JPH0750205B2 - ミラーアセンブリ - Google Patents
ミラーアセンブリInfo
- Publication number
- JPH0750205B2 JPH0750205B2 JP62505179A JP50517987A JPH0750205B2 JP H0750205 B2 JPH0750205 B2 JP H0750205B2 JP 62505179 A JP62505179 A JP 62505179A JP 50517987 A JP50517987 A JP 50517987A JP H0750205 B2 JPH0750205 B2 JP H0750205B2
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- JP
- Japan
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- membrane
- ring
- circular
- mirror assembly
- circular opening
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Mirrors, Picture Frames, Photograph Stands, And Related Fastening Devices (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明はミラーアセンブリに関する。
ミラーは多様な用途を持つ光学要素として知られてお
り、反射面を有した薄い柔軟なキャリアを利用した可変
焦点距離ミラーがこれまで提供され来たが、前記キャリ
アは吸引圧力によりプレーナーから置換えられる反射面
を有していた。この様なミラーアセンブリの特異な形態
並びに良質のイメージ（像）を形成する特性に特徴づけ
られたミラーアセンブリはヨーロッパ特許公告第015226
8号に開示されている。
り、反射面を有した薄い柔軟なキャリアを利用した可変
焦点距離ミラーがこれまで提供され来たが、前記キャリ
アは吸引圧力によりプレーナーから置換えられる反射面
を有していた。この様なミラーアセンブリの特異な形態
並びに良質のイメージ（像）を形成する特性に特徴づけ
られたミラーアセンブリはヨーロッパ特許公告第015226
8号に開示されている。
本発明の目的は改良型ミラーアセンブリを提供すること
にある。
にある。
本発明は以下の構造からなるミラーアセンブリを提供す
るものである。すなわち、円形開口部を持つ中空チャン
バーを備えた堅固な円形構造体と；前記円形開口部の全
域を覆い、かつ開口部周壁に接触して配置された柔軟膜
（membrane）であって、前記円形開口部を覆う膜表面に
密着した反射コーティングを有する柔軟膜と；前記円形
開口部の半径方向外側に前記膜を周縁固着する締付け手
段であって、前記円形開口部を覆う膜部分を平坦にさせ
る円形展張締付け手段と；前記膜に加わる差圧を変更し
て空圧膜変形力を与えるため、前記チャンバーに接続し
た空圧手段とからなり；前記反射コーティングは適用変
形力の大きさにより焦点距離を変更するようにされ；前
記締付け手段は、対向する円形展張クランプ表面間に膜
を周方向に連続して緊締するように装着され、前記空圧
手段による変形力が作用しない場合には前記膜部分を平
坦にするためこれらの少なくとも一つが前記円形構造体
の軸方向に可動に装着されおり；しかも前記締付け手段
は前記膜部分の各周方向領域の緊張を調整する周方向断
続的調節手段と、前記空圧手段による変形力が付加され
るとき円形開口部の周壁をめぐる膜のストレス分散を制
御するため、円形構造体と反射コーティングとの間に設
置したストレス制御手段とを含んでいる。
るものである。すなわち、円形開口部を持つ中空チャン
バーを備えた堅固な円形構造体と；前記円形開口部の全
域を覆い、かつ開口部周壁に接触して配置された柔軟膜
（membrane）であって、前記円形開口部を覆う膜表面に
密着した反射コーティングを有する柔軟膜と；前記円形
開口部の半径方向外側に前記膜を周縁固着する締付け手
段であって、前記円形開口部を覆う膜部分を平坦にさせ
る円形展張締付け手段と；前記膜に加わる差圧を変更し
て空圧膜変形力を与えるため、前記チャンバーに接続し
た空圧手段とからなり；前記反射コーティングは適用変
形力の大きさにより焦点距離を変更するようにされ；前
記締付け手段は、対向する円形展張クランプ表面間に膜
を周方向に連続して緊締するように装着され、前記空圧
手段による変形力が作用しない場合には前記膜部分を平
坦にするためこれらの少なくとも一つが前記円形構造体
の軸方向に可動に装着されおり；しかも前記締付け手段
は前記膜部分の各周方向領域の緊張を調整する周方向断
続的調節手段と、前記空圧手段による変形力が付加され
るとき円形開口部の周壁をめぐる膜のストレス分散を制
御するため、円形構造体と反射コーティングとの間に設
置したストレス制御手段とを含んでいる。
つぎに本発明の実施例を添付図面に基づき説明する。第
１図は本発明実施例の断面図ある。第２図は第１図に示
した実施例の部分的平面図である。
１図は本発明実施例の断面図ある。第２図は第１図に示
した実施例の部分的平面図である。
図面において、ミラーアセンブリ10は円形構造体15によ
り形成された中空チャンバー14の開口端の円形開口部13
に横たわる柔軟基材12の一表面上の反射コーティング11
により形成される。前記記構造体15は複数のボルト16に
より堅固なベースプレート17に固定された半径方向に厚
みのあるリング壁18からなり、空圧密閉を有効にするた
めプラスチックＯ−リングへの中間面をなすプロビジョ
ンが形成されている。ベースプレート17はリング壁18よ
り直径を大きくして環状スカートを形成させ、これによ
り円形開口部13の半径方向外側に膜12を周方向に連結す
るための円形展張締付け手段20を支持している。
り形成された中空チャンバー14の開口端の円形開口部13
に横たわる柔軟基材12の一表面上の反射コーティング11
により形成される。前記記構造体15は複数のボルト16に
より堅固なベースプレート17に固定された半径方向に厚
みのあるリング壁18からなり、空圧密閉を有効にするた
めプラスチックＯ−リングへの中間面をなすプロビジョ
ンが形成されている。ベースプレート17はリング壁18よ
り直径を大きくして環状スカートを形成させ、これによ
り円形開口部13の半径方向外側に膜12を周方向に連結す
るための円形展張締付け手段20を支持している。
締付け手段20は３点装備用として３つの等角度間隔を置
いたボルト22によりベースプレート17に弾性的に固定さ
れた下方リング部材21からなり、前記各ボルトはスプリ
ング23に包囲されている。この構造により、リング部材
を非平坦状態にゆがませずに部材21の平坦調節が簡単に
行える。第２のリング部材24は複数のボルト25手段によ
り第１のリング部材21に固定される。ボルト25の数は24
個であり、リング部材21、24の隣接面はほぼ平坦であ
り、対向する円形展張クランプ表面との間で膜12の周辺
を連続的に緊締している。ボルト22とスプリング23によ
り、これらの両表面は円形構造体15に対して軸方向動き
が可能であって、差圧手段により膜12に変形力が適用さ
れない場合、膜を構造体15の端面上に緊張して膜の中央
部分を平坦に成さしめている。ベースプレート17に装着
したニップル26に適用した真室源手段により、チャンバ
ー13の内部に吸気を与えることでこの差圧の変化を生じ
る。
いたボルト22によりベースプレート17に弾性的に固定さ
れた下方リング部材21からなり、前記各ボルトはスプリ
ング23に包囲されている。この構造により、リング部材
を非平坦状態にゆがませずに部材21の平坦調節が簡単に
行える。第２のリング部材24は複数のボルト25手段によ
り第１のリング部材21に固定される。ボルト25の数は24
個であり、リング部材21、24の隣接面はほぼ平坦であ
り、対向する円形展張クランプ表面との間で膜12の周辺
を連続的に緊締している。ボルト22とスプリング23によ
り、これらの両表面は円形構造体15に対して軸方向動き
が可能であって、差圧手段により膜12に変形力が適用さ
れない場合、膜を構造体15の端面上に緊張して膜の中央
部分を平坦に成さしめている。ベースプレート17に装着
したニップル26に適用した真室源手段により、チャンバ
ー13の内部に吸気を与えることでこの差圧の変化を生じ
る。
膜12の円周方向で膜12に選択的に分散した緊張制御を提
供するため、締付け手段20は、膜12の上に横えたＯリン
グ30を内蔵して、リング部材21に形成した環状凹部に膜
を少なくとも部分的に押出す。Ｏリング30はリング24に
備えたボルト33に隣接する分割リング32によって凹部31
に押しつけられる。好ましくは、リング32は12個の扇形
であり、各々２つのボルト33と連結させ、さらにリング
24への各一対のボルト33の挿入度を変化させて連結した
リング32の扇形でＯリング30に押しつけ、凹部31まで多
少（greater or lesser）Ｏリング30を押込めて、膜12
の分散緊張の制御を行うものとする。
供するため、締付け手段20は、膜12の上に横えたＯリン
グ30を内蔵して、リング部材21に形成した環状凹部に膜
を少なくとも部分的に押出す。Ｏリング30はリング24に
備えたボルト33に隣接する分割リング32によって凹部31
に押しつけられる。好ましくは、リング32は12個の扇形
であり、各々２つのボルト33と連結させ、さらにリング
24への各一対のボルト33の挿入度を変化させて連結した
リング32の扇形でＯリング30に押しつけ、凹部31まで多
少（greater or lesser）Ｏリング30を押込めて、膜12
の分散緊張の制御を行うものとする。
本発明の構成において円形構造体13と反射コーティング
11との間の共有領域における膜の伸張を制御するため、
円形リング壁18は両半径方向に広くして、輪郭をやや凸
型にしたその端面18Aを有して膜12に円形シンメトリッ
クな半径方向になだらかな輪郭を与える。壁18の半径方
向に広がる特質は真空漏れを防ぎ、ミラーがどのような
湾曲にあっても、干渉精密度（干渉計テストにて与えら
れる）を維持され得て、真空ポンプの連続運転は必要と
されず、壁18と膜12の間の力は常に小である。リング壁
18が半径方向に広がらずに、これにより膜12に課せられ
る力が大になる場合や、膜12がかなり大きな力を起こし
て、この力が永久に膜12にしわcrease）をつけたり、こ
のなかで大きく分散した非シンメトリックなストレッチ
を引起した場合、これらの結果、非シンメトリックなミ
ラーは不良な画像を写しだすか、もしくは全く画像を写
さなくなる。
11との間の共有領域における膜の伸張を制御するため、
円形リング壁18は両半径方向に広くして、輪郭をやや凸
型にしたその端面18Aを有して膜12に円形シンメトリッ
クな半径方向になだらかな輪郭を与える。壁18の半径方
向に広がる特質は真空漏れを防ぎ、ミラーがどのような
湾曲にあっても、干渉精密度（干渉計テストにて与えら
れる）を維持され得て、真空ポンプの連続運転は必要と
されず、壁18と膜12の間の力は常に小である。リング壁
18が半径方向に広がらずに、これにより膜12に課せられ
る力が大になる場合や、膜12がかなり大きな力を起こし
て、この力が永久に膜12にしわcrease）をつけたり、こ
のなかで大きく分散した非シンメトリックなストレッチ
を引起した場合、これらの結果、非シンメトリックなミ
ラーは不良な画像を写しだすか、もしくは全く画像を写
さなくなる。
実施例によればリング壁18は好ましくは、最大幅1/16〜
1/8インチ（２〜4mm）範囲の凸面プロファイルで約２イ
ンチ（50mm）の半径方向厚みを有し、チャンバー13の直
径は約８インチ（200mm）さらに、反射コーティング11
と共に膜12は125ミクロンの厚みを有する。この配置に
より、膜とリング壁との間の接触半径幅は膜厚みより相
当倍大きくし、例えば、チャンバー14の半径とのマグニ
チュードと同様のオーダーとし、膜12における伸張の集
中を維持するに充分大きいものとし、後者が空圧によっ
てその最大まで変形する時、膜基材に対する限界降伏応
力のレベルを下げ、この応力レベルで基材が非弾性的に
降伏する。半径方向に広がるリング壁の端面の配置によ
り、相当の膜の防振が提供されるという利点もある。
1/8インチ（２〜4mm）範囲の凸面プロファイルで約２イ
ンチ（50mm）の半径方向厚みを有し、チャンバー13の直
径は約８インチ（200mm）さらに、反射コーティング11
と共に膜12は125ミクロンの厚みを有する。この配置に
より、膜とリング壁との間の接触半径幅は膜厚みより相
当倍大きくし、例えば、チャンバー14の半径とのマグニ
チュードと同様のオーダーとし、膜12における伸張の集
中を維持するに充分大きいものとし、後者が空圧によっ
てその最大まで変形する時、膜基材に対する限界降伏応
力のレベルを下げ、この応力レベルで基材が非弾性的に
降伏する。半径方向に広がるリング壁の端面の配置によ
り、相当の膜の防振が提供されるという利点もある。
ニップル26を通じてチャンバー13内部まで吸気が適用さ
れると、膜12が本来完全に平坦で全体に緊張された状態
から変形を起こし反射面11が凹ミラーに形成されること
が望ましい。リング壁18上の膜12の接触領域は実際は、
ミラー使用中に膜の伸張を制御して反射コーティング11
のｆ数値における実質範囲をF0.5まで下げるものあり、
ミラーは従来型の基盤のガラスミラーによって達せられ
たのと全く同質の完全に良好な画像を有するものであ
る。ミラーの画像を形成する特質は膜に適用される変形
力の有無において膜12周囲の伸張の変化からフリーにす
るため、構造体能力のある程度までに応じるものであ
り、緊張制御置30−33により促進される。
れると、膜12が本来完全に平坦で全体に緊張された状態
から変形を起こし反射面11が凹ミラーに形成されること
が望ましい。リング壁18上の膜12の接触領域は実際は、
ミラー使用中に膜の伸張を制御して反射コーティング11
のｆ数値における実質範囲をF0.5まで下げるものあり、
ミラーは従来型の基盤のガラスミラーによって達せられ
たのと全く同質の完全に良好な画像を有するものであ
る。ミラーの画像を形成する特質は膜に適用される変形
力の有無において膜12周囲の伸張の変化からフリーにす
るため、構造体能力のある程度までに応じるものであ
り、緊張制御置30−33により促進される。
変形力が作用する場合の膜12のモニター並びに伸張を減
少し好ましく削減する緊張御装置30−33の調節は従来ど
おり干渉計により取り行われる。例えば、膜12に対する
レーザー放射の拡張ビームを操作し、また反射ビームを
照準せしめ、さらに透明ガラスの光学的平坦表面化され
た平坦平行シートの前後表面に突きあてることにより、
干渉波長フロントが生じて干渉じま（フリンジ）パター
ンを形成する。完全に緊張された膜12並びに完壁に形成
されたガラスシートには、このフリンジパターンはさら
に同一幅の一連の平行ラインとなる。ボルト33の調節に
より、最良緊張制御モードにある膜12の周方向に任意に
分散したＯリング30を締付けることにより、歪曲フリン
ジラインを直線かつ平行並びに同一幅に成しうる。ボル
ト22の調節により、膜の全表面域上に粗緊張制御を提供
し、ボルト22を最初にセットしてに最良緊張制御装置30
−33のセッティングより先に最も達成しやすい粗緊張制
御を行うことも無論望ましい。
少し好ましく削減する緊張御装置30−33の調節は従来ど
おり干渉計により取り行われる。例えば、膜12に対する
レーザー放射の拡張ビームを操作し、また反射ビームを
照準せしめ、さらに透明ガラスの光学的平坦表面化され
た平坦平行シートの前後表面に突きあてることにより、
干渉波長フロントが生じて干渉じま（フリンジ）パター
ンを形成する。完全に緊張された膜12並びに完壁に形成
されたガラスシートには、このフリンジパターンはさら
に同一幅の一連の平行ラインとなる。ボルト33の調節に
より、最良緊張制御モードにある膜12の周方向に任意に
分散したＯリング30を締付けることにより、歪曲フリン
ジラインを直線かつ平行並びに同一幅に成しうる。ボル
ト22の調節により、膜の全表面域上に粗緊張制御を提供
し、ボルト22を最初にセットしてに最良緊張制御装置30
−33のセッティングより先に最も達成しやすい粗緊張制
御を行うことも無論望ましい。
Claims (5)
- 【請求項１】円形開口部（13）を持つ中空チャンバー
（14）を備えた堅固な円形構造体（15）と；前記円形の
開口部（13）の全域を覆い、かつ開口部の周壁（18）に
接触して配置された柔軟膜（12）であって、前記円形開
口部（13）を覆う膜表面に密着した反射コーティング
（11）を有する柔軟膜（12）と；前記円形開口部（13）
の半径方向外側に前記膜を周縁固着する締付け手段であ
って、前記円形開口部（13）を覆う膜部分を平坦にさせ
る円形展張締付け手段（20）と；前記膜に加わる差圧を
変更して空圧膜変形力を与えるため、前記チャンバー
（14）に接続した空圧手段（26）とからなり；前記反射
コーティング（11）は適用変形力の大きさにより焦点距
離を変更するようにされ；前記締付け手段（20）は、対
向する円形展張クランプ表面（21）（24）間に膜（12）
を周方向に連続して緊締するよう装着され、前記空圧手
段（26）による変形力が作用しない場合には前記膜部分
を平坦にするためこれらの少なくとも一つが前記円形構
造体（15）の軸方向に可動に装着されおり；しかも前記
締付け手段（20）は前記膜部分の各周方向領域の緊張を
調整する周方向断続的調節手段（30）〜（33）と、前記
空圧手段（26）による変形力が付加されるとき円形開口
部（13）の周壁をめぐる膜（12）のストレス分散を制御
するため、円形構造体（15）と反射コーティング（11）
との間に設置したストレス制御手段（18A）とを含んで
いることを特徴とするミラーアセンブリ。 - 【請求項２】前記調節手段（30）〜（33）は膜（12）に
重なり、かつ円形溝（31）に嵌入されるＯリング（30）
と、Ｏリング（30）に当接する分割リング32）とからな
り、各分割リング（32）は溝（31）内で膜（12）を押し
つぶすＯリング（30）への当接度合を各別に調節できる
ようにされていることを特徴とする請求項１記載のミラ
ーアセンブリ。 - 【請求項３】前記調節手段（30）〜（33）は前記軸方向
可動クランプ面の１つとなるリング（21）によって構成
され、かつ該リング（21）は前記構造体（15）上に弾力
的にマウント（22）（23）されていることを特徴とする
請求項２記載のミラーアセンブリ。 - 【請求項４】前記リング（21）のマウント（22）（23）
は、円形構造体（15）の円周をめぐる等角度間隔のボル
ト（22）によって３点マウントとされ、スプリング（2
3）がリング（21）と構造体（15）の間に配置されてい
ることを特徴とする請求項３記載のミラーアセンブリ。 - 【請求項５】各分割リングはＯリング（30）に関する分
割リング調整用の２本のボルト（33）を備えてることを
特徴とする請求項２記載のミラーアセンブリ。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB868622515A GB8622515D0 (en) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | Mirror assemblies |
| GB8622515 | 1986-09-18 | ||
| PCT/GB1987/000622 WO1988002126A1 (en) | 1986-09-18 | 1987-09-04 | Mirror assemblies |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01500857A JPH01500857A (ja) | 1989-03-23 |
| JPH0750205B2 true JPH0750205B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=10604402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62505179A Expired - Fee Related JPH0750205B2 (ja) | 1986-09-18 | 1987-09-04 | ミラーアセンブリ |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4822155A (ja) |
| EP (1) | EP0281589B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0750205B2 (ja) |
| KR (1) | KR880701893A (ja) |
| AT (1) | ATE67865T1 (ja) |
| AU (1) | AU593137B2 (ja) |
| CA (1) | CA1296209C (ja) |
| DE (1) | DE3773370D1 (ja) |
| GB (1) | GB8622515D0 (ja) |
| WO (1) | WO1988002126A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6065843A (en) * | 1996-02-23 | 2000-05-23 | Martinez, Sr.; Eugene Eustaquio | Thin film mirror frame |
| US6502944B1 (en) | 1999-09-01 | 2003-01-07 | Mark W. Dragovan | Precision formed membrane surface for electromagnetic radiation concentration and method of forming same |
| GB2359374A (en) * | 2000-02-16 | 2001-08-22 | Stephen David Faulkner | Flexible concave mirror adjustable using a vacuum pump |
| US6803906B1 (en) * | 2000-07-05 | 2004-10-12 | Smart Technologies, Inc. | Passive touch system and method of detecting user input |
| KR101134210B1 (ko) * | 2003-10-02 | 2012-04-09 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 | 반도체 리토그래피용 광학 서브어셈블리 및 투영 대물렌즈 |
| US7229178B1 (en) * | 2004-12-20 | 2007-06-12 | Sandia Corporation | Variable focal length deformable mirror |
| GB2490527A (en) | 2011-05-04 | 2012-11-07 | Thales Holdings Uk Plc | Mirror and mirror shell moulding method |
| RU2530788C1 (ru) * | 2013-07-05 | 2014-10-10 | Павел Николаевич Манташьян | Механизм компенсатора наклонов волнового фронта |
| CN109254400B (zh) * | 2018-09-28 | 2020-06-02 | 西安交通大学 | 一种变形镜形变补偿的校正装置及补偿方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1060447A (en) * | 1910-05-12 | 1913-04-29 | Chromography Ltd | Transparent reflector. |
| GB380473A (en) * | 1931-06-04 | 1932-09-05 | Carl Muller | Improvements in and relating to the production of reflecting surfaces |
| CA991898A (en) * | 1973-11-26 | 1976-06-29 | Her Majesty The Queen, In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence | Pellicle holder |
| DE2631551C3 (de) * | 1976-07-14 | 1979-03-15 | Horst Dr.-Ing. 1000 Berlin Krause | Spiegel mit veränderbarer Brennweite |
| GB8403274D0 (en) * | 1984-02-08 | 1984-03-14 | Univ Strathclyde | Optical mirrors |
| FR2584824B1 (fr) * | 1985-07-10 | 1987-09-25 | Commissariat Energie Atomique | Miroir deformable |
-
1986
- 1986-09-18 GB GB868622515A patent/GB8622515D0/en active Pending
-
1987
- 1987-09-04 EP EP87905640A patent/EP0281589B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-09-04 WO PCT/GB1987/000622 patent/WO1988002126A1/en not_active Ceased
- 1987-09-04 AT AT87905640T patent/ATE67865T1/de not_active IP Right Cessation
- 1987-09-04 DE DE8787905640T patent/DE3773370D1/de not_active Expired - Lifetime
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