JPH0736326B2 - イオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメ−タ - Google Patents

イオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメ−タ

Info

Publication number
JPH0736326B2
JPH0736326B2 JP61252787A JP25278786A JPH0736326B2 JP H0736326 B2 JPH0736326 B2 JP H0736326B2 JP 61252787 A JP61252787 A JP 61252787A JP 25278786 A JP25278786 A JP 25278786A JP H0736326 B2 JPH0736326 B2 JP H0736326B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
potential
cyclotron resonance
magnetic field
ion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61252787A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62103955A (ja
Inventor
ハンスペーター・ケラーハルス
Original Assignee
スペクトロシユピン・ア−ゲ−
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by スペクトロシユピン・ア−ゲ− filed Critical スペクトロシユピン・ア−ゲ−
Publication of JPS62103955A publication Critical patent/JPS62103955A/ja
Publication of JPH0736326B2 publication Critical patent/JPH0736326B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/20—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance
    • G01R33/64—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance using cyclotron resonance
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34—Dynamic spectrometers
    • H01J49/36—Radio frequency spectrometers, e.g. Bennett-type spectrometers, Redhead-type spectrometers
    • H01J49/38—Omegatrons ; using ion cyclotron resonance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、所定の領域内で一様である一定の磁場を発生
する磁石装置と、該磁場内に配置され且つ対応する電位
が印加された時にイオントラップを形成する電極を有す
る２つの室であって、前記磁場の方向に対して垂直に延
び且つ小さな開口を有する共通の隔壁によって互いに分
離されていると共に前記２つの室内に異なる真空状態が
作られるようにするポンプ手段に接続された２つの室と
を有し、さらに、前記２つの室のうち低真空にされ得る
第１の室に接続されたイオン化手段と、前記２つの室の
うち高真空にされ得る第２の室の接続された送受信手段
と、及び前記イオンが前記夫々のイオントラップで捕え
られ又は前記２つの室の間で分配可能に開放されること
を選択的に行なわせる電位を前記電極に印加する電源と
を備えるイオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメー
タに関する。
（従来技術及びその問題点） この種のイオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメー
タは、発行された“ESN European Spectroscopy News",
58,（1985）の16頁から18頁に、アール・エル・セッテ
ィーネ氏等による論文中で既に記載されている。この公
知のスペクトロメータの場合には、前記２つの室は、前
記磁場の一様な領域内で互いに直接並んで配置されてお
り且つ隔壁を有しているだけでなく、該隔壁に平行に延
びる前記電極内に設けられ、電子ビームが前記２つの室
を通るように方向づけする小さな孔又は窓をも有してい
る。この過程の間、より低い真空となっている前記第１
の室内で作られるイオンの数は、より高い真空となって
おり従ってガス濃度がはるかに低い前記第２の室内で作
られるものよりはるかに多い。例えば、そのガス圧力
は、前記第１の室内では約10-5hPaで、前記第２の室で
は約10-8乃至10-9hPaである。
従って、ガスのイオン化は、前記第１の室内においては
前記第２の室内におけるよりも100から1000倍高くな
る。前記両室は磁場の一様な領域内に配置されているの
で、このようして作られた前記イオンは、その熱エネル
ギーにより円形のサイクロトロン通路に沿った前記磁場
に垂直に動いている間、前記磁場の方向に自由に動き、
従ってより高い圧力となっている前記室からより低い圧
力となっている前記室へと自由に移動する。このように
して、前記イオンが前記２つの室に亘って均一に分布さ
れ、これによって第２の室内で利用できる前記イオンの
数は、ガスの単なる励起によってこの室内で作られ得る
数よりもはるかに多い。
上記公知の装置の欠点は、利用できるスペースが限られ
ていること及び磁場の影響によって、前記２つの室が、
異なるイオン化方法を適用する場合に対して容易には適
合しない磁場の一様な部分内に配置されているという点
にある。前記イオン化手段を前記磁場内で利用できる限
られたスペースに適合させる際には、分析目的のために
用いられる室の特性を損なわないように注意しなければ
ならい。
従来技術の一部を成す西ドイツ特許出願第P35 15 766.6
号により、例えば、前記磁場の外側でイオンを作り且つ
該イオンをその後１つのイオンビームの形で磁場内に配
置された分析用の室内へと送ることが知られている。該
イオンは、測定用の室が差動ポンプにより約10-8程度の
より低い圧力に維持されている間に、10-5hPa程度の通
常の高真空のもとで全ての公知の方法によって作られ得
る。しかしながら、この公知の方法は、前記イオンの伝
達効率が比較的に低いために依然として問題がある。加
えて、前記イオン送りに必要な装置入力が比較的複雑で
あり且つ該装置入力は前記測定用の室内へ前記イオンを
導入することを保証するためには非常に高い精度で調節
されなければならない。上記装置の他の欠点は、前記測
定過程の間に作られる前記イオン自体を蓄積することが
できないという点にある。
“Proc.31.Annu.Conf.Mass Spectrom.Allied Top,1983,
Boston"においてアール・ティー・マクアイヴァ氏等に
よって記述されているように、４極部材を用いて外部で
作られたイオンを前記測定用の室内へ送ることは、より
一層複雑である。加えて、期待できる前記伝達効率が低
い。
（発明の目的） 本発明は、このような従来の問題点に着目してなされた
もので、イオンを簡単な装置で且つ希望するどのような
方法によっても作ることができるイオン・サイクロトロ
ン共鳴のスペクトロメータを提供することを目的として
いる。
（発明の構成） かかる目的を達成するための本発明の要旨は、空間部を
画成し且つ該空間部内で一様である一定の磁場を発生す
る磁石手段と、該磁場内に配置され且つ対応する電位が
印加された時に夫々イオントラップを形成する電極を有
する２つの室であって、前記磁場の方向に対して垂直に
延び且つ小さな開口を有する共通の隔壁によって互いに
分離されていると共に前記２つの室内に異なる真空状態
が作られるようにするポンプ手段に接続された２つの室
と、前記２つの室のうちより低い真空にされ得る第１の
室に接続されたイオン化手段と、前記２つの室のうちよ
り高い真空にされ得る第２の室に接続された送受信手段
と、及び前記イオンが前記夫々のイオントラップで捕え
られ又は前記２つの室の間で分配可能に開放されること
を選択的に行なわせる電位を前記電極に供給する電源と
を備えるイオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメー
タにおいて、前記第１の室は、前記磁石手段により画成
される前記空間部から突出した部分を有し、該部分は前
記磁石手段の漂遊磁場の領域内に配置され、且つ前記イ
オン化手段が前記第１の室の前記部分に接続されている
ことを特徴とするイオン・サイクロトロン共鳴のスペク
トロメータに存する。
（実施例） 以下、図面に基づいて本発明の各実施例を説明する。な
お、明細書及び図面から導かれる本発明の特徴は、本発
明の他の実施例に単独で又は希望するどのような組合せ
によっても実施可能である。
図に示されたイオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロ
メータは、超電導コイル１及び該超電導コイル１を囲繞
するケース（Dewar）２から成る磁石装置を備えてい
る。超電導コイル１及びケース２によって囲繞される円
筒状の中空スペースには、一端が閉じており且つ、その
他端にフランジ４が形成された管３が挿通しており、該
フランジ４は、管３内に超電導コイル１の長手方向の中
心付近まで同心的に突入した別の管６のフランジ５と緊
密に結合されている。該フランジ５の外側端部には、前
記管６及び３の径よりも大径の別の管７が接続されてい
る。管６及び７は、管７の領域内で前記磁石装置の外側
に配置され且つ真空ポンプ10との接続部を形成する側部
接続管部９が設けられた第１の室８を形成している。真
空ポンプ10は、圧力が約10-5hPaの通常の高真空を作る
ようにされている。同様に、フランジ４を有する管３
は、ケース２の外側にあり、ポンプ13に接続するための
接続管部12が設けられた第２の室11を形成している。ポ
ンプ13は、圧力が約10-8hPaの超高真空を発生するよう
にされている。前記２つの室８及び11は、第１の室８の
管６を閉じる端壁15に設けられた小開口14を介して連通
している。
端壁15とは反対側にある第１の室８の端部、すなわち管
７の底部16近傍には、適度に加熱された時に電子を発す
るフィラメント17が設けられている。加速格子18を用い
ることによって、電子は隣接したイオン化領域19に向け
られ、該領域では電子が第１の室８内に含まれるガス分
子に衝突する。測定されるガスは、例えば、矢印20及び
管部21によってのみ概略的に図に示された流入手段を介
して供給される。
第１の室８は、多数の電位格子22,23,24を含み、該電位
格子は軸方向に順に配置され且つ該電位格子と対応する
数の線から成るケーブル25を介して電源26に接続されて
いる。電源26は、前記電位格子に互いに異なる電圧を印
加する。
同様に、第２の室11は、２つの電位格子27を含み、該電
位格子は第１の室８の端壁15から比較的近い位置に配置
され且つ対応するケーブル28を介して前記電源26に電気
的に導通するように接続されている。電位格子27の一方
と第１の室８の端壁15との間には、ケーブル28の一本を
介して電源26に同様に接続された遮蔽格子29が配置され
ている。第１の室８の端壁15に隣接する電極24と第２の
室11内にある２つの電極27との間の領域内には、管軸に
平行に延び且つ夫々ケーブル32及び33を介して高周波発
電機（rf発電機）34の各１つの出力と接続された電極30
及び31が設けられている。電位格子27は、電極31と共に
イオン・サイクロトロン共鳴の測定用の室を形成してい
る。該測定用の室は、電磁コイル１の磁場が非常に一様
である前記磁石の中心部に配置されている。電極30によ
って画成される第１の室８の一部は、超電導コイル１
内、すなわち、良好な一様性を示す磁場領域内に配置さ
れ、これにより、該電極を通過する適当なサイクロトロ
ン周波数の放射によって望ましくないイオンが選択的に
除去されるようにする。第１の室８の大部分が前記磁石
装置の漂遊磁場の領域内にのみあるので、管７を囲む２
つの付加的な電磁コイル35が第１の室８内に設けられた
イオン化領域19の両側に配置されている。該２つの電磁
コイル35によって作られる磁場は、前記イオン化領域内
において適度な強さ及び一様性を持っているが、該強さ
は作られたイオンをサイクロトロン通路に沿って移動さ
せ且つ第１の室８の所定部分内に前記イオンを保持して
おくのに十分な大きさである 以下、作用を説明する。
前記流入手段20を用いることによってイオン化領域19内
に導入された物質は、フィラメント17によって作られた
電子に衝突させることによりイオン化され且つ加速格子
18によって加速される。この過程は、ポンプ10により作
られる約10-5hPaの領域内にある通常の高真空中で起こ
る。適当な電位を電位格子22,23に加えることにより、
前記発生したイオンがイオントラップに類似する方法で
前記イオン化領域内に保持される。前記電源26の相応す
る調整、可能ならプログラム化された調整により電位格
子23に印加される電位を変えることによって、２つの電
位格子22,23により画成され且つ電磁コイル１内にある
第１の室８の端部に向かっていくつかの連続する電位格
子を越えて延びる領域を含む前記イオントラップを変位
させることが可能である。これに関連して、最初に前記
第１の室８の全部が１つのイオントラップを形成しもっ
て第１の室８内に含まれる全ガスのかなりの部分がガス
分子及びイオンの移動によりイオン化されるようにした
り、又その後前記電位を変えることにより第１の室８の
底部16に隣接する電位格子22によって最初に形成される
イオントラップの端部を電磁コイル１の内側にある該室
の端部に向けて徐々に変位させ、最終的には全てのイオ
ンが該端部近傍に集められるようにすることも考え得
る。全てのイオンが端壁15に隣接する電位格子24間にあ
る時、該イオンは、高周波発電機34によって供給される
電圧を印加することにより、電極30の働きによって選択
され得る。該選択されたイオンは、電位格子24及び27の
電位を対応して変えることによって、第２の室11内の電
位格子27により画成される空間に移送される。該空間
は、前記選択されたイオンが電極31によって共鳴するよ
うに励起され得る第２のイオントラップを形成する。詳
細には示されていない他の電極は、共鳴信号を受けるた
めに用いることができる。ここで、電極31及び図示しな
い他の電極が特許請求の範囲第１項の「送受信手段」に
対応する。
イオン化領域は前記磁石装置1,2の外側に配置され、且
つそれ故にいかなるタイプのイオン化装置も自由に近接
可能なので、図で示されたスペクトロメータが、いかな
る物質も領域19内においていかなる方法によってもイオ
ン化されるようにすることができるということは明らか
である。電位格子22,23,24によって形成されるイオント
ラップの範囲を移すことによって、発生したイオンが第
１の室８からイオン・サイクロトロンの共鳴が正確に決
定される前記第２の室11に移送され得る。この過程の
間、前記イオンは最も高い一様性を示す前記磁石装置1,
2の所にあり、且つその大部分は超真空内にあり、これ
によって、非常に良い感度と同時に非常に良い解像力が
得られる。前記遮蔽格子29に適当な電位を印加すること
によって、電位格子27によって範囲が制限される第２の
室11内のイオントラップを、イオン化を実行すべく作用
する第１の室８からなお発生している影響から遮断する
ことが可能である。それ故に、図示されたスペクトロメ
ータは、第１の室８内で新しい試料をイオン化し、この
ように発生したイオンを蓄積し、必要ならば、測定過程
が第２の室11内で実行されている間に、前記磁石コイル
１内の領域24,30において前記イオンを選択することさ
えも可能である。その結果、図示されたスペクトロメー
タは、他の場合に必要とされる測定時間を短縮すること
を可能にできる。
本発明は上記詳述した実施例に限定されるものではな
く、本発明の範囲を逸脱することなく実施例を変更でき
るということは明らかである。電子銃を用いる代りに、
例えば、いかなるタイプの物質でもイオン化されるよう
にサンプル物質をイオン化するための他の手段を用いる
ことも可能である。さらに、前記室の構造、前記電位格
子及びその中に配置されている電極の構造を図示された
実施例と異なったものにすることは可能であり、このよ
うな場合としては、全く異なった形状の鉄の磁石が低温
磁石（a cryomagnet）の代りに用いられる場合である。
本発明に係るスペクトロメータによれば、前記第１の室
内に含まれるガスを非常に効率的にイオン化することが
可能となる。前記両室の形状によって、上記公知のスペ
クトロメータの場合と同様に、イオンが前記２つの室に
一様に分布するように一体のものとして両室が作用する
ようにさせることが可能である。前記２つの室の大きさ
の割合に応じて、作られたイオンの少ない部分だけがよ
り小さい測定用の室に入いる間に、より高い圧力のもと
におけるガスのより大きい割合に応じて、イオン化段階
の間により多くの数のイオンを作ることも可能であり、
これにより上記従来の測定用の室内で得られるイオン濃
度と比べて実質的な損失がないようにされる。イオン化
段階の間、全ての室は１つのイオントラップとして作用
する。従って、磁石装置の外側に配置された第１の室の
部分は、該室に印加された電位と協働してイオンが前記
両室内に捕えられることを保証する或る磁場の影響をも
うけるようにしなければならない。この目的を満たすの
に前記漂流磁場が不十分である場合には、前記磁石装置
の外側に配置された第１の室の部分を、付加的な磁石の
磁場が届く領域内に配してもよい。上記付加的な磁石
は、大きい強さ又は特に優れた一様性を持つ磁場を作る
必要のないので低コストで作ることができ且つ前記イオ
ン化過程に緩衝しないように配置することができる。
本発明の他の実施例によれば、多数の格子を第１の室内
で前記隔壁に平行に配置し且つ前記イオントラップが、
前記格子によって画成される第１の室の複数の部分によ
って形成され且つ第１の室に沿って前記磁石装置の外側
にある領域から前記隔壁に向かって、必要ならば該隔壁
を越えるように変位出来るように、前記格子に印加され
る電位を制御する手段を含む電源と電気的に導通するよ
うに接続することができる。このようにして、作られた
イオンを第１の室に沿って移動し且つ該イオンのほとん
ど全てを第２の室に送ることが可能であり、もって非常
に高い伝達効率が保証される。それ故に、本発明に係る
スペクトロメータのこのような変形によって、超高真空
条件のもとでこれまで不可能とされていたイオン濃度を
得ることが可能である。これによって、このようなスペ
クトロメータの感度及び解像力の格段の向上が可能とな
る。
本発明の他の実施例によれば、前記隔壁に平行に配置さ
れ、前記電源と電気的に導通するように接続された多数
の格子を、前記イオントラップを前記隔壁に隣接する第
２の室の一部分に制限するように、第２の室に配置する
ことも可能である。該第２の室は、この場合にはイオン
・サイクロトロン共鳴のスペクトロメータに関して最も
望ましく設計されている前記測定用の室を形成する前記
イオントラップを収容する真空容器を実質的に表してい
る。この配置によれば、前記隔壁と、前記第２の室のイ
オントラップの限界を定め且つ該隔壁に隣接して配置さ
れる格子との間に遮蔽格子を配置することが可能であ
る。このような遮蔽格子の作用によって、十分な高電位
を印加することによって前記２つの室を電気的に分離す
ることが可能となり、その結果、第１の室内に含まれる
ガスは難なくその中でイオン化され、一方イオン・サイ
クロトロン共鳴の測定は第２の室内で実行される。前記
遮蔽格子の設計及びそこに印加される電位を選択するこ
とによって、イオン化に用いられる電子又はイオンビー
ムが前記測定室に入らないようにすることを確実にする
ことができる。
本発明の好ましい実施例によれば、イオン・サイクロト
ロン共鳴を作り出すのに適する交流磁場を発生するため
の磁場に平行に配置された電極が、少なくとも２つの隣
接する格子の間で前記第１の室及び／又は第２の室内に
配置可能である。このようにして、前記磁石装置によっ
て作られる磁場の一様な領域内にあり、且つイオン・サ
イクロトロン共鳴が所定の質量／電荷の比を得るために
発生され得る領域を第１の室内においても得ることが可
能となる。このスペクトロメータによって、上述したよ
うな方法で前記測定用の室に送られ得るイオンを選択す
ることができる。
（発明の効果） 本発明に係るイオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロ
メータによれば、第１の室は磁石手段の漂遊磁場の領域
内に配置された部分を有し、且つイオン化手段が前記第
１の室の前記部分に接続されている構成により、より高
い真空となっており且つ前記イオン化手段が接続されて
いる前記第１の室は、望まれるいかなるイオン化装置を
も近接させることができる、前記磁石手段の外側の領域
内へと延びるような大きさであり、前記イオン化装置は
前記磁石手段の外側に配置された部品によって著しい影
響をうけないので、該イオン化装置を、スペース的要求
に関する著しい制限なしに且つ測定に要求される一様な
磁場に対して考慮せずに据え付けることができる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例に係るスペクトロメータを示す概
略図である。 1,2……磁石手段、１……超電導コイル、２……ケー
ス、８……第１の室、10……ポンプ手段、11……第２の
室、13……ポンプ手段、14……小さな開口、15……隔
壁、17……フィラメント（イオン化手段）、19……イオ
ン化領域（イオン化手段）、31……送受信手段、26……
電源、34……高周波発電機（rf発電機）。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】空間部を画成し且つ該空間部内で一様であ
    る一定の磁場を発生する磁石手段と、該磁場内に配置さ
    れ且つ対応する電位が印加された時に夫々イオントラッ
    プを形成する電極を有する２つの室であって、前記磁場
    の方向に対して垂直に延び且つ小さな開口を有する共通
    の隔壁によって互いに分離されていると共に前記２つの
    室内に異なる真空状態が作られるようにするポンプ手段
    に接続された２つの室と、前記２つの室のうちより低い
    真空にされ得る第１の室に接続されたイオン化手段と、
    前記２つの室のうちより高い真空にされ得る第２の室に
    接続された送受信手段と、及び前記イオンが前記夫々の
    イオントラップで捕えられ又は前記２つの室の間で分配
    可能に開放されることを選択的に行なわせる電位を前記
    電極に供給する電源とを備えるイオン・サイクロトロン
    共鳴のスペクトロメータにおいて、 前記第１の室は、前記磁石手段により画成される前記空
    間部から突出した部分を有し、該部分は前記磁石手段の
    漂遊磁場の領域内に配置され、且つ前記イオン化手段が
    前記第１の室の前記部分に接続されていることを特徴と
    するイオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメータ。
  2. 【請求項２】前記磁石手段により画成される前記空間部
    の外側に配置された前記第１の室の前記部分が、付加的
    な磁石の磁場内に配置されていることを特徴とする特許
    請求の範囲第１項に記載のイオン・サイクロトロン共鳴
    のスペクトロメータ。
  3. 【請求項３】多数の電位格子が前記第１の室内で前記隔
    壁に平行に配置され且つ前記電源に電気的に接続されて
    おり、該電源は、前記イオントラップが前記電位格子に
    より画成される第１の室の複数の部分により形成され且
    つ前記第１の室に沿って前記磁石手段の外側にある領域
    から前記隔壁に向かって変位し得るように、前記電位格
    子に印加される電位を制御する制御手段を含むことを特
    徴とする特許請求の範囲第１項に記載のイオン・サイク
    ロトロン共鳴のスペクトロメータ。
  4. 【請求項４】イオン・サイクロトロン共鳴を励起するの
    に適する交流磁場を発生する電極が、少なくとも、２つ
    の隣接する電位格子間で前記磁場に平行に配置されてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載のイオ
    ン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメータ。
  5. 【請求項５】前記第２の室内には多数の電位格子が前記
    隔壁に平行に配置され且つ前記電源に電気的に接続され
    ており、該電源は、前記イオントラップの範囲を前記隔
    壁に隣接する前記第２の室の一部分の所で終らせること
    を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のイオン・サ
    イクロトロン共鳴のスペクトロメータ。
  6. 【請求項６】遮蔽電極が、前記隔壁と、前記第２の室の
    前記イオントラップの範囲を定め且つ前記隔壁に隣接す
    る前記電位格子との間に配置されていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第５項に記載のイオン・サイクロトロ
    ン共鳴のスペクトロメータ。
  7. 【請求項７】前記制御手段は、前記イオントラップが前
    記隔壁を越えて変位し得るように、前記電位格子に印加
    される電位を制御することを特徴とする特許請求の範囲
    第３項に記載のイオン・サイクロトロン共鳴のスペクト
    ロメータ。
JP61252787A 1985-10-29 1986-10-22 イオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメ−タ Expired - Lifetime JPH0736326B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3538407.7 1985-10-29
DE19853538407 DE3538407A1 (de) 1985-10-29 1985-10-29 Ionen-zyklotron-resonanz-spektrometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62103955A JPS62103955A (ja) 1987-05-14
JPH0736326B2 true JPH0736326B2 (ja) 1995-04-19

Family

ID=6284711

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61252787A Expired - Lifetime JPH0736326B2 (ja) 1985-10-29 1986-10-22 イオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメ−タ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4746802A (ja)
EP (1) EP0221339B1 (ja)
JP (1) JPH0736326B2 (ja)
DE (2) DE3538407A1 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3733853A1 (de) * 1987-10-07 1989-04-27 Spectrospin Ag Verfahren zum einbringen von ionen in die ionenfalle eines ionen-zyklotron-resonanz-spektrometers und zur durchfuehrung des verfahrens ausgebildetes ionen-zyklotron-resonanz-spektrometers
US4990775A (en) * 1988-06-06 1991-02-05 University Of Delaware Resolution improvement in an ion cyclotron resonance mass spectrometer
DE3821998A1 (de) * 1988-06-30 1990-01-04 Spectrospin Ag Icr-ionenfalle
US5006706A (en) * 1989-05-31 1991-04-09 Clemson University Analytical method and apparatus
WO1992012529A1 (en) * 1991-01-05 1992-07-23 Thorn Emi Plc Mass-spectrometer
US5412207A (en) * 1993-10-07 1995-05-02 Marquette Electronics, Inc. Method and apparatus for analyzing a gas sample
DE19860099A1 (de) 1998-12-23 2000-07-06 Voith Sulzer Papiertech Patent Preßmantel und Verfahren zur Herstellung
US8334506B2 (en) 2007-12-10 2012-12-18 1St Detect Corporation End cap voltage control of ion traps
US7973277B2 (en) 2008-05-27 2011-07-05 1St Detect Corporation Driving a mass spectrometer ion trap or mass filter
DE102014226038A1 (de) * 2014-12-16 2016-06-16 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Druckreduzierungseinrichtung, Vorrichtung zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases und Reinigungsverfahren

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE331136C (de) * 1919-11-22 1920-12-31 Alfred Deuber In seinem Gewicht veraenderliches Buegeleisen
US3535512A (en) * 1966-07-21 1970-10-20 Varian Associates Double resonance ion cyclotron mass spectrometer for studying ion-molecule reactions
US3937955A (en) * 1974-10-15 1976-02-10 Nicolet Technology Corporation Fourier transform ion cyclotron resonance spectroscopy method and apparatus
US4315149A (en) * 1980-05-23 1982-02-09 The Board Of Regents Of The University Of Nebraska Mass spectrometer
US4535235A (en) * 1983-05-06 1985-08-13 Finnigan Corporation Apparatus and method for injection of ions into an ion cyclotron resonance cell
DE3331136A1 (de) * 1983-08-30 1985-03-07 Spectrospin AG, Fällanden, Zürich Verfahren zur aufnahme von ionen-zyklotron-resonanz-spektren und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US4686365A (en) * 1984-12-24 1987-08-11 American Cyanamid Company Fourier transform ion cyclothon resonance mass spectrometer with spatially separated sources and detector
DE3515766A1 (de) * 1985-05-02 1986-11-06 Spectrospin AG, Fällanden, Zürich Ionen-zyklotron-resonanz-spektrometer

Also Published As

Publication number Publication date
DE3538407A1 (de) 1987-04-30
EP0221339A1 (de) 1987-05-13
EP0221339B1 (de) 1989-02-01
JPS62103955A (ja) 1987-05-14
US4746802A (en) 1988-05-24
DE3662017D1 (en) 1989-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7309860B2 (en) Mass spectrometer
US7060987B2 (en) Electron ionization source for othogonal acceleration time-of-flight mass spectrometry
JP4384542B2 (ja) 質量分析装置
EP2006882B1 (en) Ionizing device
US8314384B2 (en) Mixed radio frequency multipole rod system as ion reactor
US7858930B2 (en) Ion-trapping devices providing shaped radial electric field
EP0162649A2 (en) Ion cyclotron resonance spectrometer
KR101983293B1 (ko) 고성능 축방향 전자충돌 이온원
US8946625B2 (en) Introduction of ions into a magnetic field
JPS6084753A (ja) イオンサイクロトロン共振スペクトルを記録する方法および装置
US4988869A (en) Method and apparatus for electron-induced dissociation of molecular species
JPH0736326B2 (ja) イオン・サイクロトロン共鳴のスペクトロメ−タ
US7368711B2 (en) Measuring cell for ion cyclotron resonance mass spectrometer
US4105917A (en) Method and apparatus for mass spectrometric analysis at ultra-low pressures
Limbach et al. An electrostatic ion guide for efficient transmission of low energy externally formed ions into a Fourier transform ion cyclotron resonance mass spectrometer
RU2338295C1 (ru) Электронный магнитный спектрометр
US6617771B2 (en) Electron ionization ion source
US3505516A (en) Ion cyclotron resonance spectrometer employing an optically transparent ion collecting electrode
JPH09270234A (ja) チャンバ挿入型ｅｃｒ低エネルギ−イオン銃
US4668864A (en) Mass spectrometer
CN113013015B (zh) 对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量
Rausch Development, design and construction of a measuring station for momentum spectrometry of low-energy particle sources
Møller The Storage Ring/Synchrotron ASTRID

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term