JPH0743068A - 遠心乾燥方法及びその装置 - Google Patents
遠心乾燥方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH0743068A JPH0743068A JP20885293A JP20885293A JPH0743068A JP H0743068 A JPH0743068 A JP H0743068A JP 20885293 A JP20885293 A JP 20885293A JP 20885293 A JP20885293 A JP 20885293A JP H0743068 A JPH0743068 A JP H0743068A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry air
- dried
- ultra
- air
- closed container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 密閉容器と、密閉容器内に配設され、水、炭
化水素、アルコール等の液体が付着している各種部品等
の被乾燥物を保持回転させる保持回転体と、密閉容器内
を超乾燥空気の雰囲気になす空気交換機構とを具備して
なる。 【効果】 被乾燥物を超乾燥空気の雰囲気中で回転させ
ることにより、その遠心力により被乾燥物に付着してい
る炭化水素、アルコール等の液体の乾燥時間の大幅な短
縮化を図ることができる。
化水素、アルコール等の液体が付着している各種部品等
の被乾燥物を保持回転させる保持回転体と、密閉容器内
を超乾燥空気の雰囲気になす空気交換機構とを具備して
なる。 【効果】 被乾燥物を超乾燥空気の雰囲気中で回転させ
ることにより、その遠心力により被乾燥物に付着してい
る炭化水素、アルコール等の液体の乾燥時間の大幅な短
縮化を図ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えば水、炭化水素、ア
ルコール等の洗浄溶剤が付着している精密機械部品の乾
燥に用いられる遠心乾燥方法及びその装置に関するもの
である。
ルコール等の洗浄溶剤が付着している精密機械部品の乾
燥に用いられる遠心乾燥方法及びその装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】この種の精密機械部品の乾燥は、特に湿
式洗浄による精密洗浄においては、極めて重要な工程と
なっている。
式洗浄による精密洗浄においては、極めて重要な工程と
なっている。
【０００３】従来この種の遠心乾燥装置として遠心力を
利用したものが存在している。この装置は被乾燥物であ
る部品等を籠体に入れて回転させ、付着液体の液切りを
行うと同時に回転による風を利用して乾燥するものであ
る。
利用したものが存在している。この装置は被乾燥物であ
る部品等を籠体に入れて回転させ、付着液体の液切りを
行うと同時に回転による風を利用して乾燥するものであ
る。
【０００４】またこの遠心乾燥に熱風を加えて、遠心乾
燥と同時に熱風によって乾燥するものもある。
燥と同時に熱風によって乾燥するものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法の場合、蒸発速度の遅い液体の場合には短時間に
は乾燥せず、例えば洗浄装置のタクトタイム以内に乾燥
させるには無理が生じており、また熱風を併用する方法
の場合、乾燥時間を短縮することができるものの、熱風
を作るための大きな電力が必要となり、特に引火性の液
体の場合には、引火性ガスのガス濃度を爆発下限以下に
抑制しなければならず、それだけ大量の加熱空気が必要
となるために更なる大きな電力が必要となるという不都
合が指摘されている。
の方法の場合、蒸発速度の遅い液体の場合には短時間に
は乾燥せず、例えば洗浄装置のタクトタイム以内に乾燥
させるには無理が生じており、また熱風を併用する方法
の場合、乾燥時間を短縮することができるものの、熱風
を作るための大きな電力が必要となり、特に引火性の液
体の場合には、引火性ガスのガス濃度を爆発下限以下に
抑制しなければならず、それだけ大量の加熱空気が必要
となるために更なる大きな電力が必要となるという不都
合が指摘されている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこれらの不都合
を解決することを目的とするもので、第一の発明の遠心
乾燥方法は、水、炭化水素、アルコール等の液体が付着
している各種部品等の被乾燥物を乾燥するに際し、上記
被乾燥物を超乾燥空気の雰囲気中で回転させ、該回転に
より生ずる遠心力及び該超乾燥空気を併用して乾燥する
ことを特徴とするものである。
を解決することを目的とするもので、第一の発明の遠心
乾燥方法は、水、炭化水素、アルコール等の液体が付着
している各種部品等の被乾燥物を乾燥するに際し、上記
被乾燥物を超乾燥空気の雰囲気中で回転させ、該回転に
より生ずる遠心力及び該超乾燥空気を併用して乾燥する
ことを特徴とするものである。
【０００７】この際上記被乾燥物を加熱した超乾燥空気
の雰囲気中で回転させて乾燥することができる。
の雰囲気中で回転させて乾燥することができる。
【０００８】また第二の発明の遠心乾燥装置は、密閉容
器と、該密閉容器内に配設され、水、炭化水素、アルコ
ール等の液体が付着している各種部品等の被乾燥物を保
持回転させる保持回転体と、該密閉容器内を超乾燥空気
の雰囲気になす空気交換機構とを具備してなるものであ
る。
器と、該密閉容器内に配設され、水、炭化水素、アルコ
ール等の液体が付着している各種部品等の被乾燥物を保
持回転させる保持回転体と、該密閉容器内を超乾燥空気
の雰囲気になす空気交換機構とを具備してなるものであ
る。
【０００９】この際上記空気交換機構を、超乾燥空気を
供給する供給部と、超乾燥空気を密閉容器内に吹き込む
ノズル部と、密閉容器内の上記付着液体の蒸発気体を含
む空気を密閉容器外に排出する排出部とから構成するこ
とができ、また上記超乾燥空気を加熱部により加熱する
こともできる。
供給する供給部と、超乾燥空気を密閉容器内に吹き込む
ノズル部と、密閉容器内の上記付着液体の蒸発気体を含
む空気を密閉容器外に排出する排出部とから構成するこ
とができ、また上記超乾燥空気を加熱部により加熱する
こともできる。
【００１０】
【作用】被乾燥物を超乾燥空気の雰囲気中で回転させる
と、遠心力により炭化水素、アルコール等の液体は振り
切られるとともに付着している液体は超乾燥空気の雰囲
気により蒸発し、乾燥が急速に短時間で行われることに
なる。
と、遠心力により炭化水素、アルコール等の液体は振り
切られるとともに付着している液体は超乾燥空気の雰囲
気により蒸発し、乾燥が急速に短時間で行われることに
なる。
【００１１】また被乾燥物を加熱した超乾燥空気の雰囲
気中で回転させることにより、乾燥時間を一層短縮化す
ることができる。
気中で回転させることにより、乾燥時間を一層短縮化す
ることができる。
【００１２】ここで超乾燥空気とは、例えば相対湿度
０．０１％ＲＨ以下のものを称し、望ましくは０．００
３％ＲＨ程度以下のものをいう。
０．０１％ＲＨ以下のものを称し、望ましくは０．００
３％ＲＨ程度以下のものをいう。
【００１３】
【実施例】図１乃至図７は本発明の装置の実施例を示
し、図１乃至図６は第一実施例、図７は第二実施例であ
る
し、図１乃至図６は第一実施例、図７は第二実施例であ
る
【００１４】図１乃至図６の第一実施例において、１は
密閉容器であって、この場合四角容器状の容器体２にそ
の上部開口部を開閉可能な蓋体３を支持軸４により取付
け、蓋体３を開閉動作させるシリンダ機構５を配設し、
容器体２の中程に底壁６を形成して構成されている。
密閉容器であって、この場合四角容器状の容器体２にそ
の上部開口部を開閉可能な蓋体３を支持軸４により取付
け、蓋体３を開閉動作させるシリンダ機構５を配設し、
容器体２の中程に底壁６を形成して構成されている。
【００１５】７は保持回転体であって、この場合網状材
や穴空き材等により籠状に形成され、上記底壁６の下方
に回転用モータ８を配置し、回転用モータ８により回転
する回転軸９を底壁６に縦設し、この回転軸９に保持回
転体７を取付け、保持回転体７内に水、炭化水素、アル
コール等の液体Ｌが付着している各種部品等の被乾燥物
Ｗを投入するように構成している。
や穴空き材等により籠状に形成され、上記底壁６の下方
に回転用モータ８を配置し、回転用モータ８により回転
する回転軸９を底壁６に縦設し、この回転軸９に保持回
転体７を取付け、保持回転体７内に水、炭化水素、アル
コール等の液体Ｌが付着している各種部品等の被乾燥物
Ｗを投入するように構成している。
【００１６】１０は空気交換機構であって、この場合超
乾燥空気Ｓを供給する供給部１１と、超乾燥空気Ｓを密
閉容器１内に吹き込むノズル部１２と、密閉容器１内の
上記付着液体の蒸発気体を含む空気を密閉容器１外に排
出する排出部１３とから構成されている。
乾燥空気Ｓを供給する供給部１１と、超乾燥空気Ｓを密
閉容器１内に吹き込むノズル部１２と、密閉容器１内の
上記付着液体の蒸発気体を含む空気を密閉容器１外に排
出する排出部１３とから構成されている。
【００１７】この場合上記容器体２の対向隅部にノズル
部１２を配置し、ノズル部１２に供給部１１を空気供給
管１４により接続し、供給部１１から送られてくる超乾
燥空気Ｓを被乾燥物Ｗに高圧噴射するとともに、排出部
１３から密閉容器１内の乾燥させた空気と液体Ｌの蒸発
気体を排出し、密閉容器１内を超乾燥空気の雰囲気に維
持し、密閉容器１内の液体等をドレン管１５から排水す
るようにしている。
部１２を配置し、ノズル部１２に供給部１１を空気供給
管１４により接続し、供給部１１から送られてくる超乾
燥空気Ｓを被乾燥物Ｗに高圧噴射するとともに、排出部
１３から密閉容器１内の乾燥させた空気と液体Ｌの蒸発
気体を排出し、密閉容器１内を超乾燥空気の雰囲気に維
持し、密閉容器１内の液体等をドレン管１５から排水す
るようにしている。
【００１８】またこの場合供給部１１は、図３の如く、
圧縮空気発生源に接続された空気供給管１４の途中等に
冷凍式エアードライヤー１６を接続し、その後方路にゼ
オライト等を内装した容器１７を接続し、圧縮空気を先
ず冷凍式エアードライヤーにより通常の乾燥空気とした
のちゼオライトを通して超乾燥空気Ｓとなし、この超乾
燥空気をノズル部１２に供給するようにしている。
圧縮空気発生源に接続された空気供給管１４の途中等に
冷凍式エアードライヤー１６を接続し、その後方路にゼ
オライト等を内装した容器１７を接続し、圧縮空気を先
ず冷凍式エアードライヤーにより通常の乾燥空気とした
のちゼオライトを通して超乾燥空気Ｓとなし、この超乾
燥空気をノズル部１２に供給するようにしている。
【００１９】このようにして得られた常温の超乾燥空気
Ｓを用いて揮発速度を測定した。即ち、容器１８内に揮
発させる溶剤としてのイソパラフィン系の炭化水素溶剤
を入れ、容器１８を計量器１９上に置き、下記条件の超
乾燥空気Ｓをノズル２０から放出し、容器１７内は超乾
燥空気Ｓと溶剤の蒸発気体で満たし、時間の経過と共に
総重量を測定した。
Ｓを用いて揮発速度を測定した。即ち、容器１８内に揮
発させる溶剤としてのイソパラフィン系の炭化水素溶剤
を入れ、容器１８を計量器１９上に置き、下記条件の超
乾燥空気Ｓをノズル２０から放出し、容器１７内は超乾
燥空気Ｓと溶剤の蒸発気体で満たし、時間の経過と共に
総重量を測定した。
【００２０】上記超乾燥空気Ｓは図５の如き条件のもの
であり、即ち、温度２６．７℃、湿度０．００３％Ｒ
Ｈ、ノズル吹出し空圧４．５ｋｇ／ｃｍ2、吹き出し流
量３０リットル／ｍｉｎ、容器１８の風受面積１１３ｃ
ｍ2とし、一方通常の乾燥空気と比較のために、冷凍式
エアードライヤー１６のみを通した通常の乾燥空気を用
いて同様の測定を行った。この通常の乾燥空気は、温度
２６．５℃、湿度１０％ＲＨ、空圧４．５ｋｇ／ｃ
ｍ2、流量３０リットル／ｍｉｎ、風受面積１１３ｃｍ2
としている。
であり、即ち、温度２６．７℃、湿度０．００３％Ｒ
Ｈ、ノズル吹出し空圧４．５ｋｇ／ｃｍ2、吹き出し流
量３０リットル／ｍｉｎ、容器１８の風受面積１１３ｃ
ｍ2とし、一方通常の乾燥空気と比較のために、冷凍式
エアードライヤー１６のみを通した通常の乾燥空気を用
いて同様の測定を行った。この通常の乾燥空気は、温度
２６．５℃、湿度１０％ＲＨ、空圧４．５ｋｇ／ｃ
ｍ2、流量３０リットル／ｍｉｎ、風受面積１１３ｃｍ2
としている。
【００２１】この結果図６に示す如く、炭化水素の液体
Ｌを乾燥させる場合において、超乾燥空気Ｓを吹き付け
ると、通常の乾燥空気に比して約二倍の速度で乾燥する
ことが分かる。
Ｌを乾燥させる場合において、超乾燥空気Ｓを吹き付け
ると、通常の乾燥空気に比して約二倍の速度で乾燥する
ことが分かる。
【００２２】この第一実施例は上記構成であるから、例
えば洗浄された精密機械部品等の被乾燥物Ｗを保持回転
体７内に投入し、密閉容器１を蓋体３により密閉し、空
気交換機構１０により密閉容器１内を常温の超乾燥空気
Ｓの雰囲気となし、この状態で回転用モータ８を駆動し
て保持回転体７を回転させると、その遠心力により被乾
燥物Ｗに付着している炭化水素、アルコール等の液体Ｌ
のかなりの分は振り切られ除去され、被乾燥物Ｗの表面
に薄く延ばした液体Ｌが残り、被乾燥物Ｗの回転により
周囲の空気を触れて切ることになり、この周囲の空気は
超乾燥空気Ｓであるから、この風を受けた薄い液体Ｌは
急速に乾燥することになる。
えば洗浄された精密機械部品等の被乾燥物Ｗを保持回転
体７内に投入し、密閉容器１を蓋体３により密閉し、空
気交換機構１０により密閉容器１内を常温の超乾燥空気
Ｓの雰囲気となし、この状態で回転用モータ８を駆動し
て保持回転体７を回転させると、その遠心力により被乾
燥物Ｗに付着している炭化水素、アルコール等の液体Ｌ
のかなりの分は振り切られ除去され、被乾燥物Ｗの表面
に薄く延ばした液体Ｌが残り、被乾燥物Ｗの回転により
周囲の空気を触れて切ることになり、この周囲の空気は
超乾燥空気Ｓであるから、この風を受けた薄い液体Ｌは
急速に乾燥することになる。
【００２３】しかして、例えば洗浄工程において付着し
た水、炭化水素、アルコール等の洗浄溶剤を洗浄機のタ
クトタイム程度の時間内で大きな熱量を使用せずに短時
間で乾燥させることができ、液体Ｌの大方を遠心分離機
の原理を用いて除去して液体Ｌが被乾燥物Ｗの表面を薄
く濡らす状態とし、この状態で殆ど完全に近い超乾燥状
態の空気を吹き付けることにより、速やかに乾燥させる
ことができ、乾燥時間の大幅な短縮化を図ることができ
る。
た水、炭化水素、アルコール等の洗浄溶剤を洗浄機のタ
クトタイム程度の時間内で大きな熱量を使用せずに短時
間で乾燥させることができ、液体Ｌの大方を遠心分離機
の原理を用いて除去して液体Ｌが被乾燥物Ｗの表面を薄
く濡らす状態とし、この状態で殆ど完全に近い超乾燥状
態の空気を吹き付けることにより、速やかに乾燥させる
ことができ、乾燥時間の大幅な短縮化を図ることができ
る。
【００２４】図７の第二実施例は別例を示し、第一実施
例のものと同一態様部分には同符号を付して説明する
と、この場合超乾燥空気を加熱する加熱部２１を具備し
たものである。
例のものと同一態様部分には同符号を付して説明する
と、この場合超乾燥空気を加熱する加熱部２１を具備し
たものである。
【００２５】即ち、上記第一実施例では常温の超乾燥空
気Ｓを用いているが、この場合超乾燥空気Ｓを加熱部２
１により加熱し、高温の超乾燥空気Ｓをノズル部１２よ
り高速噴射するように構成している。
気Ｓを用いているが、この場合超乾燥空気Ｓを加熱部２
１により加熱し、高温の超乾燥空気Ｓをノズル部１２よ
り高速噴射するように構成している。
【００２６】しかしてこの第二実施例にあっては、上記
第一実施例と同様な作用効果を得ることができると共に
加熱部２１により密閉容器１内を高温の超乾燥空気Ｓの
雰囲気となし、保持回転体７内の被乾燥物Ｗは回転しな
がら高温の超乾燥空気にふれることになり、超乾燥空気
Ｓは高温のために蒸気圧が上がり、揮発速度を高めるこ
とができ、この場合に乾燥の雰囲気温度を高くせず、比
較的低温で短時間に乾燥させることができ、それだけ乾
燥時間の短縮化を図ることができる。
第一実施例と同様な作用効果を得ることができると共に
加熱部２１により密閉容器１内を高温の超乾燥空気Ｓの
雰囲気となし、保持回転体７内の被乾燥物Ｗは回転しな
がら高温の超乾燥空気にふれることになり、超乾燥空気
Ｓは高温のために蒸気圧が上がり、揮発速度を高めるこ
とができ、この場合に乾燥の雰囲気温度を高くせず、比
較的低温で短時間に乾燥させることができ、それだけ乾
燥時間の短縮化を図ることができる。
【００２７】尚、本発明は上記実施例に限られるもので
はなく、例えば密閉容器１、保持回転体７の構造や回転
機構の構造等は被乾燥物に応じて適宜変更して設計され
るものである。また被乾燥物は洗浄部品に限られず、液
体の種類も洗浄溶剤に限られるものではない。
はなく、例えば密閉容器１、保持回転体７の構造や回転
機構の構造等は被乾燥物に応じて適宜変更して設計され
るものである。また被乾燥物は洗浄部品に限られず、液
体の種類も洗浄溶剤に限られるものではない。
【００２８】
【発明の効果】本発明の遠心乾燥方法及びその装置は上
述の如く、被乾燥物を超乾燥空気の雰囲気中で回転させ
ることにより、その遠心力により被乾燥物に付着してい
る炭化水素、アルコール等の液体のかなりの分を振り切
り、被乾燥物の表面に薄く延ばした液体が残り、被乾燥
物の回転により周囲の空気を触れて切ることになり、こ
の周囲の空気は超乾燥空気であることにより、この風を
受けた薄い液体は急速に蒸発乾燥し、乾燥時間の大幅な
短縮化を図ることができる。
述の如く、被乾燥物を超乾燥空気の雰囲気中で回転させ
ることにより、その遠心力により被乾燥物に付着してい
る炭化水素、アルコール等の液体のかなりの分を振り切
り、被乾燥物の表面に薄く延ばした液体が残り、被乾燥
物の回転により周囲の空気を触れて切ることになり、こ
の周囲の空気は超乾燥空気であることにより、この風を
受けた薄い液体は急速に蒸発乾燥し、乾燥時間の大幅な
短縮化を図ることができる。
【００２９】また被乾燥物を加熱した超乾燥空気の雰囲
気中で回転させることにより、乾燥時間を一層短縮化す
ることができる。
気中で回転させることにより、乾燥時間を一層短縮化す
ることができる。
【００３０】以上所期の目的を充分達成することができ
る。
る。
【図１】本発明の第一実施例の装置の縦断面図である。
【図２】図１で示す本発明の第一実施例の平断面図であ
る。
る。
【図３】図１で示す本発明の第一実施例の部分断面図で
ある。
ある。
【図４】超乾燥空気の揮発速度測定方法の説明図であ
る。
る。
【図５】超乾燥空気と通常の乾燥空気との使用条件対比
図である。
図である。
【図６】超乾燥空気と通常の乾燥空気の揮発速度対比図
である。
である。
【図７】本発明の第二実施例の装置の縦断面図である。
Ｓ 超乾燥空気 Ｗ 被乾燥物 Ｌ 液体 １ 密閉容器 ７ 保持回転体 １０ 空気交換機構 １１ 供給部 １２ ノズル部 １３ 排出部 ２１ 加熱部
Claims (5)
- 【請求項１】 水、炭化水素、アルコール等の液体が付
着している各種部品等の被乾燥物を乾燥するに際し、上
記被乾燥物を超乾燥空気の雰囲気中で回転させ、該回転
により生ずる遠心力及び該超乾燥空気を併用して乾燥す
ることを特徴とする遠心乾燥方法。 - 【請求項２】 上記被乾燥物を加熱した超乾燥空気の雰
囲気中で回転させて乾燥することを特徴とする請求項１
記載の遠心乾燥方法。 - 【請求項３】 密閉容器と、該密閉容器内に配設され、
水、炭化水素、アルコール等の液体が付着している各種
部品等の被乾燥物を保持回転させる保持回転体と、該密
閉容器内を超乾燥空気の雰囲気になす空気交換機構とを
具備してなる遠心乾燥装置。 - 【請求項４】 上記空気交換機構は、超乾燥空気を供給
する供給部と、該超乾燥空気を該密閉容器内に吹き込む
ノズル部と、該密閉容器内の上記付着液体の蒸発気体を
含む空気を密閉容器外に排出する排出部とからなる請求
項３記載の遠心乾燥装置。 - 【請求項５】 上記超乾燥空気を加熱する加熱部を含ん
でなる請求項３又は４記載の遠心乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20885293A JPH0743068A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 遠心乾燥方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20885293A JPH0743068A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 遠心乾燥方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743068A true JPH0743068A (ja) | 1995-02-10 |
Family
ID=16563184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20885293A Pending JPH0743068A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 遠心乾燥方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743068A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012024728A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Hitachi Koki Co Ltd | 遠心分離機 |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP20885293A patent/JPH0743068A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012024728A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Hitachi Koki Co Ltd | 遠心分離機 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5376175A (en) | Method and means for uniformly coating particulate material | |
| KR100452542B1 (ko) | 세정물 건조장치 및 건조방법 | |
| US5857474A (en) | Method of and apparatus for washing a substrate | |
| JPS60253783A (ja) | 粒子状物体の乾燥方法及びそれを実施するための装置 | |
| KR970077082A (ko) | 기판처리장치 및 처리방법 | |
| JPH034914A (ja) | エアクリーナのクリーニング装置 | |
| JPH07208859A (ja) | 真空乾燥装置 | |
| JPH06294578A (ja) | 部品乾燥方法及び乾燥装置 | |
| KR19990087765A (ko) | 에어로졸을 사용하여 물체를 건조 및 세척하는방법 및 장치 | |
| CN108917331A (zh) | 一种化工材料用恒温干燥装置 | |
| CN210242273U (zh) | 一种用于化工实验的干燥装置 | |
| JPH11290791A (ja) | 洗浄乾燥装置 | |
| CN220818309U (zh) | 一种超滤膜生产用超滤膜丝干燥装置 | |
| CN207138375U (zh) | 一种机械电子元件的清洁处理装置 | |
| JPH0669180A (ja) | 真空乾燥装置 | |
| JPS62260324A (ja) | 基板乾燥装置 | |
| KR20160007231A (ko) | 낙수방지 기능을 제공하는 스핀드라이어 및 건조방법 | |
| JPH06339668A (ja) | 被洗浄体の乾燥方法および乾燥装置 | |
| JPS62277735A (ja) | 水切乾燥装置 | |
| JPH07286775A (ja) | 減圧乾燥方法及び装置 | |
| CN213238215U (zh) | 一种低温雾化冷冻干燥机 | |
| CN115031501A (zh) | 一种机械领域的制药用高效除湿设备 | |
| JPS63301528A (ja) | 基板乾燥装置 | |
| JPS6028801A (ja) | 液状物の乾燥方法 | |
| JPS558052A (en) | Rotary washer-drier |