JPH0737965A - 電子部品の真空吸着金具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】廻り止め機構付外筒６とスプライン軸７の組合
わせ品を主部品とし、スプリング３及び吸着パッド４で
構成されるスプライン軸７は中空化しその中空部を真空
ライン８として使用しコンパクトにまとめ更に先端部を
おねじ９にすることにより吸着パッド４及び吸着部品等
が脱着できるようになっていた。また、スプリング３を
組み込むことによりスプライン軸７の上下動のアジャス
ト機構を持たせている。 【効果】軸回転方向のがたのない正確な位置決め機構部
品として、かつ高寿命の部品として提供でき、スプライ
ン軸の中空部を真空ラインとしているのでコンパクトに
することができる。また、スプライン軸の先端部ねじ化
により多品種多形状の吸着部品を接続することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の吸着及び離
脱動作を行う装置の機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空吸着金具（パッド）の構造を
図３と図４に示す。

【０００３】本構造は、六角シャフト１と六角孔付きハ
ウジング２の組合せによる廻り止め機構であり金属面同
士による摺動方式となっていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、図３
と図４に示す六角シャフト１と六角孔付きハウジング２
の組合わせによる廻り止め機構であり金属面同士による
摺動方式であった。そのため、図３の断面図のように六
角シャフト１と六角孔付きハウジング２にギャップ５を
持たせ摺動させているので軸回転方向にがたが生じ、電
子部品を吸着及び離脱する際に位置ずれを発生させる欠
点があった。また、金属面同士の摺動のため摩耗が早期
に発生しやすく更にがたが大きくなり使用不可となる欠
点があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、廻り止め機構付外筒とスプライン軸の組合わせ品を
採用して軸回転方向のがたをなくした。

【０００６】スプライン軸を中空化してその中空部を真
空ライン（配管）にしてコンパクトにまとめた。

【０００７】スプライン軸の先端部をねじ形状化して吸
着部品の脱着ができ、かつ他吸着部品も接続できるよう
にした。

【０００８】

【作用】廻り止め機構付外筒６とスプライン軸７の組合
わせを採用したことにより軸回転方向のがたのない機構
となっている。それにより従来より精密な吸着及び離脱
動作が可能なため電子部品の正確な位置決めを可能とす
ることができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１と図２により説
明する。

【００１０】本発明品は、廻り止め機構付外筒６とスプ
ライン軸７の組合せ品を主部品とし、スプライン３及び
吸着パッド４で構成され、廻り止め機構付外筒６をアタ
ッチメント１３に固定することによりスプライン軸７を
上下動させることができる構造である。廻り止め機構付
外筒６とスプライン軸７の組合せ品は図２の断面図のよ
うに鋼球１０を二条列に配置し軌道溝１１と４点で接触
する構造となっている。そのため軸回転方向のがたのな
い正確な軸回転方向の位置決めが可能となっている。ま
た、低摩擦で円滑な作動となっているため高寿命となっ
ている。

【００１１】スプライン軸７は中空化しその中空部を真
空ライン８として使用している。そのため真空供給配管
１２より吸着パッド４へ直接配管する必要がないので真
空吸着金具としてコンパクトにまとめることができる。
更に、先端部をおねじ９にすることにより吸着パッド４
及び吸着部品等が脱着できるようになっている。また、
スプリング３を組み込むことによりスプライン軸７の上
下動のアジャスト機構を持たせている。

【００１２】真空吸着金具をＩＣハンドラに装着するこ
とにより従来より精密な吸着及び離脱動作が可能なため
ＩＣデバイスの正確な位置決めを可能とすることができ
る。

【００１３】

【発明の効果】本発明によれば、軸回転方向のがたのな
い正確な位置決め機構部品として提供でき、かつ高寿命
の部品としても提供できる。

【００１４】スプライン軸の中空部を真空ライン（配
管）としているので、稼働配管またはホースが不要とな
りコンパクトにすることができる。

【００１５】スプライン軸の先端部ねじ化により多品種
多形状の吸着部品を接続することができるので汎用性の
ある部品として提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空吸着金具の縦断面図。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。

【図３】従来の真空吸着金具の縦断面図。

【図４】図３のＢ−Ｂ線断面図。

【符号の説明】

３…スプリング、４…吸着パッド、６…廻り止め機構付
外筒、７…スプライン軸、８…真空ライン、９…おね
じ、１０…鋼球、１１…軌道溝、１２…真空供給配管、
１３…アタッチメント。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尾川 健男 静岡県清水市村松390番地 株式会社日立 製作所清水工場内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】廻り止め機構付外筒とスプライン軸の組合
   わせ品の採用により、軸回転方向のがたをなくしたこと
   を特徴とする電子部品の真空吸着金具。
2. 【請求項２】請求項１において、前記スプライン軸を中
   空とし、その中空部を真空ラインにしてコンパクトにま
   とめた電子部品の真空吸着金具。
3. 【請求項３】請求項１または２において、前記スプライ
   ン軸の先端部をねじ形状とし、吸着部品の脱着ができ、
   かつ他の吸着部品も接続できる電子部品の真空吸着金
   具。
4. 【請求項４】請求項１，２または３において、真空吸着
   金具を装備したＩＣハンドラ。