JPH0736100U - 電子線照射装置のグリッド制御装置 - Google Patents
電子線照射装置のグリッド制御装置Info
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- JPH0736100U JPH0736100U JP7245193U JP7245193U JPH0736100U JP H0736100 U JPH0736100 U JP H0736100U JP 7245193 U JP7245193 U JP 7245193U JP 7245193 U JP7245193 U JP 7245193U JP H0736100 U JPH0736100 U JP H0736100U
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造の簡素化を図ること。
【構成】 電源タンク３の高電圧部に太陽電池２１を設
け、その正極性端子は電子線発生部のグリッド６に、負
極性端子は電子源フィラメント２に接続する。太陽電池
に対する光源２２は接地電位部に設けられており、電源
タンクの外部に設けた可調整電源２４から給電される。
光源への給電電流を制御することにより、フィラメント
に対するグリッドの電位、グリッド電圧が制御され、電
子ビーム電流を制御する。
け、その正極性端子は電子線発生部のグリッド６に、負
極性端子は電子源フィラメント２に接続する。太陽電池
に対する光源２２は接地電位部に設けられており、電源
タンクの外部に設けた可調整電源２４から給電される。
光源への給電電流を制御することにより、フィラメント
に対するグリッドの電位、グリッド電圧が制御され、電
子ビーム電流を制御する。
Description
【０００１】
本考案は、電子線照射装置の電子ビーム電流を制御するためのグリッド制御装 置に関する。
【０００２】
図２はエリアビーム型電子線照射装置における電子線発生部の構成図である。 真空チャンバ１の内部に、電子源フィラメント２が被照射物の照射幅方向に分布 して設けられており、同フィラメントは、絶縁ガスが充填された電源タンク３の 内部に設けられたフィラメント変圧器４から給電される。フィラメント２の周囲 にはシールド電極５が設けられており、同電極の電子引き出し開口部には金属メ ッシュによるグリッド６を１段あるいは図に示すように２段設け、同グリッドは シールド電極５に接続されている。
【０００３】 フィラメント１から放出された熱電子はグリッド６を通り抜け、真空チャンバ １に設けた照射窓の窓箔７を透過し、被照射物の照射領域に取り出される。シー ルド電極５及びグリッド６と、真空チャンバ１及び照射窓の窓箔７との間には、 電源タンク３に設けられた直流高電圧電源８の出力電圧が印加されており、この 電圧によってフィラメント１からの熱電子は加速された電子ビームｅ-となって 被照射物に照射される。
【０００４】 電子ビームの量、電子ビーム電流を制御するために、グリッド６にグリッド電 圧を印加する。電源タンク３に、外部電源から給電されるグリッド制御用変圧器 ９が設けられており、同変圧器の２次巻線電圧を整流器１０で整流し、グリッド ６に、フィラメント１に対し正極性のグリッド電圧を与えている。絶縁変圧器６ の１次巻線印加電圧を調節して、グリッド電圧を制御することにより、フィラメ ントからの熱電子のグリッド通過量、したがって、被照射物に与えられる電子ビ ーム電流が制御される。
【０００５】
かかるグリッド制御方式によれば、グリッド電圧を与えるために、グリッド制 御用変圧器９を要し、グリッド６は高電圧部に設けられているから、同変圧器は 高圧の絶縁が施されたものでなければならないし、グリッド電圧は直流電圧であ るから、変圧器の２次巻線電圧を整流する整流器１０を必要とする。したがって 、電源タンク３には、グリッド制御用変圧器９や整流器１０の設置スペース及び 、高圧サージからの保護手段を設置しなければならない。
【０００６】 また、グリッド制御についての他の方式としては、フィラメント変圧器４から 給電される整流回路を有する可調整電源を設けてグリッド６にグリッド電圧を印 加するものもあるが、この場合、グリッド電圧を制御するために、接地部から光 ファイバケーブルを用いて可調整電源装置に制御信号を伝送しなければならず、 かかる制御信号伝送回路は高価なものとなる。
【０００７】 本考案は、電子線照射装置のグリッド制御装置において、太陽電池を用いてグ リッド電圧を与えることにより、構造の簡素化を図ることを目的とするものであ る。
【０００８】
かかる目的を達成するために、本考案の電子線照射装置のグリッド制御装置は 、高電圧部に設けられて、フィラメントとグリッドとの間に接続された太陽電池 と、接地電位部に設けられた、前記太陽電池に対する光源とを有してなることを 特徴とするものである。
【０００９】
接地電位部に設けた光源から、高電圧部に設けられた太陽電池に光を与えるこ とにより、グリッドに電圧が与えられる。光源の発光量を制御することによりグ リッド電圧は制御される。
【００１０】
本考案の実施例について図面を参照して説明する。図１は実施例の構成図であ り、図２と同一符号は同等部分を示す。電源タンク３の高電圧部に太陽電池２１ が設けられており、同電池の正極性端子はグリッド６に、負極性端子はフィラメ ント２に接続する。太陽電池６の光源（ランプ）２２は、同電池に対向する接地 電位部、例えば、接地電位にある電源タンク３の点検蓋に設置し、光源の周りに 反射鏡２３を設け、光の利用率を高める。太陽電池２１と、光源２２及び反射鏡 ２３との間隔、距離は、直流高電圧電源８の高電圧を絶縁できる距離を考慮して 決定され、同電源電圧が２００ｋＶの場合、１０〜１５ｃｍの距離となる。
【００１１】 光源２２は電源タンク３の外部に設けた例えば整流型可調整電源２４から給電 され、光源への給電電流を制御することにより、太陽電池２１への光量が制御さ れ、フィラメント２に対するグリッド６の電位、グリッド電圧が制御される。
【００１２】 太陽電池２１の大きさ、必要とする光量等について、以下、簡単に説明する。 １．電子線照射装置の定格 加速電圧 ２００ｋｖ 電子ビーム電流 ２０ｍＡ ２．グリッド回路の定格 最大グリッド電圧 １１０Ｖ 最大グリッド電流 ２０ｍＡ ３．太陽電池 使用する太陽電池セル 種別 多結晶Ｓｉ 最大発生電力 ０．４７Ｖ×３０ｍＡ／ｃｍ2＝１４．１ｍＷ／ｃｍ2 変換効率 １４．２％ 太陽電池の大きさ セルの最大電流３０ｍＡ＞グリッド最大電流２０ｍＡであるから、 セル使用枚数 １１０Ｖ÷０．４７Ｖ≒２３５枚（ｃｍ2） したがって、２３５枚のセルを全体として円形になるように配置すると、 およそ直径１９ｃｍの円盤内に収まる。 光量 １１０Ｖ×２０ｍＡ＝２．２Ｗを発生するのに必要な光エネルギーは変換 効率を考慮すると、 ２．２Ｗ÷０．１４２＝１５．５≒１６Ｗ 光の最小仕事当量は６８０ｌｍ／Ｗであるから、 光量は、１６Ｗ×６８０ｌｍ／Ｗ＝１０８８０ｌｍとなる。 したがって、余裕をみて、この値以上の光量が得られる光源２２を用いれ ばよい。
【００１３】
本考案は、以上説明したように構成したので、電源タンク内には、接地電位部 の光源と高電圧部の太陽電池を絶縁距離をおいて設置すれば良く、太陽電池は薄 型のものであるから設置スペースの制約を受けずに済み、従来装置と比べて、高 電圧部におけるグリッド電圧印加回路の構成が極めて簡素化されると共に、電源 タンク内の構造も簡素化され、安価に構成することができる。
【図１】実施例の構成図である。
【図２】従来装置の構成図である。
１ 真空チャンバ ２ フィラメント ３ 電源タンク ４ フィラメント変圧器 ５ シールド電極 ６ グリッド ７ 窓箔 ８ 直流高電圧電源 ２１ 太陽電池 ２２ 光源 ２３ 反射鏡 ２４ 可調整電源
Claims (1)
- 【請求項１】 高電圧部に設けられて、フィラメントと
グリッドとの間に接続された太陽電池と、接地電位部に
設けられた、前記太陽電池に対する光源とを有してなる
ことを特徴とする電子線照射装置のビーム電流制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245193U JPH0736100U (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 電子線照射装置のグリッド制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7245193U JPH0736100U (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 電子線照射装置のグリッド制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0736100U true JPH0736100U (ja) | 1995-07-04 |
Family
ID=13489680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7245193U Pending JPH0736100U (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 電子線照射装置のグリッド制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0736100U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015040906A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP7245193U patent/JPH0736100U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015040906A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
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