JPH074766Y2 - Ｅｄｓ検出器冷却用液化ガス蒸発防止装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、電子顕微鏡に元素分析
機能を持たせるためのエネルギー分散型Ｘ線検出器(Ｅ
ＤＳ検出器)を液化ガスで冷却するために使用される低
温発生装置での液化ガスの蒸発防止装置に関する。

【０００２】

【従来技術】一般に、ＥＤＳ検出器ではその測定精度を
高めるために、ＥＤＳ検出器を液体窒素等の液化ガスで
冷却するようにしているが、従来では液化ガスを貯蔵し
ている貯蔵容器の底壁からコールドフィンガーを連出
し、このコールドフィンガーにＥＤＳ検出器を装着し、
液化ガスを利用してＥＤＳ検出器を超低温状態に維持す
るようにしている。そしてこの場合ＥＤＳ検出器は、一
度冷却するとその冷却温度を維持しておかなければなら
ないという制約がある。一方、電子顕微鏡本体は床面に
スプリング等の振動吸収体を介して支持されており、液
化ガス貯蔵容器は検出作業時にＥＤＳ検出器をリトラク
ト移動できる状態で電子顕微鏡本体に固定されている。

【０００３】ＥＤＳ検出器を冷却するために使用する液
化ガスは蒸発により容器外に飛散することになるから、
長時間にわたって冷却温度を一定範囲内に維持するに
は、この飛散したガス分を補わなければならず、そのた
めにオペレータは頻繁に液化ガスを液化ガス貯蔵容器に
補給しなければならなかった。ところが、ＥＤＳ検出器
を使用する電子顕微鏡では、ＥＤＳ検出器冷却用の液化
ガス貯蔵容器を配設する床面からの高さがその照射軸と
の関係で規制されることになる。そして、従来では、こ
の液化ガス貯蔵容器の上部に開口している液化ガス補給
口は床面から例えば１.５ｍという高い位置に開口して
いたことから、このデュワー瓶等の補給容器を用いて液
化ガス貯蔵容器に液化ガスを補給する作業が面倒になる
という問題があった。

【０００４】このため、本出願人は先に、液化ガス貯蔵
容器の上端開口部に極低温冷凍機のコールドヘッドを装
着して、液化ガス貯蔵容器内で気化したガスを極低温冷
凍機で凝縮させることにより、液化ガスの消費を減少さ
せるようにしたものを提案した(特開平２−２７９９７
７号)。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】ところが、この極低温
冷凍機のコールドヘッドを液化ガス貯蔵容器の上端開口
部に装着した従来のものでは、極低温冷凍機のコールド
ヘッドを床面から電子顕微鏡本体とは別に立設した架台
で支持するようにしていたことから、コールドヘッドと
電子顕微鏡本体とが別の振動系となり、電子顕微鏡本体
に外力が作用して電子顕微鏡本体が首振り揺動する等の
振動が生じると、コールドヘッドと液化ガス貯蔵容器と
の間が相対移動することになって、両者の連結部に無理
が生じるという問題があった。特にこの問題は液化ガス
貯蔵容器をリトラクト移動可能に支持しているリトラク
トレールが傾斜状に配設されている場合に顕著にあらわ
れることになる。本考案は、このような点に着目してな
されたもので、コールドヘッドを液化ガス貯蔵容器に対
して相対移動することなく支持でき、長期に亘って液化
ガスの補給作業を省略できる液化ガス蒸発防止装置を提
供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案は、電子顕微鏡の本体部分にリトラクトレー
ルの補強サポートを固定し、このリトラクトレールに液
化ガス貯蔵容器をリトラクト移動可能に支持し、極低温
冷凍機のコールドヘッドをそのコールドエンド部分が液
化ガス貯蔵容器に突入する状態で支持板を介して液化ガ
ス貯蔵容器の上端開口部に装着し、液化ガス貯蔵容器と
支持板とを連結固定具で連結することによりコールドヘ
ッドを液化ガス貯蔵容器に固定したことを特徴としてい
る。

【０００７】

【作用】本考案では、電子顕微鏡の本体部分にリトラク
トレールの補強サポートを固定し、このリトラクトレー
ルに液化ガス貯蔵容器をリトラクト移動可能に支持し、
極低温冷凍機のコールドヘッドをそのコールドエンド部
分が液化ガス貯蔵容器に突入する状態で支持板を介して
液化ガス貯蔵容器の上端開口部に装着し、液化ガス貯蔵
容器と支持板とを連結固定具で連結することによりコー
ルドヘッドを液化ガス貯蔵容器に固定しているので、極
低温冷凍機のコールドヘッドは電子顕微鏡本体に相対固
定されている液化ガス貯蔵容器と一体に構成されること
になり、極低温冷凍機のコールドヘッドは液化ガス貯蔵
容器と一体に振動することになり、振動に伴う液化ガス
貯蔵容器とコールドヘッドとの相対変位を防止すること
ができるから、コールドヘッドを簡単な構成の支持構造
で確実に支持できるうえ、コールドエンドを液化ガス貯
蔵容器内に突入させている極低温冷凍機の作用により液
化ガス貯蔵容器内で気化したガスを凝縮液化させること
になるから、液化ガスの飛散消費を抑制することがで
き、液化ガス貯蔵容器への液化ガスの補給サイクルを大
幅に長期化できることになる。

【０００８】

【実施例】図面は本考案の実施例を示し、図１は電子顕
微鏡への液化ガス貯蔵容器の取付け状態を示す概略構成
図、図２は液化ガス容器支持装置の要部取出図である。

【０００９】図において符号(１)は本体部分(２)を床面
にスプリング等の振動吸収体を介して支持させた電子顕
微鏡であり、(３)は底壁からコールドフィンガーを導出
したＥＤＳ冷却用液化ガス貯蔵容器であり、この液化ガ
ス貯蔵容器(３)は電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に相対
移動可能な状態で支持されている。すなわち、電子顕微
鏡(１)の本体部分(２)から突設したリトラクトレール補
強サポート(４)にリトラクトレール(５)を固定し、この
リトラクトレール(５)に走行台(６)をネジ式移動装置等
の移動機構でリトラクトレール(５)に沿って走行移動可
能な状態で配置し、この走行台(６)に液化ガス貯蔵容器
(３)を載置固定することにより、液化ガス貯蔵容器(３)
を電子顕微鏡(１)の本体部分(２)に対してリトラクト移
動可能に構成してある。

【００１０】符号(７)は液化ガス貯蔵容器(３)の上端開
口部(８)に極低温冷凍機のコールドヘッド(９)を配置す
るための支持板であり、この支持板(７)には極低温冷凍
機のコールドヘッド(９)がそのコールドエンド部分(10)
を下側に突出させた状態で固定してある。そして、この
コールドエンド部分(10)を液化ガス貯蔵容器(３)の容器
内部に突入させる状態で支持板(７)を液化ガス貯蔵容器
(３)の上端開口部(８)に装着し、支持板(７)と液化ガス
貯蔵容器(３)との間を容器連結固定具(11)で固定してい
る。連結固定具(11)は、液化ガス貯蔵容器(３)の胴部に
巻き付いている帯板リング(12)と、この帯板リング(12)
と支持板(７)とを連結する複数のコイルスプリング(13)
とで構成してある。帯板リング(12)は液化ガス貯蔵容器
(３)の胴部で周方向に形成されている溶接ビード(14)の
下側部分に嵌着しており、コイルスプリング(13)は支持
板(７)を液化ガス貯蔵容器(３)側に牽引するように作用
している。

【００１１】したがって、コイルスプリング(13)の弾性
力で帯板リング(12)が溶接ビード(14)の下周縁に受け止
められ、支持板(７)が液化ガス貯蔵容器(３)に押し付け
られることになるから、支持板(７)は液化ガス貯蔵容器
(３)の開口部(８)に圧着固定されることになる。なお、
このコイルスプリング(13)の弾性力は極低温冷凍機を運
転停止することにより、液化ガス貯蔵容器(３)内の内圧
が上昇した際でも支持枠(７)を液化ガス貯蔵容器(３)に
所定の接当力以上の力で押し付けることのできる大きさ
に設定してある。図中符号(15)は液化ガス貯蔵容器(３)
内での液化ガス量を表示する液面計、(16)は液化ガス貯
蔵容器(３)内の圧力を表示する圧力計、(17)は安全弁で
ある。

【００１２】上記実施例では、帯板リング(12)と支持枠
(７)との間にコイルスプリング(13)を配置して支持板
(７)を液化ガス貯蔵容器(３)に押し付けるようにしてい
るが、このコイルスプリング(13)にかえてラバーベルト
を使用してもよいし、また、ターンバックルを使用して
支持板(７)を帯板リング(12)に押し付けるようにように
してもよい。

【００１３】図３は支持板(７)を液化ガス貯蔵容器(３)
に支持する別の構造を示し、これは、支持板(７)を防振
ベロー等の防振具(18)を介して液化ガス貯蔵容器(３)に
着脱可能に固定するとともに、連結固定具(11)を液化ガ
ス貯蔵容器(２)の胴部に溶接ビード(14)を挟む状態で配
置した上下一対の帯板リング(12)と、この帯板リング(1
2)と支持板(７)とを制振材製の連結枠(19)で連結する用
にしたものである。

【００１４】支持板(７)の連結構造をこのように構成す
ると、支持板(７)と上下一対の帯板リング(12)とは連結
枠(19)を介して相対変位することなく固定されることに
なるから、極低温冷凍機の運転に伴い液化ガス貯蔵容器
(３)内の圧力が負圧になって支持板(７)と液化ガス貯蔵
容器(３)との間に防振具(18)を収縮させる方向の力が作
用しても、上下一対の帯板リング(12)のうち上側リング
(12ａ)が液化ガス容器(２)に形成されている溶接ビード
(14)を受止めることになるから、支持板(７)と液化ガス
貯蔵容器(３)との間を収縮させようとする移動力を抑制
することになる。また、極低温冷凍機の運転停止等に伴
い液化ガス貯蔵容器(３)内の圧力が正圧になって支持板
(７)と液化ガス貯蔵容器(３)との間に防振具(18)を伸長
させる方向の力が作用しても、上下一対の帯板リング(1
2)のうち下側リング(12ｂ)が液化ガス貯蔵容器(３)に形
成されている溶接ビード(14)を受止めることになるか
ら、支持板(７)と液化ガス貯蔵容器(３)との間を伸長さ
せようとする移動力を抑制することになる。

【００１５】なお、上記各実施例の極低温冷凍機は、電
子顕微鏡(１)の操作時には極低温冷凍機運転に伴う振動
がＥＤＳ検出器や電子顕微鏡(１)に伝達されることがな
いように運転を停止し、電子顕微鏡(１)の非操作時に極
低温冷凍機を運転して、気化ガスを凝縮できるようにそ
の運転モードを制御している。

【００１６】

【考案の効果】本考案は、電子顕微鏡の本体部分にリト
ラクトレールの補強サポートを固定し、このリトラクト
レールに液化ガス貯蔵容器をリトラクト移動可能に支持
し、極低温冷凍機のコールドヘッドをそのコールドエン
ド部分が液化ガス貯蔵容器に突入する状態で支持板を介
して液化ガス貯蔵容器の上端開口部に装着し、液化ガス
貯蔵容器と支持板とを連結固定具で連結することにより
コールドヘッドを液化ガス貯蔵容器に固定しているの
で、極低温冷凍機のコールドヘッドは電子顕微鏡本体に
相対固定されている液化ガス貯蔵容器と一体に構成され
ることになり、極低温冷凍機のコールドヘッドは液化ガ
ス貯蔵容器と一体に振動することになる。したがって、
振動に伴う液化ガス貯蔵容器とコールドヘッドとの相対
変位を防止することができるから、コールドヘッドを簡
単な構成の支持構造で確実に支持できるうえ、コールド
エンドを液化ガス貯蔵容器内に突入させている極低温冷
凍機の作用により液化ガス貯蔵容器内で気化したガスを
凝縮液化させることになるから、液化ガスの飛散消費を
抑制することができ、液化ガス貯蔵容器への液化ガスの
補給サイクルを大幅に長期化できることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】電子顕微鏡への取り付け状態を示す概略構成図
である。

【図２】液化ガス容器支持装置の要部取出図である。

【図３】液化ガス容器支持装置の別実施例を示す要部取
出図である。

【符号の説明】

１…電子顕微鏡、 ２…電子顕微鏡の
本体部分、３…液化ガス貯蔵容器、 ４…リ
トラクトレール補強サポート、５…リトラクトレール、
７…支持板、８…液化ガス容器の上端開口
部、 ９…コールドヘッド、10…コールドエンド部
分、 11…連結固定具。

フロントページの続き (72)考案者 川口 悦治 滋賀県守山市勝部町1095番地 イワタニプ ランテック株式会社滋賀工場内 (56)参考文献 特開 平２−279977（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−261146（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子顕微鏡(１)の本体部分(２)にリトラ
   クトレール（５)を介してＥＤＳ検出器冷却用液化ガス
   貯蔵容器(３)を支持させ、この液化ガス貯蔵容器(３)の
   上端開口部(８)に極低温冷凍機のコールドヘッド(９)を
   装着したＥＤＳ検出器冷却用液化ガス蒸発防止装置にお
   いて、電子顕微鏡(１)の本体部分(２)にリトラクトレー
   ル(５)の補強サポート(４)を固定し、このリトラクトレ
   ール(５)に液化ガス貯蔵容器(３)をリトラクト移動可能
   に支持し、極低温冷凍機のコールドヘッド(９)をそのコ
   ールドエンド部分(10)が液化ガス貯蔵容器(３)に突入す
   る状態で支持板(７)を介して液化ガス貯蔵容器(３)の上
   端開口部(８)に装着し、液化ガス貯蔵容器(３)と支持板
   (７)とを連結固定具(11)で連結することによりコールド
   ヘッド(９)を液化ガス貯蔵容器(３)に固定したことを特
   徴とするＥＤＳ検出器冷却用液化ガス蒸発防止装置。