JPH0739254Y2 - レ−ザ−ビ−ム発振ユニツト - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の利用分野〕 本考案は、例えば、半導体ウエハーに回路パターンを焼
付けるために用いられるレテイクルやマスクなどの検査
対象物の表面に異物が付着しているか否かを検査を行う
異物検査装置のようなレーザービーム利用装置に装着さ
れるレーザービーム発振装置の改良に関する。

〔考案の背景〕

かかるレーザービーム利用装置に対するレーザービーム
発振装置の装着は、従来は、次のようにして行われてい
た。

即ち、第２図に示すように、レーザービーム利用装置側
に固定的に組付けられている円筒状装着部ａの内部空間
内に、レーザービーム発振装置としてのレーザービーム
発振器本体ｂに挿入した後で、前記円筒状装着部ａの長
手方向における２箇所の周囲に夫々複数個ずつ設けられ
た調節ネジｃ…を操作することにより、所定の方向ｄに
向かつてレーザービームｅが発振されるように、前記レ
ーザービーム発振器本体ｂの円筒状装着部ａに対する取
付け姿勢を調整する、という光軸合わせを行うようにし
ていた。

ところで、かかるレーザービーム利用装置においては、
そのレーザービーム発振源であるレーザービーム発振器
本体ｂの消耗度が比較的激しいために、そのレーザービ
ーム発振器本体ｂを頻繁に交換する必要があるが、上記
従来手段による場合には、その交換の度に、そのレーザ
ービーム利用装置側において、いちいち上記したような
面倒な光軸合わせ作業を行わねばならないため、その装
着作業には多大な手数と時間を要するのみならず、その
光軸合わせ作業は非常に高度な技術を要するもので、と
てもユーザー側のみで対処できる性質のものでは無く、
従つて、その交換の度に専門の技術者を呼ばなければな
らず、この点からも時間およびコストの両面で効率が極
めて悪い、という問題があつた。

〔考案の目的〕

本考案は、かかる従来事情に鑑みてなされたものであつ
て、その目的は、レーザービーム発振源であるレーザー
ビーム発振器本体の交換作業を、たとえ専門の技術者で
なくても、容易にしかも短時間で効率的に行えるように
せんとすることにある。

［考案の概要］ 本考案の特徴は、レーザービーム発振器と、レーザービ
ーム発振器を格納するホルダー部材と、レーザービーム
発振器の軸心とホルダー部材の軸心が合致するようにレ
ーザービーム発振器をホルダー部材内部に保持する調節
ネジと、ホルダー部材に設けられた溝と、レーザービー
ム利用装置に固定されたブロックと、ブロックに設けら
れら溝を有し、ホルダー部材の溝をブロックの溝に嵌合
したときに、ホルダー部材の軸心がレーザービーム利用
装置に対し所定の方向を向くように、ブロックを配置し
たことにある。

このように構成したことにより、一度、ブロックを適正
に配置すれば、その後、レーザービーム発振器を交換す
るときに、レーザービーム発振器の軸心とホルダー部材
の軸心を合致させれば、ホルダー部材をブロックに固定
したときに、自動的に、レーザービーム発振器の軸心が
レーザービーム利用装置に対し所望の方向を向くように
できる。

そのため、レーザービーム利用装置のレーザービーム発
振器を交換する際に、レーザービーム発振器の光軸合わ
せがきわめて簡単になり、光軸合わせのための複雑な技
術が必要なくなり、光軸合わせの手間と時間が短縮され
る。

〔考案の実施例〕

以下、本考案に係るレーザービーム発振ユニツトの具体
的実施例を図面（第１図）に基づいて説明する。

第１図において実線で示されるＡが本考案にかかるレー
ザービーム発振ユニツトであり、一方、想像線で示され
るＢがレーザービーム利用装置側に設けられているレー
ザービーム発振ユニツト装着部である。

前記レーザービーム発振ユニツトＡは、円筒部材から成
るホルダー部材１と、そのホルダー部材１内に挿入装着
されるレーザービーム発振器本体２とから構成されるも
のであり、しかも、それらホルダー部材１とレーザービ
ーム発振器本体２とは、前記レーザービーム発振ユニツ
ト装着部Ｂに取り付けられる前に、予め、一体的に組付
けられていると共に、その組付け状態において一定の方
向に（この例では、ホルダー部材１の軸芯Ｐに一致する
ように）にレーザービーム３が発振されるように、前記
ホルダー部材１の長手方向における２箇所の周囲に夫々
複数個ずつ設けられた調節ネジ４…を操作することによ
り、前記レーザービーム発振器本体２のホルダー部材１
に対する組付け姿勢を調整固定してある。

そして、前記円筒部材から成るホルダー部材１は、その
外周部の長手方向における２箇所、即ち、前記レーザー
ビーム利用装置側の装着部Ｂに支持される箇所に、形状
および寸法ならびに製作精度が一定に規格化された凹溝
5,5を備えており、任意のレーザービーム利用装置に対
して互換性を有するものに構成されている。

なお、前記レーザービーム利用装置側の装着部Ｂは、前
記レーザービーム発振ユニツト１における前記凹溝5,5
に適合する上下および前後夫々の一対のＶブロツク６…
と、その上下Ｖブロツク6,6同士を前記レーザービーム
発振ユニツト１を挟持する状態で互いに固定するための
ボルト７…から構成されている。

［考案の効果］ 以上説明したように、本考案によれば、レーザービーム
利用装置のレーザービーム発振器を交換する際に、レー
ザービーム発振器の光軸合わせがきわめて簡単になり、
光軸合わせのための複雑な技術が必要なくなり、光軸合
わせの手間と時間が短縮される、という効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案方法に係るレーザービーム発振ユニツト
の具体的実施例を示す斜視図である。 また、第２図は従来技術を説明するための斜視図であ
る。 １……ホルダー部材、２……レーザービーム発振器本
体、３……レーザービーム、５……凹溝、Ａ……レーザ
ービーム発振ユニツト、Ｂ……レーザービーム利用装置
側の装着部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 大槻 久仁夫 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (56)参考文献 特開 昭53−132294（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−68305（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザービーム発振器と、前記レーザービ
   ーム発振器を格納するホルダー部材と、前記レーザービ
   ーム発振器の軸心と前記ホルダー部材の軸心が合致する
   ように前記レーザービーム発振器を前記ホルダー部材内
   部に保持する調節ネジと、前記ホルダー部材に設けられ
   た溝と、レーザービーム利用装置に固定されたブロック
   と、前記ブロックに設けられた溝を有し、前記ホルダー
   部材の溝を前記ブロックの溝に嵌合したときに、前記ホ
   ルダー部材の軸心がレーザービーム利用装置に対し所定
   の方向を向くように、前記ブロックを配置したことを特
   徴とするレーザービーム発振ユニット。