JPH07335539A

JPH07335539A - 半導体露光装置

Info

Publication number: JPH07335539A
Application number: JP15062294A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Sato; 義行佐藤; Yoichi Kuroki; 洋一黒木
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-06-09
Filing date: 1994-06-09
Publication date: 1995-12-22

Abstract

(57)【要約】【目的】エラーが発生した際にオペレータに適切な対
処方法をすみやかに伝えて迅速な対応ができるようにす
る。【構成】表示手段と、操作者の種類と装置で生じるエ
ラーの種類とに応じた表示データを記憶する記憶手段
と、現在設定されている操作者の種類を示す操作者デー
タと装置で生じたエラーの種類を示すエラーデータとに
対応する前記表示データを前記記憶手段から読み出して
前記表示手段上に表示するデータ処理手段とを具備す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置、特に
ウエハ上に回路パターンを焼き付ける半導体露光装置で
あって、エラー発生時のメッセージの表示内容が改良さ
れたものに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造工程に用いる半導体露
光装置等においては、何らかのエラーが発生した場合に
はシグナルタワー等で、エラーの発生をオペレータに知
らせ、エラーの種類や操作している人のレベルによら
ず、操作画面（以下、コンソール画面という）上の決め
られた表示エリアにエラーの内容を表示していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
露光装置等のエラーメッセージの種類には、オペレータ
が対処できるもの、エンジニアレベルでないと対処でき
ないもの（パラメータの設定ミス、装置の再調整、消耗
部品の交換など）、更にメーカのサービスマンでないと
対処できないものなどの様々な種類がある。そして、こ
の様々なエラーに対処するためにオペレータはエラーコ
ード等からマニュアルを見て対処方法を調べなければな
らないため、オペレータにとって対処方法を判断するの
は難しく、更に、エラー発生時に、エラーコード等から
マニュアルを検索する必要があるため、対処するまでに
時間がかかるという問題点があった。また半導体製造に
おいては、設備コスト等が高いため、エラー対処等によ
る装置の空き時間も問題となっていた。

【０００４】本発明の目的は、上記事情を考慮し、半導
体露光装置等において、エラーが発生した際にオペレー
タに適切な対処方法をすみやかに伝え、迅速な対応がで
きるようにすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の半導体露光装置は、表示手段と、操作者の種類
と装置で生じるエラーの種類とに応じた表示データを記
憶する記憶手段と、現在設定されている操作者の種類を
示す操作者データと装置で生じたエラーの種類を示すエ
ラーデータとに対応する前記表示データを前記記憶手段
から読み出して前記表示手段上に表示するデータ処理手
段とを具備することを特徴とする。

【０００６】ここで、より好ましい態様においては、前
記操作者データは前記記憶手段に記憶されている。本装
置は、前記操作者データを操作者が変更するための手段
を有する。データ処理手段は、装置のエラーが発生した
ときに前記表示データを表示するための専用ウィンドウ
をポップアップにより設定するものであり、その表示デ
ータは発生したエラーの内容および前記操作者データに
対応したメッセージのデータを含み、前記ウィンドウは
前記操作者データを表示する領域と、前記エラー内容を
表示する領域と、前記メッセージデータを表示する領域
と、操作ボタンを表示する領域とを有する。前記データ
処理手段は操作者の入力に応じて、操作者データが示す
現在の操作者とは異なる種類の操作者に対応するより詳
細な前記メッセージを表示する機能をも有し、前記操作
ボタンはそのための入力をするための操作ボタンを含
み、前記メッセージは前記発生したエラーの説明および
対処方法を含む。本装置は、前記表示されるエラー内容
およびメッセージの言語を任意の国の言語に切り替える
手段を有する。本装置は、前記メッセージデータを操作
者が追加または修正するための手段を有する。前記メッ
セージは、装置のメンテナンスマニュアルおよびサービ
ス用のサービスマニュアルの内容を含む。

【０００７】

【作用】本発明によれば、半導体露光装置の操作を行な
う人をいくつかのグループに分け（オペレータ、エンジ
ニア、メーカサービスマン等）、これら操作者の種類お
よび、発生しうる各エラーの双方に応じた表示データ
（エラー内容、対処方法等）を事前に用意して記憶して
おき、エラー発生時には、現在の操作者の種類および発
生したエラーの種類に応じた前記表示データを表示する
ようにし、さらには操作者が、表示画面内に設けられた
操作ボタンを押す等の操作により、前記現在の操作者の
種類を変更して表示内容を変更することができるように
したため、エラー発生時における操作者が対処可能な最
適の指示が、表示される。したがって操作者は、エラー
コードを基にマニュアルを検索する必要がなくなり、エ
ラー対処の時間が短縮される。また、操作者がメンテナ
ンス担当者やサービス担当者である場合を考慮し、それ
ぞれ、メンテナンスマニュアルやサービスマニュアルの
必要な部分のみを表示データとして登録しておくことに
より、マニュアルの検索が必要なくなるとともに、クリ
ーンルーム内にマニュアルを持ち込む必要もなくなり、
クリーンルーム内のクリーン度の低下が防止される。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は本発明の一実施例に係る半導体露光装置の概
略構成図である。同図において、１は露光を行なうため
の照明装置、２はＸ，Ｙ，θ方向に移動可能な不図示の
レチクルステージの上に搭載されているレチクル（マス
ク）、３は照明装置１からの露光光によりレチクル２の
パターンを縮小投影する投影レンズ、４は投影レンズ３
を介してレチクル２のパターンが投影されるウエハ、５
はウエハ４を保持してθ、Ｚ方向に移動可能なθＺステ
ージ、６はθＺステージ５を搭載してＸ，Ｙ方向に移動
可能なＸＹステージ、７はワークステーション等のコン
ソール（オペレータが操作する部分）、そして８および
９はコンソール７に接続されたＣＰＵおよびハードディ
スクである。ハードディスク９には、データベースが構
築されており、エラーコード、エラーメッセージ、表示
内容（対処方法等）のデータ（テキストデータ）、オペ
レータのグループ等が記録されている。

【０００９】このような半導体露光装置におけるエラー
の原因としては、次のようなケースがある。

【００１０】(1) オペレータの単純な操作ミスによるも
のとしては、例えば次の場合がある。ウエハキャリアが正しくセットされていない。 a.キャリアをセットし忘れている、キャリアの置き方が
ずれている。すなわち、キャリアセット台に設けられた
キャリアセットスイッチがオンにならない。 b.キャリア内のウエハが外側に飛び出ている。すなわ
ち、キャリアセット台に設けられた飛出しウエハのチェ
ック用のセンサがオンになった。 c.ウエハがキャリア内で段がずれて入っている。すなわ
ち、キャリアセット台に設けられた、段違いに置かれた
ウエハのチェック用のセンサがオンになった。正しいレチクルが正しくセットされていない。 a.露光パラメータで指定したレチクルが装置のレチクル
収納部分内に入っていない。すなわち、装置のレチクル
収納部分（ライブラリ）は複数のレチクル収納スロット
からなり、各スロット毎にそこに入っているレチクルの
ＩＤ．等の情報を装置のメモリ上に保有しているのであ
るが、露光パラメータ内では使用するレチクルのＩＤ．
が指定されているが、上記メモリ上の情報には、該当す
るレチクルＩＤ．がない。 b.チャンバーの扉がきちっと閉められていない。すなわ
ち、ウエハキャリアセット部の扉や、レチクルセット部
の扉の開閉確認用のＳＷが閉にならない。

【００１１】(2) 露光のためのパラメータ設定に誤りが
ある場合として、例えば次のものがある。フォーカスのオフセット（補正用パラメータ）に補正
レンジ外の値が設定されている。すなわち、露光前のフ
ォーカス合せで、駆動量（フォーカス計測値＋フォーカ
スオフセット）が駆動レンジを越えてしまった。ＴＶプリアライメントのためのマーク計測位置とし
て、実際にはマークが存在しない位置が設定されてい
る。すなわち、ＴＶプリアライメント計測を行おうとし
たが、マークが検出できなかった。

【００１２】(3) 露光するウエハ側に問題がある場合と
して、例えば次のものがある。ウエハのそり量が規格よりも大きすぎる。すなわち、
フォーカス、レベリング補正が出来ない。ウエハの裏側にレジストが付着している。すなわち、
ウエハをチャックに吸着出来ない。また、フォーカス、
レベリング補正が出来ない。

【００１３】(4) 露光装置が使用するユーティリティー
に問題が発生した場合として、例えば次のものがある。プレッシャーエアー圧が低下した。バキュームエアー圧が低下した。チャンバー用の冷却水が停止した。

【００１４】(5) 露光装置の消耗品等が劣化または故障
した場合として、例えば次のものがある。露光用高圧水銀灯がきれた。エキシマの露光装置において、レーザ用のガスがなく
なった。

【００１５】(6) 露光装置のユニット等が故障した場合
として、例えば次のものがある。ウエハ搬送用ハンドの位置検出用フォトセンサーが故
障した。

【００１６】前記(1) のケースの場合は、オペレータが
正しく設定をやり直せば、露光をそのまま行なうことが
できる。(2) のケースの場合は、一般には、オペレータ
だけで解決することは出来ず、パラメータ設定を行なっ
た担当プロセスエンジニアに連絡をとり、プロセスエン
ジニアによってパラメータを正しく設定し直す必要があ
る。(3) の場合は、問題のウエハをどう処理するかを決
めるルートはユーザ、工場によって異なる。(4) の場合
は、一般には、ラインのユーティリティ担当者に連絡を
とり問題のユーティリティを修復してもらわなければな
らない。(5) の場合は、修復担当者、修復後の処置（修
復確認のためのテスト等）はユーザによってまた、修復
対象によって異なる。(6) の場合は、装置メーカのサー
ビスマンに修理を依頼しなければならない。

【００１７】図３はハードディスク９のデータベースに
記録されている、エラーコード、エラーメッセージ、表
示内容（対処方法等）のデータ（テキストデータ）、オ
ペレータのグループ等の情報のレコード示す。図中、
「現在装置を操作している人のグループ」は数値データ
であり、例えば、１：オペレータ、２：エンジニア、
３：サービスマン、のように定義されている。デフォル
ト値は「１」すなわちオペレータになっている。

【００１８】図２は、半導体露光装置に上述のようなエ
ラーが発生してから、エラーの表示や対処方法などのメ
ッセージを表示するまでのアルゴリズムを示すフローチ
ャートである。エラーが発生すると、ＣＰＵ８はエラー
コードを露光装置からコンソール７へ送る。このエラー
コードは例えば、４つのフィールドに分かれた計１１桁
の数値によって構成されている。このエラーコードを受
け取ると、コンソール７は、ディスク９のデータベース
の図３で示すフォーマットのレコードの内容を読み出し
て、現在装置を操作している人のグループのデータを得
る。

【００１９】次に前記エラーコードおよびグループのデ
ータをキーとしてディスク９のデータベースを検索し、
該当する「エラーメッセージ」および、現在装置を操作
している人のグループが１ならば「オペレータ用メッセ
ージ，対処方法」、２ならば「エンジニア用メッセー
ジ、対処方法」、３ならば「サービスマン用メッセー
ジ、対処方法」のレコードの内容を表示する。

【００２０】より具体的に説明する。一般にはエラーの
原因や対処方法が直ちに分かるとは限らず、そのような
エラーとして例えば、ウエハを露光装置内のチャック上
に搬入する場合に、ウエハの吸着エラーが発生する場合
がある。この場合、原因としては、例えば次のようなこ
とが考えられる。

【００２１】１）ウエハの裏側にレジストが付着してい
る。

【００２２】２）ユーティリティのバキューム圧が低下
している。

【００２３】３）装置のバキューム配管系が故障した。

【００２４】４）装置のバキュームセンサーが故障し
た。

【００２５】このエラーが発生すると、コンソール７は
送られたエラーコードに基づき「エラーメッセージ」お
よび、通常は、（現在装置を操作している人のグループ
がデフォルト値である１なので）「オペレータ用メッセ
ージ、対処方法」のレコードの内容を表示する。この表
示は例えば図４に示す態様で行なわれる。なお、このメ
ッセージは、別のエディタによって、ユーザサイドで追
加修正することができる。したがって、図４において
“XXX …”で示した連絡先等は、実際には、それぞれの
工場によって異なる、担当エンジニアの名前、内線番号
等が、書き込まれており、それが表示される。

【００２６】次に、オペレータでは解決できずに、メッ
セージに従って担当エンジニアが呼ばれたとする。エン
ジニアは、画面上の“Operator Group”のところをコン
ソール７のマウス等のポインティングデバイスにより選
択し、キーボードより“Engineer”と入力する。そして
“Passwd”の欄にパスワードを入力する。この入力は画
面上には表示されない。パスワードが正しければ、コン
ソール７は、「現在装置を操作している人のグループ」
の内容を２に書き換え、ディスク９中のデータベースか
ら、対応する「エラーメッセージ」および「エンジニア
用メッセージ、対処方法」のレコードを読み出し、画面
の再表示を行なう。すると画面は図５のように変わる。

【００２７】サービスマンが呼ばれた場合は、サービス
マンは前記と同様の操作で画面上の“Operator Group”
のところを、マウス等のポインティングデバイスにより
選択し、“Engineer”を“Service ”に書き変え、パス
ワードを入力する。パスワードが正しければ、コンソー
ル７は、「現在装置を操作している人のグループ」を３
に書き換え、ディスク９のデータベースから該当する
「エラーメッセージ」および「サービスマン用メッセー
ジ、対処方法」を読み出し、再表示する。すると画面は
図６のようなサービスマン用の画面に変わる。修理が終
了すると、サービスマンは、最後に前記と同様の操作で
画面上の“Operator Group”の内容を“Operator”に書
き変える。すると装置はエラー発生前のオペレータレベ
ルの設定に戻る。

【００２８】図７はエラー表示用ウィンドウ（以下、エ
ラーウィンドウという）のより詳細な説明をするための
図である。エラーウィンドウは、装置においてエラーが
発生した時に、ポップアップにより表示される。またエ
ラーウィンドウは、ウィンドウタイトル１、オペレータ
グループ表示領域２、エラー内容表示領域３、メッセー
ジ表示領域４、スクロールバー５，６、および、操作ボ
タン群７（７−１〜７−８）から構成される。オペレー
タグループ表示領域２は、グループ表示領域２−１とグ
ループ変更のための入力領域２−２から構成される。ス
クロールバー５，６および操作ボタン７−１から７−６
は、エラー内容表示領域３およびメッセージ表示領域を
操作（動かす）するためのものである。ボタン７−７は
トグルボタンになっており、１回押すと“User Inform
”に変わり、さらに押されると“Futher Inform ”に
戻る。“User Inform ”というのは、現在のオペレータ
グループ向けのメッセージであり、エラーコードやエラ
ーの簡単な説明、エラー内容の説明、および対処方法
を、オペレータのグループに応じて表示するモードであ
る。また“Futher Inform ”は、前記“User Inform ”
と同様にエラーコード、エラーの説明、エラー内容の説
明、対処方法を現在のオペレータの１つ上のグループの
詳細なメッセージで表示するモードである。クイットボ
タン７−８は、エラーウィンドウを終了するときに押す
ものである。また図７においては、エラーメッセージは
一例として英語で表示してあるが、セットアップエディ
タ等の設定により、任意の言語に切り替えることができ
る。

【００２９】図８〜図１０は、それぞれ他のエラーが発
生した際の表示例を示す図である。図８は、オペレータ
が露光を行なおうとして、露光するウエハの入ったウエ
ハキャリアを装置にセットし、装置をスタートさせたと
ころ、キャリアが正しくセットされていない、というエ
ラーが発生した場合の例を示す。図８ではオペレータ用
のメッセージになっている。オペレータは、メッセージ
に従って、キャリアを載せ直し、装置を再スタートさせ
る。しかしもし、置き方は正しく、エラーの原因が他に
あった場合は、同じエラーが再度表示される。一般の装
置オペレータはエンジニアではないので、それ以上の原
因追及は、一般には困難である。この場合は、直ちに、
担当エンジニアへ連絡をとるのが一番効率的である。そ
こでオペレータは、表示に従って担当エンジニアへ連絡
をとることになる。

【００３０】図９はその場合のエンジニア用の表示例を
示す。呼ばれたエンジニアは、メッセージに従って、キ
ャリアの変形等をチェックする。ここで異常がみつかれ
ば、キャリア交換等の処置をとって、露光を開始するこ
とになる。しかしもし、装置のセンサ等のハード的な故
障であった場合は、サービスマンを呼ばなければならな
い。

【００３１】図１０はそのような場合のサービスマン用
の表示例を示す。図１０では、サービスマン用のマニュ
アルの一部が表示されている。なお、このとき表示され
るマニュアルは、装置全体としては、膨大な量があるマ
ニュアルのうち、現在トラブルを起こしている箇所（ユ
ニット）の修復に必要な部分のみが表示される。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
エラーが発生した際にオペレータに適切な対処方法を速
やかに伝えることができ、エラーに対する迅速な対応を
行なうことができる。また、オペレータ、エンジニア、
サービスマン等は、マニュアルを開かずに、それぞれの
レベルに応じたエラーの対処方法を知ることができるた
め、エラー対処時間を短縮することができる。また、ク
リーンルーム内にマニュアルを持ち込む必要もなくな
り、クリーンルーム内のクリーン度の低下を防止するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係わる半導体露光装置の
概略構成図である。

【図２】図１の装置においてエラーが発生してから、
コンソール画面上にエラーや対処方法などのエラーメッ
セージを表示するまでの処理を示すフローチャートであ
る。

【図３】図１の装置においてエラーが発生した際に表
示する内容のハードディスク中の記録形式を表す図であ
る。

【図４】図１の装置においてエラーが発生した際に表
示するエラーウィンドウの第１の例を示す図である。

【図５】図１の装置においてエラーが発生した際に表
示するエラーウィンドウの第２の例を示す図である。

【図６】図１の装置においてエラーが発生した際に表
示するエラーウィンドウの第３の例を示す図である。

【図７】図１の装置においてエラー表示ウィンドウを
より詳細に説明するエラーウィンドウの第４の例を示す
図である。

【図８】図１の装置においてエラーが発生した際に表
示するエラーウィンドウの第５の例を示す図である。

【図９】図１の装置においてエラーが発生した際に表
示するエラーウィンドウの第６の例を示す図である。

【図１０】図１の装置においてエラーが発生した際に
表示するエラーウィンドウの第７の例を示す図である。

【符号の説明】

１：照明装置、２：レチクル（マスク）、３：投影レン
ズ、４：ウエハ、５：ＸＹステージ、７：コンソール、
８：ＣＰＵ、９：ハードディスク。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表示手段と、操作者の種類と装置で生じるエラーの種類とに応じた表
示データを記憶する記憶手段と、現在設定されている操作者の種類を示す操作者データと
装置で生じたエラーの種類を示すエラーデータとに対応
する前記表示データを前記記憶手段から読み出して前記
表示手段上に表示するデータ処理手段とを具備すること
を特徴とする半導体露光装置。
【請求項２】前記操作者データは前記記憶手段に記憶
されていることを特徴とする請求項１記載の半導体露光
装置。
【請求項３】前記操作者データを操作者が変更するた
めの手段を有することを特徴とする請求項１または２記
載の半導体露光装置。
【請求項４】データ処理手段は、装置のエラーが発生
したときに前記表示データを表示するための専用ウィン
ドウをポップアップにより設定するものであり、その表
示データは発生したエラーの内容および前記操作者デー
タに対応したメッセージのデータを含み、前記ウィンド
ウは前記操作者データを表示する領域と、前記エラー内
容を表示する領域と、前記メッセージデータを表示する
領域と、操作ボタンを表示する領域とを有することを特
徴とする請求項１〜３記載の半導体露光装置。
【請求項５】前記データ処理手段は操作者の入力に応
じて、操作者データが示す現在の操作者とは異なる種類
の操作者に対応するより詳細な前記メッセージを表示す
る機能をも有し、前記操作ボタンはそのための入力をす
るための操作ボタンを含み、前記メッセージは前記発生
したエラーの説明および対処方法を含むことを特徴とす
る請求項１〜４記載の半導体露光装置。
【請求項６】前記表示されるエラー内容およびメッセ
ージの言語を任意の国の言語に切り替える手段を有する
ことを特徴とする請求項１〜５記載の半導体露光装置。
【請求項７】前記メッセージデータを操作者が追加ま
たは修正するための手段を有することを特徴とする請求
項１〜６記載の半導体露光装置。
【請求項８】前記メッセージは、装置のメンテナンス
マニュアルおよびサービス用のサービスマニュアルの内
容を含むことを特徴とする請求項１〜７記載の半導体露
光装置。