JPH0746818A - Ｘｙステージ - Google Patents
ＸｙステージInfo
- Publication number
- JPH0746818A JPH0746818A JP19104093A JP19104093A JPH0746818A JP H0746818 A JPH0746818 A JP H0746818A JP 19104093 A JP19104093 A JP 19104093A JP 19104093 A JP19104093 A JP 19104093A JP H0746818 A JPH0746818 A JP H0746818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- stage
- moving table
- plane parallel
- plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】ガイドレス平面ステージを３つのアクチュエー
タで駆動することにより、２軸ステージを軽量高剛性化
し、高速化を図る。 【構成】ベース１と、ベース１上にベース１の面と平行
な平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように２次元空
気軸受け２にて支持された移動テーブル３と、移動テー
ブル３にその合力がベース１の面と平行な平面内で直交
方向及び回転方向に作用するように配置した３個のボイ
スコイルモータ４，５，６と、移動テーブル３のＹ方向
移動範囲に渡る長さの目盛りをＸ方向移動範囲に渡って
有するメインスケールで構成されるリニアスケール７及
びＸ方向移動範囲に渡る長さの目盛りをリニアスケール
７方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成さ
れるリニアスケール８，９，とを含んで構成される。
タで駆動することにより、２軸ステージを軽量高剛性化
し、高速化を図る。 【構成】ベース１と、ベース１上にベース１の面と平行
な平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように２次元空
気軸受け２にて支持された移動テーブル３と、移動テー
ブル３にその合力がベース１の面と平行な平面内で直交
方向及び回転方向に作用するように配置した３個のボイ
スコイルモータ４，５，６と、移動テーブル３のＹ方向
移動範囲に渡る長さの目盛りをＸ方向移動範囲に渡って
有するメインスケールで構成されるリニアスケール７及
びＸ方向移動範囲に渡る長さの目盛りをリニアスケール
７方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成さ
れるリニアスケール８，９，とを含んで構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸＹステージ、特に、高
速位置決めを目的とするＸＹステージに関する。
速位置決めを目的とするＸＹステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸＹステージは、図２に示すよう
に、ベース１と、ベース１上に一次元ベアリング１０を
介して支持された下軸テーブル１１と、前記下軸テーブ
ル１１を駆動するボイスコイルモータ１２と、前記下軸
テーブル１１の位置を測定すリニアエンコーダ１３と、
前記下軸テーブル１１上に一次元ベアリング１４を介し
て支持された上軸テーブル１５と、前記上軸テーブル１
５を駆動するボイスコイルモータ１６と、前記上軸テー
ブル１５の位置を測定するリニアエンコーダ１７と各リ
ニアエンコーダ１３，１７からの情報を基に各ボイスコ
イルモータ１２，１６を駆動する制御部９を含んで構成
される。
に、ベース１と、ベース１上に一次元ベアリング１０を
介して支持された下軸テーブル１１と、前記下軸テーブ
ル１１を駆動するボイスコイルモータ１２と、前記下軸
テーブル１１の位置を測定すリニアエンコーダ１３と、
前記下軸テーブル１１上に一次元ベアリング１４を介し
て支持された上軸テーブル１５と、前記上軸テーブル１
５を駆動するボイスコイルモータ１６と、前記上軸テー
ブル１５の位置を測定するリニアエンコーダ１７と各リ
ニアエンコーダ１３，１７からの情報を基に各ボイスコ
イルモータ１２，１６を駆動する制御部９を含んで構成
される。
【０００３】従来の２次元位置決めテーブルは、与えら
れたステージの２次元移動目標座標（下軸方向、上軸方
向）に対し、下軸方向には下軸ボイスコイルモータ１２
を、上軸方向には上軸ボイスコイルモータ１６を各リニ
アエンコーダ１３，１７の情報に基づいて制御部９（詳
細省略）により独立にフィードバック制御することによ
り、動作を行う。
れたステージの２次元移動目標座標（下軸方向、上軸方
向）に対し、下軸方向には下軸ボイスコイルモータ１２
を、上軸方向には上軸ボイスコイルモータ１６を各リニ
アエンコーダ１３，１７の情報に基づいて制御部９（詳
細省略）により独立にフィードバック制御することによ
り、動作を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のＸＹステージで
は、一軸ステージを二段積みにした構成となっているた
め軽量化が困難で高速化に限界があるという問題点があ
った。
は、一軸ステージを二段積みにした構成となっているた
め軽量化が困難で高速化に限界があるという問題点があ
った。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のＸＹステージ
は、ベースと、前記ベース上にベース面と平行な平面内
で任意の位置及び姿勢がとれるように支持された移動テ
ーブルと、前記移動テーブルに作用しその合力がベース
面と平行な平面内で直行方向及び回転方向に発生するよ
うに配置したＮ個（Ｎ≧３）のアクチュエータと、前記
移動テーブルの位置及び姿勢を測定する計測手段と、前
記計測手段からの情報を基にＮ個のアクチュエータを駆
動する制御部とを含んで構成される。
は、ベースと、前記ベース上にベース面と平行な平面内
で任意の位置及び姿勢がとれるように支持された移動テ
ーブルと、前記移動テーブルに作用しその合力がベース
面と平行な平面内で直行方向及び回転方向に発生するよ
うに配置したＮ個（Ｎ≧３）のアクチュエータと、前記
移動テーブルの位置及び姿勢を測定する計測手段と、前
記計測手段からの情報を基にＮ個のアクチュエータを駆
動する制御部とを含んで構成される。
【０００６】
【実施例】次に本発明に付いて図面を参照して説明す
る。
る。
【０００７】図１は本発明の一実施例を示す斜視図であ
る。図１に示すＸＹステージは、ベース１と、ベース１
上にベース１面と平行な平面内で任意の位置及び姿勢が
とれるように２次元空気軸受け２にて支持された移動テ
ーブル３と、移動テーブル３にその合力がベース面と平
行な平面内で直行方向及び回転方向に作用するように配
置した３個のボイスコイルモータ４，５，６と、移動テ
ーブル３のＹ方向移動範囲に渡る長さの目盛りをＸ方向
移動範囲に渡って有するメインスケールで構成されるリ
ニアスケール７及びＸ方向移動範囲に渡る長さの目盛り
をＹ方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成
されるリニアスケール８，９と、リニアスケール７，
８，９からの情報を基に三つのボイスコイルモータ４，
５，６を駆動する制御部（図示省略）を含んで構成され
る。本発明のＸＹステージは、与えられたステージの２
次元移動目標座標に対し、制御部により各リニアスケー
ル７，８，９の情報に基づいて移動テーブル３の位置姿
勢を算出して比較し、ボイスコイルモータ４，５，６を
同時にフィードバック制御することにより動作を行う。
る。図１に示すＸＹステージは、ベース１と、ベース１
上にベース１面と平行な平面内で任意の位置及び姿勢が
とれるように２次元空気軸受け２にて支持された移動テ
ーブル３と、移動テーブル３にその合力がベース面と平
行な平面内で直行方向及び回転方向に作用するように配
置した３個のボイスコイルモータ４，５，６と、移動テ
ーブル３のＹ方向移動範囲に渡る長さの目盛りをＸ方向
移動範囲に渡って有するメインスケールで構成されるリ
ニアスケール７及びＸ方向移動範囲に渡る長さの目盛り
をＹ方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成
されるリニアスケール８，９と、リニアスケール７，
８，９からの情報を基に三つのボイスコイルモータ４，
５，６を駆動する制御部（図示省略）を含んで構成され
る。本発明のＸＹステージは、与えられたステージの２
次元移動目標座標に対し、制御部により各リニアスケー
ル７，８，９の情報に基づいて移動テーブル３の位置姿
勢を算出して比較し、ボイスコイルモータ４，５，６を
同時にフィードバック制御することにより動作を行う。
【０００８】
【発明の効果】以上説明した様に本発明のＸＹステージ
は、一軸ステージを段積みにする代わりに、二次元ベア
リング、二次元位置姿勢センサを採用して平面構成と
し、３つのアクチュエータで駆動することにより、軽量
化・高剛性化による高速化が容易という効果を有する。
は、一軸ステージを段積みにする代わりに、二次元ベア
リング、二次元位置姿勢センサを採用して平面構成と
し、３つのアクチュエータで駆動することにより、軽量
化・高剛性化による高速化が容易という効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】従来の一例を示す斜視図である。
１ ベース ２ 二次元ベアリング ３ テーブル ４〜６ ボイスコイルモータ ７〜９ リニアスケール １０ 制御部
Claims (4)
- 【請求項１】 ベースと、前記ベース上にベース面と平
行な平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように支持さ
れた移動テーブルと、前記移動テーブルに作用しその合
力がベース面と平行な平面内で直行方向及び回転方向に
発生するように配置したＮ個（Ｎ≧３）のアクチュエー
タと、前記移動テーブルの位置及び姿勢を測定する計測
手段と、前記計測手段からの情報を基にＮ個のアクチュ
エータを駆動する制御部とを含むことを特徴とするＸＹ
ステージ。 - 【請求項２】 平面案内が平面静圧軸受けである請求項
１記載のＸＹステージ。 - 【請求項３】 前記アクチュエータが前記移動テーブル
に固定され前記ベース面と平行な平面内に巻かれたコイ
ルと、前記ベース面に垂直方向の磁界を有し前記コイル
とコイルのテーブル移動に伴う移動範囲をカバーする磁
気回路とで構成されるボイスコイルモータである請求項
１記載のＸＹステージ。 - 【請求項４】 前記位置及び姿勢計測手段が、測定方向
に直交する目盛りを有するメインスケールと、メインス
ケールに対向する発光部と受光部を有する読み取りヘッ
ドとを含んで構成される光学式リニアスケールであっ
て、前記読み取りヘッドが測定方向に対して直交方向に
移動可能で、前記メインスケールが測定方向に対して直
交方向に前記移動範囲に渡る長さの目盛りを有する請求
項１記載のＸＹステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5191040A JP2639310B2 (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Ｘｙステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5191040A JP2639310B2 (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Ｘｙステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0746818A true JPH0746818A (ja) | 1995-02-14 |
| JP2639310B2 JP2639310B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=16267891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5191040A Expired - Lifetime JP2639310B2 (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Ｘｙステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2639310B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005351917A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Pentax Corp | 像ブレ補正装置 |
| JP2006094185A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Pentax Corp | ステージ駆動機構 |
| TWI476065B (zh) * | 2012-11-01 | 2015-03-11 | Univ Southern Taiwan Sci & Tec | 共平面平台機構 |
| CN111307436A (zh) * | 2020-03-09 | 2020-06-19 | 西南交通大学 | 一种隔离振动传递的往复式摩擦学行为研究试验台 |
| CN111307437A (zh) * | 2020-03-09 | 2020-06-19 | 西南交通大学 | 一种实现振动解耦的旋转式摩擦学行为模拟试验台 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58501931A (ja) * | 1981-11-12 | 1983-11-10 | レスニコ−，ハ−バ−ト | 制御電気駆動装置 |
| JPS6091337U (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-22 | 株式会社 東京精密 | Ｘ，ｙテ−ブルの駆動機構 |
| JPS61293149A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-23 | Hitachi Ltd | 駆動装置 |
| JP3050974U (ja) * | 1998-01-28 | 1998-08-07 | 合泰半導體股▲ふん▼有限公司 | メモリセル複数ビットデータ保存装置 |
-
1993
- 1993-08-02 JP JP5191040A patent/JP2639310B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58501931A (ja) * | 1981-11-12 | 1983-11-10 | レスニコ−，ハ−バ−ト | 制御電気駆動装置 |
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| JPS61293149A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-23 | Hitachi Ltd | 駆動装置 |
| JP3050974U (ja) * | 1998-01-28 | 1998-08-07 | 合泰半導體股▲ふん▼有限公司 | メモリセル複数ビットデータ保存装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2006094185A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Pentax Corp | ステージ駆動機構 |
| TWI476065B (zh) * | 2012-11-01 | 2015-03-11 | Univ Southern Taiwan Sci & Tec | 共平面平台機構 |
| CN111307436A (zh) * | 2020-03-09 | 2020-06-19 | 西南交通大学 | 一种隔离振动传递的往复式摩擦学行为研究试验台 |
| CN111307437A (zh) * | 2020-03-09 | 2020-06-19 | 西南交通大学 | 一种实现振动解耦的旋转式摩擦学行为模拟试验台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2639310B2 (ja) | 1997-08-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970325 |