JPH07335166A - 複数線源観察装置および加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、複数の鏡筒を持った複数線源観察
装置および加工装置に関し、複数の線源から試料を照射
して発生する信号を検出し、複数の試料の面の状態を画
面上にリアルタイムに表示して観察したり、１方の線源
で試料を加工および他方の線源で試料を観察したり、更
に、任意の角度の立体像を簡易に観察したりすることを
目的とする。 【構成】 線源からの荷電粒子のビームを試料２に対し
て異なる角度から照射して走査する鏡筒１を複数設け、
各鏡筒１によってビームを試料２に照射したことに対応
して発生した信号を検出する１つの検出器４あるいは複
数の検出器４と、１つの検出器４あるいは複数の検出器
４によって検出された信号をもとに試料２の画像を１つ
の画面上に分割してそれぞれ表示あるいは複数の画面上
にそれぞれ表示させる表示制御装置９とを備えるように
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の鏡筒を持った複
数線源観察装置および加工装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】通常、走査型電子顕微鏡は、１つの電子
源からの電子線を細く絞ったビームで試料上を走査し、
そのときに発生した２次電子を検出し、表示装置上に輝
度変調し、２次電子像を表示している。この際、試料上
を走査するビームの走査幅と、表示装置の画面上の走査
幅との比が倍率となり、数十倍から数十万倍という非常
に幅広い範囲で高分解能、高画質の像を表示している。

【０００３】また、イオンビーム加工機は、試料上の加
工したい位置にイオンビームを集中して微細な穴や凹部
を作成するようにしている。このとき、試料上のいずれ
の位置をイオン加工するかの判断は、当該イオン加工に
使用するイオンビームを微弱にして試料の形状などの画
像を表示したり、あるいは光学顕微鏡を取り付けてこれ
で試料上の位置を確認したりした後、所望の位置をイオ
ン加工するようにしていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の走査型電子顕微鏡は、１つの電子源から１つのビーム
で試料を走査してその２次電子画像を表示装置の画面上
に表示していたため、同時に１つの面からしか観察でき
ないという問題があった。強いて試料の異なる面から観
察しようとすると、試料傾斜台を使用し、ある試料の面
にビームを走査してそのときの２次電子画像を写真撮影
あるいは画像メモリに記憶する。次に、試料を傾斜およ
び回転して他の観察しようとする面に併せてビームを走
査してそのときの２次電子画像を写真撮影あるいは画像
メモリに記憶する。これら２つの面からの写真を並べて
両者の関係を観察したり、あるいは画像メモリに記憶し
た２つの２次電子画像を２つの画面上に表示あるいは１
つの画面上に分割して表示して両者の関係を観察したり
する必要があり、リアルタイムに異なる面からの２次電
子画像を観察し得ないという問題があった。

【０００５】また、試料をイオン加工して穴や凹部を作
成する場合、光学顕微鏡でその試料のイオン加工しよう
とする位置を観察したのでは分解能が悪くて微細な位置
の把握や試料の表面の微細な形状を観察し得ないという
問題もあった。

【０００６】本発明は、これらの問題を解決するため、
複数の線源から試料の複数の面に照射してそのときに発
生する信号を検出し、複数の試料の面の状態を画面上に
リアルタイムに表示して観察したり、１方の線源で試料
を加工および他方の線源で試料を観察したり、任意の角
度の立体像を簡易に観察したりすることを目的としてい
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】図１、図６、図７、図９
から図１３を参照して課題を解決するための手段を説明
する。

【０００８】図１、図６、図７、図９から図１３におい
て、鏡筒１は、線源からの荷電粒子のビームを試料２に
異なる角度から照射して走査するためのものである。試
料２は、ビームを照射して異なる面から観察したり、加
工したりする対象の試料である。

【０００９】検出器４は、ビームを試料２に照射したと
きに発生した信号を検出するものである。表示制御装置
９は、検出器４によって検出した信号をもとに画面８上
に画像を表示するものである。

【００１０】立体メガネ１２は、画面上に２つの異なる
角度の表示された画像を立体観察できるようにするもの
である。移動機構１３は、鏡筒を試料２の照射点をほぼ
中心に移動させるものである。

【００１１】レーザ装置２２は、非荷電粒子のビームで
ある光ビームを放射するものである。

【００１２】

【作用】本発明は、図１、図６、図７、図９から図１３
に示すように、各鏡筒１によってビームを試料２に照射
したことに対応して、検出器４が発生した信号を検出
し、表示制御装置９が１つの検出器４あるいは複数の検
出器４によって検出された信号をもとに試料２の画像を
１つの画面上に分割してそれぞれ表示あるいは複数の画
面上にそれぞれ表示させる、あるいは画面時分割で順次
表示させるようにしている。

【００１３】また、少なくとも１つの鏡筒１を移動機構
１３によって試料２の照射点をほぼ回転中心として、左
右あるいは上下あるいは任意方向に回転させ、ビームを
任意角度で試料２を照射して走査するようにしている。

【００１４】これらの際に、表示制御装置９が１つの鏡
筒１からのビームを一方から試料２に照射して走査し、
他の１つの鏡筒１からのビームを上記一方とは異なる方
向から試料２に照射して走査あるいは他の複数の鏡筒１
からのビームを上記一方とは異なる方向から試料２にそ
れぞれ照射して走査し、そのときに発生した信号を検出
器４によって検出して画面８上にそれぞれ表示するよう
にしている。

【００１５】また、表示制御装置９が１つの鏡筒１から
のビームを一方から試料２に照射して走査し、他の１つ
の鏡筒２からのビームを上記一方とは異なる方向から試
料２に照射して走査した後、所定角度だけ試料を回転さ
せた後に当該他の１つの鏡筒１からのビームを上記一方
とは異なる方向から試料２に照射して走査するようにし
ている。

【００１６】また、表示制御装置９が１つの検出器４に
よって、複数の鏡筒１から時分割して試料２を照射して
発生した信号を同期検出し、これら同期検出した信号を
もとに１つの画面上に分割してそれぞれ表示あるいは複
数の画面上にそれぞれ表示するようにしている。

【００１７】また、複数の鏡筒１からのビームを試料２
に照射したときに検出した画像あるいは所定角度だけ試
料を回転させたときに検出した画像を画像メモリ７にそ
れぞれ記憶しておき、画像メモリ７から記憶した各画像
を１つの画面上に分割してそれぞれ表示あるいは複数の
画面上にそれぞれ表示、または次の同一試料２の面から
の画像で書き換えられるまでそれぞれ繰り返して表示す
るようにしている。

【００１８】また、複数の鏡筒１からのビームを試料２
に照射したときに検出した画像あるいは所定角度だけ試
料を回転させたときに検出した画像を画像メモリ７にそ
れぞれ記憶しておき、画像メモリ７から記憶した画像の
うちのある鏡筒１の画像について、所定時間毎に異なる
画面に複数表示あるいは順次循環して表示、あるいは所
定時間毎に１つの画面を分割した異なる位置に複数ある
いは順次循環して表示するようにしている。

【００１９】また、表示制御装置９が１つの鏡筒１から
のビームを試料２に照射して加工し、他の１つあるいは
複数の鏡筒１からのビームを試料２に照射して走査して
その画像を１つあるいは複数の画面上に表示するように
している。

【００２０】また、表示制御装置９が１つの鏡筒１から
のビームを一方から試料２に照射して加工し、他の１つ
あるいは複数の鏡筒１からのビームを当該一方とは異な
る方向から試料２に照射して走査してその画像を画面上
に表示するようにしている。

【００２１】また、表示制御装置９が１つの鏡筒１から
のイオンビームを一方から試料２に照射して当該試料２
を移動して加工し、他の１つあるいは複数の鏡筒１から
のビームを一方とは異なる方向から試料２に照射して走
査してその画像を１つあるいは複数の画面上に表示する
ようにしている。

【００２２】また、線源からの非荷電粒子のビーム（例
えばレーザ装置２２からの光ビーム）を一方から試料２
に照射して当該試料２を移動して加工し、１つあるいは
複数の鏡筒１からのビームを一方とは異なる方向から試
料２に照射して走査してその画像を１つあるいは複数の
画面上に表示するようにしている。

【００２３】また、レーザ装置２２からの光ビームを縮
小レンズ２５で縮小して一方から試料２に照射して当該
試料２を移動して加工し、１つあるいは複数の鏡筒１か
らのビームを一方とは異なる方向から試料２に照射して
走査してその画像を１つあるいは複数の画面上に表示す
るようにしている。

【００２４】また、立体メガネ１２によって画面上に２
つの異なる角度の表示された画像について立体観察させ
たり、あるいは立体鏡によって画面上に２つの異なる角
度の表示された画像について立体観察させたりするよう
にしている。

【００２５】従って、複数の線源から試料２の複数の面
に照射してそのときに発生する信号を検出し、複数の試
料２の面の状態を１つの画面を分割した領域あるいは複
数の画面上にリアルタイムに表示して観察したり、１方
の線源で試料２を加工および他方の線源で試料を観察し
たり、更に２つの画像を立体観察したりすることが可能
となる。

【００２６】

【実施例】次に、図１から図１３を用いて本発明の実施
例の構成および動作を順次詳細に説明する。

【００２７】図１は、本発明の１実施例構成図を示す。
図１において、鏡筒１は、線源からの荷電粒子のビーム
を試料２に異なる角度から照射して走査するためのもの
であって、模式的に示したように、例えば線源が電子ビ
ームの場合には、電子を放出する電子銃、電子銃から電
子ビームの放射／停止を制御する電極（ブランキング電
極）、電子ビームを集束する集束レンズ、電子ビームを
試料２上で走査する偏向コイル（Ｘ方向およびＹ方
向）、電子ビームを試料２に細く絞る対物レンズおよび
図示外の当該対物レンズの非点を補正する非点補正コイ
ルなどから構成されるものである。この鏡筒１のうちの
電子ビームが通過する部分は図示しないが電子ビームが
空気に邪魔されないで走行できるように図示外の真空排
気装置によって真空に排気されている。また、鏡筒１
は、電子ビームを試料２に照射するだけでなく、イオン
ビームやその他の荷電粒子を試料２に照射するものであ
り、例えばインオビームの場合には静電型の集束レン
ズ、偏向器、対物レンズ、非点補正器を用いる。他の荷
電粒子の場合も同様にその荷電粒子に最適な集束系、偏
向系などを用いる。ここでは、鏡筒（Ａ）、鏡筒
（Ｂ）、鏡筒（Ｃ）の３つを設け、それぞれから放射さ
れたビームを試料２の異なる面から照射して走査する場
合を例に説明する。

【００２８】試料２は、荷電粒子の細く絞ったビームを
照射しつつ走査し、そのときに発生した信号（例えば２
次電子、反射電子、光電子、吸収電子、励起光、Ｘ線な
どの信号）を検出して画像を表示する対象の試料であ
る。

【００２９】ビームブランキング３は、鏡筒１からビー
ムを試料２に照射したり、非照射にしたり、高速に切り
替えるものであって、例えば鏡筒（Ａ）、鏡筒（Ｂ）、
および鏡筒（Ｃ）からのビームを重畳しないように時分
割的に試料２に照射するためのものである（図２、図４
参照）。ビームブランキング３は、高速切換するため
に、平行な静電電極をビームの通路に配置し、直流電圧
を印加してビームを通路外に偏向し、照射状態と非照射
状態とを高速切換できるようにする。また、電磁偏向で
これを行っても良い。

【００３０】検出器４は、ビームを試料２に照射して走
査したときに発生した信号を検出するものである。２次
電子を検出する場合には、検出器の前面に当該２次電子
を補足する正の高電圧を印加して補足させ、この補足し
て加速した２次電子をシンチレータに衝突させて一旦光
に変換した後、光電子倍増管によって増幅した後に画像
信号を得る。同様に、反射電子の場合には半導体検出器
（特に試料２のビーム照射角が大きくなるような位置に
配置した検出器）を用いて当該反射電子を信号に変換す
る。光の場合には、光電倍増管で直接に光（ルミネッセ
ンス）を検出して画像信号とする。Ｘ線の場合には、半
導体Ｘ線検出器を用いて特性Ｘ線などの画像信号を生成
する。検出器４は、図示のように鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ）毎に専用に最適なものを設けても良いし、１つの
検出器で、鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）から時分割的に
放射されるビームに同期して画像信号を取り出すように
してもよい。

【００３１】走査偏向回路５は、鏡筒１に走査偏向コイ
ル（走査偏向電極）に偏向電流（偏向電圧）を印加し、
試料２上でビームをＸ方向およびＹ方向に面走査（ある
いは線走査）するためのものである。ここでは、鏡筒
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）用のそれぞれ専用の走査偏向回
路５を図示のように設けている。試料２の画像の倍率
は、この走査偏向回路５によって試料２面上を面走査
（あるいは線走査）するときの大きさによって（即ち、
小さい走査の場合に高倍率となり、大きい走査の場合に
低倍率となる）、画面上に表示される画像の倍率を決め
るようにしている。

【００３２】サンプルホールド６は、検出器４からの画
像信号をサンプルホールドするものであって、鏡筒
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）から試料２に照射したビームに
同期してそのときの画像信号をホールドするものであ
る。これにより、時分割で鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）
からビームを試料２に照射したときに、各ビームを照射
したときに発生した信号のみをそれぞれ抽出することが
可能となる。

【００３３】画像メモリ７は、サンプルホールド６によ
って同期して抽出した鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）によ
る画像信号をそれぞれ一時的に記憶するものである。例
えばＴＶ速度で、鏡筒（Ａ）で１フレーム、鏡筒（Ｂ）
で１フレーム、鏡筒（Ｃ）で１フレームといように繰り
返して時分割してビームを試料２に照射した場合、鏡筒
（Ａ）の１フレーム分の画像を当該画像メモリ（Ａ）に
記憶しておき、他の鏡筒（Ｂ）、（Ｃ）のフレームのと
きに当該記憶した画像を画面８上に表示し、画面８上に
画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）があたかも同時に得られて
いるように表示させるためのものである（図４、図５参
照）。

【００３４】画面８は、表示装置上に設けた画像を表示
するものである。ここでは、鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ）に対応づけてそれぞれ画面（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ）を設けてそれぞれ画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を
表示している。尚、１つの画面上に３分割して画像
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）をそれぞれ表示するようにして
もよい。

【００３５】表示制御装置９は、表示を制御するもので
あって、ビームブランキング信号をビームブランキング
３およびサンプルホールド信号をサンプルホールド６な
どに通知し、鏡筒（Ａ）（あるいは（Ｂ）、（Ｃ））に
よってビームを試料２に照射したときに検出した画像を
サンプルホールド（Ａ）（あるいは（Ｂ）、（Ｃ））に
よって抽出するように制御するものである。

【００３６】次に、図２のタイムチャートを用いて図１
のスロースキャン時の動作を詳細に説明する。ここで、
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、それぞれ鏡筒（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）に対応するものである。

【００３７】図２において、鏡筒（Ａ）のビームブラン
キング信号（Ａ）は、鏡筒（Ａ）のブランキングコイル
（偏向板）に供給する信号であって、ＯＮの期間の間、
ビームを試料２に照射しつつ走査するための信号であ
る。

【００３８】鏡筒（Ａ）のサンプルホールド信号（Ａ）
は、サンプルホールド（Ａ）が映像信号（画像信号）
（Ａ）をサンプルホールドする信号である。映像信号
（Ａ）は、サンプルホールド信号（Ａ）によってサンプ
ルホールドされた信号（画像信号）である。ここでは、
サンプルホールド信号（Ａ）から矢印で示したように、
映像信号（Ａ１）、（Ａ２）、（Ａ３）をそれぞれ図示
のようにホールドする。このホールドした映像信号（Ａ
１）、（Ａ２）、（Ａ３）を、後述する図３（ａ）画像
（Ａ）に示すように、所定領域単位に画面（Ａ）上に表
示する。

【００３９】同様に、鏡筒（Ｂ）、（Ｃ）についても、
図示のようにそれぞれビームブランキング信号（Ｂ）、
（Ｃ）、サンプルホールド信号（Ｂ）、（Ｃ）を供給
し、ビームを試料２に照射したり、映像信号（Ｂ）、
（Ｃ）をそれぞれサンプルホールドしたり、映像信号
（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｂ３）、（Ｃ１）、（Ｃ２）、
（Ｃ３）として図３の（ｂ）、（ｃ）の画像（Ｂ）、
（Ｃ）に示すように、所定領域単位単位に画像（Ｂ）、
（Ｃ）上にそれぞれ表示する。

【００４０】以上によって、鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ）から時分割で重畳しないようにビームで試料２を
それぞれ照射しつつ走査し、そのときに検出した画像信
号から時分割的に重畳しないように同期して映像信号
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）をサンプルホールドする。これ
らサンプルホールドした映像信号（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ）を画面８上に図３の（ａ）画像（Ａ）、（ｂ）画
像（Ｂ）、（ｃ）画像（Ｃ）に示すように表示する。こ
れらにより、スロースキャン時に例えば所定領域単位に
鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）からのビームによるそれぞ
れの映像信号（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）をそれぞれ別の画
面（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）にそれぞれ時分割的に循環し
て表示することにより、３つの方向からの映像信号
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を同時に観察することが可能と
なる。

【００４１】図３は、本発明のスロースキャン時の各画
像の表示例を示す。これは、図２のタイムチャートに従
って所定領域単位に映像信号（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の
順に循環して順次表示したときの様子を模式的に表した
ものである。各画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、スロー
スキャンの画像であるため、各所定領域毎に順次時分割
的に、既述した図２の鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示
すように、ビームを試料２にそれぞれ照射し、そのとき
の画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）をそれぞれ抽出し、画面
上にそれぞれ表示したものである。

【００４２】以上のように、スロースキャンのときは、
各所定領域毎に時分割的にビームを試料２に照射してそ
のときの画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を抽出して画面上
にそれぞれ表示することにより、図示のように画像
（Ａ）として所定領域Ａ１、Ａ２、Ａ３・・・、画像
（Ｂ）として所定領域Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３・・・、画像
（Ｃ）として所定領域Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３・・・（図２参
照）を表示させ、３つの画像をリアルタイムに同時に観
察することが可能となる。

【００４３】次に、図４および図５を用いてＴＶ走査の
ときの動作を詳細に説明する。このＴＶ走査の場合に
は、フレーム毎に鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の順番に
切り替えると共に、画像を画像メモリ７に記憶してあた
かも３つの画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）が同時に観察し
ているように画面上に表示する。以下詳細に説明する。

【００４４】図４は、本発明の画像メモリを用いたＴＶ
走査時のタイムチャートを示す。図４において、ＴＶ走
査フレームは、ＴＶ走査したときのフレームの番号１か
ら９を示す。

【００４５】鏡筒（Ａ）のビームブランキング信号
（Ａ）は、ＴＶ走査フレームのうちの、鏡筒（Ａ）から
のビームをＯＮにして試料２に照射して走査する期間を
制御する信号であって、ここでは、図示のように、フレ
ーム番号１、４、７・・・の期間をＯＮにして試料２に
ビームを照射する信号である。

【００４６】鏡筒（Ａ）の画像メモリ（Ａ）は、ビーム
ブランキング信号（Ａ）がＯＮのとき（フレーム番号
１、４、７・・・）に試料２から検出した画像（Ａ）を
当該画像メモリ（Ａ）に記憶すると共に記憶した画像
（Ａ）を再生して画像（Ａ）として表示するためのもの
である。ここでは、図示のように ・フレーム番号１のときに画像を画像メモリ（Ａ）に記
憶すると共に再生 ・フレーム番号２のときに画像メモリ（Ａ）から再生 ・フレーム番号３のときに画像メモリ（Ａ）から再生 ・以下繰り返す。

【００４７】鏡筒（Ｂ）、（Ｃ）についても同様に、図
示のようにビームブランキング信号（Ｂ）、（Ｃ）およ
び画像メモリ（Ｂ）、（Ｃ）によって、 ・フレーム番号２のときに画像を画像メモリ（Ｂ）に記
憶すると共に再生 ・フレーム番号３のときに画像メモリ（Ｂ）から再生 ・フレーム番号４のときに画像メモリ（Ｂ）から再生 ・以下繰り返す あるいは ・フレーム番号３のときに画像を画像メモリ（Ｃ）に記
憶すると共に再生 ・フレーム番号４のときに画像メモリ（Ｃ）から再生 ・フレーム番号５のときに画像メモリ（Ｃ）から再生 ・以下繰り返す。

【００４８】以上によって、鏡筒（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ）のそれぞれのビームブランキング信号（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）および画像メモリ（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ）によって、 ・フレーム番号１のときに画像メモリ（Ａ）に記憶 ・フレーム番号２のときに画像メモリ（Ｂ）に記憶 ・フレーム番号３のときに画像メモリ（Ｃ）に記憶 し、これら画像メモリ（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に記憶さ
れている画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を読み出して画面
上にそれぞれ表示することにより、鏡筒（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）による画像を同時にＴＶ速度で画面上に
表示しているように観察でき、試料２の異なる面からの
ＴＶ画像を同時に観察することが可能となる。

【００４９】図５は、本発明の３つのＴＶ画面の像の表
示例を示す。ここで、横軸の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は
画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を表し、縦軸のフレーム番
号は図４のＴＶ走査フレーム番号を表す。Ａ１、Ａ２、
Ａ３、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３は、図２の
図中に示したそれぞれ画像メモリ７に記憶した画像を表
す。

【００５０】図５に示すように、 ・フレーム番号１では、画像Ａ１を画像メモリ（Ａ）に
記憶すると共に再生して図示のように画像（Ａ）として
表示する。

【００５１】・フレーム番号２では、画像Ｂ１を画像メ
モリ（Ｂ）に記憶すると共に再生して図示のように画像
（Ｂ）として表示する。 ・フレーム番号３では、画像Ｃ１を画像メモリ（Ｃ）に
記憶すると共に再生して図示のように画像（Ｃ）として
表示する。

【００５２】・その他のときは、画像メモリ（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ）に記憶されている画像を再生する。 以上のようにして記憶および再生を繰り返すと、図示の
ように３フレーム分同一画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）が
表示されるが、これを見た観察者は、あたかも同時に鏡
筒（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）によるビームによって異なる
試料２の面の画像（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）をリアルタイ
ムに観察できることとなる。

【００５３】図６は、本発明の試料立体像観察システム
構成図を示す。ここでは、鏡筒（Ａ）を試料２の上方に
設けると共に、立体観察用の鏡筒（Ｂ）を側面に設け、
試料２を回転とＸ、Ｙ方向移動機構を持たせた試料台２
１に乗せたときのシステム構成図を示す。図中ビームブ
ランキング３、検出器４、走査偏向回路５は、図１の構
成の同一番号のものと同一であるので説明を省略する。

【００５４】図６において、鏡筒（Ａ）は、上方からビ
ームを試料２に照射するものであって、上方から試料２
を観察したときの画像（Ａ）を表示したり、試料２を回
転させたときの回転中心を合わせたりするためのもので
ある。回転中心が中心にくるように試料台２１のＸ、Ｙ
方向移動を調整することにより、試料２を回転させて鏡
筒（Ｂ）からビームを試料２に照射して走査したときの
画像（Ｂ）の回転中心を正確に中心に合わせることが可
能となる。

【００５５】鏡筒（Ｂ）は、試料２の側面からビームを
照射して走査するものである。試料２を所定角度毎に回
転させ、鏡筒（Ｂ）からのビームを照射して走査したと
きの画像Ｂ１、Ｂ２・・・を画像メモリ７に記憶させる
ためのものである。そして、この記憶させた画像のうち
から所定角度の画像を取り出して画面上に立体表示１１
し、立体メガネ１２を使って立体観察する。

【００５６】試料台２１は、試料２を載せ、Ｘ方向、Ｙ
方向および回転させる機構を持たせたものである。この
試料台２１上に載せた試料２の回転中心は、上方に配置
した鏡筒（Ａ）からのビームを当該試料２に照射して走
査したときの画像を観察して立体観察しようとする試料
２上の位置が移動しないようにＸ方向とＹ方向を調整す
る。これにより、試料２を回転させたときに立体観察し
ようとする点が移動しなく、その側面からの立体像を容
易に観察できるようになる。

【００５７】ＴＶ同期回路（ＳＹＮＣ）６１は、鏡筒
（Ａ）と鏡筒（Ｂ）の偏向コイルに供給するＸ方向およ
びＹ方向の偏向電流の同期を制御するものである。画像
メモリ（Ａ）、画像メモリ（Ｂ）は、検出器４によって
検出した画像信号を記憶するものである。

【００５８】画像メモリ（Ａ）は、鏡筒（Ａ）からのビ
ームを試料２に照射して走査したときの画像を記憶、あ
るいは立体像を観察するときの鏡筒（Ｂ）からのビーム
を試料２に照射して走査したときの画像を記憶するもの
である。

【００５９】画像メモリ（Ｂ）は、鏡筒（Ｂ）からのビ
ームを試料２に照射して走査したときの画像記憶するも
のである。ＣＰＵ画像処理メモリ７１は、画像メモリ
（Ａ）および画像メモリ（Ｂ）の画像を蓄積したり、書
き戻したり、画像を処理するときに使用したりするメモ
リである。

【００６０】画面（Ａ）、（Ｂ）は、画像メモリ
（Ａ）、（Ｂ）の画像をそれぞれ表示する画面である。
ステレオ合成分配器１０は、画像メモリ（Ａ）、（Ｂ）
からの画像信号をもとにステレオ画像に合成したり、分
配したりするものである。ここでは、画像メモリ（Ａ）
の画像と、画像メモリ（Ｂ）の画像とを交互に立体表示
１１すると共に、液晶シャッターである立体メガネ１２
に同期し、例えば画像メモリ（Ａ）の画像が立体表示１
１されているときに当該立体メガネ１２の左側のみが透
過して右側が非透過となって観察者が左目のみで観察
し、次の瞬間にば画像メモリ（Ｂ）の画像が立体表示１
１されて当該立体メガネ１２の右側のみが透過して左側
が非透過となって観察者が右眼のみで観察することを同
期して繰り返し、結果として観察者に立体像（カラーの
立体像）の観察を可能にしたものである。

【００６１】立体表示１１は、ステレオ合成分配器１０
からの画像信号をもとに立体表示したものであって、例
えば左目用の画像（Ａ）および右目用の画像（Ｂ）を交
互に表示するものである。この他に左目用の画像（Ａ）
および右目用の画像（Ｂ）を偏波面の異なる画像として
表示するようにしてもよい（立体表示１１の前面に配置
した偏向板に電圧を印加して偏波面を交互に異ならせる
などする）。

【００６２】立体メガネ１２は、立体表示１１を立体像
として観察者が観察するためのものであって、例えば液
晶シャッタを設けたものである。立体メガネ１２の左側
のみを透過および右側を非透過して立体表示１１上の左
目用の画像を観察し、次に右側のみを透過および左側を
非透過して立体表示１１上の右目用の画像を観察するこ
とを同期して繰り返すためのものである。

【００６３】次に、図６の構成の動作を詳細に説明す
る。 （１） 鏡筒（Ａ）からのビームを試料２の上方から照
射しつつ走査し、検出器４によって検出した画像を画像
メモリ（Ａ）に記憶すると共に画面８上に画像（Ａ）と
して表示する。この状態で、試料２の立体観察しようと
する点について、試料台２１の回転機構を回転させたと
きに移動しなくて一点に留まるように、当該試料台２１
のＸ方向およびＹ方向の移動機構を調整する。

【００６４】（２） （１）の回転中心を調整した後、
鏡筒（Ｂ）からのビームを試料２の側面上方から照射し
つつ走査し、検出器４によって検出した画像を画像メモ
リ（Ｂ）に記憶すると共に画面８上に画像（Ｂ）として
表示する。

【００６５】（３） （２）の状態から試料台２１を少
し回転させた状態で、同様にして鏡筒（Ｂ）からのビー
ムを試料２の側面上方から照射しつつ走査し、検出器４
によって検出した画像を画像メモリ（Ａ）に記憶すると
共に画面８上に画像（Ａ）として表示する。更に、ステ
レオ合成分配器１０によって、画像（Ａ）および画像
（Ｂ）を交互に立体表示１１させると共に、立体メガネ
１２の液晶シャッタの左目が透過、右目が非透過と、左
目が非透過と右目が透過とを交互に同期して繰り返し、
観察者が立体表示１１を見て立体像を観察する。

【００６６】以上によって、鏡筒（Ｂ）を回転させた所
定角度離れた点の画像を立体メガネ１２を通して立体観
察することが可能となる。この際、試料２を所定角度づ
つ回転させては鏡筒（Ｂ）からのビームで試料２を照射
して走査し、そのときの画像を画像メモリ７に記憶する
ことを全周囲（３６０度）繰り返し、任意の角度差の画
像を取り出して立体表示１１に交互に表示して立体メガ
ネ１２を通して立体観察することにより、試料２の全周
から立体像を任意に選択したり、所定速度で全周をゆっ
くり回転しながら立体像を観察し、試料２の立体的な形
状や分布を観察することが可能となる。

【００６７】次に、図７および図８を用いて、試料２を
イオン加工しながらその状態をリアルタイムに観察する
ときの構成および動作を詳細に説明する。図７は、本発
明のイオン加工の構成図を示す。図中、ビームブランキ
ング３、検出器４、走査偏向回路５は、図１の構成の同
一番号のものと同一であるので説明を省略する。

【００６８】図７において、鏡筒（Ａ）は、ここでは、
イオンビーム加工用の鏡筒であって、上方からイオンビ
ームを試料２に照射するものである。この鏡筒（Ａ）
は、イオンを発生するイオン銃（例えばグロー放電させ
つつ高周波電界を印加して効率的に励起したイオンを高
電圧を印加した集束加速電極で放出するイオン銃な
ど）、静電型の集束レンズ、静電型の走査偏向電極など
から構成されるものである。

【００６９】鏡筒（Ｂ）は、ここでは、電子ビーム観察
用の鏡筒であって、２次電子のビームを試料２に照射し
て走査するものである。加工制御回路５１は、インオビ
ームで試料２を加工する制御を行うものである。ここで
は、イオンビームを試料２に照射する位置を制御するた
めに走査偏向回路５に位置情報を通知して所定の位置を
イオンビームが照射するように制御したり、ビームブラ
ンキング３にイオンビームをＯＮ／ＯＦＦにするビーム
ブランキング信号を通知したりする。

【００７０】ＴＶ同期回路６１は、鏡筒（Ｂ）からの電
子ビームを試料２に照射するときのＴＶ同期信号に同期
させた偏向信号を走査偏向回路５に通知するものであ
る。画像メモリ７２は、検出器４によって検出した画像
信号のうち、電子ビームを試料２に照射したときの画像
のみを抽出して記憶するものである。この記憶した電子
ビームを試料２に照射したときの画像を、画面８上に画
像（Ｂ）として表示する。

【００７１】次に、図８のからを用いて図７の構成
の動作を詳細に説明する。ここで、からは、図７の
からにそれぞれ対応している。図８は、本発明のイ
オンビーム源を加工用および電子ビームを観察用に用い
たタイムチャートを示す。

【００７２】図８において、加工ビーム信号（停止準
備）は、図７の表示制御装置９が加工制御回路５１に通
知する信号であって、加工ビームの停止／開始を準備す
るための信号である。Ｌレベルとなったときに加工ビー
ムの停止準備を開始させる。

【００７３】加工ビーム信号（停止中）は、図７の加
工制御回路５１が加工ビームブランキングをビームブ
ランキング３に通知して加工ビームをＯＦＦにしたこと
に対応して、表示制御装置９に通知される信号である。
Ｌレベルとなったときに加工ビームが停止する。

【００７４】加工ビームブランキングは、図７の加工
制御回路５１がビームブランキング３に通知して加工ビ
ームをＯＦＦにする信号である。Ｌレベルのときに加工
ビームをＯＦＦ（停止）にさせる。

【００７５】観察ビームブランキングは、表示制御装
置９が観察用のビームブランキング３に通知して観察ビ
ーム（電子ビーム）をＯＮにする信号である。Ｈレベル
のときに観察ビーム（電子ビーム）をＯＮ（供給）す
る。

【００７６】ＴＶ“Ｖ”ＳＹＮＣは、表示制御装置９
がＴＶ同期信号をＴＶ同期回路６１に通知する信号であ
る。 画像メモリ信号は、図７の画像メモリ７に検出器４か
らの画像信号を記憶させる信号であって、鏡筒（Ｂ）か
らのビームが試料２を照射して走査したときに、検出器
４によって検出した画像信号を抽出して画像メモリ７に
記憶させるものである。

【００７７】以上によって、加工ビーム（イオンビー
ム）によって試料２を加工しつつ、間欠的に当該加工ビ
ームをＯＦＦにすると共に観察ビーム（電子ビーム）を
ＯＮにしてそのときに検出した画像を画像メモリ７２に
記憶し、この画像メモリ７２に記憶した画像を画面８上
に画像（Ｂ）として表示する。これにより、加工ビーム
（イオンビーム）によって加工しつつ、間欠的に加工ビ
ームをＯＦＦにして観察ビームで試料２の加工状態を検
出してその画像を画像メモリ７２に記憶し、画面８上に
画像（Ｂ）として表示する。この表示された画像（Ｂ）
を観察者がゆっくり観察し、現在の加工状態を認識でき
る。

【００７８】尚、図７および図８は、加工用ビームとし
てイオンビームを用いたが、これに限られず、大電流の
電子線加工用の電子ビームを用いてもよい。図９は、本
発明の他の実施例構成図を示す。これは、複数の鏡筒１
のうちの１つを試料２のビームの照射点を中心に左右、
上下、あるいは任意の方向に回転させる移動機構１３を
設けたものである。この移動機構１３によって、試料２
をビームで照射する角度を任意に調整することにより、
試料２の凹凸があってその細部が見えないときに任意の
角度に移動して観察したり、更に加工機１４、例えば穴
アケドリルによって試料２に微細な穴を開ける場合に、
その穴アケの状態が見えやすい角度に１つの鏡筒１を移
動させて見える角度に調整する。この際、移動機構１３
で種々の角度からビームを試料２に照射して走査したと
きの画像を画像メモリに記憶しておき、これを複数の画
面上あるいは１つの画面を分割して各部分に表示した
り、あるいは異なる角度の画像を取り出して既述した立
体メガネ１２で立体観察するようにする。

【００７９】図１０は、本発明の他の実施例構成図を示
す。図１０の（ａ）は、構成図を示す。この構成図は、
鏡筒１として加工用イオンビームを放射するイオン照射
源とし、他の３つの鏡筒１（観察用（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ））として電子ビームを放射する電子照射源とした
場合のものである。この際、鏡筒１（加工用イオンビー
ム）からイオンビームを試料２に照射して走査して加工
し、鏡筒１（観察用（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ））から電子
ビームを試料２に照射して走査してそのときに発生した
信号を図示外の検出器４で検出し、１つの画面を分割し
た領域あるいは複数の画面上にそれぞれ表示する。この
とき、全ての鏡筒１のうちのいずれか１つが試料２にビ
ームを照射するように時分割的に制御する。

【００８０】図１０の（ｂ）は、画像を示す。これは、
図１０の（ａ）の観察用（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の鏡筒
１のビーム（例えば電子ビーム）を照射して走査し、そ
のときに発生した信号を検出器４で検出し、１つの画面
を分割した領域あるいは複数の画面上に表示した像を模
式的に表したものである。

【００８１】図１０の（ｂ）において、（Ａ）は、観察
用（Ａ）の鏡筒１の方向からビームを照射して走査した
ときの画像の模式的なイメージ（ここでは矩形の穴の長
径の上方から観察したイメージ）を示す。

【００８２】（Ｂ）は、観察用（Ｂ）の鏡筒１の方向か
らビームを照射して走査したときの画像の模式的なイメ
ージ（ここでは矩形の穴の長径と短径の中間の上方から
観察したイメージ）を示す。

【００８３】（Ｃ）は、観察用（Ｃ）の鏡筒１の方向か
らビームを照射して走査したときの画像の模式的なイメ
ージ（ここでは矩形の穴の短径の上方から観察から観察
したイメージ）を示す。

【００８４】以上のようにイオンビームで試料２に矩形
（直方体）の穴を加工するときに、矩形の長径の上方
向、長径と短径の上方向、短径の上方向の３つから時分
割でビームを照射して走査したときの画像を１つの画面
上に３分割して表示したり、３つの画面上にそれぞれ表
示したりすることにより、イオンビームで矩形の穴を加
工しているときの様子を立体的に認識できる。

【００８５】図１１は、本発明の他の実施例構成図を示
す。図１１の（ａ）は、構成図を示す。この構成図は、
鏡筒１として加工用イオンビームを放射するイオン照射
源とし、他の３つの鏡筒１（観察用（Ａ）、（Ｂ）、
（Ｃ））として電子ビームを放射する電子照射源とし、
スリット２１を通過したイオンビームで試料２を照射す
る場合のものである。ここでは、鏡筒１（加工用イオン
ビーム）からのイオンビームをスリット２１を通して試
料２に照射して加工し、試料２を移動して加工位置を移
動させ、鏡筒１（観察用（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ））から
電子ビームを試料２に照射して走査してそのときに発生
した信号を図示外の検出器４で検出し、１つの画面を分
割した領域あるいは複数の画面上にそれぞれ表示する。
このとき、全ての鏡筒１のうちのいずれか１つが試料２
にビームを照射するように時分割的に制御する。

【００８６】図１１の（ｂ）は、画像を示す。これは、
図１１の（ａ）の観察用（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の鏡筒
１のビーム（例えば電子ビーム）を照射して走査し、そ
のときに発生した信号を検出器４で検出し、１つの画面
を分割した領域あるいは複数の画面上に表示した像を模
式的に表したものである。

【００８７】図１１の（ｂ）において、（Ａ）は、観察
用（Ａ）の鏡筒１の方向からビームを照射して走査した
ときの画像の模式的なイメージ（ここでは立方体の穴の
ある辺の上方から観察したイメージ）を示す。

【００８８】（Ｂ）は、観察用（Ｂ）の鏡筒１の方向か
らビームを照射して走査したときの画像の模式的なイメ
ージ（ここでは立方体の穴のある辺と隣接する他の辺と
の中間の上方から観察したイメージ）を示す。

【００８９】（Ｃ）は、観察用（Ｃ）の鏡筒１の方向か
らビームを照射して走査したときの画像の模式的なイメ
ージ（ここでは立方体の穴のある辺に隣接する他の辺の
上方から観察から観察したイメージ）を示す。

【００９０】以上のようにスリット２１を通過した固定
のイオンビームで試料２に立方体の穴を加工（試料２を
移動させて長い形状の穴を加工）するときに、立方体の
ある辺の上方向、ある辺と隣接する他の辺との中間の上
方向、ある辺と隣接する他の辺の上方向の３つから時分
割でビームを照射して走査したときの画像を１つの画面
上に３分割して表示したり、３つの画面上にそれぞれ表
示したりすることにより、イオンビームで矩形の穴を加
工しているときの様子を立体的に認識できる。

【００９１】図１２は、本発明の他の実施例構成図を示
す。図１２の（ａ）は、構成図を示す。この構成図は、
非荷電粒子としてレーザ装置２２からレーザ加工用の光
ビームを放射し、３つの鏡筒１（観察用（Ａ）、
（Ｂ）、（Ｃ））として電子ビームを放射する電子照射
源とした場合のものである。ここでは、レーザ装置２２
からの光ビームをスリット２３を通して試料２に照射し
て加工し、試料２を移動して加工位置を移動させ、鏡筒
１（観察用（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ））から電子ビームを
試料２に照射して走査してそのときに発生した信号を図
示外の検出器４で検出し、１つの画面を分割した領域あ
るいは複数の画面上にそれぞれ表示する。このとき、レ
ーザ装置２２からの光ビームと、３つの鏡筒から放射さ
れる荷電粒子である電子ビームとは同時に放射してもよ
く、３つの鏡筒１のうちのいずれか１つが試料２にビー
ムを照射するように時分割的に制御する。尚、試料２か
ら放射される信号として、ルミネッセンスなどのよう
に、光ビームと電子ビームを試料２に照射したときに同
じ信号を放出するときは時分割的に照射するように制御
する。また、耐真空窓２４は、鏡筒１および試料２の周
囲の荷電粒子である電子ビームなどが走行する領域（容
器）が真空に排気されているので、非荷電粒子であるレ
ーザビームを試料２の存在する領域に取り込むための透
明な窓である。

【００９２】図１２の（ｂ）は、画像を示す。これは、
図１２の（ａ）の観察用（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の鏡筒
１のビーム（例えば電子ビーム）を照射して走査し、そ
のときに発生した信号を検出器４で検出し、１つの画面
を分割した領域あるいは複数の画面上に表示した像を模
式的に表したものである。

【００９３】図１２の（ｂ）において、（Ａ）は、観察
用（Ａ）の鏡筒１の方向からビームを照射して走査した
ときの画像の模式的なイメージ（ここでは立方体の穴の
ある辺の上方から観察したイメージ）を示す。

【００９４】（Ｂ）は、観察用（Ｂ）の鏡筒１の方向か
らビームを照射して走査したときの画像の模式的なイメ
ージ（ここでは立方体の穴のある辺と隣接する他の辺と
の中間の上方から観察したイメージ）を示す。

【００９５】（Ｃ）は、観察用（Ｃ）の鏡筒１の方向か
らビームを照射して走査したときの画像の模式的なイメ
ージ（ここでは立方体の穴のある辺に隣接する他の辺の
上方から観察から観察したイメージ）を示す。

【００９６】以上のようにスリット２１を通過した固定
の光ビーム（例えばレーザビーム）で試料２に立方体の
穴を加工（試料２を移動させて長い形状の穴を加工）す
るときに、立方体のある辺の上方向、ある辺と隣接する
他の辺との中間の上方向、ある辺と隣接する他の辺の上
方向の３つから時分割でビームを照射して走査したとき
の画像を１つの画面上に３分割して表示したり、３つの
画面上にそれぞれ表示したりすることにより、光ビーム
で矩形の穴を加工しているときの様子を立体的に認識で
きる。

【００９７】図１３は、本発明の他の実施例構成図を示
す。これは、図１２の構成に、縮小レンズ２５をスリッ
ト２３と試料２との間に設け、スリット２３を平行に通
過した光ビームを縮小して微小な光ビームを試料２上に
照射し、光ビームの照射部分を小さくし、微細加工を可
能にしたものである。他の構成は、図１２と同様である
ので説明を省略する。

【００９８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の線源から試料２の複数の面に照射してそのときに
発生する信号を検出し、複数の試料２の面の状態を複数
の画面あるいは１つの画面上に分割してリアルタイムに
表示したり、１方の線源で試料２を加工および他方の線
源で試料の画像を表示したり、非荷電粒子のビームで試
料２を加工しつつ荷電粒子のビームで当該試料２を走査
して複数の方向からの画像を表示したり、更に複数の画
像の立体像の観察を可能にしたりする構成を採用してい
るため、試料２の複数の面から画像をリアルタイムに同
時にそれぞれ表示したり、１方の線源で試料２を加工し
つつ他方の線源で試料をリアルタイムに観察したり、非
荷電粒子のビームで試料２を加工しつつその加工時の画
像をリアルタイムに観察したり、立体像として観察した
りすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例構成図である。

【図２】本発明のスロースキャン時の信号の切換タイム
チャートである。

【図３】本発明のスロースキャン時の各画像の表示例で
ある。

【図４】本発明の画像メモリを用いたＴＶ走査時のタイ
ムチャートである。

【図５】本発明の３つのＴＶ画面の像の表示例である。

【図６】本発明の試料立体像観察システム構成図であ
る。

【図７】本発明のイオン加工の構成図である。

【図８】本発明のイオンビーム源を加工用および電子ビ
ームを観察用に用いたタイムチャートである。

【図９】本発明の他の実施例構成図である。

【図１０】本発明の他の実施例構成図である。

【図１１】本発明の他の実施例構成図である。

【図１２】本発明の他の実施例構成図である。

【図１３】本発明の他の実施例構成図である。

【符号の説明】

１：鏡筒 ２：試料 ２１：試料台 ３：ビームブランキング ４：検出器 ５：走査偏向回路 ５１：加工制御回路 ６：サンプルホールド ６１：ＴＶ同期回路 ７、７２：画像メモリ ８：画面 ９：表示制御装置 １０：ステレオ合成分配器 １１：立体表示 １２：立体メガネ １３：移動機構 １４：加工機 ２２：レーザ装置 ２３：スリット ２４：耐真空窓 ２５：縮小レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島谷 孝 東京都新宿区百人町２丁目24−12 サンユ ー電子株式会社内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】線源からの荷電粒子のビームを試料（２）
   に対して異なる角度から照射して走査する鏡筒（１）を
   複数設け、 各鏡筒（１）によってビームを試料（２）に照射したこ
   とに対応して発生した信号を検出する１つの検出器
   （４）あるいは複数の検出器（４）と、 １つの検出器（４）あるいは複数の検出器（４）によっ
   て検出された信号をもとに試料（２）の画像を１つの画
   面上に分割してそれぞれ表示あるいは複数の画面上にそ
   れぞれ表示させる表示制御装置（９）とを備えたことを
   特徴とする複数線源観察装置。
2. 【請求項２】線源からの荷電粒子のビームを試料（２）
   に対して異なる角度から照射して走査する鏡筒（１）を
   複数設け、 複数の鏡筒（１）のうちの少なくとも１つの鏡筒（１）
   を試料（２）の照射点をほぼ回転中心に上下あるいは左
   右あるいは任意の方向に移動させる移動機構（１３）
   と、 各鏡筒（１）によってビームを試料（２）に照射したこ
   とに対応して発生した信号を検出する１つの検出器
   （４）あるいは複数の検出器（４）と、 １つの検出器（４）あるいは複数の検出器（４）によっ
   て検出された信号をもとに試料（２）の画像を１つの画
   面上に分割してそれぞれ表示あるいは複数の画面上にそ
   れぞれ表示させる表示制御装置（９）とを備えたことを
   特徴とする複数線源観察装置。
3. 【請求項３】上記１つの鏡筒（１）からのビームを一方
   から試料（２）に照射して走査し、他の１つの鏡筒
   （１）からのビームを上記一方とは異なる方向から試料
   （２）に照射して走査あるいは他の複数の鏡筒（１）か
   らのビームを上記一方とは異なる方向から試料（２）に
   それぞれ照射して走査することを特徴とする請求項１あ
   るいは請求項２に記載の複数線源観察装置。
4. 【請求項４】上記１つの鏡筒（１）からのビームを一方
   から試料（２）に照射して走査し、他の１つの鏡筒
   （２）からのビームを上記一方とは異なる方向から試料
   （２）に照射して走査した後、所定角度だけ試料を回転
   させた後に当該他の１つの鏡筒（１）からのビームを上
   記一方とは異なる方向から試料（２）に照射して走査す
   ることを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の
   複数線源観察装置。
5. 【請求項５】上記１つの検出器（４）によって、上記複
   数の鏡筒（１）から時分割して試料（２）に照射して発
   生した信号を同期検出し、これら同期検出した信号をも
   とに上記表示制御装置（９）が１つの画面上に分割して
   それぞれ表示あるいは複数の画面上にそれぞれ表示する
   ようにしたことを特徴とする請求項１から請求項４に記
   載の複数線源観察装置。
6. 【請求項６】上記複数の鏡筒（１）からのビームを試料
   （２）に照射したときに検出した画像あるいは所定角度
   だけ試料を回転させたときに検出した画像を画像メモリ
   （７）にそれぞれ記憶しておき、画像メモリ（７）から
   記憶した各画像を１つの画面上に分割してそれぞれ表示
   あるいは複数の画面上にそれぞれ表示、または次の同一
   試料（２）の面からの画像で書き換えられるまでそれぞ
   れ繰り返して表示することを特徴とする請求項１から請
   求項５に記載の複数線源観察装置。
7. 【請求項７】上記複数の鏡筒（１）からのビームを試料
   （２）に照射したときに検出した画像あるいは所定角度
   だけ試料を回転させたときに検出した画像を画像メモリ
   （７）にそれぞれ記憶しておき、画像メモリ（７）から
   記憶した画像のうちのある鏡筒（１）の画像について、
   所定時間毎に異なる画面に複数表示あるいは順次循環し
   て表示、あるいは所定時間毎に１つの画面を分割した異
   なる位置に複数あるいは順次循環して表示することを特
   徴とする請求項１から請求項５に記載の複数線源観察装
   置。
8. 【請求項８】上記１つの鏡筒（１）からのビームを試料
   （２）に照射して加工し、上記他の１つあるいは他の複
   数の鏡筒（１）からのビームを試料（２）に照射して走
   査してその画像を１つあるいは複数の画面上に表示する
   ことを特徴とする請求項１から請求項７に記載に複数線
   源加工装置。
9. 【請求項９】上記１つの鏡筒（１）からのビームを一方
   から試料（２）に照射して加工し、上記他の１つあるい
   は他の複数の鏡筒（１）からのビームを上記一方とは異
   なる方向から試料（２）に照射して走査してその画像を
   １つあるいは複数の画面上に表示することを特徴とする
   請求項１から請求項７に記載の複数線源加工装置。
10. 【請求項１０】上記１つの鏡筒（１）からのイオンビー
    ムを一方から試料（２）に照射して走査して加工し、上
    記他の１つあるいは他の複数の鏡筒（１）からのビーム
    を上記一方とは異なる方向から試料（２）に照射して走
    査してその画像を１つあるいは複数の画面上に表示する
    ことを特徴とする請求項１から請求項９に記載の複数線
    源加工装置。
11. 【請求項１１】上記１つの鏡筒（１）からのイオンビー
    ムを一方から試料（２）に照射して当該試料２を移動し
    て加工し、上記他の１つあるいは他の複数の鏡筒（１）
    からのビームを上記一方とは異なる方向から試料（２）
    に照射して走査してその画像を１つあるいは複数の画面
    上に表示することを特徴とする請求項１から請求項９に
    記載の複数線源加工装置。
12. 【請求項１２】線源からの非荷電粒子のビームを一方か
    ら試料（２）に照射して当該試料２を移動して加工し、
    上記１つあるいは他の複数の鏡筒（１）からのビームを
    上記一方とは異なる方向から試料（２）に照射して走査
    してその画像を１つあるいは複数の画面上に表示するこ
    とを特徴とする請求項１から請求項１１に記載の複数線
    源加工装置。
13. 【請求項１３】上記非荷電粒子のビームとして、レーザ
    装置（２２）からの光ビームとしたことを特徴とする請
    求項１２に記載の複数線源加工装置。
14. 【請求項１４】レーザ装置（２２）からの光ビームを縮
    小レンズ（２５）で縮小して一方から試料（２）に照射
    して当該試料２を移動して加工し、上記１つあるいは複
    数の鏡筒（１）からのビームを上記一方とは異なる方向
    から試料（２）に照射して走査してその画像を１つある
    いは複数の画面上に表示することを特徴とする請求項１
    から請求項１１に記載の複数線源加工装置。
15. 【請求項１５】上記表示制御装置（９）が画面上に２つ
    の異なる角度の表示された２つの画像について立体観察
    させる立体メガネ（１２）、あるいは２つの画像につい
    て立体観察させる立体鏡を備え、 観察者に立体像の観察を行い得るように構成したことを
    特徴とする請求項１から請求項１４に記載の複数線源観
    察装置。