JPH07336184A - エネルギー閉じ込め型圧電共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エネルギー閉じ込め効率が高められており、
共振特性が良好である、厚みモードを利用したエネルギ
ー閉じ込め型圧電共振子を得る。 【構成】 厚み方向に一様に分極処理された矩形の圧電
板２の上面２ａ及び下面２ｂに、第１，第２の共振電極
３，４をそれぞれ形成し、第１，第２の共振電極３，４
が対向し合っている共振領域の外側に、別部材を固着す
ることにより動吸振部９，１０を設けてなるエネルギー
閉じ込め型圧電共振子１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、厚みモードを利用した
エネルギー閉じ込め型圧電共振子に関し、特に、振動エ
ネルギーを共振領域及びその近傍に効果的に閉じ込め得
る構造が備えられたエネルギー閉じ込め型圧電共振子に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、厚み縦振動モードや厚みすべり振
動モードをなどの厚みモードを利用した種々のエネルギ
ー閉じ込め型圧電共振子が知られている。厚みモードを
利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、例えば
圧電板の両主面に共振電極が形成されており、両主面に
形成された共振電極は圧電板を介して互いに重なり合う
ように配置されている。また、両主面に形成された共振
電極は、それぞれ、該共振電極が形成されている面より
も狭く形成されており、それによって、両主面の共振電
極が重なり合っている共振領域が、圧電板の主面よりも
狭い領域に限定され、振動エネルギーの閉じ込めが行わ
れている。

【０００３】エネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共
振領域を圧電板の面積よりも狭く限定することにより、
共振領域外で圧電共振子を機械的に保持することが可能
であるため、種々の共振部品や帯域フィルタなどに広く
用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の厚みモードを利
用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共振領域
を圧電体の電極が形成されている面よりも狭く限定する
ことにより、振動エネルギーの閉じ込めが行われてい
る。しかしながら、この振動エネルギーの閉じ込めは、
共振領域外に全く振動が漏洩しないほど完全なものでは
なく、幾分かの振動が共振領域外に漏洩せざるを得なか
った。

【０００５】従って、共振領域外で圧電共振子を機械的
に保持した場合、共振特性に影響が生じることがあっ
た。本発明の目的は、より一層エネルギー閉じ込め効率
に優れ、従って、優れた共振特性を発揮し得る厚みモー
ドを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子を提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、厚みモードを
利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子において、動
吸振現象を利用することによりエネルギー閉じ込め効率
を高めたことに特徴を有する。

【０００７】すなわち、本発明のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子は、対向し合う第１，第２の面を有し、第
１，第２の面を結ぶ方向が厚み方向とされている圧電体
と、前記第１，第２の面において、それぞれ、部分的に
形成されており、かつ圧電体を介して厚み方向に重なり
合うように形成された第１，第２の共振電極とを備え、
第１，第２の共振電極の重なり合う領域が共振領域とさ
れている、厚みモードを利用したエネルギー閉じ込め型
圧電共振子であり、前記第１，第２の面の少なくとも一
方の面において、共振領域の外側に設けられた動吸振部
をさらに備えることを特徴とする。

【０００８】本発明は、上記のように、厚みモードを利
用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子に関する。厚み
モードとしては、厚み縦モードあるいは厚みすべりモー
ドなどの従来より公知の種々の厚みモードを挙げること
ができる。

【０００９】また、本発明のエネルギー閉じ込め型圧電
共振子は、対向し合う第１，第２の面を有する圧電体を
用いて構成されるが、使用する圧電体としては、チタン
酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのようなセラミック
スの他、ＬｉＴａＯ₃ もしくはＬｉＮｂＯ₃ などの圧電
単結晶や水晶などを用いることも可能である。

【００１０】本発明では、上記圧電体の対向し合う第
１，第２の面に共振電極を形成することにより共振領域
が構成され、それによって共振領域に厚みモードの振動
エネルギーが閉じ込められる。ここまでは、従来の厚み
モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子と同
様である。

【００１１】本発明では、エネルギー閉じ込め効率を高
めるために、さらに、上記動吸振部が設けられている。
動吸振部とは、動吸振現象により伝達してきた振動を抑
制するように作用する部分であり、この動吸振現象の詳
細は、例えば谷口修著「振動工学」第１１３頁〜第１１
６頁（コロナ社発行）に記載されている。簡単に言え
ば、動吸振現象とは、振動が防止されるべき主振動体
に、副振動体を連結し、該副振動体の固有振動数を適当
に選ぶことにより、主振動体の振動が抑制される現象で
ある。本発明の圧電共振子における上記動吸振部は、こ
の動吸振現象における副振動体に相当し、伝搬してきた
振動が、該動吸振部により、動吸振現象に基づいて抑制
される。

【００１２】本発明では、上記動吸振部は、圧電体の第
１，第２の面の少なくとも一方の面において、上記共振
領域の外側に設けられ、それによって共振領域から伝搬
してきた振動を動吸振現象により抑制することが可能と
されている。

【００１３】本発明のある限定的な局面では、上記動吸
振部は、圧電体の第１，第２の面の少なくとも一方に固
着された動吸振部材で構成されている。このような動吸
振部材を構成する材料としては、特に圧電材料を用いる
必要はなく、適宜の材料により構成することができる。
もっとも、動吸振現象により伝搬してきた振動を減衰さ
せるためには、動吸振部材は、伝搬してきた振動の振動
数と等しい、もしくは該振動数に近い固有振動数を発揮
し得るような材料により構成することが好ましい。もっ
とも、動吸振部の固有振動数は、材料だけでなく、該動
吸振部の形状によっても異なるため、動吸振部の形状を
工夫することにより上記のように伝達されてきた振動を
抑制し得る限り、適宜の材料を用いることができる。

【００１４】また、本発明では、好ましくは、動吸振部
材は、第１，第２の共振電極と同一の材料により構成さ
れる。すなわち、動吸振部材を、電極材料と共通の材料
で構成することにより、電極形成工程において動吸振部
を同時に形成することができる。

【００１５】さらに、本発明は、上記共振領域を有する
エネルギー閉じ込め型圧電共振子であるが、共振領域に
おいて、第１の共振電極を、所定のギャップを隔てて形
成した第３，第４の共振電極部に分割し、それによって
第３の共振電極部及び第４の共振電極部を入出力端とす
る圧電フィルタを構成してもよい。

【００１６】さらに、２重モード圧電フィルタを構成す
るために、上記圧電体に２個の共振領域を構成し、該２
個の共振領域間に上記動吸振部を設けてもよい。

【００１７】

【作用】本発明のエネルギー閉じ込め型圧電共振子で
は、圧電体の対向し合う第１，第２の面に第１，第２の
共振電極を部分的に形成することにより、エネルギー閉
じ込め型の共振領域が構成されている。従って、共振領
域で発生した振動エネルギーは、上記共振領域にほぼ閉
じ込められる。

【００１８】さらに、本発明では、共振領域の外側に動
吸振部が設けられている。従って、共振領域から漏洩し
てきた振動のエネルギーが、動吸振現象に基づいて上記
動吸振部により抑制される。よって、本発明のエネルギ
ー閉じ込め型圧電共振子では、上記動吸振部が構成され
ている部分までに、ほぼ確実に振動エネルギーを閉じ込
めることが可能とされている。

【００１９】すなわち、本発明は、従来のエネルギー閉
じ込め型圧電共振子に、さらに動吸振部を設けることに
より、エネルギー閉じ込め効率を一層高めたことに特徴
を有する。

【００２０】

【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。

【００２１】図１は、本発明の第１の実施例に係るエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子を示す斜視図であり、図２
は、該圧電共振子の平面図、図３は正面断面図である。
圧電共振子１は、厚み縦モードを利用したエネルギー閉
じ込め型圧電共振子である。圧電共振子１では、平面形
状が矩形の圧電板２が用いられている。本実施例では、
圧電板２は、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
により構成されており、図示の矢印Ｐ方向に、すなわち
圧電板２の厚み方向に一様に分極処理されている。

【００２２】圧電板２の上面２ａ上には、中央に、平面
形状が円形の第１の共振電極３が形成されている。ま
た、圧電板２の下面２ｂには、第１の共振電極３と表裏
対向するように、同じく平面形状が円形の第２の共振電
極４が形成されている。第１，第２の共振電極３，４間
に交流電圧が印加されることにより、第１，第２の共振
電極３，４が重なり合っている領域、すなわち共振領域
が厚み縦振動モードで振動される。共振領域は、圧電板
２の主面の一部の領域に限定されて構成されている。従
って、従来のエネルギー閉じ込め型圧電共振子と同様
に、共振領域に振動エネルギーがほぼ閉じ込められる。

【００２３】第１の共振電極３は、一対の接続導電部５
ａ，５ｂを介して端子電極６に電気的に接続されてい
る。端子電極６は、圧電板２の上面２ａにおいて一方端
縁に沿うように形成されており、外部との電気的接続の
ために用いられる。同様に、圧電板２の下面２ｂにおい
ても、第２の共振電極４に電気的に接続されるように、
一対の接続導電部７ａ，７ｂが形成されている。第２の
共振電極４は、接続導電部７ａ，７ｂを介して第２の端
子電極８に電気的に接続されている。

【００２４】上記第１，第２の共振電極３，４、接続導
電部５ａ，５ｂ，７ａ，７ｂ及び第１，第２の端子電極
６，８は、圧電板２の上面２ａ及び下面２ｂに全面に蒸
着、スパッタリングもしくはメッキ等の薄膜形成法によ
り導電膜を形成し、しかる後パターニングすることによ
り形成され得る。もっとも、上記圧電板２の上面２ａ及
び下面２ｂ上の上記電極構造は、例えば導電ペーストを
スクリーン印刷し、硬化させることによって形成するこ
とも可能である。

【００２５】第１，第２の共振電極３，４、接続導電部
５ａ，５ｂ，７ａ，７ｂ及び端子電極６，８は、上記の
ように同一材料により同一工程を経て形成されてもよい
が、別工程を経て形成されていてもよい。また、第１，
第２の共振電極３，４、接続導電部５ａ，５ｂ，７ａ，
７ｂ、端子電極６，８を構成する導電性材料としても特
に限定されるものではなく、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｌもくしは
これらの合金等の適宜の材料を用いることができる。

【００２６】本実施例の圧電共振子１では、共振領域の
外側において、圧電板２の上面２ａ上及び下面２ｂ上
に、それぞれ、円環状の動吸振部９，１０が設けられて
いる。動吸振部９，１０は、例えば樹脂やガラスなどか
らなる絶縁性ペースト状材料を、圧電板２の上面２ａ及
び下面２ｂにリング状に印刷することなどにより構成さ
れている。

【００２７】動吸振部９，１０の寸法及び材料について
は、共振領域から漏洩してきた振動の周波数に、動吸振
部９，１０の固有振動数が一致するように選択される。
上記のように選択することにより、動吸振部９，１０に
おいて、漏洩してきた振動を動吸振現象に基づいて抑制
することができる。従って、本実施例の圧電共振子１で
は、エネルギー閉じ込め型の共振部においてほぼ振動エ
ネルギーが閉じ込められ、さらにわずかに漏洩してきた
振動が、共振領域の外側に設けられている上記動吸振部
９，１０により抑制される。よって、従来のエネルギー
閉じ込め型圧電共振子に比べて、振動エネルギーの閉じ
込め効率を効果的に高めることができる。

【００２８】従って、第１，第２の端子電極６，８が形
成されている部分を外部との接続に用い、かつ端子電極
６，８が形成されている領域を利用して機械的に保持し
たとしても、共振領域における共振特性に影響が生じ難
い。よって、特性の良好なエネルギー閉じ込め型圧電共
振子を提供することができる。

【００２９】図４は、本発明の第２の実施例に係るエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子を示す斜視図であり、図５
は、その正面断面図である。圧電共振子２１は、細長い
矩形板状の圧電板２２を用いて構成されており、厚みす
べり振動モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共
振子として構成されている。

【００３０】本実施例では、圧電板２２は、平面形状が
細長い矩形のチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
により構成されており、図示の矢印Ｐ方向、すなわちそ
の主面と平行な方向に分極処理されている。圧電板２２
の上面２２ａ上には、一方端面２２ｃから圧電板２２の
中央に延びるように第１の共振電極２３が形成されてい
る。また、圧電板２２の下面２２ｂ上においては、端面
２２ｄから圧電板の中央領域に延びるように、第２の共
振電極２４が形成されている。

【００３１】第１，第２の共振電極２３，２４は、圧電
板２２の中央領域において互いに対向するように配置さ
れており、該第１，第２の共振電極２３，２４が対向さ
れている領域により、共振領域が構成される。

【００３２】すなわち、第１，第２の共振電極２３，２
４間に交流電圧を印加することにより、上記共振領域が
厚みすべり振動モードで励振される。この共振領域にお
ける振動は、共振領域が圧電板２２の一部の領域に限定
されて構成されているため、上記振動エネルギーは、ほ
ぼ共振領域内に閉じ込められる。

【００３３】本実施例では、共振領域の外側に、すなわ
ち、圧電板２２の上面２２ａ上においては、共振領域と
端面２２ｃとの間、並びに共振領域と端面２２ｄとの間
に、動吸振部材２５，２６が固定されている。動吸振部
材２５，２６は、平面形状が矩形の細長いストライプ状
の形状を有し、圧電板２２の全幅に至るように構成され
ている。もっとも、動吸振部２５，２６の形状について
は、図４に示した形状に限定されるものではなく、共振
領域から漏洩してきた振動を動吸振現象により抑制し得
る限り、適宜変更することができる。

【００３４】なお、本実施例では、圧電板２２の下面２
２ｂ上においても、共振領域の外側に、動吸振部２７，
２８が設けられている。動吸振部２７，２８について
も、上面２２ａ上の動吸振部２５，２６と同様に構成さ
れている。

【００３５】本実施例の圧電共振子２１では、動吸振部
２５，２６の外側の領域及び動吸振部２７，２８の外側
の領域において、第１，第２の共振電極２３，２４を外
部と電気的に接続し、かつ上記動吸振部２５〜２８の設
けられている部分よりも外側の領域で機械的に保持する
ことにより、第１の実施例の圧電共振子と同様に、動吸
振部が設けられている部分までに、振動エネルギーを確
実に閉じ込めることができる。よって、従来の厚みすべ
り振動モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振
子に比べて、エネルギー閉じ込め効率を効果的に高める
ことが可能となる。

【００３６】図６は、本発明の第３の実施例に係るエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子の平面図である。第３の実
施例のエネルギー閉じ込め型圧電共振子３１は、平面形
状が矩形の圧電板２を用いて構成されており、本実施例
は、矩形の圧電板２の厚み縦振動モードを利用したエネ
ルギー閉じ込め型の圧電共振子である。従って、基本的
には、第３の実施例の圧電共振子３１は、第１の実施例
の圧電共振子１と同様に構成されている。よって、第１
の実施例の圧電共振子１と同一部分については、同一の
参照番号を付することにより、その説明は省略する。

【００３７】第３の実施例が、第１の実施例の圧電共振
子１と異なるところは、動吸振部の構造にある。すなわ
ち、図６に示されているように、本実施例の圧電共振子
３１では、第１の共振電極３が形成されている共振領域
の外側において、第１の共振電極３と同一材料を用いて
動吸振部３３，３４が形成されている。動吸振部３３，
３４は、共振領域の外側において、共振電極を囲む円環
の一部を切断した形状に相当する。言い換えれば、動吸
振部３３，３４は、第１の実施例の動吸振部９の一部を
分断した形状に相当する。

【００３８】このように、動吸振部３３，３４が円環を
分断した形状を有するように構成されているのは、動吸
振部３３，３４が共振電極３と同一材料により構成され
ており、従って共振電極３と電気的に絶縁する必要があ
るからである。

【００３９】なお、図７に、圧電板３２を透かして下方
の電極形状を平面図で示すように、圧電板３２の下面に
おいても、第２の共振電極４の外側に、動吸振部３５，
３６が形成されている。動吸振部３５，３６は、上面側
に形成された動吸振部３３，３４と同様に構成されてい
る。

【００４０】本実施例では、上記動吸振部３３〜３６
が、第１，第２の共振電極３，４などと同一の材料によ
り構成されているため、第１，第２の共振電極３，４や
端子電極６，８と同一工程により形成することができ
る。従って、動吸振部３３〜３６を形成するために別途
新たな工程を実施する必要がなく、よって、生産性を低
めることなく動吸振部を構成することができる。

【００４１】なお、動吸振部３３〜３６の寸法及び厚み
については、共振領域から漏洩してきた振動を動吸振現
象により抑制し得るように、適宜定められる。図８は、
本発明の第４の実施例に係るエネルギー閉じ込め型圧電
共振子を説明するための模式的平面図である。本実施例
のエネルギー閉じ込め型圧電共振子４１は、厚み縦振動
モードを利用した２重モード圧電フィルタとして構成さ
れている。

【００４２】圧電共振子４１は、平面形状が矩形の圧電
セラミック板４２を用いて構成されており、圧電板４２
において、所定距離を隔てて２個の共振領域Ａ，Ｂが形
成されている。

【００４３】第１の共振領域Ａにおいては、圧電板４２
の上面４２ａにおいて、第３，第４の共振電極部４３
ａ，４３ｂが所定距離を隔てて形成されている。第３，
第４の共振電極部４３ａ，４３ｂは、圧電板４２の下面
４２ｂに形成された第２の共振電極４４と重なり合うよ
うに形成されている。すなわち、第３，第４の共振電極
部４３ａ，４３ｂは、下面に形成された第２の共振電極
４４を上方に投影することにより形成された円を分割す
ることにより得られた形状となるように構成されてい
る。従って、第３，第４の共振電極部４３ａ，４３ｂ
は、第１の実施例における第１の共振電極３を２つに分
割した構造に相当する。

【００４４】同様に、共振領域Ｂにおいても、圧電板４
２の上面に第３，第４の共振電極部４５ａ，４５ｂが、
圧電板４２の下面に第２の共振電極４６が形成されてい
る。さらに、圧電板４２の上面においては、圧電板４２
の１つのコーナー部分近傍に、第１の端子電極４７が形
成されており、圧電板４２の側面４２ｃに沿う他方のコ
ーナー部分に第２の端子電極４８が形成されている。ま
た、第４の共振電極部４３ｂと第３の共振電極部４５ａ
とが導電パターンにより電気的に接続されている。第１
の端子電極４７は、接続導電部５０を介して第３の共振
電極部４３ａに電気的に接続されている。また、共振領
域Ｂの第４の共振電極部４５ｂが、第２の端子電極４８
に電気的に接続されている。他方、第２の共振電極４
４，４６が圧電板４２の下面において接地電極４９に電
気的に接続されている。

【００４５】よって、本実施例の圧電共振子４１では、
エネルギー閉じ込め型の２個の厚み縦振動モードを利用
した共振部が所定距離を隔てて構成されており、第１の
端子電極４７を入力端、第２の端子電極４８を出力端と
することによりエネルギー閉じ込め型の２重モード圧電
フィルタが構成されている。

【００４６】さらに、本実施例の圧電共振子４１では、
上記第１，第２の共振領域Ａ，Ｂ間において、圧電板４
２の上面４２ａ上に動吸振部５３が形成されている。動
吸振部５３は、第３の実施例と同様に、上記共振電極等
を構成するための電極材料と同一の材料で構成されてい
る。すなわち、細長い矩形形状を有するように、各共振
領域Ａ，Ｂの外側の領域に、導電膜を形成することによ
り形成されている。

【００４７】よって、第４の実施例においても、共振電
極等を形成する工程において、動吸振部５３を同時に形
成することができる。もっとも、動吸振部５３は、電極
材料以外の材料、例えば、絶縁性樹脂やセラミックスを
固着することによって構成してもよい。

【００４８】なお、第４の実施例においては、２個の共
振領域Ａ，Ｂを設けた２重モード圧電フィルタを例にと
り説明したが、１つの共振領域において、上記のような
第３，第４の共振電極部を第２の共振電極と対向するよ
うに圧電板の一方面に形成することにより、圧電フィル
タを構成したものにも、本発明を適用することができ
る。

【００４９】さらに、第１〜第３の実施例では、圧電板
の両主面において、第１，第２の共振電極の外側に、そ
れぞれ動吸振部を形成していたが、動吸振部は、圧電板
の第１の面または第２の面の何れか一方にのみ形成され
ていてもよい。

【００５０】さらに、例えば、第２の実施例の圧電共振
子２１では、圧電板２２の上面２２ａ上及び下面２２ｂ
上のいずれにおいても、共振領域の両側に動吸振部２
５，２６または動吸振部２７，２８を設けていたが、一
方側にのみ動吸振部を設けていてもよい。すなわち、図
４に示した構造において、動吸振部２５〜２８のうち、
任意の３個以内の動吸振部を省略してもよい。

【００５１】もっとも、動吸振部により共振領域から漏
洩してきた振動を効果的に抑制するためには、共振領域
の両側において対称に動吸振部を配置することが好まし
い。さらに、本発明においては、上述した実施例で示し
た動吸振部をさらに多く配置してもよい。例えば、図４
において、動吸振部２５〜２８の外側に（共振部とは反
対側に）、さらに動吸振部を設けてもよい。また、図１
において、動吸振部９の外側にさらにリング状の１以上
の動吸振部を設けてもよい。

【００５２】また、第１〜第４の実施例では、圧電体と
して厚みの比較的薄い圧電板２，２２，４２を用いてい
たが、本発明における圧電体としては、板状のものに限
らず、ブロック状の圧電体を用いることも可能であり、
要するに、共振電極が形成される第１，第２の面を結ぶ
方向が厚み方向とされており、厚み縦モードもしくは厚
みすべりモードを利用した適宜のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子に、本発明を適用することができる。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、厚みモードを利用した
エネルギー閉じ込め型圧電共振子において、まず、第
１，第２の共振電極が重なり合っている共振領域に振動
エネルギーが閉じ込められ、該共振領域から漏洩してき
たわずかな振動が、共振領域の外側に設けられた動吸振
部により、動吸振現象に基づいて抑制される。

【００５４】従って、従来のエネルギー閉じ込め型圧電
共振子に比べて、エネルギー閉じ込め効率が飛躍的に高
められたエネルギー閉じ込め型圧電共振子を得ることが
できる。よって、動吸振部の外側で圧電共振子を機械的
に保持した場合、該機械的保持により共振特性への影響
がほとんど生じないため、共振特性の良好な共振子を提
供することができる。

【００５５】好ましくは、上記動吸振部を、共振電極と
同一の材料で構成することにより、製造工程を増大させ
ることなく、上記のような共振特性に優れたエネルギー
閉じ込め型圧電共振子を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子を示す斜視図。

【図２】第１の実施例のエネルギー閉じ込め型圧電共振
子の平面図。

【図３】第１の実施例のエネルギー閉じ込め型圧電共振
子の正面断面図。

【図４】本発明の第２の実施例のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子を示す斜視図。

【図５】第２の実施例の圧電共振子の正面断面図。

【図６】本発明の第３の実施例に係るエネルギー閉じ込
め型圧電共振子を示す平面図。

【図７】第３の実施例において圧電板を透かして下方の
電極形状を示した模式的平面図。

【図８】本発明の第４の実施例の圧電共振子であって、
２重モード圧電フィルタとして構成されている構造を示
す平面図。

【図９】第４の実施例において圧電板を透かして下面の
電極形状を示す模式的平面図。

【符号の説明】

１…圧電共振子 ２…圧電板 ２ａ…上面（第１の面） ２ｂ…下面（第２の面） ３，４…第１，第２の共振電極 ９，１０…動吸振部 ２１…圧電共振子 ２２…圧電板 ２２ａ…上面（第１の面） ２２ｂ…下面（第２の面） ２３，２４…第１，第２の共振電極 ２５〜２８…動吸振部 ３１…圧電共振子 ３２…圧電板 ３３〜３６…動吸振部 ４１…圧電共振子 ４２…圧電板 ４２ａ…上面（第１の面） ４２ｂ…下面（第２の面） ４３ａ，４３ｂ，４５ａ，４５ｂ…第３，第４の共振電
極 ４４，４６…第２の共振電極 ５３…動吸振部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向し合う第１，第２の面を有し、第
   １，第２の面を結ぶ方向が厚み方向とされている圧電体
   と、 前記第１，第２の面において、それぞれ、部分的に形成
   されており、かつ圧電体を介して厚み方向に重なり合う
   ように形成された第１，第２の共振電極とを備え、 第１，第２の共振電極の重なり合う領域が共振領域とさ
   れている、厚みモードを利用したエネルギー閉じ込め型
   圧電共振子において、 前記第１，第２の面の少なくとも一方の面において、共
   振領域の外側に設けられた動吸振部をさらに備えること
   を特徴とする、エネルギー閉じ込め型圧電共振子。
2. 【請求項２】 前記動吸振部が、前記圧電体の第１，第
   ２の面の少なくとも一方に固着された動吸振部材で構成
   されている、請求項１に記載のエネルギー閉じ込め型圧
   電共振子。
3. 【請求項３】 前記動吸振部材が、第１，第２の共振電
   極と同一の材料により構成されている、請求項２に記載
   のエネルギー閉じ込め型圧電共振子。
4. 【請求項４】 前記第１の共振電極が、所定のギャップ
   を隔てて形成された第３の共振電極部及び第４の共振電
   極部を有し、第３の共振電極部及び第４の共振電極部を
   入出力端とする圧電フィルタが構成されている、請求項
   １〜３に記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振子。
5. 【請求項５】 ２重モードフィルタを構成するように前
   記圧電体に２個の共振領域が構成されており、該２個の
   共振領域間に前記動吸振部が設けられている、請求項４
   に記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振子。