JPH07336796A - 空中用超音波振動子 - Google Patents
空中用超音波振動子Info
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- JPH07336796A JPH07336796A JP14698894A JP14698894A JPH07336796A JP H07336796 A JPH07336796 A JP H07336796A JP 14698894 A JP14698894 A JP 14698894A JP 14698894 A JP14698894 A JP 14698894A JP H07336796 A JPH07336796 A JP H07336796A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電振動子と整合板とから成る空中用超音波
振動子で２以上の周波数帯域の使用帯域特性を有する空
中用超音波振動子を得る。 【構成】 整合板の厚さをＴｍとし、２以上の振動モー
ドに対応する周波数のそれぞれの上記整合板中の超音波
伝搬波長をそれぞれλ1 ，λ2 ，λ3 ・・・とした場
合、 Ｔｍ＝λ1 （ｎ1 ＋１／４）＝λ2 （ｎ2 ＋１／４）＝
λ3 （ｎ3 ＋１／４）＝・・・の条件（ｎ1 ：ｎ2 ：ｎ
3 ・・・はそれぞれ任意の正数）を満たす整合板を備え
た。
振動子で２以上の周波数帯域の使用帯域特性を有する空
中用超音波振動子を得る。 【構成】 整合板の厚さをＴｍとし、２以上の振動モー
ドに対応する周波数のそれぞれの上記整合板中の超音波
伝搬波長をそれぞれλ1 ，λ2 ，λ3 ・・・とした場
合、 Ｔｍ＝λ1 （ｎ1 ＋１／４）＝λ2 （ｎ2 ＋１／４）＝
λ3 （ｎ3 ＋１／４）＝・・・の条件（ｎ1 ：ｎ2 ：ｎ
3 ・・・はそれぞれ任意の正数）を満たす整合板を備え
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は空中用超音波振動子、さ
らに詳しくは圧電振動子と整合板とで構成される空中用
超音波振動子の構造に関する。
らに詳しくは圧電振動子と整合板とで構成される空中用
超音波振動子の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】超音波センサ等に使用する超音波振動子
に圧電振動子が使用されることは良く知られているが、
空中に超音波を放射し、あるいは空中の超音波を受波す
る超音波振動子には、空中と圧電振動子との音響インピ
ーダンスを整合させるべく、整合板を取り付けた構造の
ものがある。
に圧電振動子が使用されることは良く知られているが、
空中に超音波を放射し、あるいは空中の超音波を受波す
る超音波振動子には、空中と圧電振動子との音響インピ
ーダンスを整合させるべく、整合板を取り付けた構造の
ものがある。
【０００３】図６は、従来の整合板を取り付けた構造の
超音波振動子の一例を示す図であり、図において、１は
圧電振動子、２は整合板である。この整合板の厚さＴｍ
は、圧電振動子１の共振周波数ｆ0 の１／４波長の長さ
としている。すなわち、λｍを整合板中の超音波の伝搬
波長、Ｖｍを整合板中の伝搬速度とした場合、整合板の
厚さＴｍは、Ｔｍ＝λｍ／４＝Ｖｍ／４ｆ0 の厚さとし
ている。
超音波振動子の一例を示す図であり、図において、１は
圧電振動子、２は整合板である。この整合板の厚さＴｍ
は、圧電振動子１の共振周波数ｆ0 の１／４波長の長さ
としている。すなわち、λｍを整合板中の超音波の伝搬
波長、Ｖｍを整合板中の伝搬速度とした場合、整合板の
厚さＴｍは、Ｔｍ＝λｍ／４＝Ｖｍ／４ｆ0 の厚さとし
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の空
中用超音波振動子は以上のように構成されているので、
図７に示すように共振周波数ｆ0 の近傍にのみ高い感度
を有する、いわゆる単一の使用帯域特性しか持たず、例
えば超音波センサで高い周波数帯域と低い周波数帯域と
を必要とする場合などには、それぞれ別の空中用超音波
振動子を２つ備えておく必要があった。
中用超音波振動子は以上のように構成されているので、
図７に示すように共振周波数ｆ0 の近傍にのみ高い感度
を有する、いわゆる単一の使用帯域特性しか持たず、例
えば超音波センサで高い周波数帯域と低い周波数帯域と
を必要とする場合などには、それぞれ別の空中用超音波
振動子を２つ備えておく必要があった。
【０００５】本発明はかかる問題点を解決するためにな
されたものであり、１つの圧電振動子と１枚の整合板と
の組み合わせで２以上の周波数帯域を使用帯域特性とす
ることができる超音波振動子を提供することを目的とし
ている。
されたものであり、１つの圧電振動子と１枚の整合板と
の組み合わせで２以上の周波数帯域を使用帯域特性とす
ることができる超音波振動子を提供することを目的とし
ている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる超音波振
動子は、分離した２以上の振動モードを有する圧電振動
子と整合板とから成る空中用超音波振動子において、整
合板の厚さをＴｍとし、２以上の振動モードに対応する
周波数のそれぞれの上記整合板中の超音波伝搬波長をそ
れぞれλ1 ，λ2 ，λ3 ・・・とした場合、 Ｔｍ＝λ1 （ｎ1 ＋１／４）＝λ2 （ｎ2 ＋１／４）＝
λ3 （ｎ3 ＋１／４）＝・・・の条件（ｎ1 ：ｎ2 ：ｎ
3 ・・・はそれぞれ任意の正数）を満たす整合板を備え
たことを特徴とする。
動子は、分離した２以上の振動モードを有する圧電振動
子と整合板とから成る空中用超音波振動子において、整
合板の厚さをＴｍとし、２以上の振動モードに対応する
周波数のそれぞれの上記整合板中の超音波伝搬波長をそ
れぞれλ1 ，λ2 ，λ3 ・・・とした場合、 Ｔｍ＝λ1 （ｎ1 ＋１／４）＝λ2 （ｎ2 ＋１／４）＝
λ3 （ｎ3 ＋１／４）＝・・・の条件（ｎ1 ：ｎ2 ：ｎ
3 ・・・はそれぞれ任意の正数）を満たす整合板を備え
たことを特徴とする。
【０００７】また、円板状あるいはリング状の圧電振動
子を用い、その厚み方向の振動モード及びその径方向の
振動モードに対応する周波数の整合板中の超音波伝搬波
長を、それぞれ上記λ1 およびλ2 としたことを特徴と
する。
子を用い、その厚み方向の振動モード及びその径方向の
振動モードに対応する周波数の整合板中の超音波伝搬波
長を、それぞれ上記λ1 およびλ2 としたことを特徴と
する。
【０００８】また、矩形状の圧電振動子を用い、その厚
み方向の振動モード，その横方向の振動モードおよびそ
の縦方向の振動モードに対応する周波数の整合板中の超
音波伝搬波長を、それぞれ上記λ1 ，λ2 およびλ3 と
したことを特徴とする。
み方向の振動モード，その横方向の振動モードおよびそ
の縦方向の振動モードに対応する周波数の整合板中の超
音波伝搬波長を、それぞれ上記λ1 ，λ2 およびλ3 と
したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】この発明に係わる空中用超音波振動子は、上述
のような構成とすることにより、１個の振動子でありな
がら、２以上の周波数体帯域を使用帯域特性とすること
ができる。また、高い周波数帯域を１次波に利用し、低
い周波数帯域を２次波に利用することにより、送受共用
のパラメトリック送受波器が構成できる。
のような構成とすることにより、１個の振動子でありな
がら、２以上の周波数体帯域を使用帯域特性とすること
ができる。また、高い周波数帯域を１次波に利用し、低
い周波数帯域を２次波に利用することにより、送受共用
のパラメトリック送受波器が構成できる。
【００１０】
実施例１．以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。本発明は圧電振動子が本来的に有する複数の振動
モードをそのまま利用し、且つ１枚の整合板で複数の振
動モードに対する音響インピーダンスの整合が行えるよ
うにその整合板の形状（寸法）を決定する。すなわち、
例えば圧電振動子が円板形状である場合、この圧電振動
子は本来的にその厚み方向の振動モードと、その径方向
の振動モードとを有する。
する。本発明は圧電振動子が本来的に有する複数の振動
モードをそのまま利用し、且つ１枚の整合板で複数の振
動モードに対する音響インピーダンスの整合が行えるよ
うにその整合板の形状（寸法）を決定する。すなわち、
例えば圧電振動子が円板形状である場合、この圧電振動
子は本来的にその厚み方向の振動モードと、その径方向
の振動モードとを有する。
【００１１】そして、図６に示すような従来の超音波振
動子では、そのどちらか一方の振動モードに整合するよ
うな整合板を取り付け、一方の振動モードだけを利用し
ている。然しながら整合板の整合条件は、λ／４波長板
であり、これはλ（ｎ±１／４）で等価になる。従って
整合板の厚さＴｍを、一方の振動モードの整合条件λ1
／４と他方の振動モードの整合条件λ2 （ｎ±１／４）
とを同時に満足する厚さに定めれば、両方の振動モード
が利用できるようになる。
動子では、そのどちらか一方の振動モードに整合するよ
うな整合板を取り付け、一方の振動モードだけを利用し
ている。然しながら整合板の整合条件は、λ／４波長板
であり、これはλ（ｎ±１／４）で等価になる。従って
整合板の厚さＴｍを、一方の振動モードの整合条件λ1
／４と他方の振動モードの整合条件λ2 （ｎ±１／４）
とを同時に満足する厚さに定めれば、両方の振動モード
が利用できるようになる。
【００１２】図１は、本発明に係わる超音波振動子の実
施例１を示す図であり、図において、１０は圧電振動
子、２０は整合板である。圧電振動子１０は、その直径
がＤ，厚さがＴからなる円板形状をなし、従って上述の
ように直径Ｄで定まる径方向の振動モードと、厚さＴで
定まる厚み方向の振動モードを有し、これらの２つの振
動モードの共振周波数ｆP ，ｆt は、 ｆP ＝Ｎ1 ／Ｄ・・・（１）， ｆt ＝Ｎ4 ／Ｔ・・・（２） で表すことができる。 但し、ｆP ：径方向の振動共振周波数 Ｎ1 ：圧電振動子の材料定数により定まる径方向の振動
周波数定数 ｆt ：厚み方向の振動共振周波数 Ｎ4 ：圧電振動子の材料定数により定まる厚み方向の振
動周波数定数である。
施例１を示す図であり、図において、１０は圧電振動
子、２０は整合板である。圧電振動子１０は、その直径
がＤ，厚さがＴからなる円板形状をなし、従って上述の
ように直径Ｄで定まる径方向の振動モードと、厚さＴで
定まる厚み方向の振動モードを有し、これらの２つの振
動モードの共振周波数ｆP ，ｆt は、 ｆP ＝Ｎ1 ／Ｄ・・・（１）， ｆt ＝Ｎ4 ／Ｔ・・・（２） で表すことができる。 但し、ｆP ：径方向の振動共振周波数 Ｎ1 ：圧電振動子の材料定数により定まる径方向の振動
周波数定数 ｆt ：厚み方向の振動共振周波数 Ｎ4 ：圧電振動子の材料定数により定まる厚み方向の振
動周波数定数である。
【００１３】従って整合板２０の厚さＴｍを以下のよう
にして決定する。整合板２０の振動・音響変換特性は、
無損失の分布定数線路と等価と考えられるため、図２に
示すように２端子対のFundamental マトリクスで表すこ
とができる。従って整合板の厚さＴｍは、λ／４とλ
（ｎ＋１／４）とでは、等価になることが判る（ｎは任
意の正数）。
にして決定する。整合板２０の振動・音響変換特性は、
無損失の分布定数線路と等価と考えられるため、図２に
示すように２端子対のFundamental マトリクスで表すこ
とができる。従って整合板の厚さＴｍは、λ／４とλ
（ｎ＋１／４）とでは、等価になることが判る（ｎは任
意の正数）。
【００１４】ここで、整合板２０の厚さＴｍは、厚み方
向の振動モードの共振周波数における整合板の超音波伝
搬波長をλｔとすると、図１に示すように、 Ｔｍ＝ｔ1 ＋ｔ2 ＝λｔ（１／４＋ｎ）＝λｔ／４＋ｎλｔ・・・（４） として考えることができ、上述の式（２）より、 ｔ1 ＝λｔ／４＝Ｔ・Ｖｍ／４Ｎ4 ・・・（５） ｔ2 ＝λｔ＝ｎＴ・Ｖｍ／Ｎ4 ・・・（６）となる。 ここで、ｎは任意の正数，Ｖｍ，Ｎ4 は定数であり、従
って厚み方向の振動モードの音響インピーダンスの整合
は、圧電振動子１０の厚さＴに従って、整合板２０の厚
さを式（５），式（６）により決定すれば良いことにな
る。
向の振動モードの共振周波数における整合板の超音波伝
搬波長をλｔとすると、図１に示すように、 Ｔｍ＝ｔ1 ＋ｔ2 ＝λｔ（１／４＋ｎ）＝λｔ／４＋ｎλｔ・・・（４） として考えることができ、上述の式（２）より、 ｔ1 ＝λｔ／４＝Ｔ・Ｖｍ／４Ｎ4 ・・・（５） ｔ2 ＝λｔ＝ｎＴ・Ｖｍ／Ｎ4 ・・・（６）となる。 ここで、ｎは任意の正数，Ｖｍ，Ｎ4 は定数であり、従
って厚み方向の振動モードの音響インピーダンスの整合
は、圧電振動子１０の厚さＴに従って、整合板２０の厚
さを式（５），式（６）により決定すれば良いことにな
る。
【００１５】次に、径方向の振動モードの共振周波数に
おける整合板の超音波伝搬波長をλP とした場合、上述
の式（４）と同様に、 Ｔｍ＝ｔ3 ＋ｔ4 ＝ｔ1 ＋ｔ2 とした場合（図示せず） Ｔｍ＝ｔ3 ＋ｔ4 ＝λP （１／４＋１）＝λP ／４＋ｎλP ・・・（７） そして、上述の式（１）より、 ｔ3 ＝λP ／４＝Ｄ・Ｖｍ／４Ｎ1 ・・・（８） ｔ4 ＝λP ＝ｎＤ・Ｖｍ／Ｎ1 ・・・（９）となる。
おける整合板の超音波伝搬波長をλP とした場合、上述
の式（４）と同様に、 Ｔｍ＝ｔ3 ＋ｔ4 ＝ｔ1 ＋ｔ2 とした場合（図示せず） Ｔｍ＝ｔ3 ＋ｔ4 ＝λP （１／４＋１）＝λP ／４＋ｎλP ・・・（７） そして、上述の式（１）より、 ｔ3 ＝λP ／４＝Ｄ・Ｖｍ／４Ｎ1 ・・・（８） ｔ4 ＝λP ＝ｎＤ・Ｖｍ／Ｎ1 ・・・（９）となる。
【００１６】従って厚み方向の振動モードの音響インピ
ーダンスの整合は、圧電振動子１０の直径Ｄと、整合板
２０の厚さＴｍを式（８），式（９）を満足するように
決定すれば良いことになる。ここで、式（６）および式
（９）とは、それぞれ式（５）および式（８）と同様に
決定することができるので、以下の説明ではｎ次の方を
変数（α，β，γ，δ）として省略することとするが、
式（５），（８）を満足するように、整合板の厚さＴ
ｍ，円板形状の圧電振動子の寸法Ｄ，Ｔを決定すること
により、図３に示すように１つの圧電振動子１０と１枚
の整合板２０とで、径方向の振動モードの共振周波数ｆ
P の近傍と、厚み方向の振動モードの共振周波数ｆt の
近傍の、２つの使用帯域特性を有する空中用超音波振動
子を実現できる。
ーダンスの整合は、圧電振動子１０の直径Ｄと、整合板
２０の厚さＴｍを式（８），式（９）を満足するように
決定すれば良いことになる。ここで、式（６）および式
（９）とは、それぞれ式（５）および式（８）と同様に
決定することができるので、以下の説明ではｎ次の方を
変数（α，β，γ，δ）として省略することとするが、
式（５），（８）を満足するように、整合板の厚さＴ
ｍ，円板形状の圧電振動子の寸法Ｄ，Ｔを決定すること
により、図３に示すように１つの圧電振動子１０と１枚
の整合板２０とで、径方向の振動モードの共振周波数ｆ
P の近傍と、厚み方向の振動モードの共振周波数ｆt の
近傍の、２つの使用帯域特性を有する空中用超音波振動
子を実現できる。
【００１７】実施例２．図４は、この発明の他の実施例
を示す図であり、図において、１１はリング形状の圧電
振動子、２１は整合板である。リング形状の圧電振動子
１１の振動モードも、厚み方向の振動モードはその厚さ
Ｔにより定まるため、上述の式（５）との関係から、長
さ方向の振動周波数定数をＮ2 、厚み方向の振動周波数
定数をＮ4 とおくと、 Ｔｍ＝α＋Ｔ・Ｖｍ／４Ｎ4 ・・・（１０）の関係とな
る。 一方、径方向の（低次の）振動モードは、その外径を
Ａ，内径をＢとすると、Ｔｍ＝β＋｛〔（Ａ＋Ｂ）／
２〕π・Ｖｍ｝／４Ｎ2 ・・・（１１）の関係になり、
従って、式（１０），（１１）を満足するように、整合
板の厚さＴｍ，リング形状の圧電振動子１１の外径Ａ，
内径Ｂ，厚さＴを決定することにより、１つの超音波振
動子１１と１枚の整合板２１とで、２つの使用帯域特性
を有する空中用超音波振動子を実現できる。
を示す図であり、図において、１１はリング形状の圧電
振動子、２１は整合板である。リング形状の圧電振動子
１１の振動モードも、厚み方向の振動モードはその厚さ
Ｔにより定まるため、上述の式（５）との関係から、長
さ方向の振動周波数定数をＮ2 、厚み方向の振動周波数
定数をＮ4 とおくと、 Ｔｍ＝α＋Ｔ・Ｖｍ／４Ｎ4 ・・・（１０）の関係とな
る。 一方、径方向の（低次の）振動モードは、その外径を
Ａ，内径をＢとすると、Ｔｍ＝β＋｛〔（Ａ＋Ｂ）／
２〕π・Ｖｍ｝／４Ｎ2 ・・・（１１）の関係になり、
従って、式（１０），（１１）を満足するように、整合
板の厚さＴｍ，リング形状の圧電振動子１１の外径Ａ，
内径Ｂ，厚さＴを決定することにより、１つの超音波振
動子１１と１枚の整合板２１とで、２つの使用帯域特性
を有する空中用超音波振動子を実現できる。
【００１８】実施例３．上述の実施例１，実施例２で
は、２つの使用帯域を有する空中用超音波振動子につい
て説明したが、例えば矩形状の圧電振動子を使用するこ
とによって、厚み方向，縦方向，横方向の３つの振動モ
ードを利用して３つの使用帯域を有する空中用超音波振
動子を実現することもできる。図３は、この実施例３を
説明するための図であり、１２は矩形状の圧電振動子、
２２は整合板である。
は、２つの使用帯域を有する空中用超音波振動子につい
て説明したが、例えば矩形状の圧電振動子を使用するこ
とによって、厚み方向，縦方向，横方向の３つの振動モ
ードを利用して３つの使用帯域を有する空中用超音波振
動子を実現することもできる。図３は、この実施例３を
説明するための図であり、１２は矩形状の圧電振動子、
２２は整合板である。
【００１９】矩形状の圧電振動子１２の横方向の寸法を
Ｘ，縦方向の寸法をＹ，厚さをＴとした場合、厚み方向
の振動モードは上述の実施例１，実施例２と同様に厚さ
Ｔで決定することができる。また、長さ方向の振動周波
数定数をＮ2 とすると、低次の振動モードである横方向
の振動モードおよび縦方向の振動モードは、長さ方向の
振動周波数定数をＮ2 とすると、 Ｔｍ＝γ＋Ｘ・Ｖｍ／４Ｎ2 ・・・（１２） Ｔｍ＝δ＋Ｙ・Ｖｍ／４Ｎ2 ・・・（１３）の関係にな
るので、同様に整合板の厚さＴｍ，矩形状の圧電振動子
１２の横方向の寸法Ｘ，縦方向の寸法Ｙ，厚さＴを決定
することにより、１つの圧電振動子１２と１枚の整合板
２２とで、３つの使用帯域特性を有する空中用超音波振
動子を実現できる。
Ｘ，縦方向の寸法をＹ，厚さをＴとした場合、厚み方向
の振動モードは上述の実施例１，実施例２と同様に厚さ
Ｔで決定することができる。また、長さ方向の振動周波
数定数をＮ2 とすると、低次の振動モードである横方向
の振動モードおよび縦方向の振動モードは、長さ方向の
振動周波数定数をＮ2 とすると、 Ｔｍ＝γ＋Ｘ・Ｖｍ／４Ｎ2 ・・・（１２） Ｔｍ＝δ＋Ｙ・Ｖｍ／４Ｎ2 ・・・（１３）の関係にな
るので、同様に整合板の厚さＴｍ，矩形状の圧電振動子
１２の横方向の寸法Ｘ，縦方向の寸法Ｙ，厚さＴを決定
することにより、１つの圧電振動子１２と１枚の整合板
２２とで、３つの使用帯域特性を有する空中用超音波振
動子を実現できる。
【００２０】なお、圧電振動子の材料としては、チタン
酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が代表的
なものであり、整合板の材料としては、数十μｍの大き
さの中空のガラス球をエポキシ樹脂で固めたものが良く
使用される。
酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が代表的
なものであり、整合板の材料としては、数十μｍの大き
さの中空のガラス球をエポキシ樹脂で固めたものが良く
使用される。
【００２１】
【発明の効果】本発明の空中用超音波振動子は以上説明
したように、整合板の厚さを圧電振動子の異なる振動モ
ードに対して、同時に１／４波長の整合条件を満足させ
ることにより、１つの圧電振動子と１枚の整合板とで２
以上の周波数帯域を使用帯域とする空中用超音波振動子
が得られる。そして、この空中用超音波振動子の高い周
波数帯域を１次波として利用し、低い周波数帯域を２次
波として利用することとすれば、パラメトリック送受波
器として利用できる等の効果がある。
したように、整合板の厚さを圧電振動子の異なる振動モ
ードに対して、同時に１／４波長の整合条件を満足させ
ることにより、１つの圧電振動子と１枚の整合板とで２
以上の周波数帯域を使用帯域とする空中用超音波振動子
が得られる。そして、この空中用超音波振動子の高い周
波数帯域を１次波として利用し、低い周波数帯域を２次
波として利用することとすれば、パラメトリック送受波
器として利用できる等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１を説明するための図である。
【図２】２端子対のFundamental マトリクスを示す図で
ある。
ある。
【図３】実施例１の超音波振動子の感度特性を示す図で
ある。
ある。
【図４】本発明の実施例２を説明するための図である。
【図５】本発明の実施例３を説明するための図である。
【図６】従来のこの種の空中用超音波振動子を説明する
ための図である。
ための図である。
【図７】従来の超音波振動子の感度特性を示す図であ
る。
る。
１０，１１，１２ 圧電振動子 ２０，２１，２２ 整合板 Ｔ 圧電振動子の厚さ Ｄ 圧電振動子の直径 Ａ 圧電振動子の外径 Ｂ 圧電振動子の内径 Ｔｍ 整合板の厚さ
Claims (4)
- 【請求項１】 分離した２以上の振動モードを有する圧
電振動子と整合板とから成る空中用超音波振動子におい
て、 整合板の厚さをＴｍとし、２以上の振動モードに対応す
る周波数のそれぞれの上記整合板中の超音波伝搬波長を
それぞれλ1 ，λ2 ，λ3 ・・・とした場合、 Ｔｍ＝λ1 （ｎ1 ＋１／４）＝λ2 （ｎ2 ＋１／４）＝
λ3 （ｎ3 ＋１／４）＝・・・の条件（ｎ1 ：ｎ2 ：ｎ
3 ・・・はそれぞれ任意の正数）を満たす整合板を備え
たことを特徴とする空中用超音波振動子。 - 【請求項２】 円板状あるいはリング状の圧電振動子を
用い、その厚み方向の振動モード及びその径方向の振動
モードの上記整合板中の超音波伝搬波長を、それぞれ上
記λ1 およびλ2 としたことを特徴とする請求項第１項
記載の空中用超音波振動子。 - 【請求項３】 矩形状の圧電振動子を用い、その厚み方
向の振動モード，その横方向の振動モードおよびその縦
方向の振動モードの上記整合板中の超音波伝搬波長を、
それぞれ上記λ1 ，λ2 およびλ3 としたことを特徴と
する請求項第１項記載の空中用超音波振動子。 - 【請求項４】 上記圧電振動子と上記整合板とを接着固
定したことを特徴とする請求項第１項記載の空中用超音
波振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14698894A JP3455585B2 (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | 空中用超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14698894A JP3455585B2 (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | 空中用超音波振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07336796A true JPH07336796A (ja) | 1995-12-22 |
| JP3455585B2 JP3455585B2 (ja) | 2003-10-14 |
Family
ID=15420083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14698894A Expired - Fee Related JP3455585B2 (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | 空中用超音波振動子 |
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1994
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