JPH0734409Y2 - 反射光学装置 - Google Patents
反射光学装置Info
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- JPH0734409Y2 JPH0734409Y2 JP1989131269U JP13126989U JPH0734409Y2 JP H0734409 Y2 JPH0734409 Y2 JP H0734409Y2 JP 1989131269 U JP1989131269 U JP 1989131269U JP 13126989 U JP13126989 U JP 13126989U JP H0734409 Y2 JPH0734409 Y2 JP H0734409Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、VTR（磁気記録再生装置）ヘッドの磁気テー
プ摺動面の外観及び形状検査、VTRヘッドのチップ位置
決め装置及び位置決め寸法検査、又はIC（集積回路）パ
ターンの検査及び観察に使用する反射光学装置（顕微
鏡）に関する。
プ摺動面の外観及び形状検査、VTRヘッドのチップ位置
決め装置及び位置決め寸法検査、又はIC（集積回路）パ
ターンの検査及び観察に使用する反射光学装置（顕微
鏡）に関する。
（従来の技術） 従来、この種の反射光学装置（顕微鏡）を使用して被検
物の全体の形状又は寸法の検査を行う場合に、被検物の
像の寸法が対物レンズの視野内には入るが、接眼レンズ
の視野又はITVカメラ（産業用テレビカメラ）の影像面
の範囲を越える長さである時は、同時に像の全体を観察
することが出来ない為に以下の方法がとられている。
物の全体の形状又は寸法の検査を行う場合に、被検物の
像の寸法が対物レンズの視野内には入るが、接眼レンズ
の視野又はITVカメラ（産業用テレビカメラ）の影像面
の範囲を越える長さである時は、同時に像の全体を観察
することが出来ない為に以下の方法がとられている。
まず、対物レンズの倍率を低いものに交換して広視野と
して観察する。この場合寸法の検査は、間隔の既知なカ
ーソル線を用意し、線の間隔と像との比較により判別す
る方法をとる。
して観察する。この場合寸法の検査は、間隔の既知なカ
ーソル線を用意し、線の間隔と像との比較により判別す
る方法をとる。
また、対物レンズの倍率は変えずに被検物をテーブル上
に置き、テーブルを移動させながら数回に分けて全体の
像を観察する。この場合寸法の検査は、テーブルに取付
けた測定器によりテーブルの移動量を測定する方法がと
られている。
に置き、テーブルを移動させながら数回に分けて全体の
像を観察する。この場合寸法の検査は、テーブルに取付
けた測定器によりテーブルの移動量を測定する方法がと
られている。
（考案が解決しようとする課題） 従来の技術で述べたもののうち前者においては、対物レ
ンズの倍率を低くすると実視野は広くなるが解像度が落
ちてしまうという問題点を有していた。
ンズの倍率を低くすると実視野は広くなるが解像度が落
ちてしまうという問題点を有していた。
また、後者においては、テーブル移動による誤差が測定
精度に影響を与えるという問題点やテーブルの移動を行
う為に作業時間に無駄を生じるという問題点を有してい
た。
精度に影響を与えるという問題点やテーブルの移動を行
う為に作業時間に無駄を生じるという問題点を有してい
た。
本考案は、従来の技術が有するこのような問題点て鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、被検
物の像の寸法が対物レンズの視野内には入るが、接眼レ
ンズ等の視野の範囲を越えてしまう場合においても、同
時に像の全体を観察することが出来る反射光学装置を提
供しようとするものである。
てなされたものであり、その目的とするところは、被検
物の像の寸法が対物レンズの視野内には入るが、接眼レ
ンズ等の視野の範囲を越えてしまう場合においても、同
時に像の全体を観察することが出来る反射光学装置を提
供しようとするものである。
（課題を解決するための手段） 上記課題を解決すべく本考案に係わる反射光学装置は、 被検物を観察する対物レンズ（４）と、 前記対物レンズの光軸上に設けられた前記被検物の光学
像を分岐する分割面（7a）を有したビームスプリッタ
（７）と、このビームスプリッタの後に前記分割面と直
角で且つ前記対物レンズの光軸上で該光軸に対して45°
の角度に垂設した第１ミラー（８）とを備え、前記対物
レンズで観察した前記被検物の光学像を前記ビームスプ
リッタ通過後に前記第１ミラーで反射させて該対物レン
ズの光軸に対して一方の光路に直交分岐させる共に、前
記対物レンズで観察した前記被検物の光学像を前記ビー
ムスプリッタから一方と反対方向の他方の光路に直交分
岐させる分岐手段と、 直交分岐された一方の光学像を入射して、この入射した
光学像を前記対物レンズから遠ざかる方向で該対物レン
ズの光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且
つ、前記対物レンズの光軸と直交分岐後の光軸とを含む
面に対して（90＋θ1）°傾斜させた第２ミラー（12）
と、 前記第２ミラーから反射された一方の光学像を入射して
この光学像を前記対物レンズの光軸と略直交する方向に
反射させるよう前記第２ミラーと離間して設けられ、且
つ、前記第２ミラーからの一方の光学像が該第２ミラー
の傾き及び該第２ミラーから離間した距離に伴って前記
面に対して−α1変位した一方の光学像を出射させるよ
う前記第２ミラーと同一角度傾斜させた第３ミラー（1
3）とによる第１偏向手段と、 直交分岐された他方の光学像を入射して、この入射した
光学像を前記対物レンズから遠ざかる方向で該対物レン
ズの光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且
つ、前記対物レンズの光軸と直交分岐後の光軸とを含む
前記面に対して（90−θ2）°傾斜させた第４ミラー（1
4）と、前記第４ミラーから反射された他方の光学像を
入射してこの光学像を前記対物レンズの光軸と略直交す
る方向に反射させるよう前記第４ミラーと離間して設け
られ、且つ、前記第４ミラーからの他方の光学像が該第
４ミラーの傾き及び該第４ミラーから離間した距離に伴
って前記面に対して、＋α2変位した他方の光学像を出
射させるよう前記第４ミラーと同一角度傾斜させた第５
ミラー（15）とによる第２偏向手段と、 前記第１偏向手段の第３ミラー及び／または前記第２偏
向手段の第５ミラーを傾斜角度一定の状態で前記対物レ
ンズの光軸方向に移動することにより各光路の視野範囲
を可変するためのミラー移動手段と、 前記第３ミラーで反射された一方の光学像の高さに合わ
せて設けられ、該第３ミラーからの一方の光学像を受光
してこの光学像を前記面に対して−α1変位したまま接
眼側に出射する第１直角プリズム（26）と、前記第５ミ
ラーで反射された他方の光学像の高さに合わせて設けら
れ、該第５ミラーからの他方の光学像を受光してこの光
学像を前記面に対して＋α2変位したまま接眼側に出射
する第２直角プリズム（25）とを重ね合せた状態で前記
第３ミラーと前記第５ミラーとの間に設置され、且つ、
前記第1,第２直角プリズムから出射した一方，他方の光
学像を−α1，＋α2の変位を持って接眼側で夫々独立に
合成する組合せプリズム（17）とを具備したことを特徴
とするものである。
像を分岐する分割面（7a）を有したビームスプリッタ
（７）と、このビームスプリッタの後に前記分割面と直
角で且つ前記対物レンズの光軸上で該光軸に対して45°
の角度に垂設した第１ミラー（８）とを備え、前記対物
レンズで観察した前記被検物の光学像を前記ビームスプ
リッタ通過後に前記第１ミラーで反射させて該対物レン
ズの光軸に対して一方の光路に直交分岐させる共に、前
記対物レンズで観察した前記被検物の光学像を前記ビー
ムスプリッタから一方と反対方向の他方の光路に直交分
岐させる分岐手段と、 直交分岐された一方の光学像を入射して、この入射した
光学像を前記対物レンズから遠ざかる方向で該対物レン
ズの光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且
つ、前記対物レンズの光軸と直交分岐後の光軸とを含む
面に対して（90＋θ1）°傾斜させた第２ミラー（12）
と、 前記第２ミラーから反射された一方の光学像を入射して
この光学像を前記対物レンズの光軸と略直交する方向に
反射させるよう前記第２ミラーと離間して設けられ、且
つ、前記第２ミラーからの一方の光学像が該第２ミラー
の傾き及び該第２ミラーから離間した距離に伴って前記
面に対して−α1変位した一方の光学像を出射させるよ
う前記第２ミラーと同一角度傾斜させた第３ミラー（1
3）とによる第１偏向手段と、 直交分岐された他方の光学像を入射して、この入射した
光学像を前記対物レンズから遠ざかる方向で該対物レン
ズの光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且
つ、前記対物レンズの光軸と直交分岐後の光軸とを含む
前記面に対して（90−θ2）°傾斜させた第４ミラー（1
4）と、前記第４ミラーから反射された他方の光学像を
入射してこの光学像を前記対物レンズの光軸と略直交す
る方向に反射させるよう前記第４ミラーと離間して設け
られ、且つ、前記第４ミラーからの他方の光学像が該第
４ミラーの傾き及び該第４ミラーから離間した距離に伴
って前記面に対して、＋α2変位した他方の光学像を出
射させるよう前記第４ミラーと同一角度傾斜させた第５
ミラー（15）とによる第２偏向手段と、 前記第１偏向手段の第３ミラー及び／または前記第２偏
向手段の第５ミラーを傾斜角度一定の状態で前記対物レ
ンズの光軸方向に移動することにより各光路の視野範囲
を可変するためのミラー移動手段と、 前記第３ミラーで反射された一方の光学像の高さに合わ
せて設けられ、該第３ミラーからの一方の光学像を受光
してこの光学像を前記面に対して−α1変位したまま接
眼側に出射する第１直角プリズム（26）と、前記第５ミ
ラーで反射された他方の光学像の高さに合わせて設けら
れ、該第５ミラーからの他方の光学像を受光してこの光
学像を前記面に対して＋α2変位したまま接眼側に出射
する第２直角プリズム（25）とを重ね合せた状態で前記
第３ミラーと前記第５ミラーとの間に設置され、且つ、
前記第1,第２直角プリズムから出射した一方，他方の光
学像を−α1，＋α2の変位を持って接眼側で夫々独立に
合成する組合せプリズム（17）とを具備したことを特徴
とするものである。
（作用） 対物レンズを通った光を分岐して各光に高低差を与え、
光の像を合成することができる。
光の像を合成することができる。
また、対物レンズの視野内の光の像を実視野内に１画面
として合成して観察することができる。
として合成して観察することができる。
（実施例） 以下に本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。
第１図は本考案に係る反射光学装置を用いた広視野観察
用顕微鏡の内部光学系の平面図、第２図（Ａ）及び
（Ｂ）は第１図に示す光路Ｉ及び光路IIを側面から見た
説明図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は第１図に示す光路Ｉ
及び光路IIを説明するための斜視図である。
用顕微鏡の内部光学系の平面図、第２図（Ａ）及び
（Ｂ）は第１図に示す光路Ｉ及び光路IIを側面から見た
説明図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は第１図に示す光路Ｉ
及び光路IIを説明するための斜視図である。
第１図乃至第４図に示した如く、広視野観察用顕微鏡１
は、本考案に係わる反射光学装置２と、接眼側のカメラ
３とから構成されている。
は、本考案に係わる反射光学装置２と、接眼側のカメラ
３とから構成されている。
上記反射光学装置２は、被検物20を観察する対物レンズ
４と、 対物レンズ４の光軸上に設けられて被検物の光学像を分
岐する分割面7aを有したビームスプリッタ７と、このビ
ームスプリッタ７の後に分割面7aと直角で且つ対物レン
ズ４の光軸上で該光軸に対して45°の角度に垂設した第
１ミラー８とを備え、対物レンズ４で観察した被検物の
光学像をビームスプリッタ７通過後に第１ミラー８で反
射させて対物レンズ４の光軸に対して一方の光路I5に直
交分岐させる共に、対物レンズ４で観察した被検物の光
学像をビームスプリッタ７から一方と反対方向の他方の
光路II6に直交分岐させる分岐手段と、 直交分岐された一方の光学像を入射して、この入射した
光学像を対物レンズ４から遠ざかる方向で対物レンズ４
の光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且つ、
対物レンズ４の光軸と直交分岐後の光軸とを含む面（図
示せず）に対して（90＋θ1）°傾斜させた第２ミラー1
2と、第２ミラー12から反射された一方の光学像を入射
してこの光学像を対物レンズ４の光軸と略直交する方向
に反射させるよう第２ミラー12と離間して設けられ、且
つ、第２ミラー12からの一方の光学像が第２ミラー12の
傾き及び第２ミラー12から離間した距離に伴って前記面
（対物レンズ４の光軸と直交分岐後の光軸とを含む面）
に対して−α1変位した一方の光学像を出射させるよう
第２ミラー12と同一角度傾斜させた第３ミラー13とによ
る第１偏向手段と、 直交分岐された他方の光学像を入射して、この入射した
光学像を対物レンズ４から遠ざかる方向で対物レンズ４
の光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且つ、
対物レンズ４の光軸と直交分岐後の光軸とを含む前記面
に対して（90−θ2）°傾斜させた第４ミラー14と、第
４ミラーから反射された他方の光学像を入射してこの光
学像を対物レンズの光軸と略直交する方向に反射させる
よう第４ミラー14と離間して設けられ、且つ、第４ミラ
ーからの他方の光学像が第４ミラー14の傾き及び第４ミ
ラー14から離間した距離に伴って前記面に対して、＋α
2変位した他方の光学像を出射させるよう第４ミラー14
と同一角度傾斜させた第５ミラー15とによる第２偏向手
段と、 第１偏向手段のミラー（第３ミラー）13及び／又は第２
偏向手段のミラー（第５ミラー）15を傾斜角度一定の状
態で対物レンズの光軸方向に移動することにより各光路
I5,II6のの視野範囲を可変するためのミラー移動手段
（不図示）と、 第３ミラー13で反射された一方の光学像の高さに合わせ
て設けられ、第３ミラー13からの一方の光学像を受光し
てこの光学像を前記面に対して−α1変位したまま接眼
側に出射する第１直角プリズム26と、第５ミラー15で反
射された他方の光学像の高さに合わせて設けられ、第５
ミラー15からの他方の光学像を受光してこの光学像を前
記面に対して＋α2変位したまま接眼側に出射する第２
直角プリズム25とを重ね合せた状態で第３ミラー13と第
５ミラー15との間に設置され、且つ、前記第1,第２直角
プリズム26,25から出射した一方，他方の光学像を−
α1，＋α2の変位を持って接眼側で夫々独立に合成する
組合せプリズム17とから構成されている。
４と、 対物レンズ４の光軸上に設けられて被検物の光学像を分
岐する分割面7aを有したビームスプリッタ７と、このビ
ームスプリッタ７の後に分割面7aと直角で且つ対物レン
ズ４の光軸上で該光軸に対して45°の角度に垂設した第
１ミラー８とを備え、対物レンズ４で観察した被検物の
光学像をビームスプリッタ７通過後に第１ミラー８で反
射させて対物レンズ４の光軸に対して一方の光路I5に直
交分岐させる共に、対物レンズ４で観察した被検物の光
学像をビームスプリッタ７から一方と反対方向の他方の
光路II6に直交分岐させる分岐手段と、 直交分岐された一方の光学像を入射して、この入射した
光学像を対物レンズ４から遠ざかる方向で対物レンズ４
の光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且つ、
対物レンズ４の光軸と直交分岐後の光軸とを含む面（図
示せず）に対して（90＋θ1）°傾斜させた第２ミラー1
2と、第２ミラー12から反射された一方の光学像を入射
してこの光学像を対物レンズ４の光軸と略直交する方向
に反射させるよう第２ミラー12と離間して設けられ、且
つ、第２ミラー12からの一方の光学像が第２ミラー12の
傾き及び第２ミラー12から離間した距離に伴って前記面
（対物レンズ４の光軸と直交分岐後の光軸とを含む面）
に対して−α1変位した一方の光学像を出射させるよう
第２ミラー12と同一角度傾斜させた第３ミラー13とによ
る第１偏向手段と、 直交分岐された他方の光学像を入射して、この入射した
光学像を対物レンズ４から遠ざかる方向で対物レンズ４
の光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且つ、
対物レンズ４の光軸と直交分岐後の光軸とを含む前記面
に対して（90−θ2）°傾斜させた第４ミラー14と、第
４ミラーから反射された他方の光学像を入射してこの光
学像を対物レンズの光軸と略直交する方向に反射させる
よう第４ミラー14と離間して設けられ、且つ、第４ミラ
ーからの他方の光学像が第４ミラー14の傾き及び第４ミ
ラー14から離間した距離に伴って前記面に対して、＋α
2変位した他方の光学像を出射させるよう第４ミラー14
と同一角度傾斜させた第５ミラー15とによる第２偏向手
段と、 第１偏向手段のミラー（第３ミラー）13及び／又は第２
偏向手段のミラー（第５ミラー）15を傾斜角度一定の状
態で対物レンズの光軸方向に移動することにより各光路
I5,II6のの視野範囲を可変するためのミラー移動手段
（不図示）と、 第３ミラー13で反射された一方の光学像の高さに合わせ
て設けられ、第３ミラー13からの一方の光学像を受光し
てこの光学像を前記面に対して−α1変位したまま接眼
側に出射する第１直角プリズム26と、第５ミラー15で反
射された他方の光学像の高さに合わせて設けられ、第５
ミラー15からの他方の光学像を受光してこの光学像を前
記面に対して＋α2変位したまま接眼側に出射する第２
直角プリズム25とを重ね合せた状態で第３ミラー13と第
５ミラー15との間に設置され、且つ、前記第1,第２直角
プリズム26,25から出射した一方，他方の光学像を−
α1，＋α2の変位を持って接眼側で夫々独立に合成する
組合せプリズム17とから構成されている。
対物レンズ４を通過した被検物20の像はビームスプリッ
タ７により、一方は直角に反射した光路II6に進み、他
方は通過した後ミラー８により直角に反射し光路I5に進
む。
タ７により、一方は直角に反射した光路II6に進み、他
方は通過した後ミラー８により直角に反射し光路I5に進
む。
光路I5のミラー12,13は、第１図に示すように共に反射
角が直角であり、ミラー12による反射後の光軸が対物レ
ンズ４の光軸に平行に沿い、一方、ミラー13による反射
後の光軸はミラー８により直角に分岐された光軸に平行
に沿うように夫々調整されている。また、第２図（Ａ）
及び第３図（Ａ）にも示すように、ミラー12は、直交分
岐された一方の光学像を入射して、この入射した光学像
を対物レンズ４から遠ざかる方向で対物レンズ４の光軸
に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且つ、対物レ
ンズ４の光軸と直交分岐後の光軸とを含む面に対して
（90＋θ1）°傾斜させている。
角が直角であり、ミラー12による反射後の光軸が対物レ
ンズ４の光軸に平行に沿い、一方、ミラー13による反射
後の光軸はミラー８により直角に分岐された光軸に平行
に沿うように夫々調整されている。また、第２図（Ａ）
及び第３図（Ａ）にも示すように、ミラー12は、直交分
岐された一方の光学像を入射して、この入射した光学像
を対物レンズ４から遠ざかる方向で対物レンズ４の光軸
に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且つ、対物レ
ンズ４の光軸と直交分岐後の光軸とを含む面に対して
（90＋θ1）°傾斜させている。
一方、ミラー13は、ミラー12から反射された一方の光学
像を入射してこの光学像を対物レンズ４の光軸と略直交
する方向に反射させるようミラー12と離間して設けら
れ、且つ、ミラー12からの一方の光学像がミラー12の傾
き及びミラー12ーから離間した距離に伴って前記面（対
物レンズの光軸と直交分岐後の光軸とを含む面）に対し
て−α1変位した一方の光学像を出射させるようミラー1
2と同一角度｛（90＋θ1）°｝傾斜させている。
像を入射してこの光学像を対物レンズ４の光軸と略直交
する方向に反射させるようミラー12と離間して設けら
れ、且つ、ミラー12からの一方の光学像がミラー12の傾
き及びミラー12ーから離間した距離に伴って前記面（対
物レンズの光軸と直交分岐後の光軸とを含む面）に対し
て−α1変位した一方の光学像を出射させるようミラー1
2と同一角度｛（90＋θ1）°｝傾斜させている。
即ち、被検物20の像はビームスプリッタ7,ミラー８によ
って分岐されて一方の光学像がミラー12に入射され、こ
こでミラー12により直角に反射されると同時に上記のよ
うに設定した（90＋θ1）°の傾きにより偏向され、ミ
ラー13に入射する位置で前記面に対して−α1の変位が
与えられる。更に、ミラー13に入射した光は直角に反射
されると同時に上記のように設定した（90＋θ1）°の
傾きによりミラー12による偏向角が修正され、言い換え
ると、ミラー13で反射された光学像は前記面に対して−
α1の変位を保ったままの状態で対物レンズ４の光軸側
に向かって出射されている。
って分岐されて一方の光学像がミラー12に入射され、こ
こでミラー12により直角に反射されると同時に上記のよ
うに設定した（90＋θ1）°の傾きにより偏向され、ミ
ラー13に入射する位置で前記面に対して−α1の変位が
与えられる。更に、ミラー13に入射した光は直角に反射
されると同時に上記のように設定した（90＋θ1）°の
傾きによりミラー12による偏向角が修正され、言い換え
ると、ミラー13で反射された光学像は前記面に対して−
α1の変位を保ったままの状態で対物レンズ４の光軸側
に向かって出射されている。
また、光路I5と対物レンズ４の光軸に対して対称に設け
た光路II6のミラー14,15は、ミラー14による反射後の光
軸が対物レンズ４の光軸に平行に沿い、一方、ミラー15
による反射後の光軸はビームスプリッタ７により直角に
分岐された光軸に平行に沿うように夫々調整されてい
る。また、第２図（Ｂ）及び第３図（Ｂ）にも示すよう
に、ミラー14は、直交分岐された他方の光学像を入射し
て、この入射した光学像を対物レンズ４から遠ざかる方
向で対物レンズ４の光軸に略沿う方向に反射させるよう
設けられ、且つ、対物レンズ４の光軸と直交分岐後の光
軸とを含む前記面に対して（90−θ2）°傾斜させてい
る。
た光路II6のミラー14,15は、ミラー14による反射後の光
軸が対物レンズ４の光軸に平行に沿い、一方、ミラー15
による反射後の光軸はビームスプリッタ７により直角に
分岐された光軸に平行に沿うように夫々調整されてい
る。また、第２図（Ｂ）及び第３図（Ｂ）にも示すよう
に、ミラー14は、直交分岐された他方の光学像を入射し
て、この入射した光学像を対物レンズ４から遠ざかる方
向で対物レンズ４の光軸に略沿う方向に反射させるよう
設けられ、且つ、対物レンズ４の光軸と直交分岐後の光
軸とを含む前記面に対して（90−θ2）°傾斜させてい
る。
一方、ミラー15はミラ14ーから反射された他方の光学像
を入射してこの光学像を対物レンズの光軸と略直交する
方向に反射させるようミラー14と離間して設けられ、且
つ、ミラー14からの他方の光学像がミラー14の傾き及び
ミラー14から離間した距離に伴って前記面に対して、＋
α2変位した他方の光学像を出射させるようミラー14と
同一角度｛（90−θ2）°｝傾斜させている。
を入射してこの光学像を対物レンズの光軸と略直交する
方向に反射させるようミラー14と離間して設けられ、且
つ、ミラー14からの他方の光学像がミラー14の傾き及び
ミラー14から離間した距離に伴って前記面に対して、＋
α2変位した他方の光学像を出射させるようミラー14と
同一角度｛（90−θ2）°｝傾斜させている。
即ち、被検物20の像はビームスプリッタ７によって分岐
されて他方の光学像がミラー14に入射され、ここでミラ
ー14により直角に反射されると同時に上記のように設定
した（90−θ2）°の傾きにより偏向され、ミラー15に
入射する位置で前記面に対して＋α2の変位が与えられ
る。更に、ミラー15に入射した光は直角に反射されると
同時に上記のように設定した（90−θ2）°の傾きによ
りミラー14による偏向角が修正され、言い換えると、ミ
ラー15で反射された光学像は前記面に対して＋α2の変
位を保ったままの状態で対物レンズ４の光軸側に向かっ
て出射されている。
されて他方の光学像がミラー14に入射され、ここでミラ
ー14により直角に反射されると同時に上記のように設定
した（90−θ2）°の傾きにより偏向され、ミラー15に
入射する位置で前記面に対して＋α2の変位が与えられ
る。更に、ミラー15に入射した光は直角に反射されると
同時に上記のように設定した（90−θ2）°の傾きによ
りミラー14による偏向角が修正され、言い換えると、ミ
ラー15で反射された光学像は前記面に対して＋α2の変
位を保ったままの状態で対物レンズ４の光軸側に向かっ
て出射されている。
このようにして光路I5,光路II6に分岐した被検物20の各
光学像は夫々の前記面（対物レンズの光軸と直交分岐後
の光軸とを含む面）に対して−α1，＋α2の変位を夫々
与えられて、対物レンズ４の光軸上に設けた組合せプリ
ズム17に入射する。
光学像は夫々の前記面（対物レンズの光軸と直交分岐後
の光軸とを含む面）に対して−α1，＋α2の変位を夫々
与えられて、対物レンズ４の光軸上に設けた組合せプリ
ズム17に入射する。
第４図は、光路I5のミラー13により反射された像と光路
II6のミラー15により反射された像が組合せプリズム17
の反射面に入射し像が合成される状態を示す説明図であ
る。組合せプリズム17は２つの直角プリズム25,26の45
°反射面25a、26aを互いに直交する状態に重ね合せ接着
した構造とし、接着面と光軸高さを一致させミラー13と
ミラー15の中間に配置する。
II6のミラー15により反射された像が組合せプリズム17
の反射面に入射し像が合成される状態を示す説明図であ
る。組合せプリズム17は２つの直角プリズム25,26の45
°反射面25a、26aを互いに直交する状態に重ね合せ接着
した構造とし、接着面と光軸高さを一致させミラー13と
ミラー15の中間に配置する。
ミラー13により反射された像は直角プリズム（第１直角
プリズム）26の反射防止処理された面26bにより半軸21
から下側の部分が除かれ上側の像のみ直角プリズム25の
45°反射面25aにより反射され像30となる。
プリズム）26の反射防止処理された面26bにより半軸21
から下側の部分が除かれ上側の像のみ直角プリズム25の
45°反射面25aにより反射され像30となる。
また、ミラー15により反射された像は直角プリズム（第
１直角プリズム）25の反射防止処理された面25bにより
光軸22から上側の部分が除かれ下側の像のみ直角プリズ
ム26の45°反射面26aにより反射され像31となる。
１直角プリズム）25の反射防止処理された面25bにより
光軸22から上側の部分が除かれ下側の像のみ直角プリズ
ム26の45°反射面26aにより反射され像31となる。
更に、ミラー13,15は、例えばボールねじとナットから
なるスライド機構を備える移動手段によってそれぞれの
角度を維持した状態で矢印Ｘに示すように光軸21,22の
方向に水平移動することが出来、この移動量により合成
された像30,31のずれ量32,33が調整される。
なるスライド機構を備える移動手段によってそれぞれの
角度を維持した状態で矢印Ｘに示すように光軸21,22の
方向に水平移動することが出来、この移動量により合成
された像30,31のずれ量32,33が調整される。
従って、第５図に示すような実線の円で示す対物レンズ
４の視野内には入っているが、これに対する破線の円で
示す実視野の範囲に入っていない被検物の像（像の長さ
を▲▼とする）を反射光学装置２により第６図に
示すように、像のＡ点、Ｂ点、Ｃ点の各点を実視野であ
る破線の円内に入れて連続した像を得ることが出来る。
第７図に示すものはカメラ３により観察した画像であ
る。
４の視野内には入っているが、これに対する破線の円で
示す実視野の範囲に入っていない被検物の像（像の長さ
を▲▼とする）を反射光学装置２により第６図に
示すように、像のＡ点、Ｂ点、Ｃ点の各点を実視野であ
る破線の円内に入れて連続した像を得ることが出来る。
第７図に示すものはカメラ３により観察した画像であ
る。
なお、第１図に示す光路I5と光路II6のミラー12,13,14,
15の傾き方向を逆にすれば組合せプリズム17の上下位置
を逆にすることで観察像の上下も逆にすることが出来
る。
15の傾き方向を逆にすれば組合せプリズム17の上下位置
を逆にすることで観察像の上下も逆にすることが出来
る。
また、本実施例では、光路を光路I5と光路II6の２つに
分けているが３つ又は４つに分光してこれらの高さをず
らして１画面に表示させるようにしてもよい。
分けているが３つ又は４つに分光してこれらの高さをず
らして１画面に表示させるようにしてもよい。
（考案の効果） 以上説明したように本願考案に係わる反射光学装置によ
ると、対物レンズを通過した被検物の光学像を２系統の
光路に分岐し、且つ、分岐した一方及び他方の光学像を
第1,第２偏向手段により、対物レンズの光軸と直交分岐
後の光軸とを含む面に対して−α1及び＋α2の変位を与
え、更に、第１偏向手段の第３ミラー及び第２偏向手段
の第５ミラーから出射された各光学像を組合せプリズム
で−α1及び＋α2の変位を持って夫々独立に合成してい
るため、両光学像を合成しても中間画像が欠落すること
なく、且つ、合成した両光学像は広範囲に連続した画像
として取り出すことができ、更に、第１偏向手段の第３
ミラー及び／又は第２偏向手段の第５ミラーを適時移動
させることにより拡大した状態で被検物の全体の長さの
像を同時に観察できるなどの特徴がある。
ると、対物レンズを通過した被検物の光学像を２系統の
光路に分岐し、且つ、分岐した一方及び他方の光学像を
第1,第２偏向手段により、対物レンズの光軸と直交分岐
後の光軸とを含む面に対して−α1及び＋α2の変位を与
え、更に、第１偏向手段の第３ミラー及び第２偏向手段
の第５ミラーから出射された各光学像を組合せプリズム
で−α1及び＋α2の変位を持って夫々独立に合成してい
るため、両光学像を合成しても中間画像が欠落すること
なく、且つ、合成した両光学像は広範囲に連続した画像
として取り出すことができ、更に、第１偏向手段の第３
ミラー及び／又は第２偏向手段の第５ミラーを適時移動
させることにより拡大した状態で被検物の全体の長さの
像を同時に観察できるなどの特徴がある。
更に、１本のカーソル線により被検物の２ケ所の位置を
判別できる為、位置決め又は検査装置として応用した場
合に機能が向上する。
判別できる為、位置決め又は検査装置として応用した場
合に機能が向上する。
第１図は本考案に係る反射光学装置を用いた広視野観察
用顕微鏡の内部光学系の平面図、第２図（Ａ）及び
（Ｂ）は第１図に示す光路Ｉ及び光路IIを側面から見た
説明図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は第１図に示す光路Ｉ
及び光路IIを説明するための斜視図、第４図は反射光学
装置の要部説明図、第５図は従来の対物レンズの視野と
これに対する実視野の範囲を示す図、第６図は反射光学
装置によって合成された像を示す図、第７図は合成され
た像をカメラによって撮像した画像を示す図である。 １……広視野観察用顕微鏡、２……反射光学装置、３…
…カメラ、４……対物レンズ、５……光路Ｉ、６……光
路II、７……分岐手段（ビームスプリッタ）、7a……ビ
ームスプリッタ７の分割面、８……分岐手段（第１ミラ
ー）、12,13……第１偏向手段（第２ミラー，第３ミラ
ー）、14,15……第２偏向手段（第４ミラー，第５ミラ
ー）、17……組合せプリズム、20……被検物、25……第
２直角プリズム（直角プリズム）、26……第１直角プリ
ズム（直角プリズム）。
用顕微鏡の内部光学系の平面図、第２図（Ａ）及び
（Ｂ）は第１図に示す光路Ｉ及び光路IIを側面から見た
説明図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は第１図に示す光路Ｉ
及び光路IIを説明するための斜視図、第４図は反射光学
装置の要部説明図、第５図は従来の対物レンズの視野と
これに対する実視野の範囲を示す図、第６図は反射光学
装置によって合成された像を示す図、第７図は合成され
た像をカメラによって撮像した画像を示す図である。 １……広視野観察用顕微鏡、２……反射光学装置、３…
…カメラ、４……対物レンズ、５……光路Ｉ、６……光
路II、７……分岐手段（ビームスプリッタ）、7a……ビ
ームスプリッタ７の分割面、８……分岐手段（第１ミラ
ー）、12,13……第１偏向手段（第２ミラー，第３ミラ
ー）、14,15……第２偏向手段（第４ミラー，第５ミラ
ー）、17……組合せプリズム、20……被検物、25……第
２直角プリズム（直角プリズム）、26……第１直角プリ
ズム（直角プリズム）。
Claims (1)
- 【請求項１】被検物を観察する対物レンズ（４）と、 前記対物レンズの光軸上に設けられて前記被検物の光学
像を分岐する分割面（7a）を有したビームスプリッタ
（７）と、このビームスプリッタの後に前記分割面と直
角で且つ前記対物レンズの光軸上で該光軸に対して45°
の角度に垂設した第１ミラー（８）とを備え、前記対物
レンズで観察した前記被検物の光学像を前記ビームスプ
リッタ通過後に前記第１ミラーで反射させて該対物レン
ズの光軸に対して一方の光路に直交分岐させる共に、前
記対物レンズで観察した前記被検物の光学像を前記ビー
ムスプリッタから一方と反対方向の他方の光路に直交分
岐させる分岐手段と、 直交分岐された一方の光学像を入射して、この入射した
光学像を前記対物レンズから遠ざかる方向で該対物レン
ズの光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且
つ、前記対物レンズの光軸と直交分岐後の光軸とを含む
面に対して（90＋θ1）°傾斜させた第２ミラー（12）
と、 前記第２ミラーから反射された一方の光学像を入射して
この光学像を前記対物レンズの光軸と略直交する方向に
反射させるよう前記第２ミラーと離間して設けられ、且
つ、前記第２ミラーからの一方の光学像が該第２ミラー
の傾き及び該第２ミラーから離間した距離に伴って前記
面に対して−α1変位した一方の光学像を出射させるよ
う前記第２ミラーと同一角度傾斜させた第３ミラー（1
3）とによる第１偏向手段と、 直交分岐された他方の光学像を入射して、この入射した
光学像を前記対物レンズから遠ざかる方向で該対物レン
ズの光軸に略沿う方向に反射させるよう設けられ、且
つ、前記対物レンズの光軸と直交分岐後の光軸とを含む
前記面に対して（90−θ2）°傾斜させた第４ミラー（1
4）と、前記第４ミラーから反射された他方の光学像を
入射してこの光学像を前記対物レンズの光軸と略直交す
る方向に反射させるよう前記第４ミラーと離間して設け
られ、且つ、前記第４ミラーからの他方の光学像が該第
４ミラーの傾き及び該第４ミラーから離間した距離に伴
って前記面に対して＋α2変位した他方の光学像を出射
させるよう前記第４ミラーと同一角度傾斜させた第５ミ
ラー（15）とによる第２偏向手段と、 前記第１偏向手段の第３ミラー及び／又は前記第２偏向
手段の第５ミラーを傾斜角度一定の状態で前記対物レン
ズの光軸方向に移動することにより各光路の視野範囲を
可変するためのミラー移動手段と、 前記第３ミラーで反射された一方の光学像の高さに合わ
せて設けられ、該第３ミラーからの一方の光学像を受光
してこの光学像を前記面に対して−α1変位したまま接
眼側に出射する第１直角プリズム（26）と、前記第５ミ
ラーで反射された他方の光学像の高さに合わせて設けら
れ、該第５ミラーからの他方の光学像を受光してこの光
学像を前記面に対して＋α2変位したまま接眼側に出射
する第２直角プリズム（25）とを重ね合せた状態で前記
第３ミラーと前記第５ミラーとの間に設置され、且つ、
前記第1,第２直角プリズムから出射した一方，他方の光
学像を−α1，＋α2の変位を持って接眼側で夫々独立に
合成する組合せプリズム（17）とを具備したことを特徴
とする反射光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989131269U JPH0734409Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 反射光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989131269U JPH0734409Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 反射光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0369114U JPH0369114U (ja) | 1991-07-09 |
| JPH0734409Y2 true JPH0734409Y2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=31678788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989131269U Expired - Fee Related JPH0734409Y2 (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 反射光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734409Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5655806U (ja) * | 1979-10-02 | 1981-05-15 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP1989131269U patent/JPH0734409Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0369114U (ja) | 1991-07-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |