JPH0736072A - 高調波発生装置 - Google Patents
高調波発生装置Info
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- JPH0736072A JPH0736072A JP17652993A JP17652993A JPH0736072A JP H0736072 A JPH0736072 A JP H0736072A JP 17652993 A JP17652993 A JP 17652993A JP 17652993 A JP17652993 A JP 17652993A JP H0736072 A JPH0736072 A JP H0736072A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は非線形結晶を用いて基本波のレ−ザ
光を高調波に変換する際に、その変換を効率よく行うこ
とができるようにした高調波発生装置を提供することに
ある。 【構成】 結晶中心軸と平行に入射する基本波に対して
位相整合をとって配置された非線形結晶１７と、上記基
本波を上記結晶中心軸に対して平行にずらして上記非線
形結晶に入射させる第１の平行平面板１３と、上記非線
形結晶で基本波から変換された高調波を上記結晶中心軸
と一致するよう平行にずらす第２の平行平面板１９と、
上記第１の平行平面板と第２の平行平面板とを上記結晶
中心軸を回転中心として同じ方向に同じ速度で回転駆動
する２軸モ−タ１６とを具備したことを特徴とする。
光を高調波に変換する際に、その変換を効率よく行うこ
とができるようにした高調波発生装置を提供することに
ある。 【構成】 結晶中心軸と平行に入射する基本波に対して
位相整合をとって配置された非線形結晶１７と、上記基
本波を上記結晶中心軸に対して平行にずらして上記非線
形結晶に入射させる第１の平行平面板１３と、上記非線
形結晶で基本波から変換された高調波を上記結晶中心軸
と一致するよう平行にずらす第２の平行平面板１９と、
上記第１の平行平面板と第２の平行平面板とを上記結晶
中心軸を回転中心として同じ方向に同じ速度で回転駆動
する２軸モ−タ１６とを具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は基本波を高調波に変換
して出力する高調波発生装置に関する。
して出力する高調波発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、ＹＡＧレ−ザなどのレ−ザ発
振器から出力されるレ−ザ光を基本波から高調波に変換
する高調波発生装置では、レ−ザ共振器内あるいはレ−
ザ共振器外のレ−ザ光の発振光軸上に、基本波に対して
位相整合がとれるようカットされたＳＨＧなどの非線形
結晶を入射角度および結晶温度を調整して配置するよう
にしている。
振器から出力されるレ−ザ光を基本波から高調波に変換
する高調波発生装置では、レ−ザ共振器内あるいはレ−
ザ共振器外のレ−ザ光の発振光軸上に、基本波に対して
位相整合がとれるようカットされたＳＨＧなどの非線形
結晶を入射角度および結晶温度を調整して配置するよう
にしている。
【０００３】上記構成の高調波発生装置においては、上
記非線形結晶はレ−ザ光の発振光軸上に固定的に配置さ
れていた。そのため、非線形結晶におけるレ−ザ光の通
過位置は、一度セットした後は常に一定であるため、非
線形結晶におけるレ−ザ光の通過部分はレ−ザ光の熱影
響によって比較的短時間で変質するということがあっ
た。
記非線形結晶はレ−ザ光の発振光軸上に固定的に配置さ
れていた。そのため、非線形結晶におけるレ−ザ光の通
過位置は、一度セットした後は常に一定であるため、非
線形結晶におけるレ−ザ光の通過部分はレ−ザ光の熱影
響によって比較的短時間で変質するということがあっ
た。
【０００４】非線形結晶が変質すると、レ−ザ光の透過
率が低下するから、高調波の出力低下を招くことにな
る。したがって、非線形結晶を比較的早い時期に定期交
換しなければならないということがあり、そのメンテナ
ンスに多くの手間が掛かるということがあった。また、
非線形結晶の同一箇所にだけレ−ザ光を通過させると、
非線形結晶の自己吸収の発熱影響により、位相整合条件
の１つである、結晶温度が短時間で変化する。そのた
め、変換効率が低下し易いということもある。
率が低下するから、高調波の出力低下を招くことにな
る。したがって、非線形結晶を比較的早い時期に定期交
換しなければならないということがあり、そのメンテナ
ンスに多くの手間が掛かるということがあった。また、
非線形結晶の同一箇所にだけレ−ザ光を通過させると、
非線形結晶の自己吸収の発熱影響により、位相整合条件
の１つである、結晶温度が短時間で変化する。そのた
め、変換効率が低下し易いということもある。
【０００５】このような問題を解決するために、図４
（ａ）あるいは（ｂ）に示す構成が採用されている。図
４（ａ）は、レ−ザ光源１から出力されたレ−ザ光Ｌ
を、反射鏡２で反射して集光レンズ３で集束し、非線形
結晶４に入射させて変調する構成において、上記反射鏡
２を同図に矢印で示す方向に往復揺動させるようにして
いる。
（ａ）あるいは（ｂ）に示す構成が採用されている。図
４（ａ）は、レ−ザ光源１から出力されたレ−ザ光Ｌ
を、反射鏡２で反射して集光レンズ３で集束し、非線形
結晶４に入射させて変調する構成において、上記反射鏡
２を同図に矢印で示す方向に往復揺動させるようにして
いる。
【０００６】それによって、集光レンズ３で集束された
レ−ザ光Ｌは、上記反射鏡２の揺動角度に応じて振られ
るから、非線形結晶４への入射位置が変化し、非線形結
晶４の局部加熱による早期変質を防止するようにしてい
る。
レ−ザ光Ｌは、上記反射鏡２の揺動角度に応じて振られ
るから、非線形結晶４への入射位置が変化し、非線形結
晶４の局部加熱による早期変質を防止するようにしてい
る。
【０００７】しかしながら、このような構成によって非
線形結晶４の早期変質を押えるようにすると、基本波か
ら高調波に変換されて非線形結晶４から出射するレ−ザ
光Ｌは、その出射方向が一定とならないから、レ−ザ光
Ｌの光軸を一定にして使用する用途に不向きである。
線形結晶４の早期変質を押えるようにすると、基本波か
ら高調波に変換されて非線形結晶４から出射するレ−ザ
光Ｌは、その出射方向が一定とならないから、レ−ザ光
Ｌの光軸を一定にして使用する用途に不向きである。
【０００８】図４（ｂ）に示す構成は、レ−ザ光源１か
ら出力されたレ−ザ光Ｌを集光レンズ３で集束して非線
形結晶４に入射させる構成において、上記非線形結晶４
を振動発生器５によって矢印方向に振動させることで、
上記非線形結晶４に対するレ−ザ光Ｌの入射位置を変化
させるようにしている。
ら出力されたレ−ザ光Ｌを集光レンズ３で集束して非線
形結晶４に入射させる構成において、上記非線形結晶４
を振動発生器５によって矢印方向に振動させることで、
上記非線形結晶４に対するレ−ザ光Ｌの入射位置を変化
させるようにしている。
【０００９】しかしながら、このような構成によると、
往復振動する非線形結晶４は、その往復運動の途中と折
り返し点とで運動速度が異なる。つまり、往復運動の途
中に比べて折り返し点の方が運動速度が遅くなるから、
非線形結晶４はレ−ザ光Ｌに対して等速運動とならな
い。そのため、非線形結晶４に対するレ−ザ光Ｌの入熱
量は運動速度の差に応じて異なるから、局部的に自己吸
収による発熱が大きくなって位相整合がずれ易くなり、
変換効率が低下し易いということがある。
往復振動する非線形結晶４は、その往復運動の途中と折
り返し点とで運動速度が異なる。つまり、往復運動の途
中に比べて折り返し点の方が運動速度が遅くなるから、
非線形結晶４はレ−ザ光Ｌに対して等速運動とならな
い。そのため、非線形結晶４に対するレ−ザ光Ｌの入熱
量は運動速度の差に応じて異なるから、局部的に自己吸
収による発熱が大きくなって位相整合がずれ易くなり、
変換効率が低下し易いということがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】このように、レ−ザ光
を非線形結晶の同一箇所に入射させて高調波に変換する
と、非線形結晶が早期に変質し易いということがあり、
また非線形結晶に対するレ−ザ光の入射位置を変えるよ
うにすると、出射位置も変化してしまう。さらに、非線
形結晶をレ−ザ光に対して非等速度で往復運動させるよ
うにすると、短時間で非線形結晶に局部的な温度上昇を
招き、変換効率が低下し易いということがある。
を非線形結晶の同一箇所に入射させて高調波に変換する
と、非線形結晶が早期に変質し易いということがあり、
また非線形結晶に対するレ−ザ光の入射位置を変えるよ
うにすると、出射位置も変化してしまう。さらに、非線
形結晶をレ−ザ光に対して非等速度で往復運動させるよ
うにすると、短時間で非線形結晶に局部的な温度上昇を
招き、変換効率が低下し易いということがある。
【００１１】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、非線形結晶に対してレ−
ザ光を相対的に等速度で運動させて入射させることで、
非線形結晶を早期に変質させることなく、また自己吸収
の発熱による変換効率の低下を少なくできる高調波発生
装置を提供することにある。
で、その目的とするところは、非線形結晶に対してレ−
ザ光を相対的に等速度で運動させて入射させることで、
非線形結晶を早期に変質させることなく、また自己吸収
の発熱による変換効率の低下を少なくできる高調波発生
装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、結晶中心軸と平行に入射する基本波に対
して位相整合をとって配置された非線形結晶と、上記基
本波を上記結晶中心軸に対して平行にずらして上記非線
形結晶に入射させる第１の光学手段と、上記非線形結晶
で基本波から変換された高調波を上記結晶中心軸と一致
するよう平行にずらす第２の光学手段と、上記第１の光
学手段と第２の光学手段とを上記結晶中心軸を回転中心
として同じ方向に同じ速度で回転駆動する駆動手段とを
具備したことを特徴とする。
にこの発明は、結晶中心軸と平行に入射する基本波に対
して位相整合をとって配置された非線形結晶と、上記基
本波を上記結晶中心軸に対して平行にずらして上記非線
形結晶に入射させる第１の光学手段と、上記非線形結晶
で基本波から変換された高調波を上記結晶中心軸と一致
するよう平行にずらす第２の光学手段と、上記第１の光
学手段と第２の光学手段とを上記結晶中心軸を回転中心
として同じ方向に同じ速度で回転駆動する駆動手段とを
具備したことを特徴とする。
【００１３】
【作用】上記構成によれば、レ−ザ光は非線形結晶に対
して等速円運動で入射するから、非線形結晶が早期に変
質するのを防止でき、また自己吸収による局部的な発熱
による変換効率の低下を少なくすることができる。
して等速円運動で入射するから、非線形結晶が早期に変
質するのを防止でき、また自己吸収による局部的な発熱
による変換効率の低下を少なくすることができる。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１と図２を参
照して説明する。図１に示すこの発明の高調波発生装置
はたとえばＹＡＧレ−ザからなるレ−ザ光源１１を有す
る。このレ−ザ光源１１から出射した基本波レ−ザ光Ｌ
の光路上には第１のホルダ１２が回転中心軸を上記レ−
ザ光Ｌの光軸に一致させ、かつ第１の軸受１２ａによっ
て回転自在に支持されて設けられている。この第１のホ
ルダ１２の内部には第１の光学手段としての第１の平行
平面板１３が上記レ−ザ光Ｌの光軸Ｏに対して所定の角
度αで傾斜して保持されている。この第１の平行平面板
１３は石英やガラスなどのレ−ザ光Ｌを透過する材料に
よって形成されている。
照して説明する。図１に示すこの発明の高調波発生装置
はたとえばＹＡＧレ−ザからなるレ−ザ光源１１を有す
る。このレ−ザ光源１１から出射した基本波レ−ザ光Ｌ
の光路上には第１のホルダ１２が回転中心軸を上記レ−
ザ光Ｌの光軸に一致させ、かつ第１の軸受１２ａによっ
て回転自在に支持されて設けられている。この第１のホ
ルダ１２の内部には第１の光学手段としての第１の平行
平面板１３が上記レ−ザ光Ｌの光軸Ｏに対して所定の角
度αで傾斜して保持されている。この第１の平行平面板
１３は石英やガラスなどのレ−ザ光Ｌを透過する材料に
よって形成されている。
【００１５】したがって、上記第１の平行平面板１３に
入射したレ−ザ光Ｌは、その傾き角度αに応じて屈折
し、レ−ザ光Ｌの光軸Ｏに対して平行に変位して出射す
る。このときのレ−ザ光Ｌの上記光軸Ｏに対する変位量
をｄとし、変位したレ−ザ光Ｌの光軸をＯ1 とする。
入射したレ−ザ光Ｌは、その傾き角度αに応じて屈折
し、レ−ザ光Ｌの光軸Ｏに対して平行に変位して出射す
る。このときのレ−ザ光Ｌの上記光軸Ｏに対する変位量
をｄとし、変位したレ−ザ光Ｌの光軸をＯ1 とする。
【００１６】上記第１のホルダ１２の外周面には第１の
ベルト溝１２ｂが形成されている。この第１のベルト溝
１２ｂには無端状の第１のベルト１４の一端部が係合さ
れている。この第１のベルト１４の他端部は第１の駆動
プ−リ１５に係合されている。この第１のプ−リ１５は
２軸モ−タ１６の第１の駆動軸１６ａに嵌合されてい
る。したがって、上記２軸モ−タ１６が作動すれば、上
記第１のホルダ１２が回転駆動されるようになってい
る。
ベルト溝１２ｂが形成されている。この第１のベルト溝
１２ｂには無端状の第１のベルト１４の一端部が係合さ
れている。この第１のベルト１４の他端部は第１の駆動
プ−リ１５に係合されている。この第１のプ−リ１５は
２軸モ−タ１６の第１の駆動軸１６ａに嵌合されてい
る。したがって、上記２軸モ−タ１６が作動すれば、上
記第１のホルダ１２が回転駆動されるようになってい
る。
【００１７】上記第１の平行平面板１３から出射した光
軸Ｏ1 の基本波レ−ザ光Ｌは、結晶中心軸を上記第１の
平行平面板１３に入射する前のレ−ザ光Ｌの光軸Ｏ、つ
まり上記第１のホルダ１２の回転中心と一致させて形成
されたＳＨＧなどの非線形結晶１７に入射する。光軸Ｏ
1 の基本波レ−ザ光Ｌは非線形結晶１７の結晶中心Ｏか
ら径方向に距離ｄだけ離れた位置に入射する。この非線
形結晶１７は、レ−ザ光源１１から出力された基本波の
レ−ザ光Ｌを波長が２分の１の高調波レ−ザ光Ｌ´に変
換する。
軸Ｏ1 の基本波レ−ザ光Ｌは、結晶中心軸を上記第１の
平行平面板１３に入射する前のレ−ザ光Ｌの光軸Ｏ、つ
まり上記第１のホルダ１２の回転中心と一致させて形成
されたＳＨＧなどの非線形結晶１７に入射する。光軸Ｏ
1 の基本波レ−ザ光Ｌは非線形結晶１７の結晶中心Ｏか
ら径方向に距離ｄだけ離れた位置に入射する。この非線
形結晶１７は、レ−ザ光源１１から出力された基本波の
レ−ザ光Ｌを波長が２分の１の高調波レ−ザ光Ｌ´に変
換する。
【００１８】上記非線形結晶１７によって変換された高
調波レ−ザ光Ｌ´は第２のホルダ１８に所定の角度で保
持された第２の平行平面板１９に入射する。上記第２の
ホルダ１８は、上記第１のホルダ１２と回転中心を一致
させ、第２の軸受１８ａによって回転自在に保持されて
いる。
調波レ−ザ光Ｌ´は第２のホルダ１８に所定の角度で保
持された第２の平行平面板１９に入射する。上記第２の
ホルダ１８は、上記第１のホルダ１２と回転中心を一致
させ、第２の軸受１８ａによって回転自在に保持されて
いる。
【００１９】上記第２のホルダ１８の外周面には第２の
ベルト溝１８ｂが形成されている。この第２のベルト溝
１８ｂには無端状の第２のベルト２１の一端部が係合さ
れている。この第２のベルト２１の他端部は上記２軸モ
−タ１６の第２の駆動軸１６ｂに嵌合された第２のプ−
リ２２に係合している。したがって、上記２軸モ−タ１
６が作動すれば、上記第１のホルダ１２と第２のホルダ
１８とが同じ方向に同じ速度で、つまり同期して回転駆
動されるようになっている。
ベルト溝１８ｂが形成されている。この第２のベルト溝
１８ｂには無端状の第２のベルト２１の一端部が係合さ
れている。この第２のベルト２１の他端部は上記２軸モ
−タ１６の第２の駆動軸１６ｂに嵌合された第２のプ−
リ２２に係合している。したがって、上記２軸モ−タ１
６が作動すれば、上記第１のホルダ１２と第２のホルダ
１８とが同じ方向に同じ速度で、つまり同期して回転駆
動されるようになっている。
【００２０】上記第２の平行平面板１９は、厚さや屈折
率などの光学特性が上記第１の平行平面板１３と同じ条
件に設定されている。そして、この第２の平行平面板１
９は、基本波レ−ザ光Ｌの光軸Ｏに対してβの角度で傾
斜して設けられている。ここで、上記第１の平行平面板
１３の傾斜角度αと第２の平行平面板１９の傾斜角度β
とは、（β＝１８０−α）の関係に設定されている。
率などの光学特性が上記第１の平行平面板１３と同じ条
件に設定されている。そして、この第２の平行平面板１
９は、基本波レ−ザ光Ｌの光軸Ｏに対してβの角度で傾
斜して設けられている。ここで、上記第１の平行平面板
１３の傾斜角度αと第２の平行平面板１９の傾斜角度β
とは、（β＝１８０−α）の関係に設定されている。
【００２１】それによって、上記第２の平行平面板１９
に入射した高調波レ−ザ光Ｌ´は第２のホルダ１８の径
方向中心に向かって平行に屈折し、第２のホルダ１８の
回転中心と一致して出射する。つまり、高調波レ−ザ光
Ｌ´は第１の平行平面板１３による基本波レ−ザ光Ｌの
屈折方向と逆方向である、中心方向に距離ｄだけ屈折す
る。
に入射した高調波レ−ザ光Ｌ´は第２のホルダ１８の径
方向中心に向かって平行に屈折し、第２のホルダ１８の
回転中心と一致して出射する。つまり、高調波レ−ザ光
Ｌ´は第１の平行平面板１３による基本波レ−ザ光Ｌの
屈折方向と逆方向である、中心方向に距離ｄだけ屈折す
る。
【００２２】上記構成の高調波発生装置によれば、レ−
ザ光源１１を作動させてレ−ザ光Ｌを出力するととも
に、２軸モ−タ１６を作動させて第１のホルダ１２と第
２のホルダ１８とを回転駆動する。それによって、第１
のホルダ１２の第１の平行平面板１３に入射した基本波
レ−ザ光Ｌは、第１のホルダ１２の回転中心から径方向
外方へ屈折し、上記第１の平行平面板１３に入射する前
の光軸Ｏに対して変位量ｄで平行に変位する。
ザ光源１１を作動させてレ−ザ光Ｌを出力するととも
に、２軸モ−タ１６を作動させて第１のホルダ１２と第
２のホルダ１８とを回転駆動する。それによって、第１
のホルダ１２の第１の平行平面板１３に入射した基本波
レ−ザ光Ｌは、第１のホルダ１２の回転中心から径方向
外方へ屈折し、上記第１の平行平面板１３に入射する前
の光軸Ｏに対して変位量ｄで平行に変位する。
【００２３】上記第１の平行平面板１３から出射した基
本波レ−ザ光Ｌは非線形結晶１７の光学中心から径方向
外方の距離ｄの位置に入射する。ここで、基本波レ−ザ
光Ｌは高調波レ−ザ光Ｌ´に変換されて出射し、第２の
ホルダ１８の第２の平行平面板１９に入射する。
本波レ−ザ光Ｌは非線形結晶１７の光学中心から径方向
外方の距離ｄの位置に入射する。ここで、基本波レ−ザ
光Ｌは高調波レ−ザ光Ｌ´に変換されて出射し、第２の
ホルダ１８の第２の平行平面板１９に入射する。
【００２４】上記非線形結晶１７に入射する基本波レ−
ザ光Ｌは、第１のホルダ１２が回転駆動されることによ
り、図２に示すように上記非線形結晶１７の結晶中心軸
から半径ｄの位置で円運動をする。つまり、非線形結晶
１７における基本波レ−ザ光Ｌの通過箇所は一点だけに
固定されることがないから、上記非線形結晶１７が早期
に変質するのを防止することができる。
ザ光Ｌは、第１のホルダ１２が回転駆動されることによ
り、図２に示すように上記非線形結晶１７の結晶中心軸
から半径ｄの位置で円運動をする。つまり、非線形結晶
１７における基本波レ−ザ光Ｌの通過箇所は一点だけに
固定されることがないから、上記非線形結晶１７が早期
に変質するのを防止することができる。
【００２５】上記非線形結晶１７で高調波に変換された
高調波レ−ザ光Ｌ´は、上記第１のホルダ１２と同期し
て回転駆動される第２のホルダ１８の第２の平行平面板
１９に入射し、光軸を第２のホルダ１８の回転中心に一
致させて出射する。つまり、第１のホルダ１２の第１の
平行平面板１３の傾斜角度αと、第２のホルダ１８の第
２の平行平面板１９の傾斜角度βとが、（β＝１８０−
α）の関係に設定されている。そのため、非線形結晶１
７の結晶中心軸に対して径方向に変位量ｄで入射した高
調波レ−ザ光Ｌは、上記第２の平行平面板１９によって
再び元の光軸Ｏに戻される。
高調波レ−ザ光Ｌ´は、上記第１のホルダ１２と同期し
て回転駆動される第２のホルダ１８の第２の平行平面板
１９に入射し、光軸を第２のホルダ１８の回転中心に一
致させて出射する。つまり、第１のホルダ１２の第１の
平行平面板１３の傾斜角度αと、第２のホルダ１８の第
２の平行平面板１９の傾斜角度βとが、（β＝１８０−
α）の関係に設定されている。そのため、非線形結晶１
７の結晶中心軸に対して径方向に変位量ｄで入射した高
調波レ−ザ光Ｌは、上記第２の平行平面板１９によって
再び元の光軸Ｏに戻される。
【００２６】したがって、高調波に変換されて第２のホ
ルダ１８から出射するレ−ザ光Ｌ´の光軸は、第２のホ
ルダ１８の回転中心からずれることなく、常に一定であ
るから、その高調波レ−ザ光Ｌ´を種々の用途に使用し
易い。
ルダ１８から出射するレ−ザ光Ｌ´の光軸は、第２のホ
ルダ１８の回転中心からずれることなく、常に一定であ
るから、その高調波レ−ザ光Ｌ´を種々の用途に使用し
易い。
【００２７】また、上記非線形結晶１７を半径ｄで円形
走査するレ−ザ光Ｌは、その走査速度が一定である。つ
まり、非線形結晶１７に入射する基本波レ−ザ光Ｌ´は
等速度運動で走査する。したがって、非線形結晶１７は
レ−ザ光Ｌの透過により、局部的に大きく温度上昇する
のが防止されるから、自己吸収の発熱影響により変換効
率が低下するのを小さくすることができる。
走査するレ−ザ光Ｌは、その走査速度が一定である。つ
まり、非線形結晶１７に入射する基本波レ−ザ光Ｌ´は
等速度運動で走査する。したがって、非線形結晶１７は
レ−ザ光Ｌの透過により、局部的に大きく温度上昇する
のが防止されるから、自己吸収の発熱影響により変換効
率が低下するのを小さくすることができる。
【００２８】なお、この発明上記一実施例に限定され
ず、種々変形可能である。たとえば、非線形結晶に入射
する基本波レ−ザ光Ｌおよび出射する高調波レ−ザ光Ｌ
´の光軸を平行に変位させる手段としては、平行平面板
に代わり、図４（ａ）に示すように平行に対向する一対
の反射鏡３１や同図（ｂ）に示すようにプリズム３２を
用いた構成などであってもよい。
ず、種々変形可能である。たとえば、非線形結晶に入射
する基本波レ−ザ光Ｌおよび出射する高調波レ−ザ光Ｌ
´の光軸を平行に変位させる手段としては、平行平面板
に代わり、図４（ａ）に示すように平行に対向する一対
の反射鏡３１や同図（ｂ）に示すようにプリズム３２を
用いた構成などであってもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、非
線形結晶に入射するレ−ザ光を、この非線形結晶の一点
に集中入射させずにすむから、上記非線形結晶が早期に
変質するのを防止できる。また、非線形結晶に入射する
レ−ザ光を走査させたにもかかわらず、高調波レ−ザ光
を、その光軸を変化させることなく出射させることがで
きる。さらに、非線形結晶に入射するレ−ザ光は、この
非線形結晶を等速度で円形走査する。そのため、非線形
結晶の自己吸収による発熱を低く押さえることができる
から、位相整合条件のずれにより変換効率が低下するの
を抑制することができる。
線形結晶に入射するレ−ザ光を、この非線形結晶の一点
に集中入射させずにすむから、上記非線形結晶が早期に
変質するのを防止できる。また、非線形結晶に入射する
レ−ザ光を走査させたにもかかわらず、高調波レ−ザ光
を、その光軸を変化させることなく出射させることがで
きる。さらに、非線形結晶に入射するレ−ザ光は、この
非線形結晶を等速度で円形走査する。そのため、非線形
結晶の自己吸収による発熱を低く押さえることができる
から、位相整合条件のずれにより変換効率が低下するの
を抑制することができる。
【図１】この発明の一実施例の全体構成図。
【図２】同じく非線形結晶におけるレ−ザ光の走査状態
の平面図。
の平面図。
【図３】（ａ）、（ｂ）はそれぞれこの発明の他の光学
手段の説明図。
手段の説明図。
【図４】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ従来の高調波発生装
置の説明図。
置の説明図。
１２…第１のホルダ（駆動手段）、１３…第１の平行平
面板（第１の光学手段）、１６…２軸モ−タ（駆動手
段）、１７…非線形結晶、１８…第２のホルダ（駆動手
段）、１９…第２の平行平面板（第２の光学手段）。
面板（第１の光学手段）、１６…２軸モ−タ（駆動手
段）、１７…非線形結晶、１８…第２のホルダ（駆動手
段）、１９…第２の平行平面板（第２の光学手段）。
Claims (1)
- 【請求項１】 結晶中心軸と平行に入射する基本波に対
して位相整合をとって配置された非線形結晶と、上記基
本波を上記結晶中心軸に対して平行にずらして上記非線
形結晶に入射させる第１の光学手段と、上記非線形結晶
で基本波から変換された高調波を上記結晶中心軸と一致
するよう平行にずらす第２の光学手段と、上記第１の光
学手段と第２の光学手段とを上記結晶中心軸を回転中心
として同じ方向に同じ速度で回転駆動する駆動手段とを
具備したことを特徴とする高調波発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17652993A JPH0736072A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 高調波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17652993A JPH0736072A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 高調波発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0736072A true JPH0736072A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16015212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17652993A Pending JPH0736072A (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 高調波発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0736072A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008250308A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高調波発生装置、及びそれを用いた画像表示装置 |
| JP2010128119A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 波長変換光源装置及び波長変換方法 |
| JP2012509500A (ja) * | 2008-11-21 | 2012-04-19 | エオリト システム | 強力レーザビームの放射にさらされる非線形光学系の寿命を伸ばす装置及び前記装置を含む非線形光源 |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP17652993A patent/JPH0736072A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008250308A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-10-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高調波発生装置、及びそれを用いた画像表示装置 |
| US7792163B2 (en) | 2007-03-07 | 2010-09-07 | Panasonic Corporation | Harmonic generator and an image display device using the harmonic generator |
| JP2012509500A (ja) * | 2008-11-21 | 2012-04-19 | エオリト システム | 強力レーザビームの放射にさらされる非線形光学系の寿命を伸ばす装置及び前記装置を含む非線形光源 |
| US8885246B2 (en) | 2008-11-21 | 2014-11-11 | Eolite Systems | Device for extending the service life of a non-linear optical system subjected to the radiation of an intense laser beam and non-linear optical source including said device |
| JP2010128119A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 波長変換光源装置及び波長変換方法 |
| US7961378B2 (en) | 2008-11-27 | 2011-06-14 | Megaopto Co., Ltd | Wavelength conversion light source apparatus and wavelength conversion method |
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