JPH0749039Y2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH0749039Y2 JPH0749039Y2 JP1987123099U JP12309987U JPH0749039Y2 JP H0749039 Y2 JPH0749039 Y2 JP H0749039Y2 JP 1987123099 U JP1987123099 U JP 1987123099U JP 12309987 U JP12309987 U JP 12309987U JP H0749039 Y2 JPH0749039 Y2 JP H0749039Y2
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 7
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- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 2
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- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、ターボ分子ポンプに関するものである。
（従来の技術） 従来のターボ分子ポンプを第６、７、８図により説明す
ると、第６図の（01）がケーシングで、同ケーシング
（01）の上部には、吸気口（02）が設けられ、同ケーシ
ング（01）の側壁下部には、排気口（03）が設けられ、
同ケーシング（01）の内周面からは、複数の静翼（04）
が突設している。また（010）が同ケーシング（01）内
に立設した保持筒で、同保持筒（010）の下部内には、
油溜が形成されて、同油溜に後記滑り軸受（011）の潤
滑油（012）が貯えられている。また（07）が回転軸、
（06）が同回転軸（07）の上端部に一体的に連結したロ
ータで、同ロータ（06）の外周面からは、上記各静翼
（04）に対応して複数の動翼（05）が突設している。ま
た（08）が上記ロータ（06）の中心部に取付けた回転側
の環状永久磁石、（09）が上記保持筒（010）の上端部
に取付けた非回転側の環状永久磁石で、同回転側の環状
永久磁石（08）と同非回転側の環状永久磁石（09）とが
半径方向と対向し、且つ、第７図または第８図に示すよ
うに同極（ＳとＳまたはＮとＮ）が対向して、ロータ
（06）及び回転軸（07）を磁気反発により回転可能に支
持する非接触の上記軸受が構成されている。また第６図
の（011）が回転軸（07）の軸方向と水平方向（軸方向
と直交した方向）とに負荷負担能力を有する滑り軸受
（下部軸受）で、同滑り軸受（011）が、回転軸（07）
の下端部から下方へ延びた細径軸部（011a）と、同細径
回転部（011a）を取り囲む軸受皿（011b）とにより構成
されている。また（013）が上記軸受皿（011b）を支持
する軸受支持部材、（014）が上記回転軸（07）と上記
保持筒（010）との間に配設したモータで、同モータ（0
14）が、上記回転軸（07）に取付けたモータロータ（01
4a）と、上記保持筒（010）に取付けたモータステータ
（014b）とにより構成されている。
ると、第６図の（01）がケーシングで、同ケーシング
（01）の上部には、吸気口（02）が設けられ、同ケーシ
ング（01）の側壁下部には、排気口（03）が設けられ、
同ケーシング（01）の内周面からは、複数の静翼（04）
が突設している。また（010）が同ケーシング（01）内
に立設した保持筒で、同保持筒（010）の下部内には、
油溜が形成されて、同油溜に後記滑り軸受（011）の潤
滑油（012）が貯えられている。また（07）が回転軸、
（06）が同回転軸（07）の上端部に一体的に連結したロ
ータで、同ロータ（06）の外周面からは、上記各静翼
（04）に対応して複数の動翼（05）が突設している。ま
た（08）が上記ロータ（06）の中心部に取付けた回転側
の環状永久磁石、（09）が上記保持筒（010）の上端部
に取付けた非回転側の環状永久磁石で、同回転側の環状
永久磁石（08）と同非回転側の環状永久磁石（09）とが
半径方向と対向し、且つ、第７図または第８図に示すよ
うに同極（ＳとＳまたはＮとＮ）が対向して、ロータ
（06）及び回転軸（07）を磁気反発により回転可能に支
持する非接触の上記軸受が構成されている。また第６図
の（011）が回転軸（07）の軸方向と水平方向（軸方向
と直交した方向）とに負荷負担能力を有する滑り軸受
（下部軸受）で、同滑り軸受（011）が、回転軸（07）
の下端部から下方へ延びた細径軸部（011a）と、同細径
回転部（011a）を取り囲む軸受皿（011b）とにより構成
されている。また（013）が上記軸受皿（011b）を支持
する軸受支持部材、（014）が上記回転軸（07）と上記
保持筒（010）との間に配設したモータで、同モータ（0
14）が、上記回転軸（07）に取付けたモータロータ（01
4a）と、上記保持筒（010）に取付けたモータステータ
（014b）とにより構成されている。
前記第６、７、８図に示す従来のターボ分子ポンプにお
いて、動翼（05）を有するロータ（06）と同ロータ（0
6）に一体的に連結した回転軸（07）とをモータ（014）
により高速回転させると、気体分子が矢印A1→A2方向に
流れて、吸気口（02）側が高真空になり、排気口（03）
側が低真空になる。
いて、動翼（05）を有するロータ（06）と同ロータ（0
6）に一体的に連結した回転軸（07）とをモータ（014）
により高速回転させると、気体分子が矢印A1→A2方向に
流れて、吸気口（02）側が高真空になり、排気口（03）
側が低真空になる。
（考案が解決しようとする課題） 前記第６、７、８図に示す従来のターボ分子ポンプで
は、上部軸受がロータ（06）の中心部に取付けた回転側
の環状永久磁石（08）と保持筒（010）の上端部に取付
けた非回転側の環状永久磁石（09）とにより構成されて
おり、同各環状永久磁石（08）（09）が非接触で、オイ
ルレスのため、劣化が少ない。矢印A1→A2方向に流
れる気体を汚染しない。振動、騒音が少ないという利
点がある反面、回転側の環状永久磁石（08）と非回転側
の環状永久磁石（09）とが軸方向に１段のため、負荷負
担能力が小さくて、ロータ（06）と回転軸（07）とが安
定的に支持され難いという問題があった。
は、上部軸受がロータ（06）の中心部に取付けた回転側
の環状永久磁石（08）と保持筒（010）の上端部に取付
けた非回転側の環状永久磁石（09）とにより構成されて
おり、同各環状永久磁石（08）（09）が非接触で、オイ
ルレスのため、劣化が少ない。矢印A1→A2方向に流
れる気体を汚染しない。振動、騒音が少ないという利
点がある反面、回転側の環状永久磁石（08）と非回転側
の環状永久磁石（09）とが軸方向に１段のため、負荷負
担能力が小さくて、ロータ（06）と回転軸（07）とが安
定的に支持され難いという問題があった。
本考案の目的とする処は、ロータ及び回転軸に対するダ
ンピング効果を増大できるターボ分子ポンプを供する点
にある。
ンピング効果を増大できるターボ分子ポンプを供する点
にある。
（課題を解決するための手段） 上記の目的を解決するために、本考案は、上部に吸気口
を、側壁下部に排気口を、それぞれ設け且つ内周面に複
数の静翼を突設したケーシングと、同ケーシング内に立
設した下部内に油溜を形成した保持筒と、上記各静翼に
対応して外周面に複数の動翼を突設し且つ同保持筒と同
保持筒内に嵌挿したロータの回転軸とにより回転可能に
支持されたロータと、上記回転軸と上記保持筒との間に
設けたモータとを具えているターボ分子ポンプにおい
て、前記保持筒の軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、前記ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向
に間隙を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を
取付けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成
するとともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対
向させて配置し、磁石の端部間に磁性リングを配設し、
前記保持筒に取付けた非回転側の環状永久磁石を電気抵
抗の小さいダンパカバーにより被覆している。
を、側壁下部に排気口を、それぞれ設け且つ内周面に複
数の静翼を突設したケーシングと、同ケーシング内に立
設した下部内に油溜を形成した保持筒と、上記各静翼に
対応して外周面に複数の動翼を突設し且つ同保持筒と同
保持筒内に嵌挿したロータの回転軸とにより回転可能に
支持されたロータと、上記回転軸と上記保持筒との間に
設けたモータとを具えているターボ分子ポンプにおい
て、前記保持筒の軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、前記ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向
に間隙を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を
取付けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成
するとともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対
向させて配置し、磁石の端部間に磁性リングを配設し、
前記保持筒に取付けた非回転側の環状永久磁石を電気抵
抗の小さいダンパカバーにより被覆している。
（作用） 本考案のターボ分子ポンプでは、次の作用が達成され
る。即ち、 （ａ）保持筒に軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向に間
隔を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を取付
けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成する
とともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対向さ
せて配置しているので、磁石間の磁性リング近傍のダン
パカバー部の磁束密度が増加する。一般に減衰数と磁束
密度との間には、 Ｃ∝B2 … の関係があるため、減衰定数も増加する。
る。即ち、 （ａ）保持筒に軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向に間
隔を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を取付
けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成する
とともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対向さ
せて配置しているので、磁石間の磁性リング近傍のダン
パカバー部の磁束密度が増加する。一般に減衰数と磁束
密度との間には、 Ｃ∝B2 … の関係があるため、減衰定数も増加する。
（ｂ）さらに上記各環状永久磁石の端部間に磁性リング
を配設しており、第９図に示すように磁性リングないし
の場合に比べて２倍程度の減衰定数が得られる。
を配設しており、第９図に示すように磁性リングないし
の場合に比べて２倍程度の減衰定数が得られる。
以上（ａ）（ｂ）の複合効果により、ロータ及び回転軸
に対するダンピング効果が増大する。
に対するダンピング効果が増大する。
（実施例） 次に本考案のターボ分子ポンプを第１、２図に示す一実
施例により説明すると、第２図の（１）がケーシング
で、同ケーシング（１）の上部には、吸気口（２）が設
けられ、同ケーシング（１）の側壁下部には、排気口
（３）が設けられ、同ケーシング（１）の内周面から
は、複数の静翼（４）が突設している。また（10）が同
ケーシング（１）内に立設した保持筒で、同保持筒（1
0）の下部内には、油溜が形成されて、同油溜に後記滑
り軸受（11）の潤滑油（12）が貯えられている。また
（７）が回転軸、（６）が同回転軸（７）の上端部に一
体的に連結したロータで、同ロータ（６）の外周面から
は、上記各静翼（４）に対応して複数の静翼（５）が突
設している。また（８）が上記ロータ（６）の中心部に
取付けた回転側の環状永久磁石（９）が上記保持筒（1
0）の上端部に取付けた非回転側の環状永久磁石（11）
が回転軸（７）の軸方向と水平方向（軸方向と直交した
方向）とに負荷負担能力を有する滑り軸受（下部軸受）
で、同滑り軸受（11）が、回転軸（７）の下端部から下
方へ延びた細径軸部（11a）と、同細径回転部（11a）を
取り囲む軸受皿（11b）とにより構成されている。また
（13）が上記軸受皿（11b）を支持する軸受支持部材、
（14）が上記回転軸（７）と上記保持筒（10）との間に
配設したモータで、同モータ（14）が、上記回転軸
（７）に取付けたモータロータ（14a）と、上記保持筒
（10）に取付けたモータステータ（14b）とにより構成
されており、動翼（５）を有するロータ（６）と同ロー
タ（６）に一体的に連結した回転軸（７）とをモータ
（14）により高速回転させると、気体分子が矢印A1→A2
方向に流れて、吸気口（２）側が高真空になり、排気口
（３）側が低真空になる。
施例により説明すると、第２図の（１）がケーシング
で、同ケーシング（１）の上部には、吸気口（２）が設
けられ、同ケーシング（１）の側壁下部には、排気口
（３）が設けられ、同ケーシング（１）の内周面から
は、複数の静翼（４）が突設している。また（10）が同
ケーシング（１）内に立設した保持筒で、同保持筒（1
0）の下部内には、油溜が形成されて、同油溜に後記滑
り軸受（11）の潤滑油（12）が貯えられている。また
（７）が回転軸、（６）が同回転軸（７）の上端部に一
体的に連結したロータで、同ロータ（６）の外周面から
は、上記各静翼（４）に対応して複数の静翼（５）が突
設している。また（８）が上記ロータ（６）の中心部に
取付けた回転側の環状永久磁石（９）が上記保持筒（1
0）の上端部に取付けた非回転側の環状永久磁石（11）
が回転軸（７）の軸方向と水平方向（軸方向と直交した
方向）とに負荷負担能力を有する滑り軸受（下部軸受）
で、同滑り軸受（11）が、回転軸（７）の下端部から下
方へ延びた細径軸部（11a）と、同細径回転部（11a）を
取り囲む軸受皿（11b）とにより構成されている。また
（13）が上記軸受皿（11b）を支持する軸受支持部材、
（14）が上記回転軸（７）と上記保持筒（10）との間に
配設したモータで、同モータ（14）が、上記回転軸
（７）に取付けたモータロータ（14a）と、上記保持筒
（10）に取付けたモータステータ（14b）とにより構成
されており、動翼（５）を有するロータ（６）と同ロー
タ（６）に一体的に連結した回転軸（７）とをモータ
（14）により高速回転させると、気体分子が矢印A1→A2
方向に流れて、吸気口（２）側が高真空になり、排気口
（３）側が低真空になる。
次に上記回転側の環状永久磁石（８）及び非回転側の環
状永久磁石（９）を第１図により具体的に説明すると、
（８）（８）が２個の回転側環状永久磁石、（９）
（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、同環状永久磁
石（８）（８）と同環状永久磁石（９）（９）とが半径
方向に間隔を置いて対向し、同環状永久磁石（８）
（８）が軸方向に間隔を置いて配設され、同環状永久磁
石（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配設されてい
る。また同回転側の環状永久磁石（８）（８）が電気抵
抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同環状永
久磁石（８）（８）の各端部に磁性リング（16）が配設
されて、同磁石カバー（15）が上記ロータ（６）及び上
記回転軸（７）に取付けられている。また上記非回転軸
の環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の小さいダンパ
カバー（17）により被覆され、同環状永久磁石（９）
（９）の各端部に磁性リング（16）が配設されて、同ダ
ンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に取付けられ
ている。また上記環状永久磁石（８）（８）と上記環状
永久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）が対
向して、非接触の上部軸受が構成さている。
状永久磁石（９）を第１図により具体的に説明すると、
（８）（８）が２個の回転側環状永久磁石、（９）
（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、同環状永久磁
石（８）（８）と同環状永久磁石（９）（９）とが半径
方向に間隔を置いて対向し、同環状永久磁石（８）
（８）が軸方向に間隔を置いて配設され、同環状永久磁
石（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配設されてい
る。また同回転側の環状永久磁石（８）（８）が電気抵
抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同環状永
久磁石（８）（８）の各端部に磁性リング（16）が配設
されて、同磁石カバー（15）が上記ロータ（６）及び上
記回転軸（７）に取付けられている。また上記非回転軸
の環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の小さいダンパ
カバー（17）により被覆され、同環状永久磁石（９）
（９）の各端部に磁性リング（16）が配設されて、同ダ
ンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に取付けられ
ている。また上記環状永久磁石（８）（８）と上記環状
永久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）が対
向して、非接触の上部軸受が構成さている。
次に前記第１、２図に示すターボ分子ポンプの作用を具
体的に説明する。保持筒（10）及びロータ（６）に複
数個の環状永久磁石（８）（８）及び（９）（９）が軸
方向に間隔を置いて取付けられており、ロータ（６）の
回転軸（７）を回転可能に支持する磁力が増大する。
また回転側の環状永久磁石（８）（８）と非回転側の環
状永久磁石（９）（９）と同各環状環状永久磁石（８）
（８）及び（９）（９）の端部に配設した磁性リング
（16）とで形成される磁気回路により、ロータ（６）の
回転軸（７）が軸中心からの偏心量に対応した反発力を
受けて、ロータ（６）の回転中心が保持筒の中心に一致
する。また磁性リング（16）の近傍で磁束が変化し、
それに伴い非回転側の環状永久磁石（９）（９）を被覆
している電気抵抗の小さいダンパカバー（17）に渦電流
損が生じて、ダンピング効果（振動抑制効果）が得られ
る。ここで保持筒及びロータの複数個の環状永久磁石
は、同極が対向するように配置されているので、極間で
の磁束密度はきわめて大きくとれ、極間に配置されてい
る磁性リング近傍での磁束の変化が大きくなり、きわめ
て大きなダンピング効果が得られる。さらに回転側の
環状永久磁石（８）（８）が電気抵抗の大きい磁石カバ
ー（15）により被覆されており、同回転側の環状永久磁
石（８）（８）に渦電流損が生じ難い。従ってロータ
（６）及び回転軸（７）が安定的に回転支持される。
体的に説明する。保持筒（10）及びロータ（６）に複
数個の環状永久磁石（８）（８）及び（９）（９）が軸
方向に間隔を置いて取付けられており、ロータ（６）の
回転軸（７）を回転可能に支持する磁力が増大する。
また回転側の環状永久磁石（８）（８）と非回転側の環
状永久磁石（９）（９）と同各環状環状永久磁石（８）
（８）及び（９）（９）の端部に配設した磁性リング
（16）とで形成される磁気回路により、ロータ（６）の
回転軸（７）が軸中心からの偏心量に対応した反発力を
受けて、ロータ（６）の回転中心が保持筒の中心に一致
する。また磁性リング（16）の近傍で磁束が変化し、
それに伴い非回転側の環状永久磁石（９）（９）を被覆
している電気抵抗の小さいダンパカバー（17）に渦電流
損が生じて、ダンピング効果（振動抑制効果）が得られ
る。ここで保持筒及びロータの複数個の環状永久磁石
は、同極が対向するように配置されているので、極間で
の磁束密度はきわめて大きくとれ、極間に配置されてい
る磁性リング近傍での磁束の変化が大きくなり、きわめ
て大きなダンピング効果が得られる。さらに回転側の
環状永久磁石（８）（８）が電気抵抗の大きい磁石カバ
ー（15）により被覆されており、同回転側の環状永久磁
石（８）（８）に渦電流損が生じ難い。従ってロータ
（６）及び回転軸（７）が安定的に回転支持される。
また第３図は、回転側の環状永久磁石（８）及び非回転
側の環状永久磁石（９）の他の実施例を示している。同
第３図において、（８）が１個の回転側環状永久磁石、
（９）（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、同環状
永久磁石、（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配設さ
れている。また上記回転側の環状永久磁石（８）が電気
抵抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同磁石
カバー（15）が保持筒（10）の上端部よりも外側のロー
タ（６）部分に取付けられている。また上記非回転側の
環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の小さいダンパカ
バー（17）により被覆され、同環状永久磁石（９）
（９）の各端部に磁性リング（16）が配設されて、同ダ
ンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に取付けられ
ている。また上記環状環状永久磁石（８）と上記環状永
久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）が対向
し、非接触の上部軸受が構成されており、この実施例で
も、前記第１、２図に示すターボ分子ポンプと同様の作
用が奏せられる。
側の環状永久磁石（９）の他の実施例を示している。同
第３図において、（８）が１個の回転側環状永久磁石、
（９）（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、同環状
永久磁石、（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配設さ
れている。また上記回転側の環状永久磁石（８）が電気
抵抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同磁石
カバー（15）が保持筒（10）の上端部よりも外側のロー
タ（６）部分に取付けられている。また上記非回転側の
環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の小さいダンパカ
バー（17）により被覆され、同環状永久磁石（９）
（９）の各端部に磁性リング（16）が配設されて、同ダ
ンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に取付けられ
ている。また上記環状環状永久磁石（８）と上記環状永
久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）が対向
し、非接触の上部軸受が構成されており、この実施例で
も、前記第１、２図に示すターボ分子ポンプと同様の作
用が奏せられる。
第４図は、回転側の環状永久磁石（８）及び非回転側の
環状永久磁石（９）の他の実施例を示している。同第４
図において、（10′）が第２図に示すケーシング（１）
の吸気口（２）側の配設した保持筒、（８）が１個の回
転側環状永久磁石、（９）（９）が２個の非回転側環状
永久磁石で、同環状永久磁石（９）（９）が軸方向に間
隔を置いて配設されている。また上記回転側の環状永久
磁石（８）が電気抵抗の大きい磁石カバー（15）により
被覆され、同環状永久磁石（８）の両端部に磁性リング
（16）が配設されて、同磁石カバー（15）が保持筒（1
0′）の下端部よりも外側のロータ（６）部分に取付け
られている。また上記非回転側の環状永久磁石（９）
（９）が電気抵抗の小さいダンパカバー（17）により被
覆され、同環状永久磁石（９）（９）の各端部に磁性リ
ング（16）が配設され、同ダンパカバー（17）が保持筒
（10′）の下端部に取付けられている。また上記環状永
久磁石（８）と上記環状永久磁石（９）（９）との同極
（ＳとＳ、ＮとＮ）が対向して、非接触の上部軸受が構
成されており、この実施例でも、前記第１図に示すター
ボ分子ポンプと同様の作用が奏せられる。
環状永久磁石（９）の他の実施例を示している。同第４
図において、（10′）が第２図に示すケーシング（１）
の吸気口（２）側の配設した保持筒、（８）が１個の回
転側環状永久磁石、（９）（９）が２個の非回転側環状
永久磁石で、同環状永久磁石（９）（９）が軸方向に間
隔を置いて配設されている。また上記回転側の環状永久
磁石（８）が電気抵抗の大きい磁石カバー（15）により
被覆され、同環状永久磁石（８）の両端部に磁性リング
（16）が配設されて、同磁石カバー（15）が保持筒（1
0′）の下端部よりも外側のロータ（６）部分に取付け
られている。また上記非回転側の環状永久磁石（９）
（９）が電気抵抗の小さいダンパカバー（17）により被
覆され、同環状永久磁石（９）（９）の各端部に磁性リ
ング（16）が配設され、同ダンパカバー（17）が保持筒
（10′）の下端部に取付けられている。また上記環状永
久磁石（８）と上記環状永久磁石（９）（９）との同極
（ＳとＳ、ＮとＮ）が対向して、非接触の上部軸受が構
成されており、この実施例でも、前記第１図に示すター
ボ分子ポンプと同様の作用が奏せられる。
また第５図は、回転側の環状永久磁石（８）及び非回転
側の環状永久磁石（９）のさらに他の実施例を示してい
る。同第５図において、（８）が１個の回転側環状永久
磁石、（９）（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、
同環状永久磁石（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配
設されている。また上記回転側の環状永久磁石（８）が
電気抵抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同
環状永久磁石（８）の両端部に磁性リング（16）が配設
されて、同磁石カバー（15）が保持筒（10）の上端部よ
りも外側のロータ（６）部分に取付けられている。また
上記非回転側の環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の
小さいダンパカバー（17）により被覆され、同環状永久
磁石（９）（９）の各端部に磁性リング（16）が配設さ
れて、同ダンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に
取付けられている。また上記環状永久磁石（８）と上記
環状永久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）
が対向して、非接触の上部軸受が構成されており、この
実施例でも、前記第１図に示すターボ部分ポンプと同様
の作用が奏せられる。
側の環状永久磁石（９）のさらに他の実施例を示してい
る。同第５図において、（８）が１個の回転側環状永久
磁石、（９）（９）が２個の非回転側環状永久磁石で、
同環状永久磁石（９）（９）が軸方向に間隔を置いて配
設されている。また上記回転側の環状永久磁石（８）が
電気抵抗の大きい磁石カバー（15）により被覆され、同
環状永久磁石（８）の両端部に磁性リング（16）が配設
されて、同磁石カバー（15）が保持筒（10）の上端部よ
りも外側のロータ（６）部分に取付けられている。また
上記非回転側の環状永久磁石（９）（９）が電気抵抗の
小さいダンパカバー（17）により被覆され、同環状永久
磁石（９）（９）の各端部に磁性リング（16）が配設さ
れて、同ダンパカバー（17）が保持筒（10）の上端部に
取付けられている。また上記環状永久磁石（８）と上記
環状永久磁石（９）（９）との同極（ＳとＳ、ＮとＮ）
が対向して、非接触の上部軸受が構成されており、この
実施例でも、前記第１図に示すターボ部分ポンプと同様
の作用が奏せられる。
（考案の効果） 本考案のターボ分子ポンプでは、次の効果を達成でき
る。即ち （ａ）保持筒に軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向に間
隔を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を取付
けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成する
とともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対向さ
せて配置しているので、磁石間の磁性リング近傍のダン
パカバー部の磁束密度が増加する。一般に減衰数と磁束
密度との間には、 Ｃ∝B2 … の関係があるため、減衰定数も増加する。
る。即ち （ａ）保持筒に軸方向に複数個の環状永久磁石を取付
け、ロータに上記各環状永久磁石に対して半径方向に間
隔を置いて対向するように複数個の環状永久磁石を取付
けて、前記ロータを回転可能に支持する軸受を構成する
とともに、前記各環状永久磁石を軸方向に同極を対向さ
せて配置しているので、磁石間の磁性リング近傍のダン
パカバー部の磁束密度が増加する。一般に減衰数と磁束
密度との間には、 Ｃ∝B2 … の関係があるため、減衰定数も増加する。
（ｂ）さらに上記各環状永久磁石の端部間に磁性リング
を配設しており、第９図に示すように磁性リングなしの
場合に比べて２倍程度の減衰定数が得られる。
を配設しており、第９図に示すように磁性リングなしの
場合に比べて２倍程度の減衰定数が得られる。
以上（ａ）（ｂ）の複合効果により、ロータ及び回転軸
に対するダンピング効果が増大できる効果がある。
に対するダンピング効果が増大できる効果がある。
第１図は本考案に係わるターボ分子ポンプの一実施例の
軸受部分を示す縦断側面図、第２図は同ターボ分子ポン
プの全体を示す縦断側面図、第３図乃至第５図は軸受部
分の他の実施例を示す縦断側面図、第６図は従来のター
ボ分子ポンプを示す縦断側面図、第７、８図は同従来の
ターボ分子ポンプの軸受部分を示す縦断側面図、第９図
は本考案のターボ分子ポンプの効果を示す説明図であ
る。 （１）……ケーシング、（２）……吸気口、（３）……
排気口、（４）……静翼、（５）……動翼、（６）……
ロータ、（７）……ロータ（６）の回転軸、（８）……
回転側の環状永久磁石、（９）……非回転側の環状永久
磁石、（10）……保持筒、（14）……モータ、（15）…
…磁石カバー、（16）……磁性リング、（17）……ダン
パカバー。
軸受部分を示す縦断側面図、第２図は同ターボ分子ポン
プの全体を示す縦断側面図、第３図乃至第５図は軸受部
分の他の実施例を示す縦断側面図、第６図は従来のター
ボ分子ポンプを示す縦断側面図、第７、８図は同従来の
ターボ分子ポンプの軸受部分を示す縦断側面図、第９図
は本考案のターボ分子ポンプの効果を示す説明図であ
る。 （１）……ケーシング、（２）……吸気口、（３）……
排気口、（４）……静翼、（５）……動翼、（６）……
ロータ、（７）……ロータ（６）の回転軸、（８）……
回転側の環状永久磁石、（９）……非回転側の環状永久
磁石、（10）……保持筒、（14）……モータ、（15）…
…磁石カバー、（16）……磁性リング、（17）……ダン
パカバー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−79695（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−41295（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−93995（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−120724（ＪＰ，Ａ) 実開 昭48−97540（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】上部に吸気口を、側壁下部に排気口を、そ
れぞれ設け且つ内周面に複数の静翼を突設したケーシン
グと、同ケーシング内に立設して下部内に油溜を形成し
た保持筒と、上記各静翼に対応して外周面に複数の動翼
を突設し且つ同保持筒と同保持筒内に嵌挿したロータの
回転軸とにより回転可能に支持されたロータと、上記回
転軸と上記保持筒との間に設けたモータとを具えている
ターボ分子ポンプにおいて、前記保持筒の軸方向に複数
個の環状永久磁石を取付け、前記ロータに上記各環状永
久磁石に対して半径方向に間隔を置いて対向するように
複数個の環状永久磁石を取付けて、前記ロータを回転可
能に支持する軸受を構成するとともに、前記各環状永久
磁石を軸方向に同極を対向させて配置し、磁石の端部間
に磁性リングを配設し、前記保持筒に取付けた非回転側
の環状永久磁石を電気抵抗の小さいダンパカバーにより
被覆したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123099U JPH0749039Y2 (ja) | 1987-08-13 | 1987-08-13 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123099U JPH0749039Y2 (ja) | 1987-08-13 | 1987-08-13 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6429289U JPS6429289U (ja) | 1989-02-21 |
| JPH0749039Y2 true JPH0749039Y2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=31371639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987123099U Expired - Lifetime JPH0749039Y2 (ja) | 1987-08-13 | 1987-08-13 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749039Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020112080A (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-27 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| CN113795675B (zh) * | 2019-05-24 | 2024-01-09 | 株式会社岛津制作所 | 真空泵及磁轴承一体型马达 |
-
1987
- 1987-08-13 JP JP1987123099U patent/JPH0749039Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6429289U (ja) | 1989-02-21 |
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