JPH07507010A - 関節アーム式移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 関節アーム式移送装置 背景技術 １、発明の分野 本発明は、一般的にはｔ４料の移送装置に関する。移送される材料は、特に限定 されるものではないが、例えば、シリコンやガリウム砒素などの半導体ウニへ高 密度相互接続基板（Ｈｊｇｈ　Ｄｅｎｓｉｔｙ　Ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｓ） などの半導体装基板（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ｐａｃｋａｇｉｎｇ　５ｕ ｂｓｔｒａｔｅ）、マスクやレチクルなどの半導体製造プロセスに用いられる像 形成プレート、及びアクティブマトリックスＬＣＤ基板などの大面積表示パネル が挙げられる。

２、従来技術 半導体素子・の製造において、複数の作業ステーション即ち作業位置の間で壊れ やすいシリコンウェハなどを移送する場合、その取扱いに関して特有の問題が発 生する。シリコンウェハは非常に壊れやすく、また高度に研磨された表面を有し ている。ウェハは、急激に移動させると、清り易い、そして、このような滑動に よって、シリコンウェハは磨れし、あるいは、面突した場合にはそれらの縁部が 損傷する。

シリコンウェハの移送装置として、以下に示す多くの従来技術が開示されている 。

米国特許第３，８２３，８３６号は、シリコンウェハを保持する複数の欄を有す る供給用移送台と、真空チャックを有する引出し装置とを備えた装置を開示して いる。１％空チャックは、このチャックを上下動させる昇降機に取り付けられて いる。真空チャックに連結された水平移送アームによって、シリコンウェハは供 給用移送台から所望の作業ステーションに移送される。

米国特許第３，７３０，５９５号は、ウェハを作業ステーションに対して搬入出 するための割り出し可能な移送台を有するウェハ移送取扱装置を開示している。

ウェハは、複数の指向性を持つ空気噴出口を有するウェハ放出受入アームによっ て、空気スライド上のウェハ移送台に出し入れされる。このウェハの放出受入ア ームは、移送台と空気スライドの間でのウェハの移動を制御し、これによって、 ウェハを作業ステーションとの間で移送する。

米国特許第４，０６２，４６３号、第３，８７４，５２５号及び第４．　２０８ ゜１５９号も、ウェハの取扱いに空気式要素又は把持装置を利用したウェハ移送 装置を開示している。

米国特許第４，６６６．３６６号、及び第４，９０９，７０１号は、「蛙に似た 」動作で伸長あるいは収縮してウェハのような対象物を複数の位置間で移送する 関節式アーム組立体を有するウェハ移送取扱装置を開示している。２つの関節結 合されたアームは、片方のアームがモータで駆動されると、これらの２つの関節 結合されたアームが「蛙に似た」即ち「蛙の脚の蹴りに似た」動作で伸縮される ように、作動的に連結されている。載置台がアームに連結され、この載置台の上 に被移送物が載置される。

米国特許第４．９５’ｌ、６０１号は、同心軸式回転駆動システムを含む関節ア ーム組立体を有するウェハ移送取扱装置を開示している。しかし、このような駆 動システムは、真空室内を汚染する可能性のあるロータリーシールを必要とする 。

発明の要爵 本発明は、シリコンウェハ、カメラのレンズ、水晶発振子などの対称物を軸方向 および半径方向の種々の面に配置された複数の位置間で移送するための単純な構 造でかつ信頼性の高い装置を提供することを特徴とする。本装置は、出入台の不 定な動きを防ぐ改良されたリンクを有する複式４本バーリンク式のピボット機構 を含む。本リンクは、１つの軸が他方の軸の回転方向と反対の方向に回転するよ うに連結された２つの軸を含む。

関節アーム組立体は、関節アーム組立体の全体が半径方向の面内で回転できるよ うに回転モータを介して基台に連結されるのが好ましい、従来技術の装置と同様 に、エンドイフェクタが伸長位置にないときにそのような回転が行われる。

また、１つの実施例では、載置台組立体を軸方向に移動させるように、関節アー ム組立体を力に反応する複数の可撓体あるいはレバーを介して基台に連結するこ とが好ましい、また、他の実施例では、載置台組立体が可撓体で得られるよりも さらに広い範囲にわたって軸方向に移動できるように、可撓体以外の手段によっ てアーム組立体が取り付けられる。この組立体は、例えば、真空室あるいは他の 雰囲気の調整された環境など、種々の環境に適応可能である。また、この組立体 は、組立体とその支持体間を爽空シールで密封することによって、真空室内で移 動できるように取り付けてもよい。

図面の簡単な説明 図１は、左側に伸長された位置にある、本発明による関節アーム組立体の平面図 である。

図２は、図１に示す装置の側面図（一部、断面）である。

図３は、図１．２に示す装置のためのリンク手段の１形態を示す上面図である。

図４は、図１．２に示す装置のためのリンク手段の別の形態を示す側面図である 。

図５は、図４の５−５線に沿う断面図である。

図６は、図４の６−６線に沿う断面図である。

図７Ａは、図４〜６に示すリンク手段の組立作業の第１段階を示す略図である。

図７Ｂは、別角度から見た図７Ａのリンク手段を示す略図である。

図８Ａは、図４〜６に示すリンク手段の組立作業の第２段階を示す略図である。

図８Ｂは、別角度から見た図８Ａのリンク手段を示す略図である。

図９Ａは、図４〜６に示すリンク手段の組立作業の第３段階を示す略図である。

図９Ｂは、別角度から見た図９Ａのリンク手段を示す略図である。

図１０Ａは、図４〜６に示すリンク手段の組立作業の第４段階を示す略図である 。

図１０Ｂは、別角度から見た図１ＯＡのリンク手段を示す略図である。

図１１Ａ、ＩＩＢ、１２Ａ、１２Ｂ、１３Ａ、及び１３Ｂは、図１．２に示す関 節アーム組立体が動作している間における、図４〜６に示すリンク手段のエルボ 帯体の位置を示す略図である。図１１Ａは、移動途中の上部アームを示す。図１ １Ｂは、移動途中の前部アームを示す。図１２Ａは、最伸長「Ａ」の状態にある 上部アームを示す。図１２Ｂは、最伸長「Ａ」の状態にある前部アームを示す。

図１３Ａは、最伸長「Ｂ」の状態にある上部アームを示す。図１３Ｂは、最伸長 ｒＢ、の状態にある前部アームを示す。

図１４は、図４〜６に示すリンク手段で使用される帯体と帯体端取付台を示す略 図である。

発明の詳細な説明 本発明の装置は、サイドワインダ一式アーム組立体と呼ばれている、４ア一ム式 のレバ一連結を含む。

図面に示すように、４つのアームは、上部従動アーム１、上部駆動アーム２、下 部駆動アーム３、下部従動アーム４である。これら４つのアームは、次に説明す るような各種アクスルやシャフト上に支持されている。上部駆動アーム２の第１ 端部は駆動アクスル５に固着されており、駆動アクスル５の回転に伴い上部駆動 アーム２が回転する。上部従動アーム１の第１端部は、従動アクスル６に回転可 能に取付けられている。従動アクスル６がそのソケット内に回転可能に取り付け られているか、上部従動アーム１が従動アクスル６に回転可能に取り付けられて いるため、上部従動アーム１は自由に回転できる。

下部駆動アーム３の第１端部は、従動アクスル７に回転可能に取り付けられてお り、下部従動アーム４の第１端部は、従動アクスル８に回転可能に取り付けられ ている。受動アクスル７．８は、受動アクスル７．８を通る直線がアクスル５． ６を通る直線に平行になるように、エンドイフェクタ９に取り付けられている。

受動アクスル７．８がエンドイフェクタ９に回転可能に取り付けられているか、 下部アームがそれぞれの受動アクスルに回転可能に取り付けられているため、下 部駆動アームと下部従動アームはエンドイフエクタ９に対して自由に回転できる 。

４つのアーム各々の第２端部は、以下に説明する態様でリンク１０に取り付けら れている。上部シャフト１１と下部シャフト１２は、リンク１０に回転可能に支 持されている。上部駆動アームの第２端部は上部シャフト１１に固着され、上部 従動アームの第２端部は下部シャフト上で回転する。その結果、上部アームのい ずれか一方が１方向（例えば反時計方向）に回転すると、これら２つの上部アー ムは真性な平行四辺形構成となっているので、他方の上部アームは、前記一方の 上部アームの回転運動に追従する０図１．２の実施例において、上部駆動アーム ２は駆動アクスル５に固着されており、この駆動アクスルは、モータの歯付きシ ャフトにより駆動されるギヤのような適当な機構によって回転される。しかし、 アクスル６を次のような機構により回転させることも可能である。つまり、上部 従動アーム１がアクスル６に固着され、また、上部駆動アーム２はアクスル５に 回転可能に取り付けられている。この場合、上部アーム１が「駆動」アームとな り、上部アーム２が「従動」アームとなる。言い換えると、「駆動」アームとい う語は、シャフトに固着され、従って、リンク１０の連結動作に関与するアーム を指す。これについては徨で説明する。回転が進行しても、シャフトを結ぶ直線 がアクスルを結ぶ直線とたえず平行になるように構成されている。上部駆動アー ムの１方向（例えば反時計方向）への回転は、上部駆動アームが固着されている 上部シャフトの軸心回りの回転（反時計方向）をもたらす。

上部シャフトと下部シャフトは、下部シャフトを上部シャフトの回転方向と反対 の方向（例えば時計方向）に回転させる連結機構により連結されている。本発明 の１実施例においては、この連結機構は、図３に示すように、下部シャフトに固 着された歯車と、それに噛み合う上部シャフトに固着された歯車の組み合わせに よるギヤ連結機構により成る０本発明の別の実施例では、２つのシャフトは、図 ４．５．６に示す態様でシャフトの各々に固着された、２つまたはそれ以上のＳ 字状帯体とホイールとにより連結される。下部シャフトへの回転の伝達には、張 力を掛けた状態のＳ字状帯体の動作が必要になるので、上部シャフトの各々の回 転方向ごとに１つのＳ字状帯体が必要となる。つまり、２つのＳ字状帯体が必要 となる。Ｓ字状帯体に適した材料としては、任意のばね合金、つまり、スプリン グを作るための任意の合金が使用できる。好ましい材料としてはばね鋼合金があ る。最も好ましい材料は、「エルギロイ（Ｅｌｇｉｌｏｙ）　Ｊと呼ばれる周知 の合金で、割れやそりが発生することなく他の材料に溶接できる。エルギロイは 、「インコネル（Ｉｎｃｏｎｅｌ）　Ｊとして知られている合金にいくぶん似た 、コバルト・ニッケル・鉄合金である。

下部駆動アームの第２端部は、下部シャフトに固着されており、従って、下部シ ャフトが回転すると下部駆動シャフトが回転される（例えば時計方向）、下部従 動アームの第２端部は、上部シャフトに回転可能に取り付けられている０回転が 進行しても、シャフトを結ぶ直線がアクスルを結ぶ直線と常に平行になるように 構成されている。また、２つの下部アームは真正な平行四辺形構成となっている ので、下部従動アームは下部駆動アームと同期して回転する。

シャフト間はギヤ連結ま力はＳ字状帯体達結となっているので、アームが回転す ると、エンドイフェクタは、受動アクスル７．８を通る直線に沿って移動される 。アクスル・シャフト間の長さが、４つのアーム全てについて同じ場合、エンド イフェクタは、４つのアクスルすべてを通る直線に沿って移動される。下部アー ムの長さが上部アームの長さと異なる場合、エンドイフェクタは曲線に沿って移 動されるが、アクスル５．６間の直線との平行は保ったままである。

図４〜６のリンク手段の組立手順を、図７Ａ、７Ｂ、８Ａ、８Ｂ、９Ａ、９Ｂ、 １０Ａ、］、ＯＢに示す。これらの図に示すように、第１段階は、上部駆動アー ム２の上部シャフト１１への固着、下部駆動アーム３の下部シャフト１２への固 着を含む。（図７Ａは、図１．２の装置を水平軸の回りに１８０度回転したとき の図であるので、図７Ａでは、上部駆動アーム２は上部従動アーム１の上側にあ ることに注意する必要がある。）第２段階は図８Ａ、８Ｂに示され、リンク１０ のシャフト１１．１２への設置を含む。リンク１０には、シャフト１１．１２が リンク１０に対して回転できるように、軸受けが設けられている。第３段階は図 ９Ａ、９Ｂに示され、下部ドラム１５の下部シャフト１２への設置、上部ドラム １６の上部シャフト１１への設置を含む。「上部」という語は、肩アクスル５． ６に轟も近いシャフトまたはドラムを指し、肩アクスルの少なくとも１つは駆動 力を提供する。「下部」という３１Ｓは、該肩アクスル５．６からより離れてお り、エンドイフェクタ９により近いシャフトまたはドラムを指す。下部ドラム１ ５は下部シャフト１２に固着され、上部ドラム１６は上部シャフト１１に固着さ れる。

各ドラムは、適当な帯体を介して駆動アームに連結されている。帯体は駆動アー ムの端部近くに配され、その一端はドラムに他端は駆動アームに固着されている 。

各シャフトには、従動アームの軸受は用に延長部が殺けられている。下部ドラム を上部駆動アームに連結する帯体１４は、上部駆動アーム２の時計方向の回転に 伴い、下部ドラム１５を反時計方向に回転させるように張力が掛けられるので、 「時計方向」帯体と呼はれることもある。上部ドラムを下部駆動アーム３に連結 する帯体１３は、上部駆動アーム２の反時計方向の回転に伴い、下部駆動アーム ３を時計方向に回転させるように張力が掛けられるので、ｒ反時計方向」帯体と 呼ばれることもある。帯体内の圧縮力は望ましくないので、これらの帯体には常 ｔこある程度の張力を掛けておくのが好ましい。

リンク機構の組立作業を明確に説明するため、図７〜１０には駆動アームのみが 示されている。アームの動きは図１１〜１３に示されている。ここで、図１１Ａ 、１２Ａ、１３Ａの各図は、上部駆動アーム２、上部従動アーム１、そして、下 部駆動アーム３のように下部シャフト１２に固着あるいはビン留めされている下 部ドラム１５を示している。図１１Ａ、１２Ａ、１３Ａの各間開におけるドラム １５の回転は、ドラム１５上の帯体端取付台の位置から分かる。図１１Ｂ、１２ Ｂ、１３Ｂの各図は、下部駆動アーム３、下部従動アーム４、そして、°上部駆 動アーム２のように上部シャフト１１に固着あるいはビン留めされている上部ド ラム１６を示している０図１１Ｂ、１２Ｂ、１３Ｂの各間開におけるドラム１６ の回転は、ドラム１６上の帯体端取付台の位置から分かる。従って、図１１〜１ ３は、従動アームおよび駆動アームの位置だけでなく、各得体の１つのドラムお よび１つの駆動アームとの協調運動も示している０図１２Ａ、１２Ｂにおけるア ームの位置は、図７〜１０の「転倒」図ではなく、図１におけるアームの位置に 対応している。図１示すエンドイフェクタ９が、同図において左側から右側に移 動されるに連れ、アームは、図１１Ａと１１Ｂに示す位置（移動途中）、図１３ Ａと１３Ｂに示す位置を順次通って移動する。

各帯体は、駆動アームまたはドラムの回転運動を、それぞれドラムまたは駆動ア ームに伝達する。リンク１０により、各従動アームは、対応する駆動アームの肩 アクスルまたは手首アクスル回りの回転に追従する。しかし、従動アームはピボ ットの延長部に軸受けを介して取付けられているので、従動アームに対するシャ フトの相対回転は制限されない。

図１４に示すように、各帯体の各端部は帯体端取付台に溶接されている。そして 、帯体端取付台は、適当なビン、ネジ等によりドラムまたは駆動アームに固着さ れる。動作中、動作張力の掛がっている帯体は、溶接部に張力を加えるが、溶接 部はこの張力に耐え得るものである。また、溶接部または帯体内に圧縮力が掛か るのは避ける必要があるため、動作張力の掛かっていない帯体にも少なくともい くらかの過小張力を掛けるのが好ましい。このような最小張力は、各帯体端取付 台をドラムまたは駆動アームに固着するときに付与してもよい。

図７〜１０から分かるように、各駆動アームはくドラムと’）ｔ１ｍ同して、１ つのシャフトの回転を他方のシャフトに伝達してそれを回転（反対方向）させて いる。

従って、図７Ｂ、８Ｂ、９Ｂ、ＩＯＢから分かるように、各シャフトには構成要 素が５段に支持されている。具体的には、第１段目に上部従動アーム１、第２段 目に下部ドラム１５と上部駆動アーム２、第３段目にリンク１０、第４段目に下 部駆動アーム３と上部ドラム１６、そして第５段目に下部従動アーム４が設けら れている。また、各駆動アームはドラムと協同するので、駆動アームと対になっ ている従動アームは、駆動アームとドラムの組合わせにより占有されている段と は異なる段に配設される必要がある。図４〜６の帯体・ドラム機構の代わりに、 図３のギヤ機構が使用されている場合、各従動アームは、それと対をなしている 駆動アームと同じ段に設けてもよい。また、２つの歯車は、各々別の段に設けて もよい。これは、図３のギヤ機構を使用すると、一対のギヤで両方向の回転を発 生できるという事実に、一部、起因している。従って、図１５から分かるように 、各シャフトには構成要素が４段に支持されている。具体的には、第１段目に上 部駆動アーム２と上部従動アーム１、第２段目にリンク１０、第３段目にギヤ、 そして、第４段目に下部駆動アーム３と下部従動アーム４がある。

図４〜６に示す帯体・ドラム機構が使用された場合、回転の各方向ごとに１つの 帯体・ドラム組合わせを使用する必要がある。その理由は、各帯体ば、通常、張 力が掛かった状態でしか動作できないからである。必要な段数を減らすために、 各帯体の１端を、もう一つのドラムではなく、駆動アームの「エルボ」側の端に 固着するのが便利である。図３のギヤ機構が使用されている場合、駆動アームの エルボ側の端に歯車を形成するのは有用ではない。その理由は、別の歯車をそれ ら歯車自身の段に割当てることで、空間をより大きく節約できるからである。

リンク手段の基本的な要素は、各駆動アームがシャフトに固着され、一方のシャ フトの１方向への回転に伴い他方のシャフトを反対方向に回転させる連結が提供 されていることである。

本発明の原理を実施例と共に説明したが、ここで用いられた特定の用語は、総称 的また説明的な意味で使用されているのであり、限定を目的とするものではな６ 本発明の範囲は以下の請求の範囲に述べられている。

ＦＩＧ、３　ＦＩＧ、４ ＦＩＧ、５　ＦＩＧ、６ ＦＩＧ、１５ ＦＩＧ、　１４

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．対象物を移送する装置であって、 支持体と、 第１軸回りに回転できるように前記支持体に支持された第１上部アームと、第２ 軸回りに回転できるように前記支持体に支持された第２上部アームと、第１前部 アームと第２前部アームとから成り、前記第１、第２上部アームにリンク手段に より関節結合された一対の前部アームとを含み、前記リンク手段は、リンクと、 このリンクに回転可能に支持された上部シャフトと、前記リンクに回転可能に支 持された下部シャフトと、一方のシャフトの１方向への回転に伴い他方のシャフ トを反対方向に回転させる手段とを含み、前記第１上部アームは前記上部シャフ トに固着され、前記第２上部アームは前記下部シャフトに回転可能に取り付けら れ、前記第１前部アームは前記下部シャフトに固着され、前記第２前部アームは 前記上部シャフトに回転可能に取り付けられており、更に、 前記一対の前部アームに回動可能に連結された保持手段と、前記上部アームの少 なくとも１つを駆動して１２０°を越え１８０°以下の範囲の角度で回転させ、 前記保持手段を伸長位置と後退位置との間で移動させる手段とを含む装置。 ２．物品を輸送する装置であって、 支持体と、 この支持体に支持され回転軸を形成する第１肩ピボットと、前記支持体に支持さ れ、前記第１肩ピボットとほぼ平行な第２肩ピボットであって、前記第１、第２ 肩ピボットを通り前記支持体を横切って延伸する第１直線を形成する第２肩ピボ ットと、 前記第１肩ピボツトに回転可能に取り付けられた第１上部アームであって、前記 第１上部アームに固着された少なくとも１つの第１エルボピボットを含み、上部 アームの長さ分前記第１肩ピボットから離間した第１エルボ連結手段を有する第 １上部アームと、 前記第２肩ピボットに回転可能に取り付けられた第２上部アームであって、前記 第２上部アームに回転可能に連結された少なくとも１つの第２エルボピボットを 含み、前記上部アームの長さ分前記第２肩ピボットから離間した第２エルボ連結 手段を有する第２上部アームと、 前記第２エルボピボットに固着された第１前部アームであって、前部アームの長 さ分前記第２エルボピボットから離間した第１手首ピボットを有する第１前部ア ームと、 前記第１エルボピボットに回転可能に取り付けられた第２前部アームであって、 前記前部アームの長さ分前記第１エルボピボットから離間した第２手首ピボット を有し、この第２手首ピボットが、前記第１直線に平行で前記第１、第２手首ピ ボットを通る第２直線を形成する第２前部アームと、前記手首ピボットに取り付 けられた保持手段と、前記エルボピボットの一方の１方向への回転に伴い前記エ ルボピボットの他方を反対方向に回転させるように、前記エルボピボットを連結 するリンク手段と、前記上部アームの少なくとも１つを駆動して１２０°を越え １８０°以下の範囲の角度で回転させ、前記保持手段を伸長位置と後退位置との 間で移動させる手段とを含む装置。 ３．（ａ）エンドイフェクタと、（ｂ）各々が肩端部とエルボ端部を有する一対 の上部アームと、（ｃ）各々が手首端部とエルボ端部を有する一対の前部アーム と、（ｄ）支持体とを含む組立体において、前記上部アームのエルボ端部は前記 前部アームのエルボ端部にリンク手段により連結され、前記前部アームの手首端 部はエンドイフェクタに取り付けられ、前記上部アームの肩端部は支持体に取り 付けられており、前記リンク手段は、一方の上部アームのエルボ端部に回転可能 に連結され、他方の上部アームのエルボ端部に固着された第１シャフトを含み、 前記リンク手段は、一方の前部アームのエルボ端部に回転可能に連結され、他方 の前部アームのエルボ端部に固着された第２シャフトを含み、更に、 前記シャフトのいずれか一方の１方向への回転に伴い他方のシャフトを反対方向 に回転させる手段と、 上部アームと前部アームを介して、エンドイフェクタにＲおよびθ移動を与える 手段とを含む装置。 ４．対象物を移送する装置であって、 第１アクスルと前記第１アクスルに隣接した第２アクスルを有する支持体と、肩 端部とエルボ端部を有する第１上部アームであって、その肩端部が前記第１アク スルに回転可能に支持された第１上部アームと、肩端部とエルボ端部を有する第 ２上部アームであって、その肩端部が前記第２アクスルに回転可能に支持された 第２上部アームと、第１アクスルと前記第１アクスルに隣接する第２アクスルを 有するエンドイフェクタと、 手首端部とエルボ端部を有する第１前部アームであって、その手首端部が前記エ ンドイフェクタの前記第１アクスルに回転可能に取り付けられている第１前部ア ームと、 手首端部とエルボ端部を有する第２前部アームであって、その手首端部が前記エ ンドイフェクタの前記第２アクスルに回転可能に取り付けられている第２前部ア ームと、 （１）第１孔、前記第１孔に隣接する第２孔、第１側面および第２側面を有する リンクと、（２）前記第１孔内に回転可能に支持されている上部シャフトと、（ ３）前記第２孔内に回転可能に支持されている下部シャフトとを含むリンク手段 とを備え、 前記第１上部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第１側面側において 前記上部シャフトに固着され、 前記第１前部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第２側両側において 前記下部シャフトに固着され、 前記第２上部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第２側面側において 前記上部シャフトに回転可能に取り付けられ、前記第２前部アームの前記エルボ 端部は、前記リンクの前記第１側面側において前記下部シャフトに回転可能に取 り付けられ、更に、 前記シャフトのいずれか一方の１方向への回転に伴い他方のシャフトを反対方向 に回転させる手段と、 前記上部アームの少なくとも１つを駆動して１２０°を越え１８０°以下の範囲 の角度で回転させ、前記エンドイフェクタを伸長位置と後退位置との間で移動さ せる手段とを含む装置。 ５．対象物を移送する装置であって、 支持体と、 第１軸回りに回転できるように前記支持体に支持された第１上部アームと、第２ 軸回りに回転できるように前記支持体に支持された第２上部アームと、第１前部 アームと第２前部アームとから成り、前記第１、第２上部アームにリンク手段に より関節結合された一対の前部アームとを含み、前記リンク手段は、リンクと、 このリンクに回転可能に支持された上部シャフトと、前記リンクに回転可能に支 持された下部シャフトと、一方のシャフトのいずれかの方向への回転に伴い他方 のシャフトを反対方向に回転させるように前記シャフトを連結する少なくとも２ つのＳ字状帯体とを含み、前記第１上部アームは前記上部シャフトに固着され、 前記第２上部アームは前記下部シャフトに回転可能に取り付けられ、前記第１前 部アームは前記下部シャフトに固着され、前記第２前部アームは前記上部シャフ トに回転可能に取り付けられており、更に、 前記一対の前部アームに回動可能に連結された保持手段と、前記上部アームの少 なくとも１つを駆動して１２０°を越え１８０°以下の範囲の角度で回転させ、 前記保持手段を伸長位置と後退位置との間で移動させる手段とを含む装置。−− ６．物品を輸送する装置であって、 支持体と、 前記支持体に支持され回転軸を形成する第１肩ピボットと、前記支持体に支持さ れ、前記第１肩ピボットとほぼ平行な第２肩ピボットであって、前記第１、第２ 肩ピボットを通り、前記支持体を横切って延伸する第１直線を形成する第２肩ピ ボットと、 前記第１肩ピボットに回転可能に取り付けられた第１上部アームであって、前記 第１上部アームに固着された少なくとも１つの第１エルボピボットを含み、上部 アームの長さ分前記第１肩ピボットから離間した第１エルボ連結手段を有する第 １上部アームと、 前記第２肩ピボットに回転可能に取り付けられた第２上部アームであって、前記 第２上部アームに回転可能に連結された少なくとも１つの第２エルボピボットを 含み、前記上部アームの長さ分前記第２肩ピボットから離間した第２エルボ連結 手段を有する第２上部アームと、 前記第２エルボピボットに固着された第１前部アームであって、前部アームの長 さ分前記第２エルボピボットから離間した第１手首ピボットを有する第１前部ア ームと、 前記第１エルボピボットに回転可能に取り付けられた第２前部アームであって、 前記前部アームの長さ分前記第１エルボピボットから離間した第２手首ピボット を有し、この第２手首ピボットが、前記第１直線に平行で前記第１、第２手首ピ ボットを通る第２直線を形成する第２前部アームと、前記手首ピボットに取り付 けられた保持手段と、前記エルボピボットの一方のいずれかの方向への回転に伴 い前記エルボピボットの他方を反対方向に回転させるように、前記エルボピボッ トを連結する少なくとも２つのＳ字状帯体を含むリンク手段と、前記上部アーム の少なくとも１つを駆動して１２０°を越え１８０°以下の範囲の角度で回転さ せ、前記保持手段を伸長位置と後退位置との間で移動させる手段とを含む装置。 −− ７．（ａ）エンドイフェクタと、（ｂ）各々が肩端部とエルボ端部を有する一対 の上部アームと、（ｃ）各々が手首端部とエルボ端部を有する一対の前部アーム と、（ｄ）支持体とを含む組立体であって、前記上部アームのエルボ端部は前記 前部アームのエルボ端部にリンク手段により連結され、前記前部アームの手首端 部はエンドイフェクタに取り付けられ、前記上部アームの肩端部は支持体に取り 付けられており、前記リンク手段は、一方の前部アームのエルボ端部に回転可能 に連結され、一方の上部アームのエルボ端部に固着された第１シャフトを含み、 前記リンク手段は、他方の上部アームのエルボ端部に回転可能に連結され、他方 の前部アームのエルボ端部に固着された第２シャフトを含み、更に、 前記シャフトのいずれか一方のいずれかの方向への回転に伴い他方のシャフトを 反対方向に回転させるように前記シャフトを連結する少なくとも２つのＳ字状帯 体と、 上部アームと前部アームを介して、エンドイフェクタにＲおよびθ移動を与える 手段とを含む組立体。−− ８対象物を移送する装置であって、 第１アクスルと前記第１アクスルに隣接した第２アクスルを有する支持体と、肩 端部とエルボ端部を有する第１上部アームであって、その肩端部が前記第１アク スルに回転可能に支持された第１上部アームと、肩端部とエルボ端部を有する第 ２上部アームであって、その肩端部が前記第２アクスルに回転可能に支持された 第２上部アームと、第１アクスルとこの第１アクスルに隣接する第２アクスルを 有するエンドイフェクタと、 手首端部とエルボ端部を有する第１前部アームであって、その手首端部が前記エ ンドイフェクタの前記第１アクスルに回転可能に取り付けられた第１前部アーム と、 手首端部とエルボ端部を有する第２前部アームであって、その手首端部が前記エ ンドイフェクタの前記第２アクスルに回転可能に取り付けられた第２前部アーム と、 （１）第１孔、前記第１孔に隣接する第２孔、第１側面および第２側面を有する リンクと、（２）前記第１孔内に回転可能に支持されている上部シャフトと、（ ３）前記第２孔内に回転可能に支持されている下部シャフトとを含むリンク手段 とを備え、 前記第１上部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第１側面側において 前記上部シャフトに固着され、 前記第１前部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第２側面側において 前記下部シャフトに固着され、 前記第２上部アームの前記エルボ端部は、前記リンクの前記第１側面側において 前記下部シャフトに回転可能に取り付けられ、前記第２前部アームの前記エルボ 端部は、前記リンクの前記［第１］第２側面側において前記上部シャフトに回転 可能に取り付けられ、更に、 前記シャフトのいずれか一方のいずれかの方向への回転に伴い他方のシャフトを 反対方向に回転させるように前記シャフトを連結する少なくとも２つの帯体を含 むリンク手段と、 前記上部アームの少なくとも１つを駆動して１２０°を越え１８０°以下の範囲 の角度で回転させ、前記エンドイフェクタを伸長位置と後退位置との間で移動さ せる手段とを含む装置。−−−−９請求項５の装置であって、前記Ｓ字状帯体は 、本質的にばね鋼合金で構成されることを特徴とする装置。−−−−１０請求項 ９の装置であって、前記ばね鋼合金は、「エルギロイ」として知られるコバルト ・ニッケル・鉄合金であることを特徴とする装置。−−発明の詳細な説明