JPH0743105A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

Info

Publication number
JPH0743105A
JPH0743105A JP19046193A JP19046193A JPH0743105A JP H0743105 A JPH0743105 A JP H0743105A JP 19046193 A JP19046193 A JP 19046193A JP 19046193 A JP19046193 A JP 19046193A JP H0743105 A JPH0743105 A JP H0743105A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
coils
core
voltage
output voltage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19046193A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyoto Kobayashi
清人 小林
Koji Inoue
光二 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP19046193A priority Critical patent/JPH0743105A/ja
Publication of JPH0743105A publication Critical patent/JPH0743105A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】インピーダンスの変化で位置検出を行うこと
で、温度変化の影響のない位置検出装置を作成する。 【構成】2つ以上のコイルを直列に接続し、全コイルに
交流電圧を印加し、コイルの接続点で起電力を読み取
り、結果としてコイルのインピーダンスの変化をコイル
にかかる電圧をもとに読み取ることで、コアの位置変化
を読み取る構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、位置検出装置、例えば
油圧機器等のスプールを動かして油圧を制御するバルブ
におけるスプールの位置検出を行う位置検出装置や、精
密な位置検出を要する精密機器の位置検出装置等に利用
できるものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、位置検出装置には差動トランス
式の位置センサがある。差動トランス式の位置センサは
電磁誘導を利用したものであり、図4、図5に示すよう
に1次コイルPと2次コイルS1、S2からなってい
る。図4はこの差動トランス式の位置検出装置のセンサ
部であり、コイルボビン9には入力コイルPと出力コイ
ルS1、S2とが巻かれ、コイルボビン9の中心には測
定対象物に接続されたコア3が、X方向に移動可能に設
置されている。この差動トランス式の位置検出装置の回
路図を図5に示し、以下に、その動作を説明する。図5
の位置検出装置は、1次コイルPに一定交流電圧入力E
pを加え、2次コイルS1、S2に生じた誘導起電力E
s1、Es2の差電圧Esを2次電圧出力として取り出
す構成である。そして、具体的には磁性体のコア3が+
X方向に移動すると誘導起電力Es1が誘導起電力Es
2より大きくなるので出力電圧Esは増大する。一方、
磁性体のコア3が−X方向に移動すると、誘導起電力E
s1が誘導起電力Es2より小さくなるので出力電圧E
sは小さくなる。このように出力電圧Esはコア3の移
動方向とコイルとコアの相対的位置関係に比例するもの
である。尚、印加する交流電圧は感度や応答性を得るた
めに200〜5000Hz程度の励磁周波数が用いられ
る構成となっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】以上の従来の差動トラ
ンスの位置検出装置では、たとえ1次側の電圧が一定で
あっても温度差によって生じる誤差に関しては補償が難
しく、温度補償回路が複雑な回路となり、コストアップ
になるという問題点があった。また、電磁誘導の効率を
上げる必要があり、磁気回路の効率を上げるために磁気
の漏れない構造が要求されるので、コイルの形状が任意
に選べない問題点や、電磁誘導の効率を上げるために、
コイルの巻数を多くすることが必要であり、コイルの重
量が大きくなったり、製作に時間がかかるという問題点
があり、これらの問題点もコストアップにつながり、量
産には適していないという問題をかかえていた。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本願発明では電磁誘導による出力を計測するので
はなく、コイルのインピーダンスの比を、コイルにかか
っている電圧を計測することで検出する。この構成でコ
イルの設計や構成が簡略化でき、コストを抑えることが
できた。例えば2つのコイルを直列に接続し、磁性体を
その中心に配置し、磁性体が動いても2つのコイルのイ
ンピーダンスの和が一定に保たれる構造にする。また、
コイルの方が動く構造にしてもよい。そして、直列に接
続したコイルを交流電圧で励磁し、コイルの出力電圧を
計測してそのインピーダンスを間接的に測定する。その
コイルの出力電圧を検出回路に通して出力を得る。
【0005】
【作用】交流電圧によって励磁したコイルは、コイルの
巻線に応じた抵抗の他にコイルのインダクタンスを持
つ。コアが移動しても2つのコイルのトータルインピー
ダンスが一定に保たれるように2つのコイルが設置され
ているとき、これらのコイルのインダクタンスは、コア
の位置変化により透磁率が変化することによって変わ
る。従って、コイルのインピーダンスはコアの位置変化
によって変わる。即ち、高い透磁率を持つ磁性体のコア
の位置がコイル中で変化するので、コイル全体に交流電
圧をかけると、2つのコイルの接続点での電位はコアの
位置変化から生じるコイルのインピーダンスの変化に応
じて変化する。この電位を計測することで測定対象物の
位置変化が読み取れる。
【0006】また、2つのコイルのインピーダンスをZ
1、Z2とし、コイル全体にかかる電圧をEとすると、
2つのコイルの接続点の出力電圧V(以下コイルの出力
電圧と呼ぶ)は、 V=E・Z1/(Z1+Z2) (1) となる。従って、コイルの出力電圧Vは2つのコイルの
インピーダンスの比になる。ところで、これらの2つの
コイルは同じ温度特性を持つので、2つのコイルのイン
ピーダンスZ1、Z2が同じ比率だけ変化しても、コイ
ルの出力電圧Vは一定となる。このことから、温度が変
化してもコイルの出力電圧は一定となる。このコイルの
出力電圧は検出回路に入力する。従って、検出回路の出
力は、温度の変化に対して影響しないようになる。
【0007】
【実施例】図1、図2を用いて本願発明の位置検出装置
の一実施例を説明する。本実施例は2つのコイルを用い
た例である。
【0008】図1は本発明の位置検出装置のセンサ部の
一実施例の断面図であり、油圧機器のスプールの位置を
検出するストロークセンサである。1は位置検出装置の
センサ部即ち、ストロークセンサであり、2はコイルボ
ビン9に巻かれたコイル、3は磁性体で構成されたコア
で、シャフト4を介してスプール8に接続され、スプー
ル8の動きを検出するようになっている。また、コイル
を励磁する発振回路と検出回路は、内蔵回路5としてケ
ース6内部に設置されている。ところで本実施例では、
磁性体で構成されたコアはコイルの中心部に配置した構
成としたが、磁性体はコイルの外部に配置してもよい。
【0009】図2は本発明の位置検出装置のブロック図
である。発信回路10で発信された出力はコイル2の端
子1に入力され端子2には上記コイルの出力電圧Vが生
じている。この電圧は検出回路11に入力され、検出回
路11では検出回路の出力が所望の出力特性となるよう
に、出力電圧Vの振幅と平均値、即ちゲインとオフセッ
トを調節している。これらの発信回路10と検出回路1
1とで内蔵回路5を構成していて、検出回路11の出力
は、例えば図示しない位置表示装置ないしは位置制御回
路に接続されている。
【0010】ここで、図3によって本願発明の位置検出
装置の動作を説明する。励磁電圧をかけた状態で、図3
bのようにコア3が2つのコイルS1、S2の中心に位
置するとき、2つのコイルのインピーダンスはZ1=Z
2となり、コイルの出力電圧は、励磁電圧の丁度1/2
になる。図3aのようにコア3が−X方向に移動したと
き、2つのコイルS1、S2のインピーダンスZ1、Z
2は、Z1>Z2となり、S1にかかる電圧がS2にか
かる電圧より大きくなるのでコイルの出力電圧は図3b
のときよりも小さくなる。逆に、コア3が+X方向に移
動したとき、2つのコイルのインピーダンスZ1、Z2
は、Z1<Z2となり、S2にかかる電圧がS1にかか
る電圧より大きくなるので、コイルの出力電圧は図3b
のときよりも大きくなる。このように、コアが移動した
場合、移動量に比例したコイルの出力電圧を得ることが
できる。更に、温度が変化しても、2つのコイルが同じ
温度特性を持つので式(1)よりZ1、Z2が同じ比率
だけ変化してもコイルの出力電圧は変化せず、このコイ
ルの出力電圧を入力する検出回路の出力も周囲温度に無
関係な安定した出力となる。
【0011】なお、図6はコイルの巻方の変形実施例で
ある。図6aはコイル1の巻き数をコイル2の巻き数よ
りも多くした例であり、図6bは2つのコイル1、2を
はすかいに重ねて巻いた例である。このようにコイルの
巻方は実施例に限られたものではなく、コイルの巻方は
設計的事項であり、各種の巻方が考えられる。図6aの
巻き方ではコイル1の巻き数に対してコイル2の巻き数
の方が少ないので、X軸方向の+X方向のコアの移動に
対する感度より、−X方向のコアの移動に対する感度の
方が高くなる。また、図6bの巻き方ではコイルがコン
パクトになるという特徴がある。
【0012】
【発明の効果】本発明による位置検出装置では、インピ
ーダンスの変化を検出することによって位置検出を行っ
ているので、従来の差動トランス式のものに比べて、コ
イルの巻数を格段に少なく作成でき、コストを抑えるこ
とが可能となり、磁気回路をコンパクトに作成すること
ができる。
【0013】また、出力電圧が複数のコイルのインピー
ダンスの比に比例しているので、温度によるインピーダ
ンスの変動があっても、出力電圧は一定となり、安定し
た出力が得られるという顕著な効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の位置検出装置のセンサ部
【図2】本発明の位置検出装置のブロック図
【図3】本発明の位置検出装置のセンサ部の動作説明図
【図4】従来例の位置検出装置のセンサ部
【図5】従来例の位置検出装置の回路図
【図6】本発明の位置検出装置のセンサコイルの変形実
施例
【符号の説明】
1…ストロークセンサ、2…コイル、3…コア、4…シ
ャフト、5…内蔵回路、6…ケース、7…モールド樹
脂、8…スプール、9…コイルボビン、10…発振回
路、11…検出回路、P…入力コイル、S1,S2…出
力コイル。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】交流励磁されている直列接続の複数のコイ
    ルと、このコイルに移動可能に挿入されている磁性体よ
    りなるコアとを有し、この両者間の相対的位置関係か
    ら、コイルあるいはコアに連結する測定対象物の位置を
    検出する位置検出装置において、コアが移動してもコイ
    ルのトータルインピーダンスが一定となるように複数の
    コイルとコアを配置し、コイルとコアの相対的位置変化
    に伴うインピーダンス変化をコイルの出力電圧から検出
    することによって、測定対象物の位置を検出することを
    特徴とする位置検出装置。
JP19046193A 1993-07-30 1993-07-30 位置検出装置 Pending JPH0743105A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19046193A JPH0743105A (ja) 1993-07-30 1993-07-30 位置検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19046193A JPH0743105A (ja) 1993-07-30 1993-07-30 位置検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0743105A true JPH0743105A (ja) 1995-02-10

Family

ID=16258507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19046193A Pending JPH0743105A (ja) 1993-07-30 1993-07-30 位置検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0743105A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004069682A (ja) * 2002-06-10 2004-03-04 Amitec:Kk 検出用回路を組み込んだ位置検出装置
JP2007192592A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Keyence Corp 接触式変位計
WO2009017196A1 (ja) * 2007-07-31 2009-02-05 Atsutoshi Goto 流量制御弁及び流量制御弁用のスプール位置検出装置
JP2015215069A (ja) * 2014-05-12 2015-12-03 日本電産トーソク株式会社 コントロールバルブ装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004069682A (ja) * 2002-06-10 2004-03-04 Amitec:Kk 検出用回路を組み込んだ位置検出装置
JP2007192592A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Keyence Corp 接触式変位計
WO2009017196A1 (ja) * 2007-07-31 2009-02-05 Atsutoshi Goto 流量制御弁及び流量制御弁用のスプール位置検出装置
US8555918B2 (en) 2007-07-31 2013-10-15 Amiteq Co., Ltd. Flow rate control valve and spool position detection device for the flow rate control valve
JP2015215069A (ja) * 2014-05-12 2015-12-03 日本電産トーソク株式会社 コントロールバルブ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1067391B1 (en) Current sensor
US5831431A (en) Miniaturized coil arrangement made by planar technology, for the detection of ferromagnetic materials
US7365535B2 (en) Closed-loop magnetic sensor system
EP0211142A2 (en) Device for measuring displacement
JPH07146315A (ja) 交流電流センサ
JP2001264360A (ja) 直流電流検出器
US6191575B1 (en) Device for measuring linear displacements
JP2003075475A (ja) 交流電流センサ
JPH0743105A (ja) 位置検出装置
JP4385340B2 (ja) ヘルムホルツ・コイルを用いた変位センサ
Kano et al. New linear variable differential transformer with square coils
US7145321B2 (en) Current sensor with magnetic toroid
JP4810021B2 (ja) 位置検出装置
US5541503A (en) Alternating current sensor based on concentric-pipe geometry and having a transformer for providing separate self-powering
JP5257811B2 (ja) 高速反応及び低消費電流非接触直流電流センサ
JP4248324B2 (ja) アクチュエータ
JPS618639A (ja) 磁歪式トルク検出装置
JP2001336906A (ja) 電磁誘導型変位検出装置
KR20090002300U (ko) 피드백 코일이 부가된 변위측정센서
JP2008107119A (ja) 電流センサ
JPS59501838A (ja) 誘導的長さ及び角度測定装置
US2469005A (en) Magnetostrictive conditionresponsive apparatus
US20240387084A1 (en) Magnetic Core for Current Sensors
JP2570836B2 (ja) 非接触形電流検出装置
JPH0232567B2 (ja) Jikishikioryokusokuteisochi