JPH0740198A - ダブルｖ案内面の形状修正方法及び形状測定装置 - Google Patents
ダブルｖ案内面の形状修正方法及び形状測定装置Info
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- JPH0740198A JPH0740198A JP17567793A JP17567793A JPH0740198A JP H0740198 A JPH0740198 A JP H0740198A JP 17567793 A JP17567793 A JP 17567793A JP 17567793 A JP17567793 A JP 17567793A JP H0740198 A JPH0740198 A JP H0740198A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マスター転写法によらず、Ｖ形案内面の幾何
学的誤差を短時間に修正して、ダブルＶ案内面の真直度
及び平行度を高精度に達成する。 【構成】 平削加工された一対のＶ形案内面２上に移動
体１０を設置し、その片側を４個の鋼球１１を介して一
方のＶ形案内面２に支持する。移動体１０に、オートコ
リメーターの反射鏡１３、水準器１５、内側マイクロメ
ーター１６、及び外側マイクロメーター１７を搭載す
る。移動体１０をＶ形案内面２上で駆動し、オートコリ
メーターでＶ形案内面２の真直度を測定するとともに、
水準器１５及びマイクロメーター１６，１７でＶ形案内
面２の心間距離を測定する。これらの測定値に基づきＶ
形案内面２を直ちにラップ仕上げして、その幾何学的誤
差を修正する。
学的誤差を短時間に修正して、ダブルＶ案内面の真直度
及び平行度を高精度に達成する。 【構成】 平削加工された一対のＶ形案内面２上に移動
体１０を設置し、その片側を４個の鋼球１１を介して一
方のＶ形案内面２に支持する。移動体１０に、オートコ
リメーターの反射鏡１３、水準器１５、内側マイクロメ
ーター１６、及び外側マイクロメーター１７を搭載す
る。移動体１０をＶ形案内面２上で駆動し、オートコリ
メーターでＶ形案内面２の真直度を測定するとともに、
水準器１５及びマイクロメーター１６，１７でＶ形案内
面２の心間距離を測定する。これらの測定値に基づきＶ
形案内面２を直ちにラップ仕上げして、その幾何学的誤
差を修正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、一対のＶ形案内面を
左右対称に備えたダブルＶ案内面の形状修正方法、及び
該方法に直接用いられる形状測定装置に関するものであ
る。
左右対称に備えたダブルＶ案内面の形状修正方法、及び
該方法に直接用いられる形状測定装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】超精密旋盤等の高精度工作機械における
直線案内面として、図６に示すようにに、ベース１の上
面に一対のＶ形案内面２を左右対称に設けたダブルＶ案
内面が知られている。この案内面形状は、摺動抵抗のバ
ランス点を送りネジ３の駆動点にできるとともに、テー
ブル４が自重による自己隙間密着性を備えており、隙間
調整用のジブを不要にして構成部品点数を削減できると
いう優れた利点を持つ。しかしながら、２条のＶ形案内
面２をベース１に高い平行精度で形成する必要があっ
て、製作が大変困難であるため、一部の研削盤に実用例
が認められているのが実状である。
直線案内面として、図６に示すようにに、ベース１の上
面に一対のＶ形案内面２を左右対称に設けたダブルＶ案
内面が知られている。この案内面形状は、摺動抵抗のバ
ランス点を送りネジ３の駆動点にできるとともに、テー
ブル４が自重による自己隙間密着性を備えており、隙間
調整用のジブを不要にして構成部品点数を削減できると
いう優れた利点を持つ。しかしながら、２条のＶ形案内
面２をベース１に高い平行精度で形成する必要があっ
て、製作が大変困難であるため、一部の研削盤に実用例
が認められているのが実状である。
【０００３】ダブルＶ案内面の製作に際しては、通常、
最終機械加工に精密平削加工が採用される。これによれ
ば、被加工物であるベース１をワークテーブルに固定し
たまま工具を移動調整して加工できるため、左右のＶ形
案内面２の平行度を比較的容易に出すことができる。し
かしながら、平削加工のみでは平行精度が不充分である
ため、後工程に手仕上げによる形状修正がさらに必要と
されている。
最終機械加工に精密平削加工が採用される。これによれ
ば、被加工物であるベース１をワークテーブルに固定し
たまま工具を移動調整して加工できるため、左右のＶ形
案内面２の平行度を比較的容易に出すことができる。し
かしながら、平削加工のみでは平行精度が不充分である
ため、後工程に手仕上げによる形状修正がさらに必要と
されている。
【０００４】この形状修正方法として、従来、ダブルＶ
形状のマスター定盤を精度よく製作した後に、このマス
ター定盤をＶ形案内面に擦り合わせて、きさげ仕上げに
よりＶ形状精度を転写するマスター転写法が採用されて
いる。このマスター転写法を図７に基づいて次に説明す
る。
形状のマスター定盤を精度よく製作した後に、このマス
ター定盤をＶ形案内面に擦り合わせて、きさげ仕上げに
よりＶ形状精度を転写するマスター転写法が採用されて
いる。このマスター転写法を図７に基づいて次に説明す
る。
【０００５】まず、図７の（ａ）に示すように、凹マス
ター５を凸マスター６に重ねて擦り合わせ、凹マスター
５を反転してさらに擦り合わせ、これによってＶ形状部
分の対称性を確保する。次いで、図７の（ｂ）に示すよ
うに、反転擦り合わせで発見不可能な真直度誤差を補正
するために、直角定規７を凹マスター５のＶ溝８に擦り
合わせる。そして、これらの工程を交互に繰り返して、
マスター定盤を完成する。
ター５を凸マスター６に重ねて擦り合わせ、凹マスター
５を反転してさらに擦り合わせ、これによってＶ形状部
分の対称性を確保する。次いで、図７の（ｂ）に示すよ
うに、反転擦り合わせで発見不可能な真直度誤差を補正
するために、直角定規７を凹マスター５のＶ溝８に擦り
合わせる。そして、これらの工程を交互に繰り返して、
マスター定盤を完成する。
【０００６】次に、図７の（ｃ）に示すように、平削加
工されたベース１のＶ形案内面２に凹マスター５を擦り
合わせ、左右のＶ形状の平行度及び真直度を達成する。
その後、きさげ部の面粗度を向上するために、各Ｖ形案
内面２がラップ仕上げされる。
工されたベース１のＶ形案内面２に凹マスター５を擦り
合わせ、左右のＶ形状の平行度及び真直度を達成する。
その後、きさげ部の面粗度を向上するために、各Ｖ形案
内面２がラップ仕上げされる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、マスター転
写法で使用される凹マスター５のＶ溝８は凸マスター６
に反転して擦り合わされるため、左右のＶ溝８の挟角は
それぞれ等しく、また、Ｖ溝８には直角定規７の直角度
が転写されるため、左右のＶ溝８の挟角はそれぞれ直角
である。これに対し、Ｖ形案内面２は平削加工において
１面毎に切削工具を調整しながら加工されるため、左右
のＶ形案内面２の頂角はそれぞれ異なっている。従っ
て、従来のマスター転写法によると、凹マスター５のＶ
溝形状を正確に転写するためには、Ｖ形案内面２の頂角
を左右共に修正する必要があって、その作業に多大な時
間と労力とを要するという問題点があった。
写法で使用される凹マスター５のＶ溝８は凸マスター６
に反転して擦り合わされるため、左右のＶ溝８の挟角は
それぞれ等しく、また、Ｖ溝８には直角定規７の直角度
が転写されるため、左右のＶ溝８の挟角はそれぞれ直角
である。これに対し、Ｖ形案内面２は平削加工において
１面毎に切削工具を調整しながら加工されるため、左右
のＶ形案内面２の頂角はそれぞれ異なっている。従っ
て、従来のマスター転写法によると、凹マスター５のＶ
溝形状を正確に転写するためには、Ｖ形案内面２の頂角
を左右共に修正する必要があって、その作業に多大な時
間と労力とを要するという問題点があった。
【０００８】こうした問題点に鑑み、本出願の発明者等
はダブルＶ案内面の構成上の諸要求を再考した。その結
果、左右のＶ形案内面の頂角が一致する必要はなく、ま
た、その角度が直角である必要性も認められず、むし
ろ、重要な点は、案内精度を規定する要件が左右のＶ形
案内面の真直度と平行度とにあるという知見を得た。
はダブルＶ案内面の構成上の諸要求を再考した。その結
果、左右のＶ形案内面の頂角が一致する必要はなく、ま
た、その角度が直角である必要性も認められず、むし
ろ、重要な点は、案内精度を規定する要件が左右のＶ形
案内面の真直度と平行度とにあるという知見を得た。
【０００９】本発明はかかる知見に基づいてなされたも
のであり、その課題は、Ｖ形案内面の幾何学的誤差を短
時間に修正して、ダブルＶ案内面の真直度及び平行度を
高精度に達成できる新規な形状修正方法を提供すること
にある。また、本発明の別の課題は、前記方法を実施す
るに際してＶ形案内面の幾何学的誤差を精度よく測定で
きる形状測定装置を提供することにある。
のであり、その課題は、Ｖ形案内面の幾何学的誤差を短
時間に修正して、ダブルＶ案内面の真直度及び平行度を
高精度に達成できる新規な形状修正方法を提供すること
にある。また、本発明の別の課題は、前記方法を実施す
るに際してＶ形案内面の幾何学的誤差を精度よく測定で
きる形状測定装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明のダブルＶ案内面の形状修正方法は、平
削加工された一対のＶ形案内面上で移動体を駆動し、そ
の移動体に搭載した測定装置によりＶ形案内面の真直度
と心間距離とを測定して幾何学的誤差を特定し、Ｖ形案
内面をラップ仕上げして幾何学的誤差を修正することを
特徴とする。
めに、この発明のダブルＶ案内面の形状修正方法は、平
削加工された一対のＶ形案内面上で移動体を駆動し、そ
の移動体に搭載した測定装置によりＶ形案内面の真直度
と心間距離とを測定して幾何学的誤差を特定し、Ｖ形案
内面をラップ仕上げして幾何学的誤差を修正することを
特徴とする。
【００１１】また、この発明のダブルＶ案内面の形状測
定装置は、平削加工された一対のＶ形案内面上で駆動さ
れる移動体を備え、その移動体に、Ｖ形案内面の真直度
を測定するオートコリメーターの反射鏡と、Ｖ形案内面
の心間距離を測定する水準器及びマイクロメーターとを
搭載して構成される。
定装置は、平削加工された一対のＶ形案内面上で駆動さ
れる移動体を備え、その移動体に、Ｖ形案内面の真直度
を測定するオートコリメーターの反射鏡と、Ｖ形案内面
の心間距離を測定する水準器及びマイクロメーターとを
搭載して構成される。
【００１２】ここで、好ましくは、移動体の少くとも片
側が４個の鋼球を介してＶ形案内面に支持される。
側が４個の鋼球を介してＶ形案内面に支持される。
【００１３】
【作用】この発明の形状修正方法によれば、移動体に搭
載した測定装置がＶ形案内面の真直度と心間距離とを測
定するので、その後、測定値に基づいてＶ形案内面を直
ちにラップ仕上げでき、きさげ工程を省略して、ダブル
Ｖ案内面を高精度で短時間に修正することができる。
載した測定装置がＶ形案内面の真直度と心間距離とを測
定するので、その後、測定値に基づいてＶ形案内面を直
ちにラップ仕上げでき、きさげ工程を省略して、ダブル
Ｖ案内面を高精度で短時間に修正することができる。
【００１４】この発明の形状測定装置によれば、オート
コリメーターの反射鏡、水準器、及びマイクロメーター
がそれぞれ移動体上に搭載されているので、Ｖ形案内面
の幾何学的誤差を精度よく測定でき、その測定値に基づ
いてダブルＶ案内面を高精度に修正することができる。
コリメーターの反射鏡、水準器、及びマイクロメーター
がそれぞれ移動体上に搭載されているので、Ｖ形案内面
の幾何学的誤差を精度よく測定でき、その測定値に基づ
いてダブルＶ案内面を高精度に修正することができる。
【００１５】また、この発明の形状測定装置によれば、
移動体が４個の鋼球を介してＶ形案内面に支持されるた
め、移動体をＶ形案内面に常に密着した状態で移動し
て、これに搭載した測定機器によりＶ形案内面の幾何学
的誤差をより高精度に測定することができる。
移動体が４個の鋼球を介してＶ形案内面に支持されるた
め、移動体をＶ形案内面に常に密着した状態で移動し
て、これに搭載した測定機器によりＶ形案内面の幾何学
的誤差をより高精度に測定することができる。
【００１６】
【実施例】以下、この発明を具体化した一実施例を図面
に基づいて説明する。図１及び図２に示すように、形状
測定装置は移動体１０を備え、この移動体１０は平削加
工された左右一対のＶ形案内面２上に摺動自在に設置さ
れている。移動体１０の片側は４個の鋼球１１を介して
一方のＶ形案内面２の傾斜面上に支持され、移動体１０
の反対側はローラ１２を介して他方のＶ形案内面２の平
面上に支持されている。
に基づいて説明する。図１及び図２に示すように、形状
測定装置は移動体１０を備え、この移動体１０は平削加
工された左右一対のＶ形案内面２上に摺動自在に設置さ
れている。移動体１０の片側は４個の鋼球１１を介して
一方のＶ形案内面２の傾斜面上に支持され、移動体１０
の反対側はローラ１２を介して他方のＶ形案内面２の平
面上に支持されている。
【００１７】移動体１０の片側を鋼球１１で４点支持し
たことにより、移動体１０は摺動方向の自由度のみを残
した状態でＶ形案内面２に拘束される。従って、移動体
１０は、Ｖ形案内面２に常に密着した状態で、その挟角
の変化に正確に追従して移動することができる。また、
移動体１０の反対側をローラ１２で支持したことによ
り、移動体１０の摺動抵抗を小さくできるという利点も
ある。
たことにより、移動体１０は摺動方向の自由度のみを残
した状態でＶ形案内面２に拘束される。従って、移動体
１０は、Ｖ形案内面２に常に密着した状態で、その挟角
の変化に正確に追従して移動することができる。また、
移動体１０の反対側をローラ１２で支持したことによ
り、移動体１０の摺動抵抗を小さくできるという利点も
ある。
【００１８】鋼球１１の上方において移動体１０には反
射鏡１３が載置され、この反射鏡１３と対向する位置に
は２軸オートコリメーター１４が設置されている。ま
た、移動体１０には、その中間位置に電気式の水準器１
５が搭載されるとともに、ローラ１２の左右両側位置に
内側マイクロメーター１６と外側マイクロメーター１７
とが設置されている。そして、手動で移動体１０を鋼球
１１の取付間隔に相当する距離だけ駆動し、このときの
オートコリメーター１４、水準器１５、及びマイクロメ
ーター１６，１７の測定値から移動体１０の姿勢角度変
化（ピッチ、ヨー、ロール）が計測されるようになって
いる。
射鏡１３が載置され、この反射鏡１３と対向する位置に
は２軸オートコリメーター１４が設置されている。ま
た、移動体１０には、その中間位置に電気式の水準器１
５が搭載されるとともに、ローラ１２の左右両側位置に
内側マイクロメーター１６と外側マイクロメーター１７
とが設置されている。そして、手動で移動体１０を鋼球
１１の取付間隔に相当する距離だけ駆動し、このときの
オートコリメーター１４、水準器１５、及びマイクロメ
ーター１６，１７の測定値から移動体１０の姿勢角度変
化（ピッチ、ヨー、ロール）が計測されるようになって
いる。
【００１９】オートコリメーター１４は反射鏡１３の角
度変化を測定し、その測定値（ｈ，ｖ）に基づき通常の
真直度計算式を適用してＶ形案内面２の真直度がサブミ
クロン単位で求められる。また、水準器１５及びマイク
ロメーター１６，１７は左右のＶ形案内面２の相対的位
置関係を測定し、水準器１５の測定値（α）と各マイク
ロメーター１６，１７の測定値（ｄ in ，ｄ out）とに
基づいてＶ形案内面２の平行度が求められる。
度変化を測定し、その測定値（ｈ，ｖ）に基づき通常の
真直度計算式を適用してＶ形案内面２の真直度がサブミ
クロン単位で求められる。また、水準器１５及びマイク
ロメーター１６，１７は左右のＶ形案内面２の相対的位
置関係を測定し、水準器１５の測定値（α）と各マイク
ロメーター１６，１７の測定値（ｄ in ，ｄ out）とに
基づいてＶ形案内面２の平行度が求められる。
【００２０】図３はＶ形案内面２の平行度を測定する原
理を示すもので、Ｖ形案内面２の心高方向（Ｙ方向）の
変位ΔＶ、及び、心間方向（Ｘ方向）の変位ΔＨは次式
でそれぞれ定義される。 ΔＶ＝（ｄ out ＋ ｄ in ）／（２√２） （１式） ΔＨ＝（ｄ out − ｄ in ）／（２√２） （２式）
理を示すもので、Ｖ形案内面２の心高方向（Ｙ方向）の
変位ΔＶ、及び、心間方向（Ｘ方向）の変位ΔＨは次式
でそれぞれ定義される。 ΔＶ＝（ｄ out ＋ ｄ in ）／（２√２） （１式） ΔＨ＝（ｄ out − ｄ in ）／（２√２） （２式）
【００２１】しかし、移動体１０のロール角αの変化に
より、鋼球１１の中心Ａ，ＢはＡ´，Ｂ´に移動し、そ
れらを結ぶ線分の中点ＯはＯ´に移動する。同時に、内
側マイクロメーター１６の検出点はＰ in からＰ´ in
に、外側マイクロメーター１７の検出点はＰ out から
Ｐ´ out に移動する。このため、各マイクロメーター
１６，１７の出力をそれぞれε in ，ε out だけ補正
する必要がある。これらの補正量は次のようにして求め
られる。
より、鋼球１１の中心Ａ，ＢはＡ´，Ｂ´に移動し、そ
れらを結ぶ線分の中点ＯはＯ´に移動する。同時に、内
側マイクロメーター１６の検出点はＰ in からＰ´ in
に、外側マイクロメーター１７の検出点はＰ out から
Ｐ´ out に移動する。このため、各マイクロメーター
１６，１７の出力をそれぞれε in ，ε out だけ補正
する必要がある。これらの補正量は次のようにして求め
られる。
【００２２】鋼球１１の中心間距離（Ａ−Ｂ）を２・ａ
とすると、中点Ｏと中点Ｏ´は点Ｑを中心とした半径ａ
の円弧上に位置する。従って、ΔＯ´ＱＡ´は２等辺三
角形である。線分Ａ´Ｂ´の傾角は移動体１０のロール
角αであるから、前記２等辺三角形に注目すれば、線分
ＯＱと線分Ｏ´Ｑとの交角もロール角αに等しい。ロー
ル角αが微小であるとして、Ｐ´ in ，Ｐ´ out の座
標値は次式で求められる。 Ｐ´ in ＝（−ａ・α−ｂ＋ｗ ， −ｂ・α＋ｗ・α） （３式） Ｐ´ out ＝（−ａ・α＋ｂ＋ｗ ， ｂ・α＋ｗ・α） （４式） そして、点Ｐ in を含む線分ｌｍ及び点Ｐ out を含む
線分ｌｎの直線式はそれぞれ次の通りである。 ｙ＝ ｘ−ｗ＋ｂ （５式） ｙ＝−ｘ＋ｗ＋ｂ （６式） ε in は点Ｐ´ in と線分ｌｍとの距離として（３式）
及び（５式）から、また、ε out は点Ｐ´ outと線分
ｌｎとの距離として（４式）及び（６式）から、それぞ
れ次のように求められる。 ε in ＝（ｗ−ｂ＋ａ）・α／√２ （７式） ε out ＝（ｗ＋ｂ−ａ）・α／√２ （８式） 従って、ΔＶ，ΔＨは以下のように補正される。 ΔＶ＝{(ｄ out ＋ε out）＋（ｄ in ＋ε in ）}/（２√２） （９式） ΔＨ＝{(ｄ out ＋ε out）−（ｄ in ＋ε in ）}/（２√２） （１０式）
とすると、中点Ｏと中点Ｏ´は点Ｑを中心とした半径ａ
の円弧上に位置する。従って、ΔＯ´ＱＡ´は２等辺三
角形である。線分Ａ´Ｂ´の傾角は移動体１０のロール
角αであるから、前記２等辺三角形に注目すれば、線分
ＯＱと線分Ｏ´Ｑとの交角もロール角αに等しい。ロー
ル角αが微小であるとして、Ｐ´ in ，Ｐ´ out の座
標値は次式で求められる。 Ｐ´ in ＝（−ａ・α−ｂ＋ｗ ， −ｂ・α＋ｗ・α） （３式） Ｐ´ out ＝（−ａ・α＋ｂ＋ｗ ， ｂ・α＋ｗ・α） （４式） そして、点Ｐ in を含む線分ｌｍ及び点Ｐ out を含む
線分ｌｎの直線式はそれぞれ次の通りである。 ｙ＝ ｘ−ｗ＋ｂ （５式） ｙ＝−ｘ＋ｗ＋ｂ （６式） ε in は点Ｐ´ in と線分ｌｍとの距離として（３式）
及び（５式）から、また、ε out は点Ｐ´ outと線分
ｌｎとの距離として（４式）及び（６式）から、それぞ
れ次のように求められる。 ε in ＝（ｗ−ｂ＋ａ）・α／√２ （７式） ε out ＝（ｗ＋ｂ−ａ）・α／√２ （８式） 従って、ΔＶ，ΔＨは以下のように補正される。 ΔＶ＝{(ｄ out ＋ε out）＋（ｄ in ＋ε in ）}/（２√２） （９式） ΔＨ＝{(ｄ out ＋ε out）−（ｄ in ＋ε in ）}/（２√２） （１０式）
【００２３】図４に示すように、演算手段としてのコン
ピューター１９は、内側マイクロメーター１６、外側マ
イクロメーター１７、及び水準器１５の測定信号（ｄ i
n ，ｄ out，α）をＡ／Ｄ変換器２０を介して入力し、
前記計算原理に基づいて、左右のＶ形案内面２の心間誤
差（ΔＶ，ΔＨ）を演算するとともに、オートコリメー
ター１４の測定信号を入力し、各Ｖ形案内面２の真直度
（ｈ，ｖ）を演算して、それらの演算結果をメモリーに
記憶するように構成されている。
ピューター１９は、内側マイクロメーター１６、外側マ
イクロメーター１７、及び水準器１５の測定信号（ｄ i
n ，ｄ out，α）をＡ／Ｄ変換器２０を介して入力し、
前記計算原理に基づいて、左右のＶ形案内面２の心間誤
差（ΔＶ，ΔＨ）を演算するとともに、オートコリメー
ター１４の測定信号を入力し、各Ｖ形案内面２の真直度
（ｈ，ｖ）を演算して、それらの演算結果をメモリーに
記憶するように構成されている。
【００２４】ダブルＶ案内面の形状修正に際しては、ま
ず、移動体１０を平削加工された一対のＶ形案内面２上
で駆動して、各Ｖ形案内面２の心間誤差と真直度とを測
定する。この測定結果のコンピューター解析図形を図５
の（ａ）に例示した。次に、真直度が測定される片側の
Ｖ形案内面２をラップ仕上げして、２方向の真直度誤差
を修正する。このときのコンピューター解析図形を図５
の（ｂ）に示した。
ず、移動体１０を平削加工された一対のＶ形案内面２上
で駆動して、各Ｖ形案内面２の心間誤差と真直度とを測
定する。この測定結果のコンピューター解析図形を図５
の（ａ）に例示した。次に、真直度が測定される片側の
Ｖ形案内面２をラップ仕上げして、２方向の真直度誤差
を修正する。このときのコンピューター解析図形を図５
の（ｂ）に示した。
【００２５】その後、移動体１０を反転し、真直度が測
定される反対側のＶ形案内面２をラップ仕上げして、真
直度誤差と２方向の心間誤差とを同時に修正する。修正
後のコンピューター解析図形を図５の（ｃ）に示した。
こうすれば、ダブルＶ案内面の形状を所要精度に短時間
で修正することができる。因みに、同一ロツトで平削加
工された有効長さ８００ｍｍのＶ形案内面２を同一の目
標精度で形状修正したところ、従来のマスター転写法に
よると１６９時間を要したが、本発明の方法によれば１
６時間と大幅に短縮することができた。
定される反対側のＶ形案内面２をラップ仕上げして、真
直度誤差と２方向の心間誤差とを同時に修正する。修正
後のコンピューター解析図形を図５の（ｃ）に示した。
こうすれば、ダブルＶ案内面の形状を所要精度に短時間
で修正することができる。因みに、同一ロツトで平削加
工された有効長さ８００ｍｍのＶ形案内面２を同一の目
標精度で形状修正したところ、従来のマスター転写法に
よると１６９時間を要したが、本発明の方法によれば１
６時間と大幅に短縮することができた。
【００２６】なお、上記実施例の図６には６面拘束型の
ダブルＶ案内面を例示したが、本発明の方法及び装置
は、勿論、４面拘束型のダブルＶ案内面にも適用可能で
ある。その他、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、その趣旨を逸脱しない範囲で各部の構成や形状
を任意に変更して実施することも可能である。
ダブルＶ案内面を例示したが、本発明の方法及び装置
は、勿論、４面拘束型のダブルＶ案内面にも適用可能で
ある。その他、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、その趣旨を逸脱しない範囲で各部の構成や形状
を任意に変更して実施することも可能である。
【００２７】
【発明の効果】以上に詳述したように、請求項１記載の
発明によれば、Ｖ形案内面の幾何学的誤差を測定した後
に、Ｖ形案内面を直ちにラップ仕上げでき、きさげ工程
を省略して、ダブルＶ案内面の真直度及び平行度を高精
度で短時間に修正できるという優れた効果を奏する。
発明によれば、Ｖ形案内面の幾何学的誤差を測定した後
に、Ｖ形案内面を直ちにラップ仕上げでき、きさげ工程
を省略して、ダブルＶ案内面の真直度及び平行度を高精
度で短時間に修正できるという優れた効果を奏する。
【００２８】請求項２記載の発明によれば、オートコリ
メーターの反射鏡、水準器、及びマイクロメーターを移
動体上に搭載したので、Ｖ形案内面の幾何学的誤差を精
度よく測定して、その測定値に基づきダブルＶ案内面を
高精度に修正できるという効果がある。
メーターの反射鏡、水準器、及びマイクロメーターを移
動体上に搭載したので、Ｖ形案内面の幾何学的誤差を精
度よく測定して、その測定値に基づきダブルＶ案内面を
高精度に修正できるという効果がある。
【００２９】請求項３記載の発明によれば、移動体を４
個の鋼球を介してＶ形案内面に支持したので、移動体を
Ｖ形案内面に常に密着した状態で移動して、その幾何学
的誤差をより高精度に測定できるという効果がある。
個の鋼球を介してＶ形案内面に支持したので、移動体を
Ｖ形案内面に常に密着した状態で移動して、その幾何学
的誤差をより高精度に測定できるという効果がある。
【図１】本発明の形状測定装置の一実施例を示す平面図
である。
である。
【図２】同測定装置の正面図である。
【図３】同測定装置の測定原理を示す説明図である。
【図４】同測定装置の制御回路を示すブロック図であ
る。
る。
【図５】同測定装置を用いた形状修正方法の工程説明図
である。
である。
【図６】ダブルＶ案内面の一例を示す断面図である。
【図７】従来のマスター転写法の工程説明図である。
１・・ベース、２・・Ｖ形案内面、３・・送りネジ、４
・・テーブル、１０・・移動体、１１・・鋼球、１２・
・ローラ、１３・・反射鏡、１４・・オートコリメータ
ー、１５・・水準器、１６・・内側マイクロメーター、
１７・・外側マイクロメーター、１９・・コンピュータ
ー、２０・・Ａ／Ｄ変換器。
・・テーブル、１０・・移動体、１１・・鋼球、１２・
・ローラ、１３・・反射鏡、１４・・オートコリメータ
ー、１５・・水準器、１６・・内側マイクロメーター、
１７・・外側マイクロメーター、１９・・コンピュータ
ー、２０・・Ａ／Ｄ変換器。
Claims (3)
- 【請求項１】 平削加工された一対のＶ形案内面上で移
動体を駆動し、前記移動体に搭載した測定装置によりＶ
形案内面の真直度と心間距離とを測定して幾何学的誤差
を特定し、Ｖ形案内面をラップ仕上げして前記幾何学的
誤差を修正することを特徴とするダブルＶ案内面の形状
修正方法。 - 【請求項２】 平削加工された一対のＶ形案内面上で駆
動される移動体を備え、前記移動体に、Ｖ形案内面の真
直度を測定するオートコリメーターの反射鏡と、Ｖ形案
内面の心間距離を測定する水準器及びマイクロメーター
とを搭載してなることを特徴とするダブルＶ案内面の形
状測定装置。 - 【請求項３】 移動体の少くとも片側を４個の鋼球を介
してＶ形案内面に支持してなることを特徴とする請求項
２記載のダブルＶ案内面の形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17567793A JPH0740198A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | ダブルｖ案内面の形状修正方法及び形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17567793A JPH0740198A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | ダブルｖ案内面の形状修正方法及び形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0740198A true JPH0740198A (ja) | 1995-02-10 |
Family
ID=16000311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17567793A Pending JPH0740198A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | ダブルｖ案内面の形状修正方法及び形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740198A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016063410A1 (ja) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | 富士機械製造株式会社 | 製造システム |
| WO2018016004A1 (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 富士機械製造株式会社 | レール走行構造およびそのレール走行構造を備えた工作機械 |
| CN121083390A (zh) * | 2025-08-14 | 2025-12-09 | 九江精密测试技术研究所 | 一种高精度导轨双工具迭代装配法 |
-
1993
- 1993-07-15 JP JP17567793A patent/JPH0740198A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016063410A1 (ja) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | 富士機械製造株式会社 | 製造システム |
| WO2018016004A1 (ja) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 富士機械製造株式会社 | レール走行構造およびそのレール走行構造を備えた工作機械 |
| CN121083390A (zh) * | 2025-08-14 | 2025-12-09 | 九江精密测试技术研究所 | 一种高精度导轨双工具迭代装配法 |
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