JPH0746581B2 - 画像形成装置 - Google Patents
画像形成装置Info
- Publication number
- JPH0746581B2 JPH0746581B2 JP61138226A JP13822686A JPH0746581B2 JP H0746581 B2 JPH0746581 B2 JP H0746581B2 JP 61138226 A JP61138226 A JP 61138226A JP 13822686 A JP13822686 A JP 13822686A JP H0746581 B2 JPH0746581 B2 JP H0746581B2
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- JP
- Japan
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- electron beam
- image forming
- forming apparatus
- irradiated
- beam generator
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- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子線を用いた画像形成装置に関し、更に詳
しくは、複数の電子ビーム発生部を具備する電子ビーム
発生装置を用いた画像形成装置に関する。
しくは、複数の電子ビーム発生部を具備する電子ビーム
発生装置を用いた画像形成装置に関する。
［従来の技術］ 近年、例えば特公昭54−30274号、特開昭54−111272号
（米国特許第4259678号と対応）、同56−15529号（米国
特許第4303930号と対応）、特開昭57−38528号等に示さ
れるように、所謂冷陰極を用いた電子ビーム発生装置が
開発されている。
（米国特許第4259678号と対応）、同56−15529号（米国
特許第4303930号と対応）、特開昭57−38528号等に示さ
れるように、所謂冷陰極を用いた電子ビーム発生装置が
開発されている。
上記電子ビーム発生装置における冷陰極は、現在電子ビ
ーム発生装置に最も一般的に用いられている熱陰極が、
耐久性上の問題から、電子放出面の面積を小さくするの
に大きな制約を受けるのに対し、このような制約をほと
んど受けない利点がある。また、熱陰極は、複数個を、
均一な特性を持たせて高い位置精度で配列するのが困難
であるのに対し、冷陰極は、フォトリソグラフィーや電
子線リソグリフィーといった製造プロセスで形成するこ
とにより、複数個を、均一な特性を持たせて高い位置精
度で配列できる利点がある。従って、かかる技術又はそ
の類似技術によれば、多数の電子ビーム発生部を具備す
る電子ビーム発生装置を得ることが可能で、表示装置を
はじめとする各種の画像形成装置への応用が期待されて
いる。
ーム発生装置に最も一般的に用いられている熱陰極が、
耐久性上の問題から、電子放出面の面積を小さくするの
に大きな制約を受けるのに対し、このような制約をほと
んど受けない利点がある。また、熱陰極は、複数個を、
均一な特性を持たせて高い位置精度で配列するのが困難
であるのに対し、冷陰極は、フォトリソグラフィーや電
子線リソグリフィーといった製造プロセスで形成するこ
とにより、複数個を、均一な特性を持たせて高い位置精
度で配列できる利点がある。従って、かかる技術又はそ
の類似技術によれば、多数の電子ビーム発生部を具備す
る電子ビーム発生装置を得ることが可能で、表示装置を
はじめとする各種の画像形成装置への応用が期待されて
いる。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記複数の電子ビーム発生部を具備する
電子ビーム発生装置は、まだアイデア段階で、その実現
はされていないために、かかる電子ビーム発生装置を用
いてどのようにして画像を形成するかについては具体的
な提案がなされていない。
電子ビーム発生装置は、まだアイデア段階で、その実現
はされていないために、かかる電子ビーム発生装置を用
いてどのようにして画像を形成するかについては具体的
な提案がなされていない。
本発明は、かかる現状に鑑みてなされたもので、複数の
電子ビーム発生部を具備する電子ビーム発生装置によっ
て画像形成を行う画像形成装置を提供することを目的と
する。
電子ビーム発生部を具備する電子ビーム発生装置によっ
て画像形成を行う画像形成装置を提供することを目的と
する。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、複数の冷陰極電子源を具備する電子ビーム発
生装置と、前記電子ビーム発生装置から出射される電子
ビーム群をＸおよびＹ方向に偏向させる偏向手段と、前
記電子ビームが照射される画像形成領域と、を有する画
像形成装置において、 前記電子ビーム群は、前記偏向手段により、前記画像形
成領域をＸおよびＹ方向に分割した小領域ごとに、走査
され、前記画像形成領域を前記小領域ごとに順次照射す
ることを特徴とする画像形成装置である。
生装置と、前記電子ビーム発生装置から出射される電子
ビーム群をＸおよびＹ方向に偏向させる偏向手段と、前
記電子ビームが照射される画像形成領域と、を有する画
像形成装置において、 前記電子ビーム群は、前記偏向手段により、前記画像形
成領域をＸおよびＹ方向に分割した小領域ごとに、走査
され、前記画像形成領域を前記小領域ごとに順次照射す
ることを特徴とする画像形成装置である。
本発明を、本発明の一実施例に対応する第１図で説明す
ると、本実施例は、複数の冷陰極電子源からなる電子ビ
ーム発生部１を具備する電子ビーム発生装置２と、この
電子ビーム発生装置２から出射される電子ビーム群をＸ
およびＹ方向に偏向させ得る偏向手段３を有した画像形
成装置である。
ると、本実施例は、複数の冷陰極電子源からなる電子ビ
ーム発生部１を具備する電子ビーム発生装置２と、この
電子ビーム発生装置２から出射される電子ビーム群をＸ
およびＹ方向に偏向させ得る偏向手段３を有した画像形
成装置である。
尚、本発明においてX,Y方向とは、電子ビーム発生装置
２から照射される電子ビームに直角で、かつ互いに直交
する二方向をいう。
２から照射される電子ビームに直角で、かつ互いに直交
する二方向をいう。
［作用］ 電子ビーム発生装置２は、複数の電子ビーム発生部１を
具備しているので、一群の電子ビームを出射することに
よって、電子ビームが照射されることによって画像を形
成する被照射部材４上の一定領域に一度に電子ビームを
照射することができる。一方、上記電子ビーム群を偏向
手段３によってX,Y二方向に偏向させることができるの
で、被照射部材４上の画像形成領域全体を、上記一定領
域毎に重複させることなく電子ビーム群で照射走査する
ことができ、これによって任意の画像を形成することが
できる。
具備しているので、一群の電子ビームを出射することに
よって、電子ビームが照射されることによって画像を形
成する被照射部材４上の一定領域に一度に電子ビームを
照射することができる。一方、上記電子ビーム群を偏向
手段３によってX,Y二方向に偏向させることができるの
で、被照射部材４上の画像形成領域全体を、上記一定領
域毎に重複させることなく電子ビーム群で照射走査する
ことができ、これによって任意の画像を形成することが
できる。
［実施例］ 第１図に示されるように、電子ビーム発生装置２と被照
射部材４とが相対峙して設けられており、この両者間に
は偏向手段３が配置されている。
射部材４とが相対峙して設けられており、この両者間に
は偏向手段３が配置されている。
電子ビーム発生装置２は、同一基板上に複数の冷陰極電
子源を配列することにより、一体に設けられた複数の電
子ビーム発生部１を具備している。電子ビーム発生部１
を形成する陰極としては、冷陰極が最適である。また、
本実施例における電子ビーム発生部１は、各々独立して
駆動可能で、被照射部材４の所定の線領域内に電子ビー
ムを照射すべく、一次元配列されている。ここで一次元
配列とは、縦、横又は斜に一列に配列されていることを
いう。
子源を配列することにより、一体に設けられた複数の電
子ビーム発生部１を具備している。電子ビーム発生部１
を形成する陰極としては、冷陰極が最適である。また、
本実施例における電子ビーム発生部１は、各々独立して
駆動可能で、被照射部材４の所定の線領域内に電子ビー
ムを照射すべく、一次元配列されている。ここで一次元
配列とは、縦、横又は斜に一列に配列されていることを
いう。
本実施例における偏向手段３は、左右（Ｘ方向）一対の
平板電極3a,3bと上下（Ｙ方向）一対の平板電極3c,3dに
よって構成されている。各組の平板電極3aと3b,3cと3d
は、電子ビーム発生部１から発せられる全ビームの軌道
を間に挟んで、各々平行に相対向して配置されている。
平板電極3a,3b間及び平板電極3c,3d間には、可変電圧源
（図示されていない）から、各々独立して所要の電圧を
印加できるようになっている。尚、偏向手段３として
は、上記平板電極3a〜3dの他、電磁コイル等を用いるこ
とができる。
平板電極3a,3bと上下（Ｙ方向）一対の平板電極3c,3dに
よって構成されている。各組の平板電極3aと3b,3cと3d
は、電子ビーム発生部１から発せられる全ビームの軌道
を間に挟んで、各々平行に相対向して配置されている。
平板電極3a,3b間及び平板電極3c,3d間には、可変電圧源
（図示されていない）から、各々独立して所要の電圧を
印加できるようになっている。尚、偏向手段３として
は、上記平板電極3a〜3dの他、電磁コイル等を用いるこ
とができる。
被照射部材４は電子ビームの照射によって、固定画像又
は可変画像を形成するものである。具体的には、本画像
形成装置を表示装置として用いる場合、例えば電子ビー
ムの照射によって発光する蛍光体を塗設した蛍光スクリ
ーン等を用いることができる。また、フォトレジスト装
置として用いる場合、フォトレジスト層を有する部材と
すればよい。
は可変画像を形成するものである。具体的には、本画像
形成装置を表示装置として用いる場合、例えば電子ビー
ムの照射によって発光する蛍光体を塗設した蛍光スクリ
ーン等を用いることができる。また、フォトレジスト装
置として用いる場合、フォトレジスト層を有する部材と
すればよい。
第１図に示されるように、電子ビーム発生装置２の電子
ビーム発生部１から出射される複数の平行な電子ビーム
は、偏向手段３により偏向され、被照射部材４上の一次
元状の領域を照射することになる。そして、後述するよ
うにして、偏向手段３である平板電極3aと3b間及び3cと
3d間に適確な電圧を印加することにより、被照射部材４
上の全領域を、重複することなく順次走査することが可
能となる。その際、走査位置に応じて、電子ビーム発生
装置２の複数の電子ビーム発生部１を適宜ON,OFFすれ
ば、被照射部材４上に任意の画像を形成することが可能
である。
ビーム発生部１から出射される複数の平行な電子ビーム
は、偏向手段３により偏向され、被照射部材４上の一次
元状の領域を照射することになる。そして、後述するよ
うにして、偏向手段３である平板電極3aと3b間及び3cと
3d間に適確な電圧を印加することにより、被照射部材４
上の全領域を、重複することなく順次走査することが可
能となる。その際、走査位置に応じて、電子ビーム発生
装置２の複数の電子ビーム発生部１を適宜ON,OFFすれ
ば、被照射部材４上に任意の画像を形成することが可能
である。
上述の実施例においては、電子ビーム発生部１は一次元
配列となっているが、二次元配列とした方がより短時間
走査が可能となるので、一般的には二次元配列である。
ここで二次元配列とは、縦横共に複数列配列されている
ことをいう。電子ビーム発生部１を二次元配列した場合
を例に、本装置における電子ビームの走査について第２
図ないし第４図で更に説明する。
配列となっているが、二次元配列とした方がより短時間
走査が可能となるので、一般的には二次元配列である。
ここで二次元配列とは、縦横共に複数列配列されている
ことをいう。電子ビーム発生部１を二次元配列した場合
を例に、本装置における電子ビームの走査について第２
図ないし第４図で更に説明する。
第２図は、電子ビーム発生部１を二次元状に配列した電
子ビーム発生装置２から出射される電子ビーム群で、被
照射部材４上を重複することなく照射する場合の照射区
画を示している。被照射部材４上に点線で示されたa11
〜a33の領域は、説明の便宜上、被照射部材４表面の画
像形成領域を分割したものである。この各領域a11〜a33
は、各々電子ビーム発生部１の配列領域と相似形の形を
している。これらの領域a11〜a33を一単位として電子ビ
ーム群を順次照射して行くことにより、短時間のうち
に、重複することなく被照射部材４の画像形成領域全面
を走査することができる。
子ビーム発生装置２から出射される電子ビーム群で、被
照射部材４上を重複することなく照射する場合の照射区
画を示している。被照射部材４上に点線で示されたa11
〜a33の領域は、説明の便宜上、被照射部材４表面の画
像形成領域を分割したものである。この各領域a11〜a33
は、各々電子ビーム発生部１の配列領域と相似形の形を
している。これらの領域a11〜a33を一単位として電子ビ
ーム群を順次照射して行くことにより、短時間のうち
に、重複することなく被照射部材４の画像形成領域全面
を走査することができる。
第３図は、第１図に示される画像形成装置の側面図で、
一対の平板電極3a,3bは、電子ビーム発生部１から出射
される電子ビーム群を一括してＸ方向に偏向する役割を
もつ。同様に、対向する一対の平板電極3c,3dは、電子
ビーム群を一括してＹ方向に偏向する役割をもつ。図中
描かれている点線は、電子ビーム発生部１の出射する電
子ビーム群が、第２図中のa11又はa12又はa13のいずれ
かの領域を照射する場合の電子ビーム群の経路を表して
おり、同様に実線は、第２図中のa21又はa22又はa23の
いずれかの領域を照射する場合の電子ビーム群の経路を
表している。また、一点鎖線は、第２図中のa31又はa32
又はa33のいずれかの領域を照射する場合の電子ビーム
群の経路である。
一対の平板電極3a,3bは、電子ビーム発生部１から出射
される電子ビーム群を一括してＸ方向に偏向する役割を
もつ。同様に、対向する一対の平板電極3c,3dは、電子
ビーム群を一括してＹ方向に偏向する役割をもつ。図中
描かれている点線は、電子ビーム発生部１の出射する電
子ビーム群が、第２図中のa11又はa12又はa13のいずれ
かの領域を照射する場合の電子ビーム群の経路を表して
おり、同様に実線は、第２図中のa21又はa22又はa23の
いずれかの領域を照射する場合の電子ビーム群の経路を
表している。また、一点鎖線は、第２図中のa31又はa32
又はa33のいずれかの領域を照射する場合の電子ビーム
群の経路である。
第４図は、第３図で示した平板電極3aと3b間及び3cと3d
間に印加する電圧を時系列的に示す図である。
間に印加する電圧を時系列的に示す図である。
今、被照射部材４上に一つの画像を形成すべく、前記小
分割された領域a11〜a33を、a11，a12，a13，a21，
a22，a23，a31，a32，a33の順に走査し、電子ビーム群
を照射して行くものとする。
分割された領域a11〜a33を、a11，a12，a13，a21，
a22，a23，a31，a32，a33の順に走査し、電子ビーム群
を照射して行くものとする。
一般のCRTのように、単一の電子ビーム源（カラーCRTの
場合は３ケ）を使ってラスタースキャンを行い、画像を
形成して行く場合には、よく知られているように、平板
電極3aと3b間及び3cと3d間には三角波（のこぎり波）状
の電圧を印加すればよい。しかし、本画像形成装置のよ
うに、二次元状に配列された複数の電子ビーム発生部１
を用いて、前述のような領域毎の走査を行う為には、三
角波を用いたのでは重複照射を生じてしまう。そこで本
発明に係る装置では、次のようにして走査を行うことが
好ましい。即ち、平板電極3a,3b間には、第４図（ａ）
に示すような階段状の電圧波形を印加すればよい（図
は、平板電極3aを基準としたときの平板電極3bの電圧を
示している。同様に同図（ｂ）は、平板電極3c,3d間に
印加すべき電圧波形を示しており、また、同図（ｃ）
は、電子ビーム発生部１を駆動するタイミングを同一時
間軸上で示したものである。図中ON状態として示された
タイミングにおいて、電子ビーム発生装置２の具備する
複数の電子ビーム発生部１の中から、形成する画像の形
状に合わせて必要なものだけを駆動し、電子ビームを当
該領域に照射すればよい。
場合は３ケ）を使ってラスタースキャンを行い、画像を
形成して行く場合には、よく知られているように、平板
電極3aと3b間及び3cと3d間には三角波（のこぎり波）状
の電圧を印加すればよい。しかし、本画像形成装置のよ
うに、二次元状に配列された複数の電子ビーム発生部１
を用いて、前述のような領域毎の走査を行う為には、三
角波を用いたのでは重複照射を生じてしまう。そこで本
発明に係る装置では、次のようにして走査を行うことが
好ましい。即ち、平板電極3a,3b間には、第４図（ａ）
に示すような階段状の電圧波形を印加すればよい（図
は、平板電極3aを基準としたときの平板電極3bの電圧を
示している。同様に同図（ｂ）は、平板電極3c,3d間に
印加すべき電圧波形を示しており、また、同図（ｃ）
は、電子ビーム発生部１を駆動するタイミングを同一時
間軸上で示したものである。図中ON状態として示された
タイミングにおいて、電子ビーム発生装置２の具備する
複数の電子ビーム発生部１の中から、形成する画像の形
状に合わせて必要なものだけを駆動し、電子ビームを当
該領域に照射すればよい。
以上のような走査手順により、被照射部材４上に所望の
画像を形成することが可能であり、これを高速で繰り返
し行なうことにより、従来になく高精細で大容量の画像
表示を実現できる。
画像を形成することが可能であり、これを高速で繰り返
し行なうことにより、従来になく高精細で大容量の画像
表示を実現できる。
上述した第２図〜第４図の説明においては、被照射部材
４の表面を、Ｘ方向に３分割すると同時に、Ｙ方向につ
いても３分割し、a11〜a33の９つの領域に分けて電子ビ
ームを照射する場合を説明したが、本発明における走査
方式の適用はこの例に限定されるものではない。一般に
は、被照射部材４のＸ方向をｎ分割し、Ｙ方向をｍ分割
して、各領域毎に電子ビームを照射していく走査方式と
考えてよい。その際、Ｘ方向偏向用の平板電極3a,3bに
はｎ段階の階段状電圧を順次印加するとともに、Ｙ方向
偏向用の平板電極3c,3dにはｍ段階の階段状電圧を順次
印加していけばよい。
４の表面を、Ｘ方向に３分割すると同時に、Ｙ方向につ
いても３分割し、a11〜a33の９つの領域に分けて電子ビ
ームを照射する場合を説明したが、本発明における走査
方式の適用はこの例に限定されるものではない。一般に
は、被照射部材４のＸ方向をｎ分割し、Ｙ方向をｍ分割
して、各領域毎に電子ビームを照射していく走査方式と
考えてよい。その際、Ｘ方向偏向用の平板電極3a,3bに
はｎ段階の階段状電圧を順次印加するとともに、Ｙ方向
偏向用の平板電極3c,3dにはｍ段階の階段状電圧を順次
印加していけばよい。
尚、階段状の電圧を発生する手段については、例えば、
公知のD/A変換回路あるいはこれに類似の回路を応用す
ることにより容易に実現することが可能である。
公知のD/A変換回路あるいはこれに類似の回路を応用す
ることにより容易に実現することが可能である。
［発明の効果］ 以上説明したように、複数の電子ビーム発生部が放射す
る電子ビーム群で被照射部材の部分領域毎に画像を形成
して行くことにより、極めて大容量の画像を大面積にわ
たって短時間のうちに形成することが可能となる。ま
た、本発明を例えば画像表示装置に適用すれば、従来に
なく大表示容量をもち、かつ高精細なCRTを安価に提供
することが可能である。
る電子ビーム群で被照射部材の部分領域毎に画像を形成
して行くことにより、極めて大容量の画像を大面積にわ
たって短時間のうちに形成することが可能となる。ま
た、本発明を例えば画像表示装置に適用すれば、従来に
なく大表示容量をもち、かつ高精細なCRTを安価に提供
することが可能である。
第１図は本発明の一実施例の説明図、第２図は電子ビー
ム群による走査状態の説明図、第３図は第１図の側面
図、第４図（ａ）〜（ｃ）は偏向手段へ印加する電圧を
時系列的に示す図である。 1:電子ビーム発生部、2:電子ビーム発生装置、3:偏向手
段、3a〜3d:平板電極、4:被照射部材。
ム群による走査状態の説明図、第３図は第１図の側面
図、第４図（ａ）〜（ｃ）は偏向手段へ印加する電圧を
時系列的に示す図である。 1:電子ビーム発生部、2:電子ビーム発生装置、3:偏向手
段、3a〜3d:平板電極、4:被照射部材。
Claims (5)
- 【請求項１】複数の冷陰極電子源を具備する電子ビーム
発生装置と、前記電子ビーム発生装置から出射される電
子ビーム群をＸおよびＹ方向に偏向させる偏向手段と、
前記電子ビームが照射される画像形成領域と、を有する
画像形成装置において、 前記電子ビーム群は、前記偏向手段により、前記画像形
成領域をＸおよびＹ方向に分割した小領域ごとに、走査
され、前記画像形成領域を前記小領域ごとに順次照射す
ることを特徴とする画像形成装置。 - 【請求項２】前記小領域は、複数の隣り合う画素から構
成される特許請求の範囲第１項に記載の画像形成装置。 - 【請求項３】前記小領域に含まれる画素の数は、前記電
子ビーム発生装置に含まれる冷陰極電子源の数に等しい
特許請求の範囲第２項に記載の画像形成装置。 - 【請求項４】前記偏向手段は、偏向電極に階段状の電圧
波形を与え、前記電子ビーム群の照射領域が、１画面上
で前記小領域ごとに、重複しないように、前記電子ビー
ム群を偏向させる特許請求の範囲第１項乃至第３項のい
ずれか１項に記載の画像形成装置。 - 【請求項５】前記画像形成領域は、レジストである特許
請求の範囲第１項乃至第４項のいずれか１項に記載の画
像形成装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61138226A JPH0746581B2 (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | 画像形成装置 |
| US07/545,115 US5025196A (en) | 1986-06-02 | 1990-06-26 | Image forming device with beam current control |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61138226A JPH0746581B2 (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | 画像形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62296348A JPS62296348A (ja) | 1987-12-23 |
| JPH0746581B2 true JPH0746581B2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=15217037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61138226A Expired - Fee Related JPH0746581B2 (ja) | 1986-06-02 | 1986-06-16 | 画像形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0746581B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5832340A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 陰極構体の製造方法 |
| JPS6017840A (ja) * | 1983-07-08 | 1985-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−映像管 |
-
1986
- 1986-06-16 JP JP61138226A patent/JPH0746581B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62296348A (ja) | 1987-12-23 |
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