JPH0743472B2 - 積層型光シャッタアレイ - Google Patents
積層型光シャッタアレイInfo
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- JPH0743472B2 JPH0743472B2 JP61059970A JP5997086A JPH0743472B2 JP H0743472 B2 JPH0743472 B2 JP H0743472B2 JP 61059970 A JP61059970 A JP 61059970A JP 5997086 A JP5997086 A JP 5997086A JP H0743472 B2 JPH0743472 B2 JP H0743472B2
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- JP
- Japan
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- optical shutter
- shutter array
- plate
- ceramic
- laminated
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は電気光学効果を有する透明セラミックスに内
部電極を形成して積層し、２枚の偏光板ではさむことに
より良好な光シャッタを得る方法に関するものである。
部電極を形成して積層し、２枚の偏光板ではさむことに
より良好な光シャッタを得る方法に関するものである。
（従来の技術） 従来、電気光学効果を有する透明セラミックスを光シャ
ッタに利用するには、互いに偏光方向が直交する２枚の
偏光板ではさんだ構造で板面に対して光を垂直に通過さ
せるものがほとんどである。その場合には、電極は光入
射部分の両側のセラミックス板表面に形成されている。
すなわち、従来の場合には第２図（ａ），（ｂ）に示し
たように透明セラミックス単板21の両面に電極22さらに
偏光板23を配置した構造となっている。
ッタに利用するには、互いに偏光方向が直交する２枚の
偏光板ではさんだ構造で板面に対して光を垂直に通過さ
せるものがほとんどである。その場合には、電極は光入
射部分の両側のセラミックス板表面に形成されている。
すなわち、従来の場合には第２図（ａ），（ｂ）に示し
たように透明セラミックス単板21の両面に電極22さらに
偏光板23を配置した構造となっている。
（発明が解決しようとする問題点） しかし、第２図のような単板構造での光シャッタで低電
圧駆動を行なおうとして、板厚を厚くすると、その電極
構造のために電界が板の内部まで入らなくなり、透過光
の位相を変えるのに有効に働く部分は電極間隔によって
決まり、セラミックスの厚さがある厚さより厚くなる
と、変化がなくなってしまう（田中他：電子通信学会研
究報告CMP83−41（1983）39.）。そのために、板厚を厚
くしても低電圧駆動は困難であった。
圧駆動を行なおうとして、板厚を厚くすると、その電極
構造のために電界が板の内部まで入らなくなり、透過光
の位相を変えるのに有効に働く部分は電極間隔によって
決まり、セラミックスの厚さがある厚さより厚くなる
と、変化がなくなってしまう（田中他：電子通信学会研
究報告CMP83−41（1983）39.）。そのために、板厚を厚
くしても低電圧駆動は困難であった。
（問題点を解決するための手段） この発明の要旨とするところは、板面方向に内部電極パ
ターンが形成された複数のグリーンシートを積層焼結し
て得られる、グリーンシート状態では存在したグリーン
シート間の積層境界面がない、セラミックスと前記電極
が一体化された電気光学効果を有する透明セラミックス
板を、その偏光方向が互いに直交する配置の２枚の偏光
板ではさむ構造にするところにある。
ターンが形成された複数のグリーンシートを積層焼結し
て得られる、グリーンシート状態では存在したグリーン
シート間の積層境界面がない、セラミックスと前記電極
が一体化された電気光学効果を有する透明セラミックス
板を、その偏光方向が互いに直交する配置の２枚の偏光
板ではさむ構造にするところにある。
この透明セラミックス板が、焼結前のグリーンシート状
態では存在したグリーンシート間の積層境界面がない、
セラミックスと電極が一体化されたものであり、透明セ
ラミックス板内部に電極パターンが形成された構造を有
していることが重要な点である。
態では存在したグリーンシート間の積層境界面がない、
セラミックスと電極が一体化されたものであり、透明セ
ラミックス板内部に電極パターンが形成された構造を有
していることが重要な点である。
（作用） 内部電極パターンが形成された透明セラミックスが積層
焼結されているために、各透明セラミックスに印加され
る電界は各層内でほぼ一様となり、それらの積層するこ
とにより光透過路全体で電気光学効果を利用できるので
全体の厚みを厚くすることによって低電圧駆動化が可能
となる。また、焼結後は、焼結前のグリーンシート状態
では存在していたグリーンシート間の積層境界面がなく
なりセラミックスが一体化されるため、光透過路におい
て積層境界面における光反射が起こらない。
焼結されているために、各透明セラミックスに印加され
る電界は各層内でほぼ一様となり、それらの積層するこ
とにより光透過路全体で電気光学効果を利用できるので
全体の厚みを厚くすることによって低電圧駆動化が可能
となる。また、焼結後は、焼結前のグリーンシート状態
では存在していたグリーンシート間の積層境界面がなく
なりセラミックスが一体化されるため、光透過路におい
て積層境界面における光反射が起こらない。
（実施例） 以下、実施例により積層光シャッタアレイについて説明
する。
する。
Pb0.91La0.09（Zr0.65Ti0.35）0.98O3の組成にPbOを1wt
％過剰に入れた粉末を有機バインダーと混合し、泥漿を
作る。この泥漿をドクタープレードを用いたキャスティ
ング法によって50μｍの厚さのセラミックグリーンシー
トを作る。このグリーンシートにおいてあるものはその
表面上に粒径が、できるだけ小さな白金の内部電極ペー
ストをスクリーン印刷によって電極のパターンをピッチ
100μm,巾20μｍで形成し、その他は電極をつけないも
のを用意する。内部電極を形成したグリーンシートと電
極を形成しないグリーンシートを交互に約20層になるよ
うに積み重ね熱プレスを用いて一体化し、所定の寸法に
なるように切断し、生チップとした。
％過剰に入れた粉末を有機バインダーと混合し、泥漿を
作る。この泥漿をドクタープレードを用いたキャスティ
ング法によって50μｍの厚さのセラミックグリーンシー
トを作る。このグリーンシートにおいてあるものはその
表面上に粒径が、できるだけ小さな白金の内部電極ペー
ストをスクリーン印刷によって電極のパターンをピッチ
100μm,巾20μｍで形成し、その他は電極をつけないも
のを用意する。内部電極を形成したグリーンシートと電
極を形成しないグリーンシートを交互に約20層になるよ
うに積み重ね熱プレスを用いて一体化し、所定の寸法に
なるように切断し、生チップとした。
この積層チップを500℃の温度で有機バインダーを完全
に分解し、脱バインダーした。この未焼結チップを1100
〜1200℃で２〜40時間予備焼結した後、熱間静水圧プレ
ス法によってアルゴンガスを媒体として1100℃、1800kg
/cm2の条件下で２時間処理すると電極がない部分は透明
になる。その後、両表面を鏡面研磨した。この時、厚み
は約0.6mmとなった。
に分解し、脱バインダーした。この未焼結チップを1100
〜1200℃で２〜40時間予備焼結した後、熱間静水圧プレ
ス法によってアルゴンガスを媒体として1100℃、1800kg
/cm2の条件下で２時間処理すると電極がない部分は透明
になる。その後、両表面を鏡面研磨した。この時、厚み
は約0.6mmとなった。
以上のようにして作成した積層透明セラミックスの断面
構造は第１図のようになっている。内部電極同志はセラ
ミックスの側面で銀ペーストで接続し、そこからリード
線を取り出した。以上のようにして得られた積層透明セ
ラミックスを電界の方向に対して45゜で互いに直交した
偏光方向をもつ偏光板によってはさんだ構造の光シャッ
タアレイを作成した。この時、最も透過光強度が強くな
る電圧は約30voltであった。この電圧をパルス状に印加
したり、しないようにすれば光を開閉することができる
ので、低電圧駆動で光シャッタが形成されたことにな
る。
構造は第１図のようになっている。内部電極同志はセラ
ミックスの側面で銀ペーストで接続し、そこからリード
線を取り出した。以上のようにして得られた積層透明セ
ラミックスを電界の方向に対して45゜で互いに直交した
偏光方向をもつ偏光板によってはさんだ構造の光シャッ
タアレイを作成した。この時、最も透過光強度が強くな
る電圧は約30voltであった。この電圧をパルス状に印加
したり、しないようにすれば光を開閉することができる
ので、低電圧駆動で光シャッタが形成されたことにな
る。
（発明の効果） このように、本方法により作成した積層型光シャッタア
レイの駆動電圧が低減でき、良好な光シャッタアレイが
得られることがわかる。
レイの駆動電圧が低減でき、良好な光シャッタアレイが
得られることがわかる。
第１図は本発明による積層型光シャッタアレイの断面を
示す図、第２図（ａ），（ｂ）は従来の光シャッタアレ
イを示す図である。 図において、11はPLZTセラミックス、12は内部電極パタ
ーン、13は偏光板、21はPLZTセラミックス単板、22は電
極、23は偏光板である。
示す図、第２図（ａ），（ｂ）は従来の光シャッタアレ
イを示す図である。 図において、11はPLZTセラミックス、12は内部電極パタ
ーン、13は偏光板、21はPLZTセラミックス単板、22は電
極、23は偏光板である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 貞行 東京都港区芝５丁目33番１号 日本電気株 式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−104856（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−205710（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−50464（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】板面方向に内部電極パターンが形成された
複数のグリーンシートを積層焼結して得られる、グリー
ンシート状態では存在したグリーンシート間の積層境界
面がない、セラミックスと前記電極が一体化された電気
光学効果を有する透明セラミックス板を、その偏光方向
が互いに直交する配置の２枚の偏光板ではさむ構造を持
つことを特徴とする積層型光シャッタアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61059970A JPH0743472B2 (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | 積層型光シャッタアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61059970A JPH0743472B2 (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | 積層型光シャッタアレイ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62215920A JPS62215920A (ja) | 1987-09-22 |
| JPH0743472B2 true JPH0743472B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=13128536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61059970A Expired - Lifetime JPH0743472B2 (ja) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | 積層型光シャッタアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743472B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2576640B2 (ja) * | 1989-10-13 | 1997-01-29 | 株式会社富士通ゼネラル | Ｐｌｚｔ表示ディバイスの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54104856A (en) * | 1978-02-03 | 1979-08-17 | Seiko Epson Corp | Field effect type dispaly body |
| JPS57205710A (en) * | 1981-06-12 | 1982-12-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Light intensity stabilizer |
-
1986
- 1986-03-17 JP JP61059970A patent/JPH0743472B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62215920A (ja) | 1987-09-22 |
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