JPH0746854A - 電源装置及び半導体素子の製造方法 - Google Patents
電源装置及び半導体素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH0746854A JPH0746854A JP5188138A JP18813893A JPH0746854A JP H0746854 A JPH0746854 A JP H0746854A JP 5188138 A JP5188138 A JP 5188138A JP 18813893 A JP18813893 A JP 18813893A JP H0746854 A JPH0746854 A JP H0746854A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- direct current
- phase
- microcomputer
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Direct Current Feeding And Distribution (AREA)
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
- Inverter Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来は有磁場ドライエッチング装置用の回転
磁界専用の電源であったものを、３直流が出力できるよ
うに配線とマイクロコンピュータ８のプログラムを追加
して、マルチ磁界電源を作るものである。 【構成】 ３相交流を整流するダイオードモジュール１
と、直流電圧をＰＷＭ制御するトランジスタモジュール
９と、トランジスタモジュール９を３相交流や３直流が
出力できるようにスイッチング動作指令するマイクロコ
ンピュータ８と、各相の出力状態をマイクロコンピュー
タ８にフィードバックするカレントトランス１６、１
７、１８とから構成される。 【効果】 従来は有磁場ドライエッチング装置専用の回
転磁界用電源であったのを、一部配線とマイクロコンピ
ュータ８のプログラムに直流用プログラムを追加するこ
とで、安価なマルチパワー電源を得ることができる。
磁界専用の電源であったものを、３直流が出力できるよ
うに配線とマイクロコンピュータ８のプログラムを追加
して、マルチ磁界電源を作るものである。 【構成】 ３相交流を整流するダイオードモジュール１
と、直流電圧をＰＷＭ制御するトランジスタモジュール
９と、トランジスタモジュール９を３相交流や３直流が
出力できるようにスイッチング動作指令するマイクロコ
ンピュータ８と、各相の出力状態をマイクロコンピュー
タ８にフィードバックするカレントトランス１６、１
７、１８とから構成される。 【効果】 従来は有磁場ドライエッチング装置専用の回
転磁界用電源であったのを、一部配線とマイクロコンピ
ュータ８のプログラムに直流用プログラムを追加するこ
とで、安価なマルチパワー電源を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、有磁場ドライエッチ
ング装置の回転磁界用の電源としても使用できるし、Ｅ
ＣＲ（Electron Cyclotron Resonance）エッチング装置
の有磁場用直流電源としても、切換使用できる電源装置
及び該電源装置を用いて半導体装置を製造する半導体装
置の製造方法に関するものである。
ング装置の回転磁界用の電源としても使用できるし、Ｅ
ＣＲ（Electron Cyclotron Resonance）エッチング装置
の有磁場用直流電源としても、切換使用できる電源装置
及び該電源装置を用いて半導体装置を製造する半導体装
置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の電源装置の構成について図５を参
照しながら説明する。図５は、回転磁界用の従来の電源
装置の構成を示す図である。
照しながら説明する。図５は、回転磁界用の従来の電源
装置の構成を示す図である。
【０００３】図５において、１はＡＣ２００Ｖ３φの電
流を全波整流するダイオードモジュール、９は整流され
た直流を３相交流に変換する、３回路のトランジスタ
（Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４、Ｔｒ５及びＴｒ
６）により構成したトランジスタモジュールである。ま
た、８はトランジスタモジュール９の各トランジスタＴ
ｒ１〜Ｔｒ６をＰＷＭ制御し３相交流を発生させるため
のマイクロコンピュータ（ＣＰＵ）である。
流を全波整流するダイオードモジュール、９は整流され
た直流を３相交流に変換する、３回路のトランジスタ
（Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４、Ｔｒ５及びＴｒ
６）により構成したトランジスタモジュールである。ま
た、８はトランジスタモジュール９の各トランジスタＴ
ｒ１〜Ｔｒ６をＰＷＭ制御し３相交流を発生させるため
のマイクロコンピュータ（ＣＰＵ）である。
【０００４】さらに、１９は３相で回転磁界を発生させ
るための回転磁界用コイルであり、各相に流れる電流は
各カレントトランス（変流器）１６、１７及び１８（Ｃ
Ｔ１、ＣＴ２及びＣＴ３）によりマイクロコンピュータ
８にフィードバックする構成となっている。
るための回転磁界用コイルであり、各相に流れる電流は
各カレントトランス（変流器）１６、１７及び１８（Ｃ
Ｔ１、ＣＴ２及びＣＴ３）によりマイクロコンピュータ
８にフィードバックする構成となっている。
【０００５】ダイオードモジュール１は、６個のダイオ
ード２、３、４、５、６及び７から構成されている。ま
た、トランジスタモジュール９は、６個のトランジスタ
１０、１１、１２、１３、１４及び１５から構成されて
いる。
ード２、３、４、５、６及び７から構成されている。ま
た、トランジスタモジュール９は、６個のトランジスタ
１０、１１、１２、１３、１４及び１５から構成されて
いる。
【０００６】つぎに、前述した従来の電源装置の動作に
ついて説明する。Ｒ、Ｓ及びＴ端子に入力したＡＣ２０
０Ｖ３φの交流をダイオードモジュール１により全波整
流して、所定の直流（ＤＣ）電圧を得る。その直流（Ｄ
Ｃ）電圧をトランジスタモジュール９により各相をＰＷ
Ｍ制御することで、３相交流を発生させる。
ついて説明する。Ｒ、Ｓ及びＴ端子に入力したＡＣ２０
０Ｖ３φの交流をダイオードモジュール１により全波整
流して、所定の直流（ＤＣ）電圧を得る。その直流（Ｄ
Ｃ）電圧をトランジスタモジュール９により各相をＰＷ
Ｍ制御することで、３相交流を発生させる。
【０００７】各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）を定電流、定周波で制
御（コントロール）するのが、マイクロコンピュータ
（ＣＰＵ）８であり、各相の出力はカレントトランス
（ＣＴ１、ＣＴ２及びＣＴ３）１６、１７及び１８によ
りマイクロコンピュータ８にフィードバックされる構成
となっている。
御（コントロール）するのが、マイクロコンピュータ
（ＣＰＵ）８であり、各相の出力はカレントトランス
（ＣＴ１、ＣＴ２及びＣＴ３）１６、１７及び１８によ
りマイクロコンピュータ８にフィードバックされる構成
となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述したような回転磁
界用の従来の電源装置は、定電流・定周波の３相交流し
か発生させる機能しか持っていない専用電源であった。
これは有磁場エッチング装置の回転磁界用電源専用であ
り、使用効率が悪いという問題点があった。
界用の従来の電源装置は、定電流・定周波の３相交流し
か発生させる機能しか持っていない専用電源であった。
これは有磁場エッチング装置の回転磁界用電源専用であ
り、使用効率が悪いという問題点があった。
【０００９】この発明は、前述した問題点を解決するた
めになされたもので、有磁場エッチング装置の回転磁界
用電源として使用でき、切換によりＥＣＲエッチング装
置の静磁場用直流電源としても使用できる電源装置を得
ることを目的とする。
めになされたもので、有磁場エッチング装置の回転磁界
用電源として使用でき、切換によりＥＣＲエッチング装
置の静磁場用直流電源としても使用できる電源装置を得
ることを目的とする。
【００１０】また、この発明は、切換使用できる電源装
置を用いて半導体装置を製造する半導体装置の製造方法
を得ることを目的とする。
置を用いて半導体装置を製造する半導体装置の製造方法
を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る電源装置は、次に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。
る電源装置は、次に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。
【００１２】この発明の請求項２に係る電源装置は、次
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換し、前記直流出力をアース端子に送出するトランジス
タモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換し、前記直流出力をアース端子に送出するトランジス
タモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。
【００１３】この発明の請求項３に係る電源装置は、次
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換して出力端子に送出するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記出力端子で検出された電流に基づいて前記
トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコン
ピュータ。
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換して出力端子に送出するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記出力端子で検出された電流に基づいて前記
トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコン
ピュータ。
【００１４】この発明の請求項４に係る電源装置は、次
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。 〔４〕 前記３相交流出力を有磁場ドライエッチング装
置用として、前記直流出力をＥＣＲエッチング装置用と
して使用することを前記マイクロコンピュータに入力す
る切換スイッチ。
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。 〔４〕 前記３相交流出力を有磁場ドライエッチング装
置用として、前記直流出力をＥＣＲエッチング装置用と
して使用することを前記マイクロコンピュータに入力す
る切換スイッチ。
【００１５】この発明の請求項５に係る半導体装置の製
造方法は、３相交流を整流して直流電圧を生成するダイ
オードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及び直
流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに前記
３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づい
て前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイク
ロコンピュータを備えた電源装置からの３相交流出力に
より有磁場ドライエッチング装置のチャンバーに回転磁
界を与えてプラズマを高密度・均一性にする工程を含む
ものである。
造方法は、３相交流を整流して直流電圧を生成するダイ
オードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及び直
流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに前記
３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づい
て前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイク
ロコンピュータを備えた電源装置からの３相交流出力に
より有磁場ドライエッチング装置のチャンバーに回転磁
界を与えてプラズマを高密度・均一性にする工程を含む
ものである。
【００１６】この発明の請求項６に係る半導体装置の製
造方法は、３相交流を整流して直流電圧を生成するダイ
オードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及び直
流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに前記
３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づい
て前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイク
ロコンピュータを備えた電源装置からの直流出力により
ＥＣＲエッチング装置に静磁場を与えてチャンバープラ
ズマをＥＣＲ状態にして半導体装置をエッチングする工
程を含むものである。
造方法は、３相交流を整流して直流電圧を生成するダイ
オードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及び直
流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに前記
３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づい
て前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイク
ロコンピュータを備えた電源装置からの直流出力により
ＥＣＲエッチング装置に静磁場を与えてチャンバープラ
ズマをＥＣＲ状態にして半導体装置をエッチングする工
程を含むものである。
【００１７】
【作用】この発明の請求項１に係る電源装置において
は、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流さ
れて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジュ
ールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流出
力に変換される。さらに、マイクロコンピュータによっ
て、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御さ
れる。
は、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流さ
れて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジュ
ールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流出
力に変換される。さらに、マイクロコンピュータによっ
て、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御さ
れる。
【００１８】この発明の請求項２に係る電源装置におい
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換され、前記直流出力がアース端子に送出され
る。さらに、マイクロコンピュータによって、前記３相
交流出力及び直流出力から検出された電流に基づいて前
記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御される。
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換され、前記直流出力がアース端子に送出され
る。さらに、マイクロコンピュータによって、前記３相
交流出力及び直流出力から検出された電流に基づいて前
記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御される。
【００１９】この発明の請求項３に係る電源装置におい
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換されて出力端子に送出される。さらに、マイ
クロコンピュータによって、前記出力端子で検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制
御される。
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換されて出力端子に送出される。さらに、マイ
クロコンピュータによって、前記出力端子で検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制
御される。
【００２０】この発明の請求項４に係る電源装置におい
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換される。さらに、マイクロコンピュータによ
って、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電
流に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御
される。そして、切換スイッチによって、前記３相交流
出力が有磁場ドライエッチング装置用として、前記直流
出力がＥＣＲエッチング装置用として使用されることが
前記マイクロコンピュータに入力される。
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換される。さらに、マイクロコンピュータによ
って、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電
流に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御
される。そして、切換スイッチによって、前記３相交流
出力が有磁場ドライエッチング装置用として、前記直流
出力がＥＣＲエッチング装置用として使用されることが
前記マイクロコンピュータに入力される。
【００２１】この発明の請求項５に係る半導体装置の製
造方法においては、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出
力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並
びに前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータを備えた電源装置からの３相交
流出力により、有磁場ドライエッチング装置のチャンバ
ーに回転磁界が与えられてプラズマが高密度・均一性に
される。
造方法においては、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出
力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並
びに前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータを備えた電源装置からの３相交
流出力により、有磁場ドライエッチング装置のチャンバ
ーに回転磁界が与えられてプラズマが高密度・均一性に
される。
【００２２】この発明の請求項６に係る半導体装置の製
造方法においては、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出
力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並
びに前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータを備えた電源装置からの直流出
力により、ＥＣＲエッチング装置に静磁場が与えられて
チャンバープラズマがＥＣＲ状態にされて半導体装置が
エッチングされる。
造方法においては、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出
力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並
びに前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータを備えた電源装置からの直流出
力により、ＥＣＲエッチング装置に静磁場が与えられて
チャンバープラズマがＥＣＲ状態にされて半導体装置が
エッチングされる。
【００２３】
【実施例】実施例１．以下、この発明の実施例１の構成
について図１を参照しながら説明する。図１は、この発
明の実施例１の構成を示す図であり、ダイオードモジュ
ール１〜カレントトランス１８は上述した従来装置のも
のと同様である。なお、各図中、同一符号は同一又は相
当部分を示す。
について図１を参照しながら説明する。図１は、この発
明の実施例１の構成を示す図であり、ダイオードモジュ
ール１〜カレントトランス１８は上述した従来装置のも
のと同様である。なお、各図中、同一符号は同一又は相
当部分を示す。
【００２４】図１において、１はＡＣ２００Ｖ３φを整
流するダイオードモジュールであり、６個のダイオード
２、３、４、５、６及び７から構成されている。９は直
流をＰＷＭ制御するトランジスタモジュールであり、６
個のトランジスタ１０、１１、１２、１３、１４及び１
５から構成されている。
流するダイオードモジュールであり、６個のダイオード
２、３、４、５、６及び７から構成されている。９は直
流をＰＷＭ制御するトランジスタモジュールであり、６
個のトランジスタ１０、１１、１２、１３、１４及び１
５から構成されている。
【００２５】また、８は３相交流の電流・周波数と３回
路に直流出力させるためにトランジスタモジュール９の
各トランジスタ１０〜１５をコントロールするマイクロ
コンピュータ（ＣＰＵ）である。１６、１７及び１８は
各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）の出力をマイクロコンピュータ８に
フィードバックさせるためのカレントランス（ＣＴ１、
ＣＴ２及びＣＴ３）である。
路に直流出力させるためにトランジスタモジュール９の
各トランジスタ１０〜１５をコントロールするマイクロ
コンピュータ（ＣＰＵ）である。１６、１７及び１８は
各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）の出力をマイクロコンピュータ８に
フィードバックさせるためのカレントランス（ＣＴ１、
ＣＴ２及びＣＴ３）である。
【００２６】さらに、２０は３相交流出力と直流３回路
出力の切換スイッチ（ＳＷ）、２１は出力端子台であ
り、出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２、２３、２４とアース
端子（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）２５、２６、２７から構成さ
れている。
出力の切換スイッチ（ＳＷ）、２１は出力端子台であ
り、出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２、２３、２４とアース
端子（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）２５、２６、２７から構成さ
れている。
【００２７】つぎに、前述した実施例１の動作について
図２、図３及び図４を参照しながら説明する。図２は、
この発明の実施例１の動作を示すフローチャートであ
る。また、図３は、この発明の実施例１の３相ＰＷＭ制
御による交流出力を示す図である。さらに、図４は、こ
の発明の実施例１のＰＷＭ制御による直流出力を示す図
である。
図２、図３及び図４を参照しながら説明する。図２は、
この発明の実施例１の動作を示すフローチャートであ
る。また、図３は、この発明の実施例１の３相ＰＷＭ制
御による交流出力を示す図である。さらに、図４は、こ
の発明の実施例１のＰＷＭ制御による直流出力を示す図
である。
【００２８】図３において、１９は出力端子２２、２３
及び２４に接続された回転磁界用コイルである。また、
２８は３相ＰＷＭ制御電流（ｉU、ｉV、ｉW）である。
及び２４に接続された回転磁界用コイルである。また、
２８は３相ＰＷＭ制御電流（ｉU、ｉV、ｉW）である。
【００２９】図４において、２９は直流を発生させるた
めの直流出力用ＰＷＭ電圧（ＶUE1）、３０は静磁場用
コイル３２、３３、３４に流す直流電流（ｉDU）、３１
は静磁場用直流回路である。なお、直流出力用ＰＷＭ電
圧（ＶUE1）は出力端子（Ｕ）２２と、アース端子（Ｅ
１）２５の間に出力される電圧である。また、直流電流
（ｉDU）は出力端子（Ｕ）２２と、アース端子（Ｅ１）
２５の間に接続された静磁場用コイル３２に流れる電流
である。
めの直流出力用ＰＷＭ電圧（ＶUE1）、３０は静磁場用
コイル３２、３３、３４に流す直流電流（ｉDU）、３１
は静磁場用直流回路である。なお、直流出力用ＰＷＭ電
圧（ＶUE1）は出力端子（Ｕ）２２と、アース端子（Ｅ
１）２５の間に出力される電圧である。また、直流電流
（ｉDU）は出力端子（Ｕ）２２と、アース端子（Ｅ１）
２５の間に接続された静磁場用コイル３２に流れる電流
である。
【００３０】この実施例１は、Ｒ、Ｓ及びＴ端子に入力
したＡＣ２００Ｖ３φの交流をダイオードモジュール１
により全波整流して、所定の直流（ＤＣ）電圧を得る。
そして、その直流電圧をトランジスタモジュール９によ
り各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）をＰＷＭ制御することで、３相交
流を発生させたり、直流を発生させる。
したＡＣ２００Ｖ３φの交流をダイオードモジュール１
により全波整流して、所定の直流（ＤＣ）電圧を得る。
そして、その直流電圧をトランジスタモジュール９によ
り各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）をＰＷＭ制御することで、３相交
流を発生させたり、直流を発生させる。
【００３１】図３に示すように、マイクロコンピュータ
（ＣＰＵ）８は、トランジスタモジュール９をＰＷＭ制
御することにより、３相ＰＷＭ制御電流２８を発生さ
せ、回転磁界用コイル１９により回転磁界を作る。
（ＣＰＵ）８は、トランジスタモジュール９をＰＷＭ制
御することにより、３相ＰＷＭ制御電流２８を発生さ
せ、回転磁界用コイル１９により回転磁界を作る。
【００３２】また、図４に示すように、マイクロコンピ
ュータ（ＣＰＵ）８は、トランジスタモジュール９の各
相毎にＰＷＭ制御することにより、直流電流３０を作る
ことができる。
ュータ（ＣＰＵ）８は、トランジスタモジュール９の各
相毎にＰＷＭ制御することにより、直流電流３０を作る
ことができる。
【００３３】図１に示すカレントトランス（ＣＴ１、Ｃ
Ｔ２、ＣＴ３）１６、１７、１８からの出力をマイクロ
コンピュータ８にフィードバックさせることにより、マ
イクロコンピュータ８は３相交流としては電流値と周波
数、直流としては直流値を一定にコントロールすること
ができる。
Ｔ２、ＣＴ３）１６、１７、１８からの出力をマイクロ
コンピュータ８にフィードバックさせることにより、マ
イクロコンピュータ８は３相交流としては電流値と周波
数、直流としては直流値を一定にコントロールすること
ができる。
【００３４】ステップ４０〜４１において、マイクロコ
ンピュータ（ＣＰＵ）８は、スイッチデータを読込み
（ピックアップ）し、切換スイッチ２０がＯＮか否かを
判断する。切換スイッチ２０がＯＦＦの場合は、ステッ
プ４２に進み、ＯＮの場合にはステップ４３に進む。
ンピュータ（ＣＰＵ）８は、スイッチデータを読込み
（ピックアップ）し、切換スイッチ２０がＯＮか否かを
判断する。切換スイッチ２０がＯＦＦの場合は、ステッ
プ４２に進み、ＯＮの場合にはステップ４３に進む。
【００３５】ステップ４２において、マイクロコンピュ
ータ（ＣＰＵ）８は、３相交流を出力するように、トラ
ンジスタモジュール９を制御する。
ータ（ＣＰＵ）８は、３相交流を出力するように、トラ
ンジスタモジュール９を制御する。
【００３６】すなわち、マイクロコンピュータ８は、ト
ランジスタモジュール９をＰＷＭ制御して、図３に示す
３相ＰＷＭ制御電流（ｉU、ｉV、ｉW）２８を生成し、
回転磁界用コイル１９に流す。
ランジスタモジュール９をＰＷＭ制御して、図３に示す
３相ＰＷＭ制御電流（ｉU、ｉV、ｉW）２８を生成し、
回転磁界用コイル１９に流す。
【００３７】ステップ４３において、マイクロコンピュ
ータ（ＣＰＵ）８は、直流を出力するように、トランジ
スタモジュール９を制御する。
ータ（ＣＰＵ）８は、直流を出力するように、トランジ
スタモジュール９を制御する。
【００３８】すなわち、マイクロコンピュータ８は、出
力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４に直流出力を得るため
に、トランジスタモジュール９のトランジスタ（Ｔｒ
１、Ｔｒ３、Ｔｒ５）１０、１２、１４を所定時間ＯＮ
し、図４（ａ）に示す直流出力用ＰＷＭ電圧（ＶUE1、
ＶVE2、ＶWE3）２９を発生させる。そして、図４（ｂ）
に示す静磁場用直流回路３１の各静磁場用コイル３２、
３３、３４に印加すると、図４（ａ）に示す直流電流
（ｉDU、ｉDV、ｉDW）３０が流れる。なお、前述したよ
うに、同時に３つの直流回路から直流電流を出力できる
し、希望の直流回路だけから直流電流を出力することも
できる。
力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４に直流出力を得るため
に、トランジスタモジュール９のトランジスタ（Ｔｒ
１、Ｔｒ３、Ｔｒ５）１０、１２、１４を所定時間ＯＮ
し、図４（ａ）に示す直流出力用ＰＷＭ電圧（ＶUE1、
ＶVE2、ＶWE3）２９を発生させる。そして、図４（ｂ）
に示す静磁場用直流回路３１の各静磁場用コイル３２、
３３、３４に印加すると、図４（ａ）に示す直流電流
（ｉDU、ｉDV、ｉDW）３０が流れる。なお、前述したよ
うに、同時に３つの直流回路から直流電流を出力できる
し、希望の直流回路だけから直流電流を出力することも
できる。
【００３９】この実施例１は、３相出力用のトランジス
タモジュール９のＰＷＭ制御により、３相の交流出力と
３回路の直流出力を持ったものである。
タモジュール９のＰＷＭ制御により、３相の交流出力と
３回路の直流出力を持ったものである。
【００４０】また、３相交流出力は有磁場ドライエッチ
ング装置用の回転磁界として使用し、３回路直流電源は
ＥＣＲエッチング装置の静磁場を発生させる製造装置で
ある。
ング装置用の回転磁界として使用し、３回路直流電源は
ＥＣＲエッチング装置の静磁場を発生させる製造装置で
ある。
【００４１】さらに、エッチング装置のチャンバーに回
転磁界を与え、プラズマを高密度・均一性にするのと、
静磁場として８７５ガウス（gauss）を与えることによ
りチャンバープラズマをＥＣＲ状態にして集積回路（Ｉ
Ｃ）をエッチングするプロセスで使用するものである。
転磁界を与え、プラズマを高密度・均一性にするのと、
静磁場として８７５ガウス（gauss）を与えることによ
りチャンバープラズマをＥＣＲ状態にして集積回路（Ｉ
Ｃ）をエッチングするプロセスで使用するものである。
【００４２】この実施例１は、３相交流出力と直流３回
路出力を切換出力できるように機能を追加したものであ
る。直流３回路出力にするために、図１に示すトランジ
スタ１０と１１、１２と１３、１４と１５の各回路毎
に、ＰＷＭ制御することで所定の直流電流値が設定でき
るようにマイクロコンピュータ８とカレントトランス１
６、１７、１８でコントロールできるようにしたもので
ある。
路出力を切換出力できるように機能を追加したものであ
る。直流３回路出力にするために、図１に示すトランジ
スタ１０と１１、１２と１３、１４と１５の各回路毎
に、ＰＷＭ制御することで所定の直流電流値が設定でき
るようにマイクロコンピュータ８とカレントトランス１
６、１７、１８でコントロールできるようにしたもので
ある。
【００４３】従って、トランジスタモジュール９のＰＷ
Ｍ制御を３相交流コントロールと直流生成コントロール
が両方できるように配線と出力端子台２１を設け、それ
にマイクロコンピュータ８のプログラムに直流が生成で
きる機能を追加することで、交／直のマルチ電源を安価
に得られる効果がある。
Ｍ制御を３相交流コントロールと直流生成コントロール
が両方できるように配線と出力端子台２１を設け、それ
にマイクロコンピュータ８のプログラムに直流が生成で
きる機能を追加することで、交／直のマルチ電源を安価
に得られる効果がある。
【００４４】この発明の実施例１は、前述したように、
従来は有磁場ドライエッチング装置用の回転磁界専用の
電源であったものを、３直流が出力できるように配線と
マイクロコンピュータ８のプログラムを追加して、マル
チ磁界電源を作るものである。この実施例１に係るＰＷ
Ｍ方式による電源装置は、３相交流を整流するダイオー
ドモジュール１と、直流電圧をＰＷＭ制御するトランジ
スタモジュール９と、トランジスタモジュール９を３相
交流や３直流が出力できるようにスイッチング動作指令
するマイクロコンピュータ８と、各相の出力状態をマイ
クロコンピュータ８にフィードバックするカレントトラ
ンス１６、１７、１８とから構成される。従来は有磁場
ドライエッチング装置専用の回転磁界用電源であったの
を、一部配線とマイクロコンピュータ８のプログラムに
直流用プログラムを追加することで、安価なマルチパワ
ー電源を得ることができる。
従来は有磁場ドライエッチング装置用の回転磁界専用の
電源であったものを、３直流が出力できるように配線と
マイクロコンピュータ８のプログラムを追加して、マル
チ磁界電源を作るものである。この実施例１に係るＰＷ
Ｍ方式による電源装置は、３相交流を整流するダイオー
ドモジュール１と、直流電圧をＰＷＭ制御するトランジ
スタモジュール９と、トランジスタモジュール９を３相
交流や３直流が出力できるようにスイッチング動作指令
するマイクロコンピュータ８と、各相の出力状態をマイ
クロコンピュータ８にフィードバックするカレントトラ
ンス１６、１７、１８とから構成される。従来は有磁場
ドライエッチング装置専用の回転磁界用電源であったの
を、一部配線とマイクロコンピュータ８のプログラムに
直流用プログラムを追加することで、安価なマルチパワ
ー電源を得ることができる。
【００４５】なお、上記実施例１ではカレントトランス
１６、１７、１８によって出力電流を検出してマイクロ
コンピュータ８にフィードバックしていたが、３相交流
出力回路つまり出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４で電
流計等により出力電流を検出してもよい。負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができる。交／直流時
の電流計等を共用することが可能である。
１６、１７、１８によって出力電流を検出してマイクロ
コンピュータ８にフィードバックしていたが、３相交流
出力回路つまり出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４で電
流計等により出力電流を検出してもよい。負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができる。交／直流時
の電流計等を共用することが可能である。
【００４６】また、直流に切り換えたときは、出力電流
を、出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４あるいはアース
端子（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）２５〜２７のいずれでも検出
してもよい。
を、出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４あるいはアース
端子（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）２５〜２７のいずれでも検出
してもよい。
【００４７】
【発明の効果】この発明の請求項１に係る電源装置は、
以上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生
成するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交
流出力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール
と、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータとを備えたので、負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができるという効果を
奏する。また、交直切換による共用化を図ることができ
るので安価に製造することができるという効果を奏す
る。
以上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生
成するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交
流出力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール
と、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータとを備えたので、負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができるという効果を
奏する。また、交直切換による共用化を図ることができ
るので安価に製造することができるという効果を奏す
る。
【００４８】この発明の請求項２に係る電源装置は、以
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換し、前記直流出力をアース端子
に送出するトランジスタモジュールと、前記３相交流出
力及び直流出力から検出された電流に基づいて前記トラ
ンジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコンピュ
ータとを備えたので、負荷変動に対して定電流の供給を
補償することができるという効果を奏する。また、交直
切換による共用化を図ることができるので安価に製造す
ることができるという効果を奏する。さらに、１個のト
ランジスタモジュールで３回路の直流電源を構成でき、
個々の回路毎の定電流設定ができるという効果を奏す
る。
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換し、前記直流出力をアース端子
に送出するトランジスタモジュールと、前記３相交流出
力及び直流出力から検出された電流に基づいて前記トラ
ンジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコンピュ
ータとを備えたので、負荷変動に対して定電流の供給を
補償することができるという効果を奏する。また、交直
切換による共用化を図ることができるので安価に製造す
ることができるという効果を奏する。さらに、１個のト
ランジスタモジュールで３回路の直流電源を構成でき、
個々の回路毎の定電流設定ができるという効果を奏す
る。
【００４９】この発明の請求項３に係る電源装置は、以
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換して出力端子に送出するトラン
ジスタモジュールと、前記出力端子で検出された電流に
基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御する
マイクロコンピュータを備えたので、負荷変動に対して
定電流の供給を補償することができるという効果を奏す
る。また、交直切換による共用化を図ることができるの
で安価に製造することができるという効果を奏する。さ
らに、交直両方の電流検出手段を共用することができる
という効果を奏する。
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換して出力端子に送出するトラン
ジスタモジュールと、前記出力端子で検出された電流に
基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御する
マイクロコンピュータを備えたので、負荷変動に対して
定電流の供給を補償することができるという効果を奏す
る。また、交直切換による共用化を図ることができるの
で安価に製造することができるという効果を奏する。さ
らに、交直両方の電流検出手段を共用することができる
という効果を奏する。
【００５０】この発明の請求項４に係る電源装置は、以
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール
と、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータと、前記３相交流出力を有磁場
ドライエッチング装置用として、前記直流出力をＥＣＲ
エッチング装置用として使用することを前記マイクロコ
ンピュータに入力する切換スイッチとを備えたので、負
荷変動に対して定電流の供給を補償することができると
いう効果を奏する。また、交直切換による共用化を図る
ことができるので安価に製造することができるという効
果を奏する。
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール
と、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータと、前記３相交流出力を有磁場
ドライエッチング装置用として、前記直流出力をＥＣＲ
エッチング装置用として使用することを前記マイクロコ
ンピュータに入力する切換スイッチとを備えたので、負
荷変動に対して定電流の供給を補償することができると
いう効果を奏する。また、交直切換による共用化を図る
ことができるので安価に製造することができるという効
果を奏する。
【００５１】この発明の請求項５に係る半導体装置の製
造方法は、以上説明したとおり、３相交流を整流して直
流電圧を生成するダイオードモジュール、前記直流電圧
を３相交流出力及び直流出力に変換するトランジスタモ
ジュール、並びに前記３相交流出力及び直流出力から検
出された電流に基づいて前記トランジスタモジュールを
ＰＷＭ制御するマイクロコンピュータを備えた電源装置
からの３相交流出力により有磁場ドライエッチング装置
のチャンバーに回転磁界を与えてプラズマを高密度・均
一性にする工程を含むので、交直切換による共用化を図
ることができるため安価に製造することができるという
効果を奏する。
造方法は、以上説明したとおり、３相交流を整流して直
流電圧を生成するダイオードモジュール、前記直流電圧
を３相交流出力及び直流出力に変換するトランジスタモ
ジュール、並びに前記３相交流出力及び直流出力から検
出された電流に基づいて前記トランジスタモジュールを
ＰＷＭ制御するマイクロコンピュータを備えた電源装置
からの３相交流出力により有磁場ドライエッチング装置
のチャンバーに回転磁界を与えてプラズマを高密度・均
一性にする工程を含むので、交直切換による共用化を図
ることができるため安価に製造することができるという
効果を奏する。
【００５２】この発明の請求項６に係る半導体装置の製
造方法は、以上説明したとおり、３相交流を整流して直
流電圧を生成するダイオードモジュール、前記直流電圧
を３相交流出力及び直流出力に変換するトランジスタモ
ジュール、並びに前記３相交流出力及び直流出力から検
出された電流に基づいて前記トランジスタモジュールを
ＰＷＭ制御するマイクロコンピュータを備えた電源装置
からの直流出力によりＥＣＲエッチング装置に静磁場を
与えてチャンバープラズマをＥＣＲ状態にして半導体装
置をエッチングする工程を含むので、交直切換による共
用化を図ることができるため安価に製造することができ
るという効果を奏する。
造方法は、以上説明したとおり、３相交流を整流して直
流電圧を生成するダイオードモジュール、前記直流電圧
を３相交流出力及び直流出力に変換するトランジスタモ
ジュール、並びに前記３相交流出力及び直流出力から検
出された電流に基づいて前記トランジスタモジュールを
ＰＷＭ制御するマイクロコンピュータを備えた電源装置
からの直流出力によりＥＣＲエッチング装置に静磁場を
与えてチャンバープラズマをＥＣＲ状態にして半導体装
置をエッチングする工程を含むので、交直切換による共
用化を図ることができるため安価に製造することができ
るという効果を奏する。
【図１】この発明の実施例１の構成を示す図である。
【図２】この発明の実施例１の動作を示すフローチャー
トである。
トである。
【図３】この発明の実施例１の３相ＰＷＭ制御による回
転磁界を示す図である。
転磁界を示す図である。
【図４】この発明の実施例１のＰＷＭ制御による直流電
源を示す図である。
源を示す図である。
【図５】回転磁界用の従来の電源装置の構成を示す図で
ある。
ある。
１ ダイオードモジュール ８ マイクロコンピュータ ９ トランジスタモジュール １９ 回転磁界用コイル ２０ 切換スイッチ ２１ 出力端子台 ２８ ３相ＰＷＭ制御電流 ２９ 直流出力用ＰＷＭ電圧 ３０ 直流電流 ３１ 静磁場用直流回路
【手続補正書】
【提出日】平成６年９月２９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 電源装置及び半導体素子の製造方法
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、有磁場ドライエッチ
ング装置の回転磁界用の電源としても使用できるし、Ｅ
ＣＲ（Electron Cyclotron Resonance）エッチング装置
の有磁場用直流電源としても、切換使用できる電源装置
及び該電源装置を用いて半導体素子を製造する半導体素
子の製造方法に関するものである。
ング装置の回転磁界用の電源としても使用できるし、Ｅ
ＣＲ（Electron Cyclotron Resonance）エッチング装置
の有磁場用直流電源としても、切換使用できる電源装置
及び該電源装置を用いて半導体素子を製造する半導体素
子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の電源装置の構成について図５を参
照しながら説明する。図５は、回転磁界用の従来の電源
装置の構成を示す図である。
照しながら説明する。図５は、回転磁界用の従来の電源
装置の構成を示す図である。
【０００３】図５において、１はＡＣ２００Ｖ３φの電
流を全波整流するダイオードモジュール、９は整流され
た直流を３相交流に変換する、３回路のトランジスタ
（Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４、Ｔｒ５及びＴｒ
６）により構成したトランジスタモジュールである。ま
た、８はトランジスタモジュール９の各トランジスタＴ
ｒ１〜Ｔｒ６をＰＷＭ制御し３相交流を発生させるため
のマイクロコンピュータ（ＣＰＵ）である。
流を全波整流するダイオードモジュール、９は整流され
た直流を３相交流に変換する、３回路のトランジスタ
（Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４、Ｔｒ５及びＴｒ
６）により構成したトランジスタモジュールである。ま
た、８はトランジスタモジュール９の各トランジスタＴ
ｒ１〜Ｔｒ６をＰＷＭ制御し３相交流を発生させるため
のマイクロコンピュータ（ＣＰＵ）である。
【０００４】さらに、１９は３相で回転磁界を発生させ
るための回転磁界用コイルであり、各相に流れる電流は
各カレントトランス（変流器）１６、１７及び１８（Ｃ
Ｔ１、ＣＴ２及びＣＴ３）によりマイクロコンピュータ
８にフィードバックする構成となっている。
るための回転磁界用コイルであり、各相に流れる電流は
各カレントトランス（変流器）１６、１７及び１８（Ｃ
Ｔ１、ＣＴ２及びＣＴ３）によりマイクロコンピュータ
８にフィードバックする構成となっている。
【０００５】ダイオードモジュール１は、６個のダイオ
ード２、３、４、５、６及び７から構成されている。ま
た、トランジスタモジュール９は、６個のトランジスタ
１０、１１、１２、１３、１４及び１５から構成されて
いる。
ード２、３、４、５、６及び７から構成されている。ま
た、トランジスタモジュール９は、６個のトランジスタ
１０、１１、１２、１３、１４及び１５から構成されて
いる。
【０００６】つぎに、前述した従来の電源装置の動作に
ついて説明する。Ｒ、Ｓ及びＴ端子に入力したＡＣ２０
０Ｖ３φの交流をダイオードモジュール１により全波整
流して、所定の直流（ＤＣ）電圧を得る。その直流（Ｄ
Ｃ）電圧をトランジスタモジュール９により各相をＰＷ
Ｍ制御することで、３相交流を発生させる。
ついて説明する。Ｒ、Ｓ及びＴ端子に入力したＡＣ２０
０Ｖ３φの交流をダイオードモジュール１により全波整
流して、所定の直流（ＤＣ）電圧を得る。その直流（Ｄ
Ｃ）電圧をトランジスタモジュール９により各相をＰＷ
Ｍ制御することで、３相交流を発生させる。
【０００７】各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）を定電流、定周波で制
御（コントロール）するのが、マイクロコンピュータ
（ＣＰＵ）８であり、各相の出力はカレントトランス
（ＣＴ１、ＣＴ２及びＣＴ３）１６、１７及び１８によ
りマイクロコンピュータ８にフィードバックされる構成
となっている。
御（コントロール）するのが、マイクロコンピュータ
（ＣＰＵ）８であり、各相の出力はカレントトランス
（ＣＴ１、ＣＴ２及びＣＴ３）１６、１７及び１８によ
りマイクロコンピュータ８にフィードバックされる構成
となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述したような回転磁
界用の従来の電源装置は、定電流・定周波の３相交流し
か発生させる機能しか持っていない専用電源であった。
これは有磁場エッチング装置の回転磁界用電源専用であ
り、使用効率が悪いという問題点があった。
界用の従来の電源装置は、定電流・定周波の３相交流し
か発生させる機能しか持っていない専用電源であった。
これは有磁場エッチング装置の回転磁界用電源専用であ
り、使用効率が悪いという問題点があった。
【０００９】この発明は、前述した問題点を解決するた
めになされたもので、有磁場エッチング装置の回転磁界
用電源として使用でき、切換によりＥＣＲエッチング装
置の静磁場用直流電源としても使用できる電源装置を得
ることを目的とする。
めになされたもので、有磁場エッチング装置の回転磁界
用電源として使用でき、切換によりＥＣＲエッチング装
置の静磁場用直流電源としても使用できる電源装置を得
ることを目的とする。
【００１０】また、この発明は、切換使用できる電源装
置を用いて半導体素子を製造する半導体素子の製造方法
を得ることを目的とする。
置を用いて半導体素子を製造する半導体素子の製造方法
を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る電源装置は、次に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。
る電源装置は、次に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。
【００１２】この発明の請求項２に係る電源装置は、次
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を直流出力に変換し、前記直流出
力をアース端子に送出するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記直流出力から検出された電流に基づいて前
記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコ
ンピュータ。
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を直流出力に変換し、前記直流出
力をアース端子に送出するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記直流出力から検出された電流に基づいて前
記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコ
ンピュータ。
【００１３】この発明の請求項３に係る電源装置は、次
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換して出力端子に送出するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記出力端子で検出された電流に基づいて前記
トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコン
ピュータ。
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換して出力端子に送出するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記出力端子で検出された電流に基づいて前記
トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコン
ピュータ。
【００１４】この発明の請求項４に係る電源装置は、次
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。 〔４〕 前記３相交流出力を有磁場ドライエッチング装
置用として、前記直流出力をＥＣＲエッチング装置用と
して使用することを前記マイクロコンピュータに入力す
る切換スイッチ。
に掲げる手段を備えたものである。 〔１〕 ３相交流を整流して直流電圧を生成するダイオ
ードモジュール。 〔２〕 前記直流電圧を３相交流出力及び直流出力に変
換するトランジスタモジュール。 〔３〕 前記３相交流出力及び直流出力から検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制
御するマイクロコンピュータ。 〔４〕 前記３相交流出力を有磁場ドライエッチング装
置用として、前記直流出力をＥＣＲエッチング装置用と
して使用することを前記マイクロコンピュータに入力す
る切換スイッチ。
【００１５】この発明の請求項５に係る半導体素子の製
造方法は、３相交流を整流して直流電圧を生成するダイ
オードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及び直
流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに前記
３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づい
て前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイク
ロコンピュータを備えた電源装置からの３相交流出力に
より有磁場ドライエッチング装置のチャンバーに回転磁
界を与えてプラズマを高密度・均一性にする工程を含む
ものである。
造方法は、３相交流を整流して直流電圧を生成するダイ
オードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及び直
流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに前記
３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づい
て前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイク
ロコンピュータを備えた電源装置からの３相交流出力に
より有磁場ドライエッチング装置のチャンバーに回転磁
界を与えてプラズマを高密度・均一性にする工程を含む
ものである。
【００１６】この発明の請求項６に係る半導体素子の製
造方法は、３相交流を整流して直流電圧を生成するダイ
オードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及び直
流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに前記
３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づい
て前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイク
ロコンピュータを備えた電源装置からの直流出力により
ＥＣＲエッチング装置に静磁場を与えてチャンバープラ
ズマをＥＣＲ状態にして半導体素子をエッチングする工
程を含むものである。
造方法は、３相交流を整流して直流電圧を生成するダイ
オードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及び直
流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに前記
３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づい
て前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイク
ロコンピュータを備えた電源装置からの直流出力により
ＥＣＲエッチング装置に静磁場を与えてチャンバープラ
ズマをＥＣＲ状態にして半導体素子をエッチングする工
程を含むものである。
【００１７】
【作用】この発明の請求項１に係る電源装置において
は、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流さ
れて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジュ
ールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流出
力に変換される。さらに、マイクロコンピュータによっ
て、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御さ
れる。
は、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流さ
れて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジュ
ールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流出
力に変換される。さらに、マイクロコンピュータによっ
て、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御さ
れる。
【００１８】この発明の請求項２に係る電源装置におい
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が直流出力に変換され、
前記直流出力がアース端子に送出される。さらに、マイ
クロコンピュータによって、前記３相交流出力及び直流
出力から検出された電流に基づいて前記トランジスタモ
ジュールがＰＷＭ制御される。
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が直流出力に変換され、
前記直流出力がアース端子に送出される。さらに、マイ
クロコンピュータによって、前記３相交流出力及び直流
出力から検出された電流に基づいて前記トランジスタモ
ジュールがＰＷＭ制御される。
【００１９】この発明の請求項３に係る電源装置におい
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換されて出力端子に送出される。さらに、マイ
クロコンピュータによって、前記出力端子で検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制
御される。
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換されて出力端子に送出される。さらに、マイ
クロコンピュータによって、前記出力端子で検出された
電流に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制
御される。
【００２０】この発明の請求項４に係る電源装置におい
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換される。さらに、マイクロコンピュータによ
って、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電
流に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御
される。そして、切換スイッチによって、前記３相交流
出力が有磁場ドライエッチング装置用として、前記直流
出力がＥＣＲエッチング装置用として使用されることが
前記マイクロコンピュータに入力される。
ては、ダイオードモジュールによって、３相交流が整流
されて直流電圧が生成される。また、トランジスタモジ
ュールによって、前記直流電圧が３相交流出力及び直流
出力に変換される。さらに、マイクロコンピュータによ
って、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電
流に基づいて前記トランジスタモジュールがＰＷＭ制御
される。そして、切換スイッチによって、前記３相交流
出力が有磁場ドライエッチング装置用として、前記直流
出力がＥＣＲエッチング装置用として使用されることが
前記マイクロコンピュータに入力される。
【００２１】この発明の請求項５に係る半導体素子の製
造方法においては、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出
力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並
びに前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータを備えた電源装置からの３相交
流出力により、有磁場ドライエッチング装置のチャンバ
ーに回転磁界が与えられてプラズマが高密度・均一性に
される。
造方法においては、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出
力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並
びに前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータを備えた電源装置からの３相交
流出力により、有磁場ドライエッチング装置のチャンバ
ーに回転磁界が与えられてプラズマが高密度・均一性に
される。
【００２２】この発明の請求項６に係る半導体素子の製
造方法においては、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出
力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並
びに前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータを備えた電源装置からの直流出
力により、ＥＣＲエッチング装置に静磁場が与えられて
チャンバープラズマがＥＣＲ状態にされて半導体素子が
エッチングされる。
造方法においては、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出
力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並
びに前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータを備えた電源装置からの直流出
力により、ＥＣＲエッチング装置に静磁場が与えられて
チャンバープラズマがＥＣＲ状態にされて半導体素子が
エッチングされる。
【００２３】
【実施例】実施例１．以下、この発明の実施例１の構成
について図１を参照しながら説明する。図１は、この発
明の実施例１の構成を示す図であり、ダイオードモジュ
ール１〜カレントトランス１８は上述した従来装置のも
のと同様である。なお、各図中、同一符号は同一又は相
当部分を示す。
について図１を参照しながら説明する。図１は、この発
明の実施例１の構成を示す図であり、ダイオードモジュ
ール１〜カレントトランス１８は上述した従来装置のも
のと同様である。なお、各図中、同一符号は同一又は相
当部分を示す。
【００２４】図１において、１はＡＣ２００Ｖ３φを整
流するダイオードモジュールであり、６個のダイオード
２、３、４、５、６及び７から構成されている。９は直
流をＰＷＭ制御するトランジスタモジュールであり、６
個のトランジスタ１０、１１、１２、１３、１４及び１
５から構成されている。
流するダイオードモジュールであり、６個のダイオード
２、３、４、５、６及び７から構成されている。９は直
流をＰＷＭ制御するトランジスタモジュールであり、６
個のトランジスタ１０、１１、１２、１３、１４及び１
５から構成されている。
【００２５】また、８は３相交流の電流・周波数と３回
路に直流出力させるためにトランジスタモジュール９の
各トランジスタ１０〜１５をコントロールするマイクロ
コンピュータ（ＣＰＵ）である。１６、１７及び１８は
各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）の出力をマイクロコンピュータ８に
フィードバックさせるためのカレントランス（ＣＴ１、
ＣＴ２及びＣＴ３）である。
路に直流出力させるためにトランジスタモジュール９の
各トランジスタ１０〜１５をコントロールするマイクロ
コンピュータ（ＣＰＵ）である。１６、１７及び１８は
各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）の出力をマイクロコンピュータ８に
フィードバックさせるためのカレントランス（ＣＴ１、
ＣＴ２及びＣＴ３）である。
【００２６】さらに、２０は３相交流出力と直流３回路
出力の切換スイッチ（ＳＷ）、２１は出力端子台であ
り、出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２、２３、２４とアース
端子（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）２５、２６、２７から構成さ
れている。
出力の切換スイッチ（ＳＷ）、２１は出力端子台であ
り、出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２、２３、２４とアース
端子（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）２５、２６、２７から構成さ
れている。
【００２７】つぎに、前述した実施例１の動作について
図２、図３及び図４を参照しながら説明する。図２は、
この発明の実施例１の動作を示すフローチャートであ
る。また、図３は、この発明の実施例１の３相ＰＷＭ制
御による交流出力を示す図である。さらに、図４は、こ
の発明の実施例１のＰＷＭ制御による直流出力を示す図
である。
図２、図３及び図４を参照しながら説明する。図２は、
この発明の実施例１の動作を示すフローチャートであ
る。また、図３は、この発明の実施例１の３相ＰＷＭ制
御による交流出力を示す図である。さらに、図４は、こ
の発明の実施例１のＰＷＭ制御による直流出力を示す図
である。
【００２８】図３において、１９は出力端子２２、２３
及び２４に接続された回転磁界用コイルである。また、
２８は３相ＰＷＭ制御電流（ｉU、ｉV、ｉW）である。
及び２４に接続された回転磁界用コイルである。また、
２８は３相ＰＷＭ制御電流（ｉU、ｉV、ｉW）である。
【００２９】図４において、２９は直流を発生させるた
めの直流出力用ＰＷＭ電圧（ＶUE1）、３０は静磁場用
コイル３２、３３、３４に流す直流電流（ｉDU）、３１
は静磁場用直流回路である。なお、直流出力用ＰＷＭ電
圧（ＶUE1）は出力端子（Ｕ）２２と、アース端子（Ｅ
１）２５の間に出力される電圧である。また、直流電流
（ｉDU）は出力端子（Ｕ）２２と、アース端子（Ｅ１）
２５の間に接続された静磁場用コイル３２に流れる電流
である。
めの直流出力用ＰＷＭ電圧（ＶUE1）、３０は静磁場用
コイル３２、３３、３４に流す直流電流（ｉDU）、３１
は静磁場用直流回路である。なお、直流出力用ＰＷＭ電
圧（ＶUE1）は出力端子（Ｕ）２２と、アース端子（Ｅ
１）２５の間に出力される電圧である。また、直流電流
（ｉDU）は出力端子（Ｕ）２２と、アース端子（Ｅ１）
２５の間に接続された静磁場用コイル３２に流れる電流
である。
【００３０】この実施例１は、Ｒ、Ｓ及びＴ端子に入力
したＡＣ２００Ｖ３φの交流をダイオードモジュール１
により全波整流して、所定の直流（ＤＣ）電圧を得る。
そして、その直流電圧をトランジスタモジュール９によ
り各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）をＰＷＭ制御することで、３相交
流を発生させたり、直流を発生させる。
したＡＣ２００Ｖ３φの交流をダイオードモジュール１
により全波整流して、所定の直流（ＤＣ）電圧を得る。
そして、その直流電圧をトランジスタモジュール９によ
り各相（Ｕ、Ｖ、Ｗ）をＰＷＭ制御することで、３相交
流を発生させたり、直流を発生させる。
【００３１】図３に示すように、マイクロコンピュータ
（ＣＰＵ）８は、トランジスタモジュール９をＰＷＭ制
御することにより、３相ＰＷＭ制御電流２８を発生さ
せ、回転磁界用コイル１９により回転磁界を作る。
（ＣＰＵ）８は、トランジスタモジュール９をＰＷＭ制
御することにより、３相ＰＷＭ制御電流２８を発生さ
せ、回転磁界用コイル１９により回転磁界を作る。
【００３２】また、図４に示すように、マイクロコンピ
ュータ（ＣＰＵ）８は、トランジスタモジュール９の各
相毎にＰＷＭ制御することにより、直流電流３０を作る
ことができる。
ュータ（ＣＰＵ）８は、トランジスタモジュール９の各
相毎にＰＷＭ制御することにより、直流電流３０を作る
ことができる。
【００３３】図１に示すカレントトランス（ＣＴ１、Ｃ
Ｔ２、ＣＴ３）１６、１７、１８からの出力をマイクロ
コンピュータ８にフィードバックさせることにより、マ
イクロコンピュータ８は３相交流としては電流値と周波
数、直流としては直流値を一定にコントロールすること
ができる。
Ｔ２、ＣＴ３）１６、１７、１８からの出力をマイクロ
コンピュータ８にフィードバックさせることにより、マ
イクロコンピュータ８は３相交流としては電流値と周波
数、直流としては直流値を一定にコントロールすること
ができる。
【００３４】ステップ４０〜４１において、マイクロコ
ンピュータ（ＣＰＵ）８は、スイッチデータを読込み
（ピックアップ）し、切換スイッチ２０がＯＮか否かを
判断する。切換スイッチ２０がＯＦＦの場合は、ステッ
プ４２に進み、ＯＮの場合にはステップ４３に進む。
ンピュータ（ＣＰＵ）８は、スイッチデータを読込み
（ピックアップ）し、切換スイッチ２０がＯＮか否かを
判断する。切換スイッチ２０がＯＦＦの場合は、ステッ
プ４２に進み、ＯＮの場合にはステップ４３に進む。
【００３５】ステップ４２において、マイクロコンピュ
ータ（ＣＰＵ）８は、３相交流を出力するように、トラ
ンジスタモジュール９を制御する。
ータ（ＣＰＵ）８は、３相交流を出力するように、トラ
ンジスタモジュール９を制御する。
【００３６】すなわち、マイクロコンピュータ８は、ト
ランジスタモジュール９をＰＷＭ制御して、図３に示す
３相ＰＷＭ制御電流（ｉU、ｉV、ｉW）２８を生成し、
回転磁界用コイル１９に流す。
ランジスタモジュール９をＰＷＭ制御して、図３に示す
３相ＰＷＭ制御電流（ｉU、ｉV、ｉW）２８を生成し、
回転磁界用コイル１９に流す。
【００３７】ステップ４３において、マイクロコンピュ
ータ（ＣＰＵ）８は、直流を出力するように、トランジ
スタモジュール９を制御する。
ータ（ＣＰＵ）８は、直流を出力するように、トランジ
スタモジュール９を制御する。
【００３８】すなわち、マイクロコンピュータ８は、出
力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４に直流出力を得るため
に、トランジスタモジュール９のトランジスタ（Ｔｒ
１、Ｔｒ３、Ｔｒ５）１０、１２、１４を所定時間ＯＮ
し、図４（ａ）に示す直流出力用ＰＷＭ電圧（ＶUE1、
ＶVE2、ＶWE3）２９を発生させる。そして、図４（ｂ）
に示す静磁場用直流回路３１の各静磁場用コイル３２、
３３、３４に印加すると、図４（ａ）に示す直流電流
（ｉDU、ｉDV、ｉDW）３０が流れる。なお、前述したよ
うに、同時に３つの直流回路から直流電流を出力できる
し、希望の直流回路だけから直流電流を出力することも
できる。
力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４に直流出力を得るため
に、トランジスタモジュール９のトランジスタ（Ｔｒ
１、Ｔｒ３、Ｔｒ５）１０、１２、１４を所定時間ＯＮ
し、図４（ａ）に示す直流出力用ＰＷＭ電圧（ＶUE1、
ＶVE2、ＶWE3）２９を発生させる。そして、図４（ｂ）
に示す静磁場用直流回路３１の各静磁場用コイル３２、
３３、３４に印加すると、図４（ａ）に示す直流電流
（ｉDU、ｉDV、ｉDW）３０が流れる。なお、前述したよ
うに、同時に３つの直流回路から直流電流を出力できる
し、希望の直流回路だけから直流電流を出力することも
できる。
【００３９】この実施例１は、３相出力用のトランジス
タモジュール９のＰＷＭ制御により、３相の交流出力と
３回路の直流出力を持ったものである。
タモジュール９のＰＷＭ制御により、３相の交流出力と
３回路の直流出力を持ったものである。
【００４０】また、３相交流出力は有磁場ドライエッチ
ング装置用の回転磁界として使用し、３回路直流電源は
ＥＣＲエッチング装置の静磁場を発生させる電源装置で
ある。
ング装置用の回転磁界として使用し、３回路直流電源は
ＥＣＲエッチング装置の静磁場を発生させる電源装置で
ある。
【００４１】さらに、エッチング装置のチャンバーに回
転磁界を与え、プラズマを高密度・均一性にするのと、
静磁場として８７５ガウス（gauss）を与えることによ
りチャンバープラズマをＥＣＲ状態にして集積回路（Ｉ
Ｃ）をエッチングするプロセスで使用するものである。
転磁界を与え、プラズマを高密度・均一性にするのと、
静磁場として８７５ガウス（gauss）を与えることによ
りチャンバープラズマをＥＣＲ状態にして集積回路（Ｉ
Ｃ）をエッチングするプロセスで使用するものである。
【００４２】この実施例１は、３相交流出力と直流３回
路出力を切換出力できるように機能を追加したものであ
る。直流３回路出力にするために、図１に示すトランジ
スタ１０と１１、１２と１３、１４と１５の各回路毎
に、ＰＷＭ制御することで所定の直流電流値が設定でき
るようにマイクロコンピュータ８とカレントトランス１
６、１７、１８でコントロールできるようにしたもので
ある。
路出力を切換出力できるように機能を追加したものであ
る。直流３回路出力にするために、図１に示すトランジ
スタ１０と１１、１２と１３、１４と１５の各回路毎
に、ＰＷＭ制御することで所定の直流電流値が設定でき
るようにマイクロコンピュータ８とカレントトランス１
６、１７、１８でコントロールできるようにしたもので
ある。
【００４３】従って、トランジスタモジュール９のＰＷ
Ｍ制御を３相交流コントロールと直流生成コントロール
が両方できるように配線と出力端子台２１を設け、それ
にマイクロコンピュータ８のプログラムに直流が生成で
きる機能を追加することで、交／直のマルチ電源を安価
に得られる効果がある。
Ｍ制御を３相交流コントロールと直流生成コントロール
が両方できるように配線と出力端子台２１を設け、それ
にマイクロコンピュータ８のプログラムに直流が生成で
きる機能を追加することで、交／直のマルチ電源を安価
に得られる効果がある。
【００４４】この発明の実施例１は、前述したように、
従来は有磁場ドライエッチング装置用の回転磁界専用の
電源であったものを、３直流が出力できるように配線と
マイクロコンピュータ８のプログラムを追加して、マル
チ磁界電源を作るものである。この実施例１に係るＰＷ
Ｍ方式による電源装置は、３相交流を整流するダイオー
ドモジュール１と、直流電圧をＰＷＭ制御するトランジ
スタモジュール９と、トランジスタモジュール９を３相
交流や３直流が出力できるようにスイッチング動作指令
するマイクロコンピュータ８と、各相の出力状態をマイ
クロコンピュータ８にフィードバックするカレントトラ
ンス１６、１７、１８とから構成される。従来は有磁場
ドライエッチング装置専用の回転磁界用電源であったの
を、一部配線とマイクロコンピュータ８のプログラムに
直流用プログラムを追加することで、安価なマルチパワ
ー電源を得ることができる。
従来は有磁場ドライエッチング装置用の回転磁界専用の
電源であったものを、３直流が出力できるように配線と
マイクロコンピュータ８のプログラムを追加して、マル
チ磁界電源を作るものである。この実施例１に係るＰＷ
Ｍ方式による電源装置は、３相交流を整流するダイオー
ドモジュール１と、直流電圧をＰＷＭ制御するトランジ
スタモジュール９と、トランジスタモジュール９を３相
交流や３直流が出力できるようにスイッチング動作指令
するマイクロコンピュータ８と、各相の出力状態をマイ
クロコンピュータ８にフィードバックするカレントトラ
ンス１６、１７、１８とから構成される。従来は有磁場
ドライエッチング装置専用の回転磁界用電源であったの
を、一部配線とマイクロコンピュータ８のプログラムに
直流用プログラムを追加することで、安価なマルチパワ
ー電源を得ることができる。
【００４５】なお、上記実施例１ではカレントトランス
１６、１７、１８によって出力電流を検出してマイクロ
コンピュータ８にフィードバックしていたが、３相交流
出力回路つまり出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４で電
流計等により出力電流を検出してもよい。負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができる。交／直流時
の電流計等を共用することが可能である。
１６、１７、１８によって出力電流を検出してマイクロ
コンピュータ８にフィードバックしていたが、３相交流
出力回路つまり出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４で電
流計等により出力電流を検出してもよい。負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができる。交／直流時
の電流計等を共用することが可能である。
【００４６】また、直流に切り換えたときは、出力電流
を、出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４あるいはアース
端子（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）２５〜２７のいずれでも検出
してもよい。
を、出力端子（Ｕ、Ｖ、Ｗ）２２〜２４あるいはアース
端子（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）２５〜２７のいずれでも検出
してもよい。
【００４７】
【発明の効果】この発明の請求項１に係る電源装置は、
以上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生
成するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交
流出力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール
と、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータとを備えたので、負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができるという効果を
奏する。また、交直切換による共用化を図ることができ
るので安価に製造することができるという効果を奏す
る。
以上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生
成するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交
流出力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール
と、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータとを備えたので、負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができるという効果を
奏する。また、交直切換による共用化を図ることができ
るので安価に製造することができるという効果を奏す
る。
【００４８】この発明の請求項２に係る電源装置は、以
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を直流出力
に変換し、前記直流出力をアース端子に送出するトラン
ジスタモジュールと、前記直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータとを備えたので、負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができるという効果を
奏する。また、交直切換による共用化を図ることができ
るので安価に製造することができるという効果を奏す
る。さらに、１個のトランジスタモジュールで３回路の
直流電源を構成でき、個々の回路毎の定電流設定ができ
るという効果を奏する。
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を直流出力
に変換し、前記直流出力をアース端子に送出するトラン
ジスタモジュールと、前記直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータとを備えたので、負荷変動に対
して定電流の供給を補償することができるという効果を
奏する。また、交直切換による共用化を図ることができ
るので安価に製造することができるという効果を奏す
る。さらに、１個のトランジスタモジュールで３回路の
直流電源を構成でき、個々の回路毎の定電流設定ができ
るという効果を奏する。
【００４９】この発明の請求項３に係る電源装置は、以
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換して出力端子に送出するトラン
ジスタモジュールと、前記出力端子で検出された電流に
基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御する
マイクロコンピュータを備えたので、負荷変動に対して
定電流の供給を補償することができるという効果を奏す
る。また、交直切換による共用化を図ることができるの
で安価に製造することができるという効果を奏する。さ
らに、交直両方の電流検出手段を共用することができる
という効果を奏する。
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換して出力端子に送出するトラン
ジスタモジュールと、前記出力端子で検出された電流に
基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御する
マイクロコンピュータを備えたので、負荷変動に対して
定電流の供給を補償することができるという効果を奏す
る。また、交直切換による共用化を図ることができるの
で安価に製造することができるという効果を奏する。さ
らに、交直両方の電流検出手段を共用することができる
という効果を奏する。
【００５０】この発明の請求項４に係る電源装置は、以
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール
と、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータと、前記３相交流出力を有磁場
ドライエッチング装置用として、前記直流出力をＥＣＲ
エッチング装置用として使用することを前記マイクロコ
ンピュータに入力する切換スイッチとを備えたので、負
荷変動に対して定電流の供給を補償することができると
いう効果を奏する。また、交直切換による共用化を図る
ことができるので安価に製造することができるという効
果を奏する。
上説明したとおり、３相交流を整流して直流電圧を生成
するダイオードモジュールと、前記直流電圧を３相交流
出力及び直流出力に変換するトランジスタモジュール
と、前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流
に基づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御す
るマイクロコンピュータと、前記３相交流出力を有磁場
ドライエッチング装置用として、前記直流出力をＥＣＲ
エッチング装置用として使用することを前記マイクロコ
ンピュータに入力する切換スイッチとを備えたので、負
荷変動に対して定電流の供給を補償することができると
いう効果を奏する。また、交直切換による共用化を図る
ことができるので安価に製造することができるという効
果を奏する。
【００５１】この発明の請求項５に係る半導体素子の製
造方法は、以上説明したとおり、３相交流を整流して直
流電圧を生成するダイオードモジュール、前記直流電圧
を３相交流出力及び直流出力に変換するトランジスタモ
ジュール、並びに前記３相交流出力及び直流出力から検
出された電流に基づいて前記トランジスタモジュールを
ＰＷＭ制御するマイクロコンピュータを備えた電源装置
からの３相交流出力により有磁場ドライエッチング装置
のチャンバーに回転磁界を与えてプラズマを高密度・均
一性にする工程を含むので、交直切換による共用化を図
ることができるため安価に製造することができるという
効果を奏する。
造方法は、以上説明したとおり、３相交流を整流して直
流電圧を生成するダイオードモジュール、前記直流電圧
を３相交流出力及び直流出力に変換するトランジスタモ
ジュール、並びに前記３相交流出力及び直流出力から検
出された電流に基づいて前記トランジスタモジュールを
ＰＷＭ制御するマイクロコンピュータを備えた電源装置
からの３相交流出力により有磁場ドライエッチング装置
のチャンバーに回転磁界を与えてプラズマを高密度・均
一性にする工程を含むので、交直切換による共用化を図
ることができるため安価に製造することができるという
効果を奏する。
【００５２】この発明の請求項６に係る半導体素子の製
造方法は、以上説明したとおり、３相交流を整流して直
流電圧を生成するダイオードモジュール、前記直流電圧
を３相交流出力及び直流出力に変換するトランジスタモ
ジュール、並びに前記３相交流出力及び直流出力から検
出された電流に基づいて前記トランジスタモジュールを
ＰＷＭ制御するマイクロコンピュータを備えた電源装置
からの直流出力によりＥＣＲエッチング装置に静磁場を
与えてチャンバープラズマをＥＣＲ状態にして半導体素
子をエッチングする工程を含むので、交直切換による共
用化を図ることができるため安価に製造することができ
るという効果を奏する。
造方法は、以上説明したとおり、３相交流を整流して直
流電圧を生成するダイオードモジュール、前記直流電圧
を３相交流出力及び直流出力に変換するトランジスタモ
ジュール、並びに前記３相交流出力及び直流出力から検
出された電流に基づいて前記トランジスタモジュールを
ＰＷＭ制御するマイクロコンピュータを備えた電源装置
からの直流出力によりＥＣＲエッチング装置に静磁場を
与えてチャンバープラズマをＥＣＲ状態にして半導体素
子をエッチングする工程を含むので、交直切換による共
用化を図ることができるため安価に製造することができ
るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例１の構成を示す図である。
【図２】この発明の実施例１の動作を示すフローチャー
トである。
トである。
【図３】この発明の実施例１の３相ＰＷＭ制御による回
転磁界を示す図である。
転磁界を示す図である。
【図４】この発明の実施例１のＰＷＭ制御による直流電
源を示す図である。
源を示す図である。
【図５】回転磁界用の従来の電源装置の構成を示す図で
ある。
ある。
【符号の説明】 １ ダイオードモジュール ８ マイクロコンピュータ ９ トランジスタモジュール １９ 回転磁界用コイル ２０ 切換スイッチ ２１ 出力端子台 ２８ ３相ＰＷＭ制御電流 ２９ 直流出力用ＰＷＭ電圧 ３０ 直流電流 ３１ 静磁場用直流回路
Claims (6)
- 【請求項１】 ３相交流を整流して直流電圧を生成する
ダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及
び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに
前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基
づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマ
イクロコンピュータを備えたことを特徴とする電源装
置。 - 【請求項２】 ３相交流を整流して直流電圧を生成する
ダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及
び直流出力に変換し、前記直流出力をアース端子に送出
するトランジスタモジュール、並びに前記３相交流出力
及び直流出力から検出された電流に基づいて前記トラン
ジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロコンピュー
タを備えたことを特徴とする電源装置。 - 【請求項３】 ３相交流を整流して直流電圧を生成する
ダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及
び直流出力に変換して出力端子に送出するトランジスタ
モジュール、並びに前記出力端子で検出された電流に基
づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマ
イクロコンピュータを備えたことを特徴とする電源装
置。 - 【請求項４】 ３相交流を整流して直流電圧を生成する
ダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及
び直流出力に変換するトランジスタモジュール、前記３
相交流出力及び直流出力から検出された電流に基づいて
前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマイクロ
コンピュータ、並びに前記３相交流出力を有磁場ドライ
エッチング装置用として、前記直流出力をＥＣＲエッチ
ング装置用として使用することを前記マイクロコンピュ
ータに入力する切換スイッチを備えたことを特徴とする
電源装置。 - 【請求項５】 ３相交流を整流して直流電圧を生成する
ダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及
び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに
前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基
づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマ
イクロコンピュータを備えた電源装置からの３相交流出
力により有磁場ドライエッチング装置のチャンバーに回
転磁界を与えてプラズマを高密度・均一性にする工程を
含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 【請求項６】 ３相交流を整流して直流電圧を生成する
ダイオードモジュール、前記直流電圧を３相交流出力及
び直流出力に変換するトランジスタモジュール、並びに
前記３相交流出力及び直流出力から検出された電流に基
づいて前記トランジスタモジュールをＰＷＭ制御するマ
イクロコンピュータを備えた電源装置からの直流出力に
よりＥＣＲエッチング装置に静磁場を与えてチャンバー
プラズマをＥＣＲ状態にして半導体装置をエッチングす
る工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5188138A JPH0746854A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 電源装置及び半導体素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5188138A JPH0746854A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 電源装置及び半導体素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0746854A true JPH0746854A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16218411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5188138A Pending JPH0746854A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 電源装置及び半導体素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0746854A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1023758A (ja) * | 1996-07-03 | 1998-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インバータ装置 |
-
1993
- 1993-07-29 JP JP5188138A patent/JPH0746854A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1023758A (ja) * | 1996-07-03 | 1998-01-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インバータ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5280421A (en) | Current regulator for a four-legged three-phase inverter | |
| US20060114623A1 (en) | Switching type power source device and magnetio resonance imaging device using the same | |
| CN110546874B (zh) | 电力转换系统 | |
| US5055992A (en) | Control for full-bridge inverter | |
| US20220294338A1 (en) | Charger for in plug-in electric vehicles | |
| JPH0614555A (ja) | 電力変換器の並列運転制御装置 | |
| Cizeron et al. | Control of a segmented three-phase synchronous motor with highly coupled subwindings | |
| JPH0746854A (ja) | 電源装置及び半導体素子の製造方法 | |
| JP3584686B2 (ja) | 電圧形電力変換回路 | |
| EP1460752A1 (en) | A parallel feed-forward compensating type power factor correction circuit for a three-phase power source | |
| JPH0634577B2 (ja) | 電源装置 | |
| JPH0746857A (ja) | インバータ装置の主回路 | |
| JP4968322B2 (ja) | 交流−直流変換装置 | |
| JP2000241477A (ja) | 被試験用直流電源装置の運転方法 | |
| JP2917752B2 (ja) | 直流／直流変換装置 | |
| CN1038461C (zh) | 并联多重逆变器 | |
| JP2000077174A (ja) | 誘導加熱用インバータ電源を並列運転する場合の同期運転方法 | |
| JP3110898B2 (ja) | インバータ装置 | |
| JP2867397B2 (ja) | モータ駆動用インバータ装置 | |
| JPH0746847A (ja) | 三相整流装置 | |
| JP2001112268A (ja) | 高周波電源装置 | |
| JP2533646B2 (ja) | 半導体エ―ジング装置 | |
| JPH0637375A (ja) | レーザ発振器の高周波電源 | |
| JPS62138061A (ja) | スイツチングレギユレ−タ電源装置 | |
| JPH08162257A (ja) | 電力制御方法及びその装置 |