JPH074148Y2 - Tape cutting device - Google Patents
Tape cutting deviceInfo
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- JPH074148Y2 JPH074148Y2 JP3172688U JP3172688U JPH074148Y2 JP H074148 Y2 JPH074148 Y2 JP H074148Y2 JP 3172688 U JP3172688 U JP 3172688U JP 3172688 U JP3172688 U JP 3172688U JP H074148 Y2 JPH074148 Y2 JP H074148Y2
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- Japan
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- tape
- blade
- frame
- idler
- disc blade
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- Nonmetal Cutting Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔概要〕 円板刃でフレーム上に貼られたテープ状の被切断体を切
断する装置に関し， テープ切断時に，フレームに刃がくい込まないようにし
て，塵埃の発生を防止し，フレームを軽量材で作製して
そのハンドリングを容易にすることを目的とし， 移動可能な回転軸の周りに回転する円板刃を有する装置
であって，該円板刃のテープに対するくい込み量調整機
構を有し，該調整機構は，テープ上に回転可能なアイド
ラーと，該アイドラーの両側に移動及び固定可能な２個
の調整コロとが同一母体に設けられてなり、且つ該調整
コロを該円板刃の周囲に接触させる手段を有し，該アイ
ドラーをテープに，該調整コロを該円板刃の周囲に接触
させ，該調整コロの固定位置を移動させてくい込み量を
調整するように構成する。[Detailed Description of the Invention] [Outline] A device for cutting a tape-shaped object stuck on a frame with a disc blade, in order to prevent dust from being generated when the tape is cut so that the blade does not bite into the frame. A device having a disc blade that rotates around a movable rotation axis for the purpose of preventing and facilitating its handling by manufacturing the frame with a lightweight material, the disc blade being engaged with the tape. The adjusting mechanism comprises an idler rotatable on the tape and two adjusting rollers movable and fixed on both sides of the idler on the same base, and the adjusting roller is provided. To contact the periphery of the disc blade with the idler on the tape and the adjusting roller to contact the periphery of the disc blade to move the fixed position of the adjusting roller to adjust the bite amount. To configure.
本考案は円板刃でフレーム上に貼られたテープ状の被切
断体を切断する装置に関する。The present invention relates to a device for cutting a tape-shaped object to be cut attached to a frame with a disc blade.
半導体装置の製造プロセスにおいて，塵埃防止及び自動
化のためダイシング工程等において，ウエハを高分子材
料からなるテープに貼り付けて取り扱う方法が採用され
ている。In a semiconductor device manufacturing process, a method is used in which a wafer is attached to a tape made of a polymer material and handled in a dicing process or the like for dust prevention and automation.
この際，テープはリング状の金属フレームに貼り付けら
れ，フレーム上において切断されるが，テープ切断装置
はこの際に使用するものである。At this time, the tape is attached to a ring-shaped metal frame and cut on the frame, and the tape cutting device is used at this time.
この後，ウエハはフレーム内のテープ上に貼りつけられ
て，ハンドリングされる。After this, the wafer is attached to the tape in the frame and handled.
テープをフレームに貼り付けた後，切断する方法は種々
あるが，一般的には円板刃をフレーム上に転がして，圧
切する方法がある。There are various methods of cutting the tape after it is attached to the frame, but generally, there is a method of rolling a disc blade on the frame and press-cutting.
第３図（１），（２）は従来のテープ切断装置を説明す
る模式的な平面図と断面図である。FIGS. 3 (1) and 3 (2) are a schematic plan view and a cross-sectional view illustrating a conventional tape cutting device.
図において，テープ１は，フレーム２上に貼り付けら
れ，テープ１に回転する円板刃４を圧しつけながらフレ
ーム上を矢印のように移動して切断する。In the figure, a tape 1 is attached on a frame 2, and while moving a rotating disc blade 4 against the tape 1, the tape 1 is moved on the frame as shown by an arrow and cut.
この後，想像線で示される位置にウエハ３が貼り付けら
れる。After this, the wafer 3 is attached to the position indicated by the imaginary line.
上記従来装置による切断は次のような欠点を持つ。 The cutting by the above conventional device has the following drawbacks.
テープ切断時，金属フレームに刃がくい込みフレーム
を傷める。When cutting the tape, the blade bites into the metal frame and damages the frame.
刃がフレームにあたり，刃の磨耗が激しい。The blade hits the frame, and the blade is heavily worn.
刃による傷痕をつけないようにフレームは硬い金属，
例えばステンレスで作られねばならず，フレームは重く
なる。The frame is made of hard metal to prevent scratches from the blade,
For example, it must be made of stainless steel, which makes the frame heavy.
フレームに傷がつくと，この傷は切断毎に深くなり，
テープの切れを悪くする。If the frame gets scratched, this scratch gets deeper with each cut,
Makes the tape cut poorly.
以上の欠点を除去するため，本考案は切断時，フレーム
に刃がくい込まない構造を提供することを目的とする。In order to eliminate the above drawbacks, the present invention aims to provide a structure in which the blade does not bite into the frame during cutting.
上記課題の解決は（第１図及び第２図参照），回転軸
（10）の回りに回転する円板刃（４）を移動させてテー
プ（１）を切断する装置であって，回転可能なアイドラ
（５）及び該アイドラの両側にその間隔が調整可能な２
個の回転可能な調整コロ（６），（７）が保持された母
体（８）と，該調整コロ（６），（７）の外周が該円板
刃（４）の周囲に接触するように，該回転軸（10）を支
持する軸受けに該母体（８）を保持する手段（12）と，
該調整コロ（６），（７）を該円板刃（４）の周囲に押
しつける円板刃押しつけ手段（９）とを有し，該アイド
ラ（５）を該テープ（１）上に接触させ、該調整コロ
（６），（７）の間隔を調節して該円板刃（４）の該テ
ープ（１）に対するくい込み量を調整するように構成さ
れているテープ切断装置により達成される。The solution to the above problems (see FIGS. 1 and 2) is a device for moving the disc blade (4) rotating around the rotation axis (10) to cut the tape (1), which is rotatable. Idler (5) and its spacing adjustable on both sides of the idler 2
The mother body (8) holding the rotatable adjustment rollers (6) and (7) and the outer circumferences of the adjustment rollers (6) and (7) are in contact with the periphery of the disc blade (4). And means (12) for holding the mother body (8) on a bearing that supports the rotating shaft (10),
A disk blade pressing means (9) for pressing the adjusting rollers (6) and (7) around the disk blade (4), and bringing the idler (5) into contact with the tape (1). , A tape cutting device configured to adjust the distance between the adjusting rollers (6) and (7) to adjust the amount of biting of the disc blade (4) into the tape (1).
第１図（１），（２）は本考案の機能を説明する装置の
模式的な正面図と側断面図である。1 (1) and 1 (2) are a schematic front view and a side sectional view of an apparatus for explaining the function of the present invention.
本考案は，上下に移動可能な回転軸の周りに回転する円
板刃４により，テープ１に刃４がくい込めるようにし，
アイドラ５を接触させたテープ上面を基準面とし,2個の
調整コロ6,7を左右に移動してくい込み量Ｄを調整し，
その位置で調整コロを固定してくい込み量を常に一定に
保つようにしたものである。The present invention enables the blade 4 to be bitten into the tape 1 by the disc blade 4 which rotates around a rotation axis which can be moved up and down.
Adjust the bite amount D by moving the two adjustment rollers 6 and 7 to the left and right, using the tape upper surface with which the idler 5 is in contact as the reference surface.
The adjustment roller is fixed at that position so that the amount of bite is always constant.
第２図（１），（２）は本考案の一実施例を説明する装
置の正面図と側断面図である。2 (1) and 2 (2) are a front view and a side sectional view of an apparatus for explaining an embodiment of the present invention.
図において，円板刃４の回転軸10は，駆動回転軸11から
傘歯車により垂直に回転が伝達されるが，この機構は本
考案に特に関係がないので図示しないで省略してある。In the figure, the rotary shaft 10 of the disc blade 4 is vertically transmitted from the drive rotary shaft 11 by a bevel gear, but this mechanism is not shown because it is not particularly related to the present invention.
又，回転軸11は，先端についた円板刃４をこの軸の周り
に回転させて，フレーム上のテープを円形に圧切するた
めの軸でもある。The rotary shaft 11 is also a shaft for rotating the disk blade 4 attached to the tip around this shaft to cut the tape on the frame into a circular shape.
回転軸10が支点12の周りに回転できことにより，円板刃
４を上下に移動することができ，円板刃４がテープ１に
くい込めるようになっている。Since the rotating shaft 10 can rotate around the fulcrum 12, the disc blade 4 can be moved up and down, and the disc blade 4 can be easily inserted into the tape 1.
円板刃押しつけ手段９により，調整コロ6,7が円板刃４
の円周に押しつけられるようになっている。円板刃押し
つけ手段９は，回転軸10の軸受けを固定した金具に開け
られた貫通孔を緩く通り且つ母体８に固定されたボルト
の頭と，前記軸受けを固定した金具との間に挿入された
コイルバネとからなっている。By the disc blade pressing means 9, the adjusting rollers 6 and 7 are disc blade 4
It can be pressed against the circumference of. The disk blade pressing means 9 is inserted between the head of the bolt fixed to the base 8 and the metal fitting fixing the bearing loosely passing through the through hole opened in the metal fitting fixing the bearing of the rotary shaft 10. It consists of a coil spring.
又，第２図（１）において，調整コロ6,7の円周が円板
刃４の円周と重なっているのは，調整コロ6,7の円周面
に円板刃４の一部が入り込む溝が切られており，この溝
の底面で円板刃４を押し付けている。Further, in FIG. 2 (1), the circumference of the adjusting rollers 6 and 7 overlaps with the circumference of the disc blades 4 because a part of the disc blades 4 is on the circumferential surface of the adjusting rollers 6 and 7. The groove into which is inserted is cut, and the disc blade 4 is pressed against the bottom surface of this groove.
アイドラ５は母体８の中央に取り付けられ，高精度のベ
アリングを用いて，テープ上をアイドラが移動する時，
偏心，ガタによるくい込み量のばらつきの発生を抑制す
るようにすることにより，くい込み量をμｍオーダで調
整できる。The idler 5 is attached to the center of the base body 8, and when the idler moves on the tape using a high precision bearing,
By suppressing the occurrence of variations in the bite amount due to eccentricity and backlash, the bite amount can be adjusted on the order of μm.
２個の調整コロ6,7は，母体８に移動及び固定可能に取
りつ付けられる。例えば，これはダイヤモンド砥石で作
製し，回転させないでテープ切断時（円板刃が回転する
時）研摩ができるようにしてもよい。The two adjusting rollers 6 and 7 are attached to the mother body 8 so as to be movable and fixed. For example, this may be made with a diamond grindstone so that polishing can be performed when the tape is cut (when the disc blade rotates) without rotating.
この場合は，調整コロを回転させないで切断中円板刃を
研摩してもその磨耗量は無視でき，くい込み量は変動し
ない。In this case, even if the disc blade is ground during cutting without rotating the adjusting roller, the wear amount can be ignored and the bite amount does not change.
円板刃押付スプリング９は円板刃４を常に調整コロ6,7
に押し付ける役割を持つ。The disc blade pressing spring 9 always adjusts the disc blade 4 by the rollers 6,7.
Has the role of pressing against.
円板刃４は例えば、超硬質鋼製で厚さ1mm,外径50φのも
のを用いる。The disc blade 4 is made of, for example, super hard steel and has a thickness of 1 mm and an outer diameter of 50φ.
なお，フレーム２の切欠は位置決めのためのものであ
る。The cutout of the frame 2 is for positioning.
以上説明したように本考案によれば，テープ切断時，フ
レームに刃がくい込まない。As described above, according to the present invention, the blade does not bite into the frame when cutting the tape.
その結果，以下のような効果を持つ。As a result, it has the following effects.
テープのみを切断するため、塵埃が発生しない。No dust is generated because only the tape is cut.
フレームをアルミニウム等の軽量材で作製でき，フレ
ームのハンドリングが容易になる。The frame can be made of a lightweight material such as aluminum, which facilitates handling of the frame.
調整コロをダイヤモンド砥石で作製すると，テープ切
断時に研摩ができる。If the adjustment roller is made with a diamond grindstone, polishing can be performed when cutting the tape.
第１図（１），（２）は本考案の機能を説明する装置の
模式的な正面図と側断面図， 第２図（１），（２）は本考案の一実施例を説明する装
置の正面図と側断面図， 第３図（１），（２）は従来のテープ切断装置を説明す
る模式的な平面図と断面図である。 図において， １はテープ,2はフレーム,3はウエハ,4は円板刃,5はアイ
ドラ,6,7はくい込み量の調整コロ,8はアイドラと調整コ
ロを保持する母体,9は円板刃押しつけ手段を構成するボ
ルトとコイルバネ,10は円板刃の回転軸,11は駆動回転
軸,12は円板刃の回転軸の支点 である。1 (1) and 1 (2) are schematic front views and side cross-sectional views of an apparatus for explaining the function of the present invention, and FIGS. 2 (1) and 2 (2) describe one embodiment of the present invention. A front view and a side sectional view of the device, and FIGS. 3 (1) and 3 (2) are a schematic plan view and a sectional view for explaining a conventional tape cutting device. In the figure, 1 is a tape, 2 is a frame, 3 is a wafer, 4 is a disk blade, 5 is an idler, 6 and 7 are adjusting rollers for the bite amount, 8 is a base body for holding the idler and the adjusting roller, and 9 is a disk. A bolt and a coil spring that constitute the blade pressing means, 10 is a rotary axis of the disk blade, 11 is a drive rotary axis, and 12 is a fulcrum of the rotary axis of the disk blade.
Claims (1)
（４）を移動させてテープ（１）を切断する装置であっ
て， 回転可能なアイドラ（５）及び該アイドラの両側にその
間隔が調整可能な２個の回転可能な調整コロ（６），
（７）が保持された母体（８）と， 該調整コロ（６），（７）の外周が該円板刃（４）の周
囲に接触するように，該回転軸（10）を支持する軸受け
に該母体（８）を保持する手段（12）と， 該調整コロ（６），（７）を該円板刃（４）の周囲に押
しつける円板刃押しつけ手段（９）とを有し， 該アイドラ（５）を該テープ（１）上に接触させ，該調
整コロ（６），（７）の間隔を調節して該円板刃（４）
の該テープ（１）に対するくい込み量を調整するように
構成されていることを特徴とするテープ切断装置。1. A device for cutting a tape (1) by moving a disc blade (4) rotating around a rotating shaft (10), comprising a rotatable idler (5) and both sides of the idler (5). Two rotatable adjustment rollers (6) whose spacing can be adjusted,
The rotating shaft (10) is supported so that the mother body (8) holding (7) and the outer circumferences of the adjusting rollers (6) and (7) are in contact with the periphery of the disc blade (4). And a means (12) for holding the mother body (8) on a bearing, and a disk blade pressing means (9) for pressing the adjusting rollers (6), (7) around the disk blade (4). , The idler (5) is brought into contact with the tape (1), the interval between the adjusting rollers (6) and (7) is adjusted, and the disc blade (4) is adjusted.
A tape cutting device, which is configured to adjust the amount of biting of the tape into the tape (1).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172688U JPH074148Y2 (en) | 1988-03-10 | 1988-03-10 | Tape cutting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3172688U JPH074148Y2 (en) | 1988-03-10 | 1988-03-10 | Tape cutting device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138596U JPH01138596U (en) | 1989-09-21 |
| JPH074148Y2 true JPH074148Y2 (en) | 1995-02-01 |
Family
ID=31257798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3172688U Expired - Lifetime JPH074148Y2 (en) | 1988-03-10 | 1988-03-10 | Tape cutting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH074148Y2 (en) |
Families Citing this family (8)
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| JP2014226743A (en) * | 2013-05-21 | 2014-12-08 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Cutter unit, cutting device, cutting method, and holder |
| JP2019098435A (en) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Cutting head and cutting device |
-
1988
- 1988-03-10 JP JP3172688U patent/JPH074148Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01138596U (en) | 1989-09-21 |
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