JPH07332913A - 磁気式位置センサ - Google Patents
磁気式位置センサInfo
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- JPH07332913A JPH07332913A JP13211894A JP13211894A JPH07332913A JP H07332913 A JPH07332913 A JP H07332913A JP 13211894 A JP13211894 A JP 13211894A JP 13211894 A JP13211894 A JP 13211894A JP H07332913 A JPH07332913 A JP H07332913A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic path
- coil
- coils
- forming means
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Combined Controls Of Internal Combustion Engines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 少なくとも1つの第1閉磁路を形成する第1
の磁路形成手段(1)と、第1の磁路形成手段に対して
非接触で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって第
1閉磁路を2つの閉磁路に分岐する分岐磁路を形成する
第2の磁路形成手段(6)と、所定範囲を挟む位置にて
第1閉磁路に鎖交する2つの第1及び第2コイル(2、
3)と、分岐磁路に鎖交する1つの第3コイル(4)と
からなり、第3のコイルを励磁して、第1及び第2のコ
イル(2、3)に生じる起電力を検出して第2の磁路形
成手段(5)の位置を得る磁気式位置センサであって、
第1及び第2のコイル(2、3)に生じる起電力の加算
値が常に一定になるように第3のコイル(4)に流れる
励磁電流を制御する。 【効果】 本発明の磁気式位置センサによれば、経時変
動等の影響を受けることなく高精度に位置検出が可能と
なる。
の磁路形成手段(1)と、第1の磁路形成手段に対して
非接触で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって第
1閉磁路を2つの閉磁路に分岐する分岐磁路を形成する
第2の磁路形成手段(6)と、所定範囲を挟む位置にて
第1閉磁路に鎖交する2つの第1及び第2コイル(2、
3)と、分岐磁路に鎖交する1つの第3コイル(4)と
からなり、第3のコイルを励磁して、第1及び第2のコ
イル(2、3)に生じる起電力を検出して第2の磁路形
成手段(5)の位置を得る磁気式位置センサであって、
第1及び第2のコイル(2、3)に生じる起電力の加算
値が常に一定になるように第3のコイル(4)に流れる
励磁電流を制御する。 【効果】 本発明の磁気式位置センサによれば、経時変
動等の影響を受けることなく高精度に位置検出が可能と
なる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、直線移動あるいは回転
移動する可動部材の位置を検出できる磁気式位置センサ
に関する。
移動する可動部材の位置を検出できる磁気式位置センサ
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、かかる磁気式位置センサとして、
自動車等のスロットル開度を検出するスロットルポジシ
ョンセンサ(Throttle Position Senser)が知られてい
る。一例を示すと、例えば、特公昭55−13286及
び特公昭55−9818に開示されているものがある。
これらは、可動磁心と固定磁心とが3つの対向部で結合
し、2つの閉回路を構成している。可動磁心の変位によ
り対向部面積が変化し、各閉磁路の磁気抵抗による各コ
イルのインダクタンス変化を検出して、可動磁心の位置
信号を検出するものである。
自動車等のスロットル開度を検出するスロットルポジシ
ョンセンサ(Throttle Position Senser)が知られてい
る。一例を示すと、例えば、特公昭55−13286及
び特公昭55−9818に開示されているものがある。
これらは、可動磁心と固定磁心とが3つの対向部で結合
し、2つの閉回路を構成している。可動磁心の変位によ
り対向部面積が変化し、各閉磁路の磁気抵抗による各コ
イルのインダクタンス変化を検出して、可動磁心の位置
信号を検出するものである。
【0003】しかし、可動磁心と固定磁心で作られる2
つの閉回路は、対向部面積以外に、そのギャップ長の影
響を受けることになり、固定磁心が可動磁心に対して変
位する時に、両磁心のギャップ長を一定に維持するため
には、両磁心の対向面の平行度を高精度に製造する必要
があるため製造コストが高くなるという問題がある。ま
た、ホール素子を利用した磁気式位置センサがある。例
えば特開平5−26610号公報に開示されているよう
なものである。
つの閉回路は、対向部面積以外に、そのギャップ長の影
響を受けることになり、固定磁心が可動磁心に対して変
位する時に、両磁心のギャップ長を一定に維持するため
には、両磁心の対向面の平行度を高精度に製造する必要
があるため製造コストが高くなるという問題がある。ま
た、ホール素子を利用した磁気式位置センサがある。例
えば特開平5−26610号公報に開示されているよう
なものである。
【0004】かかるセンサの構造は、スロットルバルブ
に連動して回転するスロットルシャフトと一体的に回動
するように、その回転面上に一対の永久磁石を対向配置
し、さらに、この一対の永久磁石間でスロットルシャフ
トの軸線上に一つのホール素子を配置したものとなって
いる。これによれば、一対の永久磁石がスロットルシャ
フトの回転軸を挟んで磁気回路を形成する。そして、そ
の形成された磁気回路の磁界方向は、スロットルシャフ
トの回転角度に応じて変化することになる。従って、か
かる一対の永久磁石間に設けられたホール素子を通過す
る磁束の変化を検出して、スロットルの開度を検出でき
るというものである。
に連動して回転するスロットルシャフトと一体的に回動
するように、その回転面上に一対の永久磁石を対向配置
し、さらに、この一対の永久磁石間でスロットルシャフ
トの軸線上に一つのホール素子を配置したものとなって
いる。これによれば、一対の永久磁石がスロットルシャ
フトの回転軸を挟んで磁気回路を形成する。そして、そ
の形成された磁気回路の磁界方向は、スロットルシャフ
トの回転角度に応じて変化することになる。従って、か
かる一対の永久磁石間に設けられたホール素子を通過す
る磁束の変化を検出して、スロットルの開度を検出でき
るというものである。
【0005】また、シャフトの回転軸を中心とする円弧
上に沿って一対の円弧状永久磁石を並設し、これら円弧
状永久磁石から回転軸の軸線方向に離間した位置に一つ
のホール素子を配置して、かかる一対の円弧状永久磁石
によって形成される磁気回路の磁界の方向を検出するこ
とにより、アイドル運転状態を検出できるというもので
ある。
上に沿って一対の円弧状永久磁石を並設し、これら円弧
状永久磁石から回転軸の軸線方向に離間した位置に一つ
のホール素子を配置して、かかる一対の円弧状永久磁石
によって形成される磁気回路の磁界の方向を検出するこ
とにより、アイドル運転状態を検出できるというもので
ある。
【0006】これらの磁気式位置センサはいずれも、一
つの磁気回路内に一つのホール素子を配置して、かかる
磁気回路内の磁界の変化等を検出する構造となってい
る。しかし、磁気位置センサにホール素子等を用いる場
合には、その温度特性により出力ドリフトが生じるので
温度補償のための温度補償回路等が必要になるという欠
点がある。
つの磁気回路内に一つのホール素子を配置して、かかる
磁気回路内の磁界の変化等を検出する構造となってい
る。しかし、磁気位置センサにホール素子等を用いる場
合には、その温度特性により出力ドリフトが生じるので
温度補償のための温度補償回路等が必要になるという欠
点がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の問題点
等に鑑み、本願発明の目的とするところは、加工精度を
要求しない簡素な構成で、かつ耐久性があり、雰囲気温
度あるいはセンサを構成する磁性材料のインダクタンス
特性等の影響を受けることがなく、回動移動あるいは直
線移動等の変位位置を小規模な回路で高精度に検出でき
る磁気式位置センサを提供することにある。
等に鑑み、本願発明の目的とするところは、加工精度を
要求しない簡素な構成で、かつ耐久性があり、雰囲気温
度あるいはセンサを構成する磁性材料のインダクタンス
特性等の影響を受けることがなく、回動移動あるいは直
線移動等の変位位置を小規模な回路で高精度に検出でき
る磁気式位置センサを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気式位置セン
サは、少なくとも1つの第1閉磁路を形成する第1の磁
路形成手段と、前記第1の磁路形成手段に対して非接触
で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって前記第1
閉磁路を2つの閉磁路に分岐する分岐磁路を形成する第
2の磁路形成手段と、前記所定範囲を挟む位置にて前記
第1閉磁路に鎖交する2つの第1及び第2コイルと、前
記分岐磁路に鎖交する1つの第3コイルと、前記3つの
うち1つのコイルを交流励磁し、他の2つのコイルに発
生する起電力を検出して前記第2の磁路形成手段の位置
信号を発生する位置信号発生手段と、を有する磁気式位
置センサであって、前記位置信号発生手段は、前記他の
2つのコイルの検出起電力の加算値に応じて、前記1つ
のコイルに流れる励磁電流を制御し、前記他の2つのコ
イルの少なくとも一方の出力を検出出力とすることを特
徴とするものである。
サは、少なくとも1つの第1閉磁路を形成する第1の磁
路形成手段と、前記第1の磁路形成手段に対して非接触
で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって前記第1
閉磁路を2つの閉磁路に分岐する分岐磁路を形成する第
2の磁路形成手段と、前記所定範囲を挟む位置にて前記
第1閉磁路に鎖交する2つの第1及び第2コイルと、前
記分岐磁路に鎖交する1つの第3コイルと、前記3つの
うち1つのコイルを交流励磁し、他の2つのコイルに発
生する起電力を検出して前記第2の磁路形成手段の位置
信号を発生する位置信号発生手段と、を有する磁気式位
置センサであって、前記位置信号発生手段は、前記他の
2つのコイルの検出起電力の加算値に応じて、前記1つ
のコイルに流れる励磁電流を制御し、前記他の2つのコ
イルの少なくとも一方の出力を検出出力とすることを特
徴とするものである。
【0009】
【作用】このような特徴を有する本発明の磁気式位置セ
ンサによれば、センサ内に配置された3つのコイルの1
つを励磁し、第2の磁路形成手段の位置に対応した他の
2つのコイルに生じる起電力を検出する。その両検出出
力の加算値と基準値を比較して差信号を得る。かかる差
信号により前記1つのコイルを励磁する励磁電流を調整
することにより、前記他の2つのコイルの起電力の加算
値が常に一定になるように前記1つのコイルに流れる励
磁電流を制御するものである。また、他の2つのコイル
の起電力の加算値が常に一定であるので、第2の磁路形
成手段の位置は、一方のコイルの起電力に比例すること
になる。従って、1つのコイルの起電力を検出すること
により正確に第2の磁路形成手段の位置を検出すること
が可能となる。
ンサによれば、センサ内に配置された3つのコイルの1
つを励磁し、第2の磁路形成手段の位置に対応した他の
2つのコイルに生じる起電力を検出する。その両検出出
力の加算値と基準値を比較して差信号を得る。かかる差
信号により前記1つのコイルを励磁する励磁電流を調整
することにより、前記他の2つのコイルの起電力の加算
値が常に一定になるように前記1つのコイルに流れる励
磁電流を制御するものである。また、他の2つのコイル
の起電力の加算値が常に一定であるので、第2の磁路形
成手段の位置は、一方のコイルの起電力に比例すること
になる。従って、1つのコイルの起電力を検出すること
により正確に第2の磁路形成手段の位置を検出すること
が可能となる。
【0010】
【実施例】以下、本願発明に係わる磁気式位置センサの
実施例を第1図に示す。本図に示される実施例において
は、第1の磁路形成手段は、半円環状磁性部材1a及び
半円環状磁性部材1aの両脚部間に架設された棒状磁性
部材1bとからなる。第2の磁路形成手段は、コイル4
が巻回された磁性部材7及び磁路部材5から構成されて
いる。磁性部材7及び磁路部材5は、半円環状磁性部材
1a及び棒状磁性部材1bによって囲まれる空間内に配
置されている。磁性部材7の一端は棒状磁性部材1bと
当接又は固着している。また、磁性部材7と棒状磁性部
材1bとは一体に成型されることも考えられる。磁路部
材5は回動シャフト6にネジ等の結合手段8により結合
されており、磁路部材5は回動シャフト6に担持されて
半円環状磁性部材1aの半円周内で回動運動を行う。磁
性部材7の他端は磁路部材5の回転中心部と当接してい
る。半円環状磁性部材1aの曲率半径よりも磁路部材5
の回動半径は小さく設定され、それら曲率の中心と回動
の中心とは一致している。また、半円環状磁性部材1a
には一対のコイル2、3が巻回配置されている。
実施例を第1図に示す。本図に示される実施例において
は、第1の磁路形成手段は、半円環状磁性部材1a及び
半円環状磁性部材1aの両脚部間に架設された棒状磁性
部材1bとからなる。第2の磁路形成手段は、コイル4
が巻回された磁性部材7及び磁路部材5から構成されて
いる。磁性部材7及び磁路部材5は、半円環状磁性部材
1a及び棒状磁性部材1bによって囲まれる空間内に配
置されている。磁性部材7の一端は棒状磁性部材1bと
当接又は固着している。また、磁性部材7と棒状磁性部
材1bとは一体に成型されることも考えられる。磁路部
材5は回動シャフト6にネジ等の結合手段8により結合
されており、磁路部材5は回動シャフト6に担持されて
半円環状磁性部材1aの半円周内で回動運動を行う。磁
性部材7の他端は磁路部材5の回転中心部と当接してい
る。半円環状磁性部材1aの曲率半径よりも磁路部材5
の回動半径は小さく設定され、それら曲率の中心と回動
の中心とは一致している。また、半円環状磁性部材1a
には一対のコイル2、3が巻回配置されている。
【0011】以上のような構成から成る磁気式位置セン
サによれば、コイル4を図示しない交流電源にて励磁す
るとコイル4からでた磁束は、磁路部材5を通り、磁路
部材5と半円環状磁性部材1aとのギャップを通過して
半円環状磁性部材1aに入り、2つの磁束に分岐されコ
イル2、3を夫々経由し、棒状磁性部材1bを通り、再
びコイル4に戻り2つの閉磁路を形成する。この磁束の
方向は励磁電流の方向に応じて変化する。このように2
分された閉磁路において、コイル2、3の出力電圧を検
出すれば磁路部材5の位置すなわち回転角度を検出する
ことができる。
サによれば、コイル4を図示しない交流電源にて励磁す
るとコイル4からでた磁束は、磁路部材5を通り、磁路
部材5と半円環状磁性部材1aとのギャップを通過して
半円環状磁性部材1aに入り、2つの磁束に分岐されコ
イル2、3を夫々経由し、棒状磁性部材1bを通り、再
びコイル4に戻り2つの閉磁路を形成する。この磁束の
方向は励磁電流の方向に応じて変化する。このように2
分された閉磁路において、コイル2、3の出力電圧を検
出すれば磁路部材5の位置すなわち回転角度を検出する
ことができる。
【0012】また、本実施例に係る磁気式位置センサの
具体的応用については、回動シャフトを例えば内燃機関
のスロットルバルブに連結することにより、スロットル
ポジションセンサを得ることができる。以上の実施例等
に係る磁気式位置センサは、さらに、自動工作機械、自
動搬送機械等における位置検出手段としても用いること
ができ、工場の自動化(FA)等においても好ましく適
用できるものである。
具体的応用については、回動シャフトを例えば内燃機関
のスロットルバルブに連結することにより、スロットル
ポジションセンサを得ることができる。以上の実施例等
に係る磁気式位置センサは、さらに、自動工作機械、自
動搬送機械等における位置検出手段としても用いること
ができ、工場の自動化(FA)等においても好ましく適
用できるものである。
【0013】次に、上記した実施例等に係わる磁気式位
置センサの動作原理を図2の概念図に基づいて説明す
る。図1と同等部分は同一符号を付し、同一部材の説明
は省略する。図2において、磁束の流れを矢印で表す。
コイル4を図示しない交流電源にて励磁すると磁束が発
せられる。コイル4から発した磁束はギャップ9、磁路
部材5、及びギャップ10を通過して半円環状磁性部材
1aに入り磁束は2つに分岐され、コイル2、3を夫々
経由し、棒状磁性部材1bを通り、コイル4に再び戻
り、2つの閉磁路S1及びS2が夫々形成される。
置センサの動作原理を図2の概念図に基づいて説明す
る。図1と同等部分は同一符号を付し、同一部材の説明
は省略する。図2において、磁束の流れを矢印で表す。
コイル4を図示しない交流電源にて励磁すると磁束が発
せられる。コイル4から発した磁束はギャップ9、磁路
部材5、及びギャップ10を通過して半円環状磁性部材
1aに入り磁束は2つに分岐され、コイル2、3を夫々
経由し、棒状磁性部材1bを通り、コイル4に再び戻
り、2つの閉磁路S1及びS2が夫々形成される。
【0014】この時、2つの閉磁路S1及びS2を通る
磁束の大きさは、磁路部材5の位置に応じて変化する。
例えば、磁路部材5がコイル3側に回転すればコイル3
に鎖交する磁束の大きさが増加し、その分コイル2に鎖
交する磁束の大きさが減少する。一方、磁路部材5がコ
イル2側に回転すれば、上記現象と逆の現象が生じるこ
とになる。
磁束の大きさは、磁路部材5の位置に応じて変化する。
例えば、磁路部材5がコイル3側に回転すればコイル3
に鎖交する磁束の大きさが増加し、その分コイル2に鎖
交する磁束の大きさが減少する。一方、磁路部材5がコ
イル2側に回転すれば、上記現象と逆の現象が生じるこ
とになる。
【0015】従って、かかるコイル2、3の起電力を検
出することにより、磁性部材1に対する磁路部材5の位
置すなわち回転角を求めることができる。以下、この検
出原理を図2の概念図に基づいて詳述する。磁路部材5
の回動中心Oから半円環状磁性部材1aに対し垂下した
線と半円環状磁性部材1aとが交差する点をCとする。
O−C線と磁路部材5とが為す角をα(ここで、αの単
位をラジアンとする)とする。半円環状磁性部材1a及
び棒状磁性部材1bにおいて磁束が通る全経路長を2L
とし、磁性部材7、磁路部材5の長さをL1、L2とし、
磁路部材5の回動半径をrとし、磁束の通過する断面積
を全てSとし、磁性部材7、磁路部材5の磁界の強さを
H0、H3とし、ギャップ9、10の磁界の強さをH9、
H10とし、ギャップ9、10の長さをL9、L10とし、
閉磁路S1、S2の磁界の強さを夫々H1、H2とし、コ
イル4で発生する起磁力をNiとするとアンペアの周積
分の定理より閉磁路S1、S2には、それぞれ下記数式
1、数式2の関係がある。
出することにより、磁性部材1に対する磁路部材5の位
置すなわち回転角を求めることができる。以下、この検
出原理を図2の概念図に基づいて詳述する。磁路部材5
の回動中心Oから半円環状磁性部材1aに対し垂下した
線と半円環状磁性部材1aとが交差する点をCとする。
O−C線と磁路部材5とが為す角をα(ここで、αの単
位をラジアンとする)とする。半円環状磁性部材1a及
び棒状磁性部材1bにおいて磁束が通る全経路長を2L
とし、磁性部材7、磁路部材5の長さをL1、L2とし、
磁路部材5の回動半径をrとし、磁束の通過する断面積
を全てSとし、磁性部材7、磁路部材5の磁界の強さを
H0、H3とし、ギャップ9、10の磁界の強さをH9、
H10とし、ギャップ9、10の長さをL9、L10とし、
閉磁路S1、S2の磁界の強さを夫々H1、H2とし、コ
イル4で発生する起磁力をNiとするとアンペアの周積
分の定理より閉磁路S1、S2には、それぞれ下記数式
1、数式2の関係がある。
【0016】
【数1】H0・L1+H9・L9+H3・L2+H10・L10+
H1(L+r・α)=Ni
H1(L+r・α)=Ni
【0017】
【数2】H0・L1+H9・L9+H3・L2+H10・L10+
H2(L−r・α)=Ni 上記数式1及び2において、共通項を削除するために、
(上記数式1)−(上記数式2)なる演算をなし、その
結果をαについてまとめると下記数式3の関係が導き出
される。
H2(L−r・α)=Ni 上記数式1及び2において、共通項を削除するために、
(上記数式1)−(上記数式2)なる演算をなし、その
結果をαについてまとめると下記数式3の関係が導き出
される。
【0018】
【数3】 ここでH2+H1=const(constは定数)とすると下記数
式4が導出される。
式4が導出される。
【0019】
【数4】 コイル2、3に生じる交流電圧V1及びV2は、H1及び
H2に比例するので下記数式5が導かれる。
H2に比例するので下記数式5が導かれる。
【0020】
【数5】 ここで、上記数式5をαについて整理すると、下記数式
6が導かれる。
6が導かれる。
【0021】
【数6】 α=(2L/r・const)・(V2−const/2) 上記数式3より明かな如くV1及びV2を検出することで
磁路部材5の回転角を得ることができる。さらに、(V
1+V2)を一定に制御できれば、磁路部材5の回転角は
上記数式6より明らか如くV2のみで正確に表すことが
可能となる。
磁路部材5の回転角を得ることができる。さらに、(V
1+V2)を一定に制御できれば、磁路部材5の回転角は
上記数式6より明らか如くV2のみで正確に表すことが
可能となる。
【0022】次に、図3に、上記図1のコイル4を励磁
してコイル2,3に生じる起電力に基づいて、磁路部材
5の位置を示す位置信号を発生する位置信号発生回路の
実施例を示す。図3の位置信号発生回路は、電圧検出回
路11,12、加算回路13、制御回路14、及び励磁
回路15から構成されている。次に、かかる位置信号検
出回路の動作を説明する。コイル4を励磁回路15にて
交流励磁すると、コイル2,3には起電力が生じる(図
1参照)。このコイル2,3の出力は電圧検出回路1
1,12にそれぞれ入力し、電圧V1,V2が検出され
る。この検出電圧V1及びV2は加算回路13で加算さ
れV3となる。この加算回路13の出力V3は制御回路
14の一方に入力され、他方には基準電圧Vrefが入力
される。この制御回路14ではV3と基準電圧Vrefと
の差に応じた差信号S1が生成され励磁回路15に供給
される。この差信号S1によりコイル4に印加する励磁
電圧を制御して、コイル4に流れる励磁電流を制御する
ものである。
してコイル2,3に生じる起電力に基づいて、磁路部材
5の位置を示す位置信号を発生する位置信号発生回路の
実施例を示す。図3の位置信号発生回路は、電圧検出回
路11,12、加算回路13、制御回路14、及び励磁
回路15から構成されている。次に、かかる位置信号検
出回路の動作を説明する。コイル4を励磁回路15にて
交流励磁すると、コイル2,3には起電力が生じる(図
1参照)。このコイル2,3の出力は電圧検出回路1
1,12にそれぞれ入力し、電圧V1,V2が検出され
る。この検出電圧V1及びV2は加算回路13で加算さ
れV3となる。この加算回路13の出力V3は制御回路
14の一方に入力され、他方には基準電圧Vrefが入力
される。この制御回路14ではV3と基準電圧Vrefと
の差に応じた差信号S1が生成され励磁回路15に供給
される。この差信号S1によりコイル4に印加する励磁
電圧を制御して、コイル4に流れる励磁電流を制御する
ものである。
【0023】この位置信号発生回路では、2つのコイル
の出力電圧の加算値V3を常に一定にすることが可能と
なる。上記数式6より磁路部材5の位置は、一方のコイ
ルの出力電圧に比例するので、V1のみを検出して磁路
部材5の位置を検出することができる。換言すれば、複
数の検出コイルのうち1つのコイルの電圧を検出して比
検出部材の位置の検出が可能となる。
の出力電圧の加算値V3を常に一定にすることが可能と
なる。上記数式6より磁路部材5の位置は、一方のコイ
ルの出力電圧に比例するので、V1のみを検出して磁路
部材5の位置を検出することができる。換言すれば、複
数の検出コイルのうち1つのコイルの電圧を検出して比
検出部材の位置の検出が可能となる。
【0024】さらに、本願発明によれば、二つのコイル
に出力電圧の加算値が一定になるようにコイル4に印加
する励磁電圧を制御しているので、経時変動等の影響を
受けることなく、常に高精度なセンサ出力が得られる。
尚、上記実施例では、V1を位置信号としたがV2を位
置信号としても良い。次に、図3の位置信号発生回路の
具体的電気回路例を図4に示す。
に出力電圧の加算値が一定になるようにコイル4に印加
する励磁電圧を制御しているので、経時変動等の影響を
受けることなく、常に高精度なセンサ出力が得られる。
尚、上記実施例では、V1を位置信号としたがV2を位
置信号としても良い。次に、図3の位置信号発生回路の
具体的電気回路例を図4に示す。
【0025】図4(a)に示す電圧検出回路はコイル2
の出力電圧を検出する電圧検出回路11の具体例であ
る。かかる電圧検出回路は、増幅部、整流部、平滑部か
らなり、実効電圧を検出するものである。コイル2の出
力電圧は抵抗R1〜R6で決まる増幅率で増幅される。
ダイオードD1及びD2は整流作用をなし、コンデンサ
C1及びC2は平滑化を行う。尚、R8はオフセット調
整用である。かかる電圧検出回路の出力はV1となる。
コイル3の出力電圧を検出する電圧検出回路12につい
ても同じ構成の回路を用いることが出来る。
の出力電圧を検出する電圧検出回路11の具体例であ
る。かかる電圧検出回路は、増幅部、整流部、平滑部か
らなり、実効電圧を検出するものである。コイル2の出
力電圧は抵抗R1〜R6で決まる増幅率で増幅される。
ダイオードD1及びD2は整流作用をなし、コンデンサ
C1及びC2は平滑化を行う。尚、R8はオフセット調
整用である。かかる電圧検出回路の出力はV1となる。
コイル3の出力電圧を検出する電圧検出回路12につい
ても同じ構成の回路を用いることが出来る。
【0026】図4(b)に示す回路は図3の加算回路1
3及び制御回路14に対応する。電圧検出回路11,1
2の検出出力V1,V2が夫々入力し、合流点で加算さ
れV3となり、増幅器OP3の正相入力端子に入力す
る。逆相入力端子にはGND、電源VEE及び抵抗R1
1,12で決まる基準電圧Vrefが入力し、V3とVref
との電圧差を時間積分した差信号S1が出力される。
3及び制御回路14に対応する。電圧検出回路11,1
2の検出出力V1,V2が夫々入力し、合流点で加算さ
れV3となり、増幅器OP3の正相入力端子に入力す
る。逆相入力端子にはGND、電源VEE及び抵抗R1
1,12で決まる基準電圧Vrefが入力し、V3とVref
との電圧差を時間積分した差信号S1が出力される。
【0027】図3の励磁回路15を、図4(C)の発振
回路と図4(d)のドライバー回路とによって構成す
る。図4(C)の発振回路は方形波出力S2を生成する
回路であり、コンデンサC4、抵抗R16、R17によ
って方形波出力S2の周期が決まる。図4(d)のドラ
イバ回路には、図3(d)の発振回路で生成された方形
波出力S2、及び制御回路14で生成された差信号S1
が夫々入力する。方形波出力S2はトランジスタT1を
所定の周期でON/OFFさせ、コイル4のA2端子に
は方形波電圧が印加される。また、差信号S1はトラン
ジスタT1をON/OFFさせコイル4のA1端子に印
加する方形波電圧を調整して、コイル4に印加する方形
波電圧の振幅を制御する。
回路と図4(d)のドライバー回路とによって構成す
る。図4(C)の発振回路は方形波出力S2を生成する
回路であり、コンデンサC4、抵抗R16、R17によ
って方形波出力S2の周期が決まる。図4(d)のドラ
イバ回路には、図3(d)の発振回路で生成された方形
波出力S2、及び制御回路14で生成された差信号S1
が夫々入力する。方形波出力S2はトランジスタT1を
所定の周期でON/OFFさせ、コイル4のA2端子に
は方形波電圧が印加される。また、差信号S1はトラン
ジスタT1をON/OFFさせコイル4のA1端子に印
加する方形波電圧を調整して、コイル4に印加する方形
波電圧の振幅を制御する。
【0028】本実施例は、コイル4に印加する方形波電
圧の振幅を制御するものであるが、差信号S1によって
出力周波数が制御されるVCO出力によってコイル4を
励磁しても良い。かかる構成はコイル4に印加される方
形波電圧の周波数を制御するものである。また、ノコギ
リ波発生回路から出力されるノコギリ波と差信号S1と
をコンパレータに入力して、コンパレータから出力され
る方形波電圧にてコイル4を励磁しても良い。かかる構
成はコイル4に印加される方形波電圧のデューティ比を
制御するものである。
圧の振幅を制御するものであるが、差信号S1によって
出力周波数が制御されるVCO出力によってコイル4を
励磁しても良い。かかる構成はコイル4に印加される方
形波電圧の周波数を制御するものである。また、ノコギ
リ波発生回路から出力されるノコギリ波と差信号S1と
をコンパレータに入力して、コンパレータから出力され
る方形波電圧にてコイル4を励磁しても良い。かかる構
成はコイル4に印加される方形波電圧のデューティ比を
制御するものである。
【0029】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の磁気式位置
センサは、非接触型であるので耐久性があり、かつ構造
が簡単である。また、可動の磁性部材と固定の磁性部材
とのギャップは高精度である必要がないので加工が容易
である。更に、ホール素子等のかわりにコイルを用いて
いるため温度特性に大きく影響されることなく被検知対
象に連動する可動部材の位置を高精度に検出することが
可能である。更に、複数のコイルの出力電圧の加算値が
一定になるように制御し、かつ、1つのコイルの出力電
圧を検出して前記可動部材の位置を検出できるように回
路構成されているため、経時変動等の影響を受けること
なく簡単な回路構成で高精度な磁気式位置センサの出力
を得ることができる。
センサは、非接触型であるので耐久性があり、かつ構造
が簡単である。また、可動の磁性部材と固定の磁性部材
とのギャップは高精度である必要がないので加工が容易
である。更に、ホール素子等のかわりにコイルを用いて
いるため温度特性に大きく影響されることなく被検知対
象に連動する可動部材の位置を高精度に検出することが
可能である。更に、複数のコイルの出力電圧の加算値が
一定になるように制御し、かつ、1つのコイルの出力電
圧を検出して前記可動部材の位置を検出できるように回
路構成されているため、経時変動等の影響を受けること
なく簡単な回路構成で高精度な磁気式位置センサの出力
を得ることができる。
【図1】 本発明に係る磁気式位置センサの実施例を示
す図であり図4(a)はセンサの正面図、図4(b)は
図4(a)のB−B線からみた断面図を夫々示す。
す図であり図4(a)はセンサの正面図、図4(b)は
図4(a)のB−B線からみた断面図を夫々示す。
【図2】 本発明に係る磁気式位置センサの原理を示す
概念図である。
概念図である。
【図3】 本発明に係る磁気式位置センサの位置信号発
生回路の構成を示すブロック図である。
生回路の構成を示すブロック図である。
【図4】 本発明に係る磁気式位置センサの位置信号発
生回路の具体例を示す電気回路図である。
生回路の具体例を示す電気回路図である。
1、7 磁性部材 2、3、4 コイル 9、10 ギャップ 5 磁路部材 6 回動シャフト R 電気抵抗 C コンデンサ OP オペアンプ D ダイオード VCC、VEE、VDD 直流電源
Claims (3)
- 【請求項1】 少なくとも1つの第1閉磁路を形成する
第1の磁路形成手段と、前記第1の磁路形成手段に対し
て非接触で所定範囲に亘って相対的に移動可能であって
前記第1閉磁路を2つの閉磁路に分岐する分岐磁路を形
成する第2の磁路形成手段と、前記所定範囲を挟む位置
にて前記第1閉磁路に鎖交する2つの第1及び第2コイ
ルと、前記分岐磁路に鎖交する1つの第3コイルと、前
記3つのうち1つのコイルを交流励磁し、他の2つのコ
イルに発生する起電力を検出して前記第2の磁路形成手
段の位置信号を発生する位置信号発生手段と、を有する
磁気式位置センサであって、前記位置信号発生手段は、
前記他の2つのコイルの検出起電力の加算値に応じて、
前記1つのコイルに流れる励磁電流を制御することを特
徴とする磁気式位置センサ。 - 【請求項2】 前記位置信号発生手段は、前記1つのコ
イルを交流励磁する励磁手段と、前記他の2つのコイル
に生じる起電力を検出する検出手段と、前記検出手段の
検出起電力を加算する加算手段と、前記加算手段の加算
値と基準値とを比較して差信号を生成し、前記差信号に
応じて前記励磁手段の励磁電流を制御する制御手段と、
からなり、前記検出手段の前記他の2つのコイルの少な
くとも一方を前記第2の磁路形成手段の位置を表す検出
出力とする出力手段と、からなることを特徴とする磁気
式位置センサ。 - 【請求項3】 前記第2の磁路形成手段は前記対向部の
一方に一端が固設した固定分岐磁性部材を更に含み、前
記可動分岐磁性部材は前記固定分岐磁性部材の他端の近
傍の回転中心軸の回りに回動自在であり、かつ前記対向
部の他方が前記可動分岐磁性部材の先端の可動軌跡に沿
って延在していることを特徴とする請求項1及び2のい
ずれか1記載の磁気式位置センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13211894A JPH07332913A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 磁気式位置センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13211894A JPH07332913A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 磁気式位置センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07332913A true JPH07332913A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=15073841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13211894A Pending JPH07332913A (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 磁気式位置センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07332913A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08297007A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-12 | Mikuni Corp | 磁気式位置センサ |
| JP2010164594A (ja) * | 2003-02-21 | 2010-07-29 | Fisher Controls Internatl Llc | 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ |
-
1994
- 1994-06-14 JP JP13211894A patent/JPH07332913A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08297007A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-12 | Mikuni Corp | 磁気式位置センサ |
| JP2010164594A (ja) * | 2003-02-21 | 2010-07-29 | Fisher Controls Internatl Llc | 集積化ホール効果スイッチを備える磁気式位置センサ |
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