JPH0742128Y2 - ガス中の酸素濃度測定用の酸素検出器 - Google Patents

ガス中の酸素濃度測定用の酸素検出器

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JPH0742128Y2
JPH0742128Y2 JP1992066635U JP6663592U JPH0742128Y2 JP H0742128 Y2 JPH0742128 Y2 JP H0742128Y2 JP 1992066635 U JP1992066635 U JP 1992066635U JP 6663592 U JP6663592 U JP 6663592U JP H0742128 Y2 JPH0742128 Y2 JP H0742128Y2
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    • GPHYSICS
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は一般的にはガスセンサに
関し、詳しくいうと、ガス中の酸素の量を決定するため
に酸素の常磁性特性およびホール効果センサを利用する
新規な、有用な酸素センサに関する。
【0002】
【従来の技術】種々のガス中の酸素の濃度を測定するこ
とはしばしば重要になっている。燃焼プロセスの煙道ガ
ス中の酸素含有量を感知するための酸素センサの使用は
燃焼効率を決定するのに利用できる。現在知られている
の検出器には次のものがある。まず、湿式化学的セ
ルがあるが、これは寿命が短かく、しかもしばしば再較
正をしなければならない欠点がある。次に酸化ジルコニ
ウムセンサはこわれやすく、通常の煙道ガスの成分によ
って劣化し、高い動作温度を必要とし、そして製造する
のがむずかしいという欠点がある。次に、常磁性分析器
は酸素の常磁性特性を利用して熱伝導率の測定値から、
または圧力の測定値からO濃度を推定できる状態をつ
くり出すものであるが、この推定はガス全体の組成、温
度および計器の姿勢の影響を受けるために不正確であ
る。終りに、磁気ダイナミック分析器は磁界を介しての
サンプルガスの移動による力を測定することによって磁
化率を引き出すものであるが、生じる力が小さいことに
より限界があり、そして直線性をとるか振動および衝撃
に耐えるようにするかで妥協をはからねばならない。
【0003】
【考案の概要】本考案のO測定装置は、直線性ホール
効果センサを直接使用してガスの磁化率を測定するとい
う点で上記した従来の装置とは相違する。測定値が熱伝
導率からの推定または温度の影響に依存しないから、キ
ャリヤガスの組成は小さな誤差しか生じない。潜在的重
要性をもつものとして知られている唯一の推定物体は一
酸化窒素(NO)であり、このNOは室温で酸素の相対
磁化率の43%を有する(次表参照)。
【0004】
【表1】 しかしながら、代表的な煙道ガス混合物中のOに対す
るNOの相対容積は1/20以下であり、ジルコニアに
基づいたセンサに対して代表的に特定されている範囲に
まで較正誤差を減少させる。高温でこの分析器を注意深
く制御することによりさらにこの誤差を減少させること
ができる。オフセットゼロの代表的な応用例では通常の
(通常は一定の)NO濃度による誤差は除去できる。こ
のセンサはソリッドステートの非接触デバイスであるか
ら、現存するオンラインの酸素センサにくらべて寿命が
相当に長くなることが予測され、また直線性および耐衝
撃性の点でも相当にすぐれている。
【0005】本考案はホール効果を利用して酸素の常磁
性の影響を直接測定するものである。常磁性は物質に印
加される磁界が物質の電子軌道の整列によって増大する
という特定の物質の特性である。常磁性材料の透磁率は
空の空間の透磁率より僅かに大きい。常磁性材料は、反
磁性材料がこれら材料に印加される磁界を僅かに減少さ
せ、かつ空の空間の透磁率より僅かに小さい透磁率を有
するという点で反磁性材料とは対照的である。大部分の
他のガス、特定すると煙道ガス中に見られるガスの大部
分よりも酸素の磁化率(従って常磁性特性)はかなり高
いから、酸素の常磁性特性は有用な測定手段となる。
【0006】ホール効果は、リボン形状の導体がこの導
体中の電流と直角な方向の磁界を受けたときに、磁界お
よび電流による電荷の流れる方向の両方向に直角な方向
に静電界が現われるという現象である。この効果はホー
ル効果センサにおいて利用される。このホール効果セン
サはテストされるガス中の酸素の存在による磁界の変化
を測定するのに使用できる。このガスは公称磁束が知ら
れている電磁石のコアにまたは永久磁石のギャップに供
給される。ホール効果出力(P)は磁束密度(B)に
比例し、電磁石によって発生される磁束は透磁率
(μ)、コイルのターン数(n)、コイルを流れる電流
(I)、およびコイルの半径(r)によって次式で表わ
すことができる。
【0007】
【数1】 コイル半径およびターン数は明らかに一定であり、電流
は所望のように制御することができる。それ故、磁束
(従って比例的にホール出力)に影響を与える唯一の変
数は磁界の空間にある物質に依存する透磁率μである。
酸素を含むサンプルを電磁石のコア(または永久磁石の
ギャップ)中に通すことによって、ガスの組成は変化す
る磁束から次式によってその透磁率または磁化率を知っ
て計算することができる。
【0008】
【数2】 ここでXは磁化率、μはガスの透磁率、μは体積の透
磁率である。混合物の体積磁化率はその成分の濃度に比
例し、温度に反比例する。酸素は、一酸化窒素の60.
3×10−9、窒素の−9.39×10−9、水素の−
0.165×10−9、二酸化炭素の−0.78×10
−9、メタンの−1.67×10−9、およびプロパン
の−1.88×10−9に対して、141.3×10
−9の体積磁化率を有する。それ故、電磁石のコアは他
の煙道ガスではなくて酸素で満たされると、より高い磁
束密度を発生する。一酸化窒素は唯一の主な既知の妨害
要素であるが、通常の煙道ガス濃度においては重大な誤
差を生じさせるものではない。100%のOから10
0%のNへの磁界の変化は印加磁界の絶対値に比例し
て非常に小さいということを注意すべきである。
【0009】
【数3】 しかしながら、非常に強い磁界が印加されると、Bの絶
対値の変化は非常に大きくなる。
【0010】
【数4】 従って、H(磁界)が非常に大きいと、例えばH=10
であると、ΔB=1.4=0.000014%B。ホ
ール効果センサで正確に測定するためには、スパンはΔ
Bに等しくなければならず、かつBの公称値でゼロを読
むようにオフセットされなければならない。これは磁界
が第1の磁界(μB)と対抗し、かつO濃度によって
影響を受けない第2の磁石を追加することによって達成
できる。この第2の磁石はまた、第1の磁石に類似する
電磁石を使用することによって変化する温度、電源の影
響等による磁気変動を除去するように使用することもで
きる。両方をパルス駆動することによって磁気流量計に
おいて行なわれているように磁気パーミアンスの誤差を
除去することができる。
【0011】
【考案の目的】ガス中の酸素濃度を測定するための酸素
検出器において、第1のコアを有する第1の電磁石と、
当該第1の電磁石と実質的に同一であり且つ第2のコア
を有する第2の電磁石と、当該第2のコア中に配置され
た既知の透磁率の物質と、前記第1の電磁石に既知の値
の電流を流して前記第1のコア中に既知の公称磁束密度
を有する磁界を発生させるための電流供給手段であっ
て、前記第2の電磁石に接続されてこの第2の電磁石の
前記第2のコア中に前記第1の電磁石と実質的に同じ公
称磁束密度を発生させる前記電流供給手段と、前記第1
のコアにガスを導くための手段と、前記第1のコアのほ
ぼ最大磁束密度に対応した位置で当該第1のコア内に配
置された第1のホール効果センサと、前記第2のコアの
ほぼ最大磁束密度に対応した位置で当該第2のコア内に
配置された第2のホール効果センサと、前記第2の電磁
石に接続されており、可変電流を受け入れて、前記ガス
中に酸素が存在しない場合に、前記第1および第2のコ
ア内の磁界をバランスさせるための補助コイルと、前記
第1および第2のホール効果センサに接続されており、
ガス中の酸素濃度に比例する当該第1および第2のコア
間の磁束密度の任意の変化を測定するための手段とを具
備する酸素検出器を提供することである。
【0012】本考案の他の目的は前記ガスが燃焼プロセ
スからの煙道ガスである前記ガス中の酸素濃度検出方法
を提供することである。本考案の他の目的は設計が簡単
で、堅固な構造を有し、かつ安価に製造できる酸素検出
器を提供することである。本考案を特徴付ける種々の新
規な特徴は実用新案登録請求の範囲に詳細に指摘されて
いる。本考案の十分な理解のために、以下添付図面を参
照して本考案の好ましい実施例につき詳細に説明する。
【0013】
【実施例の説明】図面を参照すると、第1図には本考案
の一実施例である酸素検出器が示されており、この酸素
検出器は管体10を介して電磁石のコアに供給されるガ
ス中の酸素濃度を検出するためのものである。電磁石2
0は多数ターンのコイルを含み、このコイルには電流供
給手段22から電流が供給される。管体10は電磁石2
0によって発生される磁界の矢印によって示された磁束
密度Bに対して既知の透磁率を有する材料より作られて
いる。電磁石20のコイル内には、磁束密度Bを測定す
るためにホール効果センサ30が用意されている。この
磁束密度は、管体10内のガス中の酸素の濃度が変化す
ると変化し、従って回路40を使用して酸素濃度の測定
を行なうのに利用できる。第1図において、センサ30
に対する破線の位置30’は製造を容易にするために使
用できる。また、本考案のある形式において使用される
第2の電磁石を提供するために別のセンサを位置30’
に用意してもよい。しかしながら、センサ30に対する
実線の位置は最大磁束密度に対する最良の位置である。
【0014】第2図を参照すると、センサ30の本体1
10はシリコンのような半導体材料の扁平な長方形スト
リップであることが分る。電流Iはリード118からリ
ード116の方向へストリップ中を通される。120で
指示された磁界Bは感知されるべき物理的変数であり、
ストリップの扁平な表面に直角な方向においてセンサ中
を通る。磁界は流れる電流と相互作用してIおよびBの
両方に直角な、端子112および114間に現われる電
圧を発生する。この電圧はIとBの積に比例する。第3
図は2つの電磁石20および50を使用する本考案の一
具体例を示す。第2図と同じ参照番号が同じまたは類似
する部品を指示するために第3図において使用されてい
る。
【0015】電磁石20のコアは管体10によって運ば
れるガス中の酸素濃度を測定するために管体10を備え
ているけれど、電磁石50のコアは既知のガスサンプル
を含む両端の閉じた管体15を備えている。既知の透磁
率を有する任意の他の材料が電磁石50のコア内に用意
できる。電磁石20および50は、酸素の常磁性と関連
しないすべてのファクタが測定手順から除去されるよう
に、できるだけ同一であるように選択される。これら電
磁石20および50には同じ電流源(電流供給手段)2
2から同じ電流が供給される。このように設計すること
により、温度変動や電源の影響による磁気変動を除去す
ることができる。
【0016】ホール効果センサ30および35はそれぞ
れ実際上可能な限り同一設計である電磁石20および5
0のそれぞれのコアのほぼ最大磁束密度に対応した位置
でそれぞれのコア内に位置付けされるのが好ましい。か
かる位置に配置することによって微小な磁束密度の変化
が測定できるからである。補助コイルが主コイルの磁界
に抗するためまたは助長するために電磁石50に含まれ
ている。これはガス中にOが存在しない場合にそれぞ
れのコア内の磁界をバランスさせるために使用される。
可変電流源42がこの調整を行なうために使用される。
かかる補助コイルを設けることにより磁束密度の変化を
正確に測定できる。磁界分路手段24および38が電磁
石20および50からの外部磁界をそれぞれ含ませるた
めに使用される。これは外部径路を既知の状態に制限す
る。測定されるガスは管体10中を流れる。基準ユニッ
トはOではない既知のガスを含む封止された管体15
を含む。
【0017】回路40は両センサ30および35に接続
されており、2つのコアの磁束密度の差を測定する。フ
ァクタのすべてが一定に保持されていると、この測定は
測定用コイル内のO濃度を表わす信号を与える。回路
40は各センサに4本の線によって接続されており、2
本は電流用であり、他の2本は誘起される電圧の測定用
である。第4図はこの回路のブロック図を示す。第4図
を参照すると、センサは制御回路60によって発生され
る電流によって駆動されることが分る。これら電流は回
路60によって互に振巾および方向が同一であるように
維持される。ライン62は電流を第3図の測定用センサ
30に送り、ライン64は電流を第3図の基準センサ3
5に送る。
【0018】ライン72は誘起されたホール効果電圧を
差増幅器70に供給する。この増幅器70はライン72
間の真の電圧差に比例する電圧をライン74上に提供す
る。同様に、ライン84上には基準センサに誘起された
ホール効果電圧を供給するライン82間の電圧差に比例
する信号が差増幅器80を通じて与えられる。O信号
はライン74と84間の電圧差に比例するから、増幅器
70および80と類似する真の差増幅器90がこの電圧
差を得るために使用される。増幅器90はOに関連し
た信号をライン74および84から引き出してそれをラ
イン90に与える。
【0019】差増幅器70、80および90としてアナ
ログデバイスAD522またはバー・ブラウン3626
に類似する増幅器が使用できる。単一シリコンチッフ上
の、またはハイブリッド回路基板上の3つの整合したト
ラッキング増幅器を電流源と一緒に使用することによっ
て精度を一層向上させることができる。ホール効果セン
サに使用される電流はDCでよく、増幅器は同様に帯域
制限され、DC動作において超安定である。別のモード
はセンサに対して正弦波の電流を使用することであり、
増幅器はこの周波数に同調される。ACまたは正弦波の
使用は非常に高い感度の動作を可能にする。
【0020】
【考案の効果】本考案によれば、最大磁束密度に対応し
た位置で第1および第2のホール効果センサを配置して
いるので、微小な磁束密度の変化(したがってガス中の
酸素濃度)を測定できるので測定感度が高く、またガス
中に酸素が存在しないときに第1および第2のコア内の
磁界をバランスさせる補助コイルを具備しているので磁
束密度の変化を正確に測定でき、さらにほぼ同じ第1の
電磁石と第2の電磁石とを具備しているので温度変動や
電源の影響による磁気変動を除去できるという効果を奏
する。本考案の原理の応用を例示するために本考案の特
定の実施例を図示し、詳細に記載したけれど、そのよう
な原理から逸脱することなく本考案が他の態様で実施で
きることは理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案による酸素検出器の一実施例を示す一部
分を切除した斜視図である。
【図2】図1の検出器と関連して使用されるホール効果
センサの斜視図である。
【図3】2つの電磁石を使用した本考案の具体例を示す
構成図である。
【図4】図3の検出器に使用される回路のブロック図で
ある。
【符号の説明】
10、15 管体 20、50 電磁石 22 電流供給手段 30、35 ホール効果センサ 40 回路 42 可変電流源 60 制御回路 70、80、90 差増幅器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 バリー・ジェイ・ユーマンス アメリカ合衆国オハイオ州リットマン、ノ ーティラス・レイン287 (56)参考文献 特開 昭48−30498(JP,A) 特開 昭49−94399(JP,A) 特公 昭48−37635(JP,B1)

Claims (5)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガス中の酸素濃度を測定するための酸素
    検出器において、第1のコアを有する第1の電磁石と、
    当該第1の電磁石と実質的に同一であり且つ第2のコア
    を有する第2の電磁石と、当該第2のコア中に配置され
    た既知の透磁率の物質と、前記第1の電磁石に既知の値
    の電流を流して前記第1のコア中に既知の公称磁束密度
    を有する磁界を発生させるための電流供給手段であっ
    て、前記第2の電磁石に接続されてこの第2の電磁石の
    前記第2のコア中に前記第1の電磁石と実質的に同じ公
    称磁束密度を発生させる前記電流供給手段と、前記第1
    のコアにガスを導くための手段と、前記第1のコアのほ
    ぼ最大磁束密度に対応した位置で当該第1のコア内に配
    置された第1のホール効果センサと、前記第2のコアの
    ほぼ最大磁束密度に対応した位置で当該第2のコア内に
    配置された第2のホール効果センサと、前記第2の電磁
    石に接続されており、可変電流を受け入れて、前記ガス
    中に酸素が存在しない場合に、前記第1および第2のコ
    ア内の磁界をバランスさせるための補助コイルと、前記
    第1および第2のホール効果センサに接続されており、
    ガス中の酸素濃度に比例する当該第1および第2のコア
    間の磁束密度の任意の変化を測定するための手段とを具
    備することを特徴とする酸素検出器。
  2. 【請求項2】 第1および第2のホール効果センサに接
    続された前記測定手段は、前記第2のコアの公称磁束密
    度に対する前記第1のコアの磁束密度の変化を測定する
    実用新案登録請求の範囲第1項記載の酸素検出器。
  3. 【請求項3】 前記第1および第2のホール効果センサ
    は、当該ホール効果センサに誘起されたホール効果電圧
    に対応する信号を供給する実用新案登録請求の範囲第1
    項記載の酸素検出器。
  4. 【請求項4】 前記第1のホール効果センサに接続され
    ており、当該第1のホール効果センサに誘起されたホー
    ル効果電圧に対応した第1の信号を受容する第1の差増
    幅器と、前記第2のホール効果センサに接続されてお
    り、当該第2のホール効果センサに誘起されたホール効
    果電圧に対応した第2の信号を受容する第2の差増幅器
    と、前記第1および第2の差増幅器に接続されており、
    前記第1および第2の信号を受容しそして当該第1およ
    び第2の信号間の差に対応するガス中の酸素濃度に比例
    した出力信号を提供する第3の差増幅器とを具備した実
    用新案登録請求の範囲第3項載の酸素検出器。
  5. 【請求項5】 前記第1および第2の電磁石に電流を流
    す前記電気電流供給手段はパルス駆動せられ、それによ
    り第1および第2の電磁石の磁気パーミアンスの誤差が
    できるだけ最小限とされる実用新案登録請求の範囲第1
    項記載の酸素検出器。
JP1992066635U 1984-04-03 1992-08-11 ガス中の酸素濃度測定用の酸素検出器 Expired - Lifetime JPH0742128Y2 (ja)

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US06/596,482 US4667157A (en) 1984-04-03 1984-04-03 Linear Hall effect oxygen sensor with auxiliary coil magnetic field balancing
US596482 1984-04-03

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JPH0732564U JPH0732564U (ja) 1995-06-16
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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60068609A Pending JPS60228956A (ja) 1984-04-03 1985-04-02 直線性ホール効果酸素センサ
JP1992066635U Expired - Lifetime JPH0742128Y2 (ja) 1984-04-03 1992-08-11 ガス中の酸素濃度測定用の酸素検出器

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KR (1) KR900003169B1 (ja)
AT (1) ATE40215T1 (ja)
AU (1) AU572277B2 (ja)
CA (1) CA1236531A (ja)
DE (1) DE3567738D1 (ja)
ES (1) ES8609717A1 (ja)
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