシール診断装置におい
て、前記シートリングと該シートリングの支持部との間
の静電容量を測定する静電容量センサを具備したことを
特徴とするメカニカルシール診断装置。
【0013】(4)シール部分にシートリングと従動リ
ングとを具備するメカニカルシールが使用されているメ
カニカルシール装置のメカニカルシール診断装置におい
て、前記シートリングと前記従動リングとの対向する面
間の静電容量を測定する静電容量センサを具備したこと
を特徴とするメカニカルシール診断装置。
【0014】(5)シール部分にシートリングと従動リ
ングとを具備するメカニカルシールが使用されているメ
カニカルシール装置のメカニカルシール診断装置におい
て、前記シートリングと該シートリングの支持部との間
の間隔を測定する光検出センサを具備したことを特徴と
するメカニカルシール診断装置。を構成したものであ
る。
【0015】
【作用】以上の構成において、メカニカルシールが故障
すると、メカニカルシールに設けられた、歪あるいは変
形あるいは応力を検出するセンサが、メカニカルシール
の故障を検知する。以下、実施例に基づき詳細に説明す
る。
【0016】
【実施例】図1は本発明の一実施例の要部構成説明図で
ある。図において、図5と同一記号の構成は同一機能を
表わす。以下、図5と相違部分のみ説明する。21は、
シートリング4に、貼付,スパッタ又は埋め込んで設け
られた歪検出センサである。
【0017】以上の構成において、メカニカルシールの
劣化、取付不良等によりシール機能が不十分になった場
合に、シートリング4に対する荷重のかかり方が変化し
シートリング4が歪んだり或いは変形したりする。歪検
出センサ21は、シートリング4に設けられているの
で、歪検出センサ21は、歪の変化を検知する。
【0018】この結果、シートリング4の歪の変化を検
知することにより、ガスや液の漏れが発生する前に、危
険な状態を察知することができ、メカニカルシールの交
換を実施でき、劣化に対する予防保全或いは取り付け不
良等の故障検知が可能となるので、災害の未然防止に効
果がある。
【0019】図2は、本発明の他の実施例の要部構成説
明図である。本実施例において、31は、シートリング
4の変形を検出する変形検出センサである。この場合
は、静電容量形検出センサ31が使用されている。
【0020】静電容量形検出センサ31は、シートリン
グ4に、貼付,スパッタ又は埋め込んで設けられた第1
電極311と、シートリング4の支持部であるスタフィ
ングボックス2の、第1電極311に対向する部分に設
けられた第2電極312とよりなる。
【0021】以上の構成において、メカニカルシールの
劣化、取付不良等によりシール機能が不十分になった場
合に、シートリング4に対する荷重のかかり方が変化し
シートリング4が変形する。静電容量形検出センサ31
は、シートリング4とスタフィングボックス2との間に
設けられているので、静電容量形検出センサ31は、シ
ートリング4の変形を検知できる。
【0022】この結果、シートリング4の変形を検知す
ることにより、ガスや液の漏れが発生する前に、危険な
状態を察知することができ、メカニカルシールの交換を
実施でき、劣化に対する予防保全或いは取り付け不良等
の故障検知が可能となるので、災害の未然防止に効果が
ある。
【0023】図3は、本発明の他の実施例の要部構成説
明図である。本実施例において、41は、シートリング
4の変形を検出する変形検出センサである。この場合
は、静電容量形検出センサ41が使用されている。
【0024】静電容量形検出センサ41は、シートリン
グ4と従動リング7との対向する面間の静電容量を測定
する。静電容量形検出センサ41は、シートリング4
に、貼付,スパッタ又は埋め込んで設けられたリング状
の第1電極411と、従動リング7の第1電極411に
対向する部分に設けられた第2電極412とよりなる。
【0025】以上の構成において、メカニカルシールの
劣化、取付不良等によりシール機能が不十分になった場
合に、シートリング4に対する荷重のかかり方が変化し
シートリング4が変形する。静電容量形検出センサ41
は、シートリング4と従動リング7との間に設けられて
いるので、静電容量形検出センサ41は、シートリング
4の変形を検知できる。
【0026】この結果、シートリング4の変形を検知す
ることにより、ガスや液の漏れが発生する前に、危険な
状態を察知することができ、メカニカルシールの交換を
実施でき、劣化に対する予防保全或いは取り付け不良等
の故障検知が可能となるので、災害の未然防止に効果が
ある。また、静電容量形検出センサ41は、シートリン
グ4と従動リング7との対向する面に沿って広く配置で
きるので、感度大なるものが得られる。
【0027】図4は、本発明の他の実施例の要部構成説
明図である。本実施例において、51は、変形検出セン
サである。この場合は、光検出センサ51が使用されて
いる。光検出センサ51は、シートリング4の支持部で
あるスタフィングボックス2に埋め込まれた投光用光フ
ァイバー511と受光用光ファイバー512と、光電変
換アンプ513よりなる。
【0028】以上の構成において、光検出センサ51
は、シートリング4とスタフィングボックス2との間隔
を検知するように設けられているので、シートリング4
が劣化等によりシール機能を果たさなくなり、シートリ
ング4が変形した場合に、投光用光ファイバー511か
ら出射された光が、シートリング4の表面で反射されて
受光用光ファイバー512に戻る光量が変化して、それ
に連れて光電変換アンプ513の出力が変化して、シー
トリング4の変形を検知する。
【0029】この結果、投光用光ファイバー511から
出射された光が、シートリング4の表面で反射されて受
光用光ファイバー512に戻る光量の変化を検知するこ
とにより、ガスや液の漏れが発生する前に、危険な状態
を察知することができ、メカニカルシールの交換を実施
でき、予防保全或いは取り付け不良等の故障検知ができ
るので、災害の未然防止に効果がある。また、光検出セ
ンサ51を使用したので、電気ノイズに対して強くな
り、耐ノイズ特性が良好なメカニカルシール診断装置が
得られる。
【0030】なお、検出センサ21,31,41,51
の検知信号を、図1に示す如く、診断警報装置61に接
続して、アラーム信号を発するようにしてもよい。ま
た、検知したアラーム信号を、スタフィングボックス2
等の機器自体に取付たLED等を使用して表示すること
により、機器の配置されている現場において、パトロー
ル時等に容易にメンテナンスを行えるようにしてもよ
い。また、検出センサ21,31,41,51の取付け
方法、位置等について、実施例に限定されるものではな
い。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、 (1)シール部分にシートリングと従動リングとを具備
するメカニカルシールが使用されているメカニカルシー
ル装置のメカニカルシール診断装置において、前記メカ
ニカルシールに設けられた歪あるいは変形あるいは応力
を検出するセンサを具備したことを特徴とするメカニカ
ルシール診断装置。
【0032】(2)シール部分にシートリングと従動リ
ングとを具備するメカニカルシールが使用されているメ
カニカルシール装置のメカニカルシール診断装置におい
て、前記シートリングに設けられた歪あるいは変形ある
いは応力を検出する歪センサを具備したことを特徴とす
るメカニカルシール診断装置。
【0033】(3)シール部分にシートリングと従動リ
ングとを具備するメカニカルシールが使用されているメ
カニカルシール装置のメカニカルシール診断装置におい
て、前記シートリングと該シートリングの支持部との間
の静電容量を測定する静電容量センサを具備したことを
特徴とするメカニカルシール診断装置。
【0034】(4)シール部分にシートリングと従動リ
ングとを具備するメカニカルシールが使用されているメ
カニカルシール装置のメカニカルシール診断装置におい
て、前記シートリングと前記従動リングとの対向する面
間の静電容量を測定する静電容量センサを具備したこと
を特徴とするメカニカルシール診断装置。を構成した。
【0035】(5)シール部分にシートリングと従動リ
ングとを具備するメカニカルシールが使用されているメ
カニカルシール装置のメカニカルシール診断装置におい
て、前記シートリングと該シートリングの支持部との間
の間隔を測定する光検出センサを具備したことを特徴と
するメカニカルシール診断装置。
【0036】この結果、特許請求の範囲第1項の発明に
よれば、メカニカルシールに設けられた歪あるいは変形
あるいは応力を検出するセンサの変化を検知することに
より、ガスや液の漏れが発生する前に、危険な状態を察
知することができ、メカニカルシールの交換を実施で
き、予防保全と取り付け不良等の故障検知が可能となる
ので、災害の未然防止に効果がある。
【0037】特許請求の範囲第2項の発明によれば、シ
ートリングに設けられた歪あるいは変形あるいは応力を
検出する歪センサの変化を検知することにより、ガスや
液の漏れが発生する前に、危険な状態を察知することが
でき、メカニカルシールの交換を実施でき、予防保全が
と取付不良の検知可能となるので、災害の未然防止に効
果がある。
【0038】特許請求の範囲第3項の発明によれば、シ
ートリングとシートリングの支持部との間の静電容量を
測定する静電容量センサの変化を検知することにより、
ガスや液の漏れが発生する前に、危険な状態を察知する
ことができ、メカニカルシールの交換を実施でき、予防
保全と取り付け不良等の故障検知が可能となるので、災
害の未然防止に効果がある。
【0039】特許請求の範囲第4項の発明によれば、シ
ートリングと従動リングとの対向する面間の静電容量を
測定する静電容量センサの変化を検知することにより、
ガスや液の漏れが発生する前に、危険な状態を察知する
ことができ、メカニカルシールの交換を実施でき、予防
保全と取り付け不良等の故障検知が可能となるので、災
害の未然防止に効果がある。また、静電容量形検出セン
サは、シートリングと従動リングとの対向する面に沿っ
て広く配置できるので、感度大なるものが得られる。
【0040】特許請求の範囲第5項の発明によれば、シ
ートリングとシートリングの支持部との間の間隔を測定
する光検出センサを使用するようにしたので,ガスや液
の漏れが発生する前に、危険な状態を察知することがで
き、シール部のメカニカルシールの交換を実施でき、予
防保全と取り付け不良等の故障検知が可能となるので、
災害の未然防止に効果がある。また、光検出センサを使
用したので、電気ノイズに対して強くなり、耐ノイズ特
性が良好なメカニカルシール診断装置が得られる。
【0041】従って、本発明によれば、シール部の予防
保全或いは取り付け不良等の故障検知が可能なメカニカ
ルシール診断装置を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図2】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図3】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図4】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図5】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
【符号の説明】
1…回転軸 2…スタフィングボックス 3…密封流体 4…シートリング 5…緩衝リング 6…密封端面 7…従動リング 8…ばね 9…軸パッキング 21…歪検出センサ 31…静電容量形検出センサ 311…第1電極 312…第2電極 41…静電容量形検出センサ 411…第1電極 412…第2電極 51…光検出センサ 511…投光用光ファイバー 512…受光用光ファイバー 61…診断警報装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 靖典 東京都武蔵野市中町2丁目9番32号 横河 電機株式会社内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】シール部分にシートリングと従動リングと
    を具備するメカニカルシールが使用されているメカニカ
    ルシール装置のメカニカルシール診断装置において、 前記メカニカルシールに設けられた歪あるいは変形ある
    いは応力を検出するセンサを具備したことを特徴とする
    メカニカルシール診断装置。
  2. 【請求項2】シール部分にシートリングと従動リングと
    を具備するメカニカルシールが使用されているメカニカ
    ルシール装置のメカニカルシール診断装置において、 前記シートリングに設けられた歪あるいは変形あるいは
    応力を検出する歪センサを具備したことを特徴とするメ
    カニカルシール診断装置。
  3. 【請求項3】シール部分にシートリングと従動リングと
    を具備するメカニカルシールが使用されているメカニカ
    ルシール装置のメカニカルシール診断装置において、 前記シートリングと該シートリングの支持部との間の静
    電容量を測定する静電容量センサを具備したことを特徴
    とするメカニカルシール診断装置。
  4. 【請求項4】シール部分にシートリングと従動リングと
    を具備するメカニカルシールが使用されているメカニカ
    ルシール装置のメカニカルシール診断装置において、 前記シートリングと前記従動リングとの対向する面間の
    静電容量を測定する静電容量センサを具備したことを特
    徴とするメカニカルシール診断装置。
  5. 【請求項5】シール部分にシートリングと従動リングと
    を具備するメカニカルシールが使用されているメカニカ
    ルシール装置のメカニカルシール診断装置において、 前記シートリングと該シートリングの支持部との間の間
    隔を測定する光検出センサを具備したことを特徴とする
    メカニカルシール診断装置。
JP6130367A 1994-06-13 1994-06-13 メカニカルシール診断装置 Withdrawn JPH07332502A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6130367A JPH07332502A (ja) 1994-06-13 1994-06-13 メカニカルシール診断装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6130367A JPH07332502A (ja) 1994-06-13 1994-06-13 メカニカルシール診断装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07332502A true JPH07332502A (ja) 1995-12-22

Family

ID=15032688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6130367A Withdrawn JPH07332502A (ja) 1994-06-13 1994-06-13 メカニカルシール診断装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07332502A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2395532A (en) * 2002-10-25 2004-05-26 Aes Eng Ltd A sealing device for rotating equipment including monitoring means via sensors and at least one data storage device
DE102004025135A1 (de) * 2004-05-17 2005-12-15 Pt-Poly-Tec Gmbh Vertrieb Und Herstellung Von Dichtsystemen Verfahren und Anordnung zur Leckagevorwarnung und Bauteilpositionierungsanzeige bei Muffenverbindungen
JP2010159752A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 Man Turbo Ag 密閉構造、特にガス圧縮機あるいはガス膨張機の密閉構造の監視
WO2010142367A1 (de) * 2009-06-10 2010-12-16 Eagleburgmann Germany Gmbh & Co. Kg Gleitringdichtung mit reibungsüberwachungseinrichtung
US8264347B2 (en) 2008-06-24 2012-09-11 Trelleborg Sealing Solutions Us, Inc. Seal system in situ lifetime measurement
FR3065286A1 (fr) * 2017-04-14 2018-10-19 Universite De Picardie Jules Verne Surveillance de l'etat d'un dispositif de garniture mecanique
CN113853493A (zh) * 2019-05-23 2021-12-28 日本伊格尔博格曼有限公司 机械密封

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2395532A (en) * 2002-10-25 2004-05-26 Aes Eng Ltd A sealing device for rotating equipment including monitoring means via sensors and at least one data storage device
DE102004025135A1 (de) * 2004-05-17 2005-12-15 Pt-Poly-Tec Gmbh Vertrieb Und Herstellung Von Dichtsystemen Verfahren und Anordnung zur Leckagevorwarnung und Bauteilpositionierungsanzeige bei Muffenverbindungen
DE102004025135B4 (de) * 2004-05-17 2006-04-20 Pt-Poly-Tec Gmbh Vertrieb Und Herstellung Von Dichtsystemen Verfahren und Anordnung zur Leckagevorwarnung und Bauteilpositionierungsanzeige bei Muffenverbindungen
US8264347B2 (en) 2008-06-24 2012-09-11 Trelleborg Sealing Solutions Us, Inc. Seal system in situ lifetime measurement
JP2010159752A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 Man Turbo Ag 密閉構造、特にガス圧縮機あるいはガス膨張機の密閉構造の監視
WO2010142367A1 (de) * 2009-06-10 2010-12-16 Eagleburgmann Germany Gmbh & Co. Kg Gleitringdichtung mit reibungsüberwachungseinrichtung
FR3065286A1 (fr) * 2017-04-14 2018-10-19 Universite De Picardie Jules Verne Surveillance de l'etat d'un dispositif de garniture mecanique
CN113853493A (zh) * 2019-05-23 2021-12-28 日本伊格尔博格曼有限公司 机械密封

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105829850B (zh) 用于运行测压转换器的方法以及测压转换器
JP2681725B2 (ja) メカニカルシールの挙動監視装置
US6626436B2 (en) Monitoring seal system
EP2510264B1 (en) Sensorized seal unit
US5002287A (en) Seal
CN110438891A (zh) 具有位移测量与监测功能的摩擦摆支座
JPH0828711A (ja) グランドパッキングシール診断装置
JPH09105466A (ja) グランドパッキンシール診断装置
KR20040015238A (ko) 베어링의 하중 감지 및 베어링의 상태 감시를 조합한 센서어셈블리 및 센서 시스템
CN115917277B (zh) 用于测量压力的压力测量单元
JP3256726B2 (ja) モニタリング付メカニカルシールを備えた容器
EP1290367A2 (en) Monitoring seal system
JPH11190675A (ja) 密封装置からの漏洩検出装置
JP2526753Y2 (ja) トルクセンサ付きメカニカルシール
JPH09257617A (ja) 圧力センサ及びこれを用いたガス異常監視装置
US7739923B2 (en) Torque measuring method and apparatus for motor-operated valve
JP3081075B2 (ja) モニタリング付メカニカルシール
JPH10252749A (ja) 転がり軸受装置
CN105785063A (zh) 一种矿用转速测量装置及其测量方法
JPS6319663Y2 (ja)
JP2874980B2 (ja) 偏心・振動測定装置
CN222124395U (zh) 超声波传感器的高密封壳体结构及超声波传感器
CN218765367U (zh) 一种变送器检具连接装置及变送器检测装置
KR0135489B1 (ko) 토크의 변동을 이용한 미캐리컬 실의 이상상태 감시시스템
JPS637842Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20010904