JPH0738610Y2 - クリーンルーム用蝶番 - Google Patents
クリーンルーム用蝶番Info
- Publication number
- JPH0738610Y2 JPH0738610Y2 JP1988024532U JP2453288U JPH0738610Y2 JP H0738610 Y2 JPH0738610 Y2 JP H0738610Y2 JP 1988024532 U JP1988024532 U JP 1988024532U JP 2453288 U JP2453288 U JP 2453288U JP H0738610 Y2 JPH0738610 Y2 JP H0738610Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hinge
- door
- clean room
- hinges
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Hinge Accessories (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は建築用扉蝶番に係り、特にクリーンルーム用に
好適な蝶番に関するものである。
好適な蝶番に関するものである。
近年半導体産業の技術革新は目ざましく、半導体製品の
特徴として高速化、大容量化に加えて高信頼性の要求が
ますます高まっている。半導体の信頼性を高めるうえで
製造工程におけるチリの存在は一番の障害となる。この
ため半導体製造工程は除塵室であるいわゆるクリーンル
ーム内に納められ、クリーンルームへの入室もエアーシ
ャワーを浴びる等してチリの侵入を極力抑えるようにし
ている。このようなクリーンルームにおいても扉の存在
は不可欠であり、扉にはいかなる形にせよ蝶番（ドアー
ヒンジ）が使用されている。蝶番は２枚の金属板が摺動
する構造になっており、扉開閉の際、極く微量ではある
が摩耗粉の発生は避けられない。この扉用蝶番の摩耗粉
の発生量を測定したところ、クリーンルーム内のチリの
量として無視しえないものであり、せっかくの除塵効果
を害していることが判明した。また、近年蝶番の開閉音
を消し、摩耗を防止する目的でポリアミド樹脂，フッ素
樹脂等の合成樹脂を使用したものが出現しているが、重
い扉を支えて開閉している限り、蝶番から摩耗粉が発生
することに変わりはない。
特徴として高速化、大容量化に加えて高信頼性の要求が
ますます高まっている。半導体の信頼性を高めるうえで
製造工程におけるチリの存在は一番の障害となる。この
ため半導体製造工程は除塵室であるいわゆるクリーンル
ーム内に納められ、クリーンルームへの入室もエアーシ
ャワーを浴びる等してチリの侵入を極力抑えるようにし
ている。このようなクリーンルームにおいても扉の存在
は不可欠であり、扉にはいかなる形にせよ蝶番（ドアー
ヒンジ）が使用されている。蝶番は２枚の金属板が摺動
する構造になっており、扉開閉の際、極く微量ではある
が摩耗粉の発生は避けられない。この扉用蝶番の摩耗粉
の発生量を測定したところ、クリーンルーム内のチリの
量として無視しえないものであり、せっかくの除塵効果
を害していることが判明した。また、近年蝶番の開閉音
を消し、摩耗を防止する目的でポリアミド樹脂，フッ素
樹脂等の合成樹脂を使用したものが出現しているが、重
い扉を支えて開閉している限り、蝶番から摩耗粉が発生
することに変わりはない。
このようにクリーンルーム用蝶番から発生する摩耗粉
は、半導体製造工程にとって無視できないものである。
は、半導体製造工程にとって無視できないものである。
本考案はクリーンルームにおいて扉の開閉に伴って蝶番
から発生する摩耗粉がクリーンルーム内に飛散するのを
防止するためのものである。
から発生する摩耗粉がクリーンルーム内に飛散するのを
防止するためのものである。
本考案では前記課題を解決するため、蝶番を可撓性のシ
ートで覆う手段を採用した。
ートで覆う手段を採用した。
すなわち、第１図に示すように蝶番全体を可撓性シート
製のカバーで覆い、扉の開閉に伴って蝶番から発生する
摩耗粉をカバーにより補集するものである。
製のカバーで覆い、扉の開閉に伴って蝶番から発生する
摩耗粉をカバーにより補集するものである。
カバーは扉の開閉に自在に追随できるよう、ビニル樹
脂，ポリアミド樹脂，ゴム等の可撓性シートで作る。こ
の際、透明であれば内部のチリの貯まる程度が監視でき
るのでなお良い。
脂，ポリアミド樹脂，ゴム等の可撓性シートで作る。こ
の際、透明であれば内部のチリの貯まる程度が監視でき
るのでなお良い。
第１図は本考案の蝶番を扉に取付けたところの外観を示
す図である。第２図は上面から見た説明図である。図に
おいて扉１は蝶番３を介して枠２に固定されており、蝶
番３を抱むようにいて可撓性シートから成るカバー４が
チャック５により扉１及び枠２に固定されている。カバ
ー４は第２図に示すように蝶番３のまわりに余裕をもっ
て取付け、扉１の開閉が自在にできるようにする。カバ
ー４には底板4aと上蓋を取付け、摩耗粉がクリーンルー
ム内に飛散しないようにする。
す図である。第２図は上面から見た説明図である。図に
おいて扉１は蝶番３を介して枠２に固定されており、蝶
番３を抱むようにいて可撓性シートから成るカバー４が
チャック５により扉１及び枠２に固定されている。カバ
ー４は第２図に示すように蝶番３のまわりに余裕をもっ
て取付け、扉１の開閉が自在にできるようにする。カバ
ー４には底板4aと上蓋を取付け、摩耗粉がクリーンルー
ム内に飛散しないようにする。
チャック５はカバー４と同質の溝式チャックあるいは、
いわゆる粘着性を有するテープ方式であっても良い。チ
ャック５によりカバー４を脱着可能とすれば、カバー４
内に摩耗粉がたまってきた時に、取外して清掃すること
ができるので都合が良い。
いわゆる粘着性を有するテープ方式であっても良い。チ
ャック５によりカバー４を脱着可能とすれば、カバー４
内に摩耗粉がたまってきた時に、取外して清掃すること
ができるので都合が良い。
容積12,700立方フィート，扉２カ所で合計６個の蝶番を
使用したクラス100のクリーンルームにおいて、従来の
蝶番と本考案の蝶番を使用した場合の発塵量を測定した
結果、従来のカバーの無い蝶番を使用していたときは平
均して95個／ft3であったダスト量が、本考案の蝶番に
変えた後は31個／ft3と約1/3に減少した。
使用したクラス100のクリーンルームにおいて、従来の
蝶番と本考案の蝶番を使用した場合の発塵量を測定した
結果、従来のカバーの無い蝶番を使用していたときは平
均して95個／ft3であったダスト量が、本考案の蝶番に
変えた後は31個／ft3と約1/3に減少した。
本考案の蝶番を使用すれば、扉開閉により発生する摩耗
による粉塵が室内に飛散するのを防止でき、クリーンル
ーム内の清掃度維持に効果が著しい。
による粉塵が室内に飛散するのを防止でき、クリーンル
ーム内の清掃度維持に効果が著しい。
第１図は本考案を示す外観図、第２図は本考案を説明す
るため上部より見た平面図である。 １……扉、２……枠、３……蝶番、４……カバー、５…
…チャック、６……取付ネジ。
るため上部より見た平面図である。 １……扉、２……枠、３……蝶番、４……カバー、５…
…チャック、６……取付ネジ。
Claims (1)
- 【請求項１】扉用の蝶番であって、扉部分及び枠部分に
カバー脱着機構を有し、該脱着機構を介して蝶番を可撓
性シートで覆ったことを特徴とするクリーンルーム用蝶
番。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988024532U JPH0738610Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | クリーンルーム用蝶番 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988024532U JPH0738610Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | クリーンルーム用蝶番 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129464U JPH01129464U (ja) | 1989-09-04 |
| JPH0738610Y2 true JPH0738610Y2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=31244459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988024532U Expired - Lifetime JPH0738610Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | クリーンルーム用蝶番 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738610Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5936298U (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-07 | 富士通株式会社 | 蝶番 |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP1988024532U patent/JPH0738610Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01129464U (ja) | 1989-09-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4384376A (en) | Shower door assembly | |
| CA2016596A1 (en) | Air filter with horizontal filter elements | |
| JPS63178958A (ja) | 防塵容器 | |
| HK76290A (en) | Manually operated cleaner | |
| JPH0738610Y2 (ja) | クリーンルーム用蝶番 | |
| JPS60160929A (ja) | 浴室ユニツト | |
| JPH08299708A (ja) | フイルタープレスにおける濾板及び濾枠 | |
| JP2890019B2 (ja) | 横引き扉のガイドレール装置 | |
| CN216701267U (zh) | 抗静电式宠物盒 | |
| CN108412249A (zh) | 旋转工作台式隔声房 | |
| CN222649802U (zh) | 一种自清洁式自动门 | |
| JPH08199935A (ja) | レール防塵機構付上吊引戸装置 | |
| CN216087301U (zh) | 一种米克重控制器防意外开启强磁机箱盖 | |
| CN222453140U (zh) | 一种卡扣安装的面板式防尘盒 | |
| CN211762938U (zh) | 一种用于树脂产品加工的热压机 | |
| JPH0648075Y2 (ja) | 防塵構造を備えたドア | |
| JPH0714590Y2 (ja) | 扉付間仕切パネル | |
| JP2699307B2 (ja) | 二重床用ボックス | |
| CN119117869B (zh) | 一种智能电梯 | |
| JPH0723173U (ja) | 溝なしレール折り戸 | |
| JPS5931916Y2 (ja) | 戸袋の開口装置 | |
| JPS5921249Y2 (ja) | エレベ−タ用ドアシュ− | |
| CN221416119U (zh) | 一种灯盘加工用打磨装置 | |
| CN212137879U (zh) | 一种声音处理播放设备 | |
| CN2234867Y (zh) | 防尘板擦 |