JPH073386B2 - 超微小材料試験装置 - Google Patents
超微小材料試験装置Info
- Publication number
- JPH073386B2 JPH073386B2 JP1023192A JP2319289A JPH073386B2 JP H073386 B2 JPH073386 B2 JP H073386B2 JP 1023192 A JP1023192 A JP 1023192A JP 2319289 A JP2319289 A JP 2319289A JP H073386 B2 JPH073386 B2 JP H073386B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- load
- indenter
- test
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、被試験体表面に形成された薄膜の強度等を試
験するために用いられる超微小材料試験装置に関する。
験するために用いられる超微小材料試験装置に関する。
［従来の技術］ 超微小材料試験装置では、圧痕の深さの測定は、圧子が
試料表面に接触した時点の変位検出器の出力を基準にし
ており、この圧子が試料表面と接触した時点を正確に検
出することが重要となる。そこで、圧子の変位検出に対
して圧子の変位量の変化率を検出することにより、変化
率の大きい時点を把え、この時点を接触点として検出し
ている。
試料表面に接触した時点の変位検出器の出力を基準にし
ており、この圧子が試料表面と接触した時点を正確に検
出することが重要となる。そこで、圧子の変位検出に対
して圧子の変位量の変化率を検出することにより、変化
率の大きい時点を把え、この時点を接触点として検出し
ている。
［発明が解決しようとする課題］ 上記した接触点の検出を行なうには、数点のデータに基
づいて変位変化点の判定を行なうことが必要であり、判
定を行なうデータ数を増やす程精度が向上する。しかし
ながら判定用のデータ数を増やせば判定処理に要する時
間が増大することになり、測定データに含まれるエラー
が増大する。また、変位変化率の変化点の判定をリアル
タイムにて判定するため、振動、空気振動等の外乱によ
る影響を受けやすいという問題点があった。
づいて変位変化点の判定を行なうことが必要であり、判
定を行なうデータ数を増やす程精度が向上する。しかし
ながら判定用のデータ数を増やせば判定処理に要する時
間が増大することになり、測定データに含まれるエラー
が増大する。また、変位変化率の変化点の判定をリアル
タイムにて判定するため、振動、空気振動等の外乱によ
る影響を受けやすいという問題点があった。
［課題を解決するための手段］ 本発明は上記課題を解決するために、次のような構成を
採用した。
採用した。
すなわち、本発明にかかる超微小材料試験装置は、圧子
の試料表面に押し込むことによって材料の特性を決定す
る超微小材料試験装置であって、圧子に負荷する試験荷
重を電気的に生ずる荷重発生手段と、圧子の変位量を検
出する変位検出手段と、この変位検出手段からの変位出
力を読み取り、変位出力の変化点を判定する変化点判定
手段と、試験開始以後この変化点判定手段によって圧子
が試料表面に接触したことを判定するまでの間、前記荷
重発生手段と変位検出手段からの荷重・変位データを一
時的に記憶するリングメモリからなる初期データ記憶手
段と、前記圧子が実際に試料表面に接触してからその接
触時点の判定に要する時間の間の前記初期データ記憶手
段に記憶された荷重・変位データを含めて、前記試料表
面接触判定完了以後の試験中の荷重・変位データを記憶
する試験データ記憶手段とを備えてなることを特徴とす
る。
の試料表面に押し込むことによって材料の特性を決定す
る超微小材料試験装置であって、圧子に負荷する試験荷
重を電気的に生ずる荷重発生手段と、圧子の変位量を検
出する変位検出手段と、この変位検出手段からの変位出
力を読み取り、変位出力の変化点を判定する変化点判定
手段と、試験開始以後この変化点判定手段によって圧子
が試料表面に接触したことを判定するまでの間、前記荷
重発生手段と変位検出手段からの荷重・変位データを一
時的に記憶するリングメモリからなる初期データ記憶手
段と、前記圧子が実際に試料表面に接触してからその接
触時点の判定に要する時間の間の前記初期データ記憶手
段に記憶された荷重・変位データを含めて、前記試料表
面接触判定完了以後の試験中の荷重・変位データを記憶
する試験データ記憶手段とを備えてなることを特徴とす
る。
［作用］ 試験開始以後変化点判定手段による圧子が試料表面に接
触したことの判定が完了するまで荷重・変位データは初
期データ記憶手段に記憶される。接触時点判定後は判定
処理中に上記初期データ記憶手段に記憶された荷重・変
位データを含めて実試験のデータが別の試験データ記憶
手段に記憶される。したがって、変位変化率の変化点を
リアルタイムで判断する間試験データ記憶手段に採取す
ることのできなかったデータを補填することができ、長
時間の変位変化点の測定が可能となり、外乱による測定
エラーを防止することができる。
触したことの判定が完了するまで荷重・変位データは初
期データ記憶手段に記憶される。接触時点判定後は判定
処理中に上記初期データ記憶手段に記憶された荷重・変
位データを含めて実試験のデータが別の試験データ記憶
手段に記憶される。したがって、変位変化率の変化点を
リアルタイムで判断する間試験データ記憶手段に採取す
ることのできなかったデータを補填することができ、長
時間の変位変化点の測定が可能となり、外乱による測定
エラーを防止することができる。
［実施例］ 第１図は本発明の実施例の構成を示すブロック図で、負
荷手段を構成する電磁力発生手段４によって圧子２を試
料１へ押し込み、圧子２の変位量を差動トランス式変位
検出器３で検出するようになっている。すなわち、CPU1
5から荷重信号を出力し、D/A変換器６、電流増幅器５を
介して電磁力発生手段４へ負荷電流を供給し、電磁力発
生手段４の駆動力によって圧子２を試料１へ押し込む。
電磁力発生手段４の供給される負荷電流および変位検出
器３からの変位信号は電圧値として読み出され、それぞ
れV/Fコンバータ8,9で周波数信号に変換され、カウンタ
10,11で計数され荷重・変位データとしてCPU15に入力さ
れる。CPU15へ入力される荷重・変位データはメモリ部1
6で記憶されるとともに、演算処理されI/O17を介しCRT1
8へ出力されて荷重と圧子の押込み深さとの関係が記録
される。
荷手段を構成する電磁力発生手段４によって圧子２を試
料１へ押し込み、圧子２の変位量を差動トランス式変位
検出器３で検出するようになっている。すなわち、CPU1
5から荷重信号を出力し、D/A変換器６、電流増幅器５を
介して電磁力発生手段４へ負荷電流を供給し、電磁力発
生手段４の駆動力によって圧子２を試料１へ押し込む。
電磁力発生手段４の供給される負荷電流および変位検出
器３からの変位信号は電圧値として読み出され、それぞ
れV/Fコンバータ8,9で周波数信号に変換され、カウンタ
10,11で計数され荷重・変位データとしてCPU15に入力さ
れる。CPU15へ入力される荷重・変位データはメモリ部1
6で記憶されるとともに、演算処理されI/O17を介しCRT1
8へ出力されて荷重と圧子の押込み深さとの関係が記録
される。
CPU15では、変位検出器３からの変位信号に基づいて圧
子２の変位変化率を求め変位出力の変化点を圧子２と試
料１表面との接触点として判定する。
子２の変位変化率を求め変位出力の変化点を圧子２と試
料１表面との接触点として判定する。
試験開始後圧子２が空気中を降下し、試料１表面に接触
したと判断されるまでは、荷重・変位データはメモリ部
16の初期データ記憶手段すなわちＡメモリに記憶され
る。Ａメモリはいわゆるリングメモリで、その記憶容量
分のデータが書き込まれて一杯になると、入力されるデ
ータが最初に戻って上書きされ記憶内容が順次更新され
てゆくものである。メモリ部16はさらに試験データ記憶
手段であるＢメモリを具備しており、Ｂメモリは圧子と
試料表面との接触時点判定後の実試験の荷重・変位デー
タを記憶するものであるが、接触時点の判定に要した時
間の間にＡメモリに書き込まれたデータをも実際のデー
タとして記憶する。
したと判断されるまでは、荷重・変位データはメモリ部
16の初期データ記憶手段すなわちＡメモリに記憶され
る。Ａメモリはいわゆるリングメモリで、その記憶容量
分のデータが書き込まれて一杯になると、入力されるデ
ータが最初に戻って上書きされ記憶内容が順次更新され
てゆくものである。メモリ部16はさらに試験データ記憶
手段であるＢメモリを具備しており、Ｂメモリは圧子と
試料表面との接触時点判定後の実試験の荷重・変位デー
タを記憶するものであるが、接触時点の判定に要した時
間の間にＡメモリに書き込まれたデータをも実際のデー
タとして記憶する。
第２図はCRT18に表示された荷重・変位特性を示すが、
この図により記憶処理の手順を説明すれば、試験開始後
接触点が判定されるまでの時間T1間ではデータがリング
メモリであるＡメモリに記憶され、判定後は圧子が実際
に試料と接触してから接触時点の判定に要する時間T2の
間のデータを含めて、実試験のデータがＢメモリに記憶
されるのである。
この図により記憶処理の手順を説明すれば、試験開始後
接触点が判定されるまでの時間T1間ではデータがリング
メモリであるＡメモリに記憶され、判定後は圧子が実際
に試料と接触してから接触時点の判定に要する時間T2の
間のデータを含めて、実試験のデータがＢメモリに記憶
されるのである。
第３図はかかるメモリ部16の構成を概念的に示す図であ
る。
る。
このようにメモリ部を構成し記憶処理を行なうことによ
り、圧子が実際に試料表面と接触してからその接触時点
を判定処理する間のデータ欠落を防止することができ
る。したがって、リアルタイムの変化点の判定をより多
いデータ数により行ない長時間かけて変位変化率の測定
を行なうことができるので、外乱による影響によって測
定エラーが生じにくくなる。そのため、試験ミスが減少
し、再試験により測定時間が長くなる事態を防止でき
る。
り、圧子が実際に試料表面と接触してからその接触時点
を判定処理する間のデータ欠落を防止することができ
る。したがって、リアルタイムの変化点の判定をより多
いデータ数により行ない長時間かけて変位変化率の測定
を行なうことができるので、外乱による影響によって測
定エラーが生じにくくなる。そのため、試験ミスが減少
し、再試験により測定時間が長くなる事態を防止でき
る。
また、外乱による影響を受けにくくなるので、装置設置
環境に対する制限がゆるくなる。
環境に対する制限がゆるくなる。
［発明の効果］ 上記説明から明らかなように本発明にかかる超微小材料
試験装置によれば、圧子と試料表面との接触判定処理に
要した時間におけまるデータ欠落を防止することがで
き、外乱の影響による判定ミスを大幅に減少することが
できるようになった。
試験装置によれば、圧子と試料表面との接触判定処理に
要した時間におけまるデータ欠落を防止することがで
き、外乱の影響による判定ミスを大幅に減少することが
できるようになった。
第１図は本発明の実施例の構成を示すブロック図、第２
図は荷重・変位特性を示す図、第３図はメモリ部の構成
を概念的に示す図である。 １……試料、２……圧子 ３……変位検出器、15……CPU 16……メモリ部
図は荷重・変位特性を示す図、第３図はメモリ部の構成
を概念的に示す図である。 １……試料、２……圧子 ３……変位検出器、15……CPU 16……メモリ部
Claims (1)
- 【請求項１】圧子の試料表面に押し込むことによって材
料の特性を決定する超微小材料試験装置であって、圧子
に負荷する試験荷重を電気的に生ずる荷重発生手段と、
圧子の変位量を検出する変位検出手段と、この変位検出
手段からの変位出力を読み取り、変位出力の変化点を判
定する変化点判定手段と、試験開始以後この変化点判定
手段によって圧子が試料表面に接触したことを判定する
までの間、前記荷重発生手段と変位検出手段からの荷重
・変位データを一時的に記憶するリングメモリからなる
初期データ記憶手段と、前記圧子が実際に試料表面に接
触してからその接触時点の判定に要する時間の間の前記
初期データ記憶手段に記憶された荷重・変位データを含
めて、前記試料表面接触判定完了以後の試験中の荷重・
変位データを記憶する試験データ記憶手段とを備えてな
ることを特徴とする超微小材料試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1023192A JPH073386B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 超微小材料試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1023192A JPH073386B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 超微小材料試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02201244A JPH02201244A (ja) | 1990-08-09 |
| JPH073386B2 true JPH073386B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=12103801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1023192A Expired - Fee Related JPH073386B2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 超微小材料試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073386B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0618271Y2 (ja) * | 1986-06-24 | 1994-05-11 | 株式会社島津製作所 | 押込深さ形動的硬度計 |
| JPS636404A (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-12 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 針入度またはちよう度の測定方法および測定装置 |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1023192A patent/JPH073386B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02201244A (ja) | 1990-08-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0288215B1 (en) | Determination of electrical capacitance and resistance | |
| JPH073386B2 (ja) | 超微小材料試験装置 | |
| JP3183701B2 (ja) | アコースティックエミッション計測処理装置 | |
| SU1675146A1 (ru) | Устройство дл дефектоскопировани рельсов | |
| JP2829984B2 (ja) | 超微小硬度計 | |
| JPH05118959A (ja) | 弁の試験方法と装置 | |
| JP2518017B2 (ja) | 材料試験機 | |
| JPS6180076A (ja) | Ｍｒ素子の検査装置 | |
| JP2531642Y2 (ja) | 超微小材料試験装置 | |
| SU1486907A1 (ru) | Вихретоковый дефектоскоп | |
| JPH034139A (ja) | 硬度計 | |
| JPH0126500B2 (ja) | ||
| JPH06105215B2 (ja) | 押込み硬さ試験方法 | |
| JPH0396872A (ja) | コイル試験方法とその方法に用いる装置 | |
| SU684385A1 (ru) | Устройство дл определени нагрузки при разрыве образцов | |
| JPH086294Y2 (ja) | 渦電流探傷装置 | |
| JPH0532752Y2 (ja) | ||
| JPS6142817B2 (ja) | ||
| SU859910A1 (ru) | Способ измерени удельной электрической проводимости немагнитных металлов | |
| JP2741723B2 (ja) | 材料試験機の荷重測定装置 | |
| JPS62231136A (ja) | 超微小材料試験装置 | |
| JPS55155231A (en) | Evaluation method of and apparatus for fatigue and rupture of soldered joint | |
| JPS61234395A (ja) | 原子炉の制御棒価値測定データ処理装置 | |
| JPS589569B2 (ja) | カヘンテイコウケンサソウチ | |
| JPS61201173A (ja) | 磁気デイスク特性測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |