JPH0751476B2 - 単結晶引き上げ装置の群管理システム - Google Patents
単結晶引き上げ装置の群管理システムInfo
- Publication number
- JPH0751476B2 JPH0751476B2 JP61146372A JP14637286A JPH0751476B2 JP H0751476 B2 JPH0751476 B2 JP H0751476B2 JP 61146372 A JP61146372 A JP 61146372A JP 14637286 A JP14637286 A JP 14637286A JP H0751476 B2 JPH0751476 B2 JP H0751476B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- pulling
- slide table
- crystal body
- pulling device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、シリコン単結晶等を製造する複数の単結晶
引き上げ装置を管理する単結晶引き上げ装置の群管理シ
ステムに関する。
引き上げ装置を管理する単結晶引き上げ装置の群管理シ
ステムに関する。
［従来の技術］ 一般に、シリコン単結晶の製造工場には、複数の単結晶
引き上げ装置が設備されていて、それぞれの引き上げ装
置にて、単結晶が引き上げられて単結晶体が製造されて
いる。各引き上げ装置に対しては、単結晶の引き上げ開
始の前に、予め多くの制御パラメータが設定される。例
えば、引き上げ速度を決定するパラメータ、種結晶の回
転速度を決定するパラメータ、ヒータ温度を決定するパ
ラメータなどである。これらのパラメータをいかに適切
に設定するかによって、単結晶の生産性が大きく左右さ
れる。
引き上げ装置が設備されていて、それぞれの引き上げ装
置にて、単結晶が引き上げられて単結晶体が製造されて
いる。各引き上げ装置に対しては、単結晶の引き上げ開
始の前に、予め多くの制御パラメータが設定される。例
えば、引き上げ速度を決定するパラメータ、種結晶の回
転速度を決定するパラメータ、ヒータ温度を決定するパ
ラメータなどである。これらのパラメータをいかに適切
に設定するかによって、単結晶の生産性が大きく左右さ
れる。
ところで、各引き上げ装置の特性は全く同一ではない。
そのため、制御パラメータを各引き上げ装置毎に最適に
設定する必要がある。
そのため、制御パラメータを各引き上げ装置毎に最適に
設定する必要がある。
［発明が解決しようとする問題点］ 制御パラメータを最適に設定する方法の１つとしては、
製造後の単結晶体の形状と重量を測定して、それを補正
データとして各引き上げ装置毎の制御パラメータを補正
する方法が考えられる。
製造後の単結晶体の形状と重量を測定して、それを補正
データとして各引き上げ装置毎の制御パラメータを補正
する方法が考えられる。
ところが、従来においては、製造後の単結晶体の形状と
重量の測定が手作業によって行なわれており、その測定
データが充分に生かされていないのが現状であった。
重量の測定が手作業によって行なわれており、その測定
データが充分に生かされていないのが現状であった。
この発明は、製造後の単結晶体の形状と重量を測定し、
その測定データと、その測定対象の単結晶体Ｍを製造し
た引き上げ装置とを自動的に関連付けることによって、
その測定データを各引き上げ装置用制御パラメータの補
正データとして有効に活用する管理システムを提供する
ことを目的とする。
その測定データと、その測定対象の単結晶体Ｍを製造し
た引き上げ装置とを自動的に関連付けることによって、
その測定データを各引き上げ装置用制御パラメータの補
正データとして有効に活用する管理システムを提供する
ことを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ この発明の単結晶引き上げ装置の群管理システムは、複
数の単結晶引き上げ装置を管理する群管理システムにお
いて、 各引き上げ装置にて製造された単結晶体に、それを製造
した引き上げ装置毎の識別マークを付するマーカーと、 識別マークの付された単結晶体が上部に載置されて、そ
の単結晶体を載置したままスライドするスライドテーブ
ルと、 スライドテーブルと対向する定位置に備えられ、スライ
ドテーブルのスライドに伴って、そのスライドテーブル
上の単結晶体の直径をその全長に渡って測定する直径測
定器と、 前記スライドテーブル上の単結晶体の重量を求める重量
センサと、 前記スライドテーブル上の単結晶体に付された識別マー
クを読る取るマークリーダと、 各引き上げ装置にて用いられる制御パラメータを記憶し
ていて、その制御パラメータを対応する引き上げ装置に
送り、かつ前記マークリーダによって読み取った識別マ
ーク別に、前記直径測定器と前記重量センサからのデー
タを入力し、そのデータを補正データとして、対応する
引き上げ装置の制御パラメータを補正する制御手段とを
具備してなることを特徴とする。
数の単結晶引き上げ装置を管理する群管理システムにお
いて、 各引き上げ装置にて製造された単結晶体に、それを製造
した引き上げ装置毎の識別マークを付するマーカーと、 識別マークの付された単結晶体が上部に載置されて、そ
の単結晶体を載置したままスライドするスライドテーブ
ルと、 スライドテーブルと対向する定位置に備えられ、スライ
ドテーブルのスライドに伴って、そのスライドテーブル
上の単結晶体の直径をその全長に渡って測定する直径測
定器と、 前記スライドテーブル上の単結晶体の重量を求める重量
センサと、 前記スライドテーブル上の単結晶体に付された識別マー
クを読る取るマークリーダと、 各引き上げ装置にて用いられる制御パラメータを記憶し
ていて、その制御パラメータを対応する引き上げ装置に
送り、かつ前記マークリーダによって読み取った識別マ
ーク別に、前記直径測定器と前記重量センサからのデー
タを入力し、そのデータを補正データとして、対応する
引き上げ装置の制御パラメータを補正する制御手段とを
具備してなることを特徴とする。
［作用］ この発明の単結晶引き上げ装置の群管理システムは、製
造直後の単結晶体の形状と重量を測定して、その測定デ
ータを対応する引き上げ装置に自動的に関連付け、そし
てその測定データを補正データとして、各引き上げ装置
用制御パラメータを自動的に補正する。
造直後の単結晶体の形状と重量を測定して、その測定デ
ータを対応する引き上げ装置に自動的に関連付け、そし
てその測定データを補正データとして、各引き上げ装置
用制御パラメータを自動的に補正する。
［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
図において、１は複数の引き上げ装置であり、個々に備
えられたコンピュータにより制御されて、単結晶体Ｍを
製造するものである。引き上げ装置１の個々のコンピュ
ータに対しては、製造すべき単結晶体に対応する各種制
御パラメータが制御部２から与えられる。そのため、制
御部２には、引き上げ装置１の各々に対応する各種の制
御パラメータを記憶するテーブルと、各引き上げ装置１
毎の運転経過などを記憶する記憶手段が備えられてい
る。
えられたコンピュータにより制御されて、単結晶体Ｍを
製造するものである。引き上げ装置１の個々のコンピュ
ータに対しては、製造すべき単結晶体に対応する各種制
御パラメータが制御部２から与えられる。そのため、制
御部２には、引き上げ装置１の各々に対応する各種の制
御パラメータを記憶するテーブルと、各引き上げ装置１
毎の運転経過などを記憶する記憶手段が備えられてい
る。
各引き上げ装置１にて製造された単結晶体Ｍは、各引き
上げ装置１毎に備えられたマーカー３を経てから、共通
の直径プロファイラー４へ運ばれる。本例の場合、マー
カー３は、引き上げ装置１毎に対応するラベルＲを単結
晶体Ｍの表面に貼付するものであり、そのラベルＲに
は、各引き上げ装置１毎の番号がバーコードによって記
録されている。
上げ装置１毎に備えられたマーカー３を経てから、共通
の直径プロファイラー４へ運ばれる。本例の場合、マー
カー３は、引き上げ装置１毎に対応するラベルＲを単結
晶体Ｍの表面に貼付するものであり、そのラベルＲに
は、各引き上げ装置１毎の番号がバーコードによって記
録されている。
直径プロファイラー４には、単結晶体Ｍが載置されるス
ライドテーブル５が備えられている。スライドテーブル
５は、ベルトまたはチェーンなどの線状体６に連結さ
れ、その線状体６は第２図中の左右方向に掛け渡されて
いる。線状体６はパルスモータ７によって移動され、そ
れに追従して、スライドテーブル５が第２図中の左右方
向へスライドするようになっている。スライドテーブル
５の上方の定位置には、ラインカメラ８とバーコードリ
ーダ９が備えられている。ラインカメラ８は、単結晶体
Ｍの径方向にライン状に並ぶ多数の撮像素子を有してお
り、映像信号を制御部２へ送る。一方、バーコードリー
ダ９は、単結晶体Ｍに貼付されたラベルＲのバーコード
を光学的に読み取り、その読み取り信号を制御部２へ送
る。スライドテーブル５の脚部には重量センサ10が設け
られている。この重量センサ10は、スライドテーブル５
と共に単結晶体Ｍの重量を計り、その重量信号を制御部
２へ送る。
ライドテーブル５が備えられている。スライドテーブル
５は、ベルトまたはチェーンなどの線状体６に連結さ
れ、その線状体６は第２図中の左右方向に掛け渡されて
いる。線状体６はパルスモータ７によって移動され、そ
れに追従して、スライドテーブル５が第２図中の左右方
向へスライドするようになっている。スライドテーブル
５の上方の定位置には、ラインカメラ８とバーコードリ
ーダ９が備えられている。ラインカメラ８は、単結晶体
Ｍの径方向にライン状に並ぶ多数の撮像素子を有してお
り、映像信号を制御部２へ送る。一方、バーコードリー
ダ９は、単結晶体Ｍに貼付されたラベルＲのバーコード
を光学的に読み取り、その読み取り信号を制御部２へ送
る。スライドテーブル５の脚部には重量センサ10が設け
られている。この重量センサ10は、スライドテーブル５
と共に単結晶体Ｍの重量を計り、その重量信号を制御部
２へ送る。
制御部２は、ラインカメラの映像信と、バーコードリー
ダ９の読み取り信号と、重量センサ９の重量信号に基づ
て、各引き上げ装置１毎の制御パラメータを補正する。
制御部２の機能については、作用と共に後述する。
ダ９の読み取り信号と、重量センサ９の重量信号に基づ
て、各引き上げ装置１毎の制御パラメータを補正する。
制御部２の機能については、作用と共に後述する。
次に、作用について説明する。
各引き上げ装置１にて製造された単結晶体Ｍは、まず、
対応するマーカー３へと運ばれる。マーカー３は、各引
き上げ装置１毎に対応する番号が付されたラベルＲを単
結晶体Ｍに貼付する。ラベルＲが貼付された単結晶体Ｍ
は、スライドテーブル５上へと運ばれる。スライドテー
ブル５は、単結晶体Ｍを載せたままスライドする。重量
センサ10は、スライドテーブル５と共に単結晶体Ｍの重
量を計り、制御部２はその重量信号から単結晶体自体の
重量を求める。また、スライドテーブル５のスライドに
伴って、ラインカメラ８は、撮像素子からの映像信号を
連続して制御部２へ送る。制御部２は、その映像信号か
ら、単結晶体Ｍの全長にわたっての外径を求める。ま
た、バーコードリーダ９は、単結晶体Ｍに貼付されたラ
ベルＲのバーコードを読み取り、その読み取り信号を制
御部２へ送る。
対応するマーカー３へと運ばれる。マーカー３は、各引
き上げ装置１毎に対応する番号が付されたラベルＲを単
結晶体Ｍに貼付する。ラベルＲが貼付された単結晶体Ｍ
は、スライドテーブル５上へと運ばれる。スライドテー
ブル５は、単結晶体Ｍを載せたままスライドする。重量
センサ10は、スライドテーブル５と共に単結晶体Ｍの重
量を計り、制御部２はその重量信号から単結晶体自体の
重量を求める。また、スライドテーブル５のスライドに
伴って、ラインカメラ８は、撮像素子からの映像信号を
連続して制御部２へ送る。制御部２は、その映像信号か
ら、単結晶体Ｍの全長にわたっての外径を求める。ま
た、バーコードリーダ９は、単結晶体Ｍに貼付されたラ
ベルＲのバーコードを読み取り、その読み取り信号を制
御部２へ送る。
制御部２は、バーコードリーダ９の読み取り信号から、
自動的に、単結晶体Ｍを製造した引き上げ装置１を判断
する。。そして、その引き上げ装置１の制御パラメータ
の補正データとして、単結晶体Ｍの外径と重量の測定デ
ータを利用する。すなわち、制御部２は、製造直後にお
ける単結晶体Ｍの実際の外径と重量を補正データとして
フィードバックし、対応する引き上げ装置１の制御パラ
メータを自動的に補正する。したがって、各引き上げ装
置１は、実際の製造結果との照合によって補正された制
御パラメータにしたがって、最適に制御されることにな
る。このフィードバックにより、結晶のシード、肩、直
胴、ボトム等の形状、制御条件が最適化されることによ
り、結晶の品質及び収率の改善、及び品質再現性の確立
が実現できる。運転パラメータの例として、結晶位置に
対する温度、引き上げ速度、結晶標準形状PID制御パラ
メータ等が挙げられる。
自動的に、単結晶体Ｍを製造した引き上げ装置１を判断
する。。そして、その引き上げ装置１の制御パラメータ
の補正データとして、単結晶体Ｍの外径と重量の測定デ
ータを利用する。すなわち、制御部２は、製造直後にお
ける単結晶体Ｍの実際の外径と重量を補正データとして
フィードバックし、対応する引き上げ装置１の制御パラ
メータを自動的に補正する。したがって、各引き上げ装
置１は、実際の製造結果との照合によって補正された制
御パラメータにしたがって、最適に制御されることにな
る。このフィードバックにより、結晶のシード、肩、直
胴、ボトム等の形状、制御条件が最適化されることによ
り、結晶の品質及び収率の改善、及び品質再現性の確立
が実現できる。運転パラメータの例として、結晶位置に
対する温度、引き上げ速度、結晶標準形状PID制御パラ
メータ等が挙げられる。
ところで、マーカー３によって貼付するラベルＲには、
バーコード以外のかたちで引き上げ装置１毎の識別マー
クを付してもよい。当然、その識別マークに合わせて、
それを読み取るマークリーダの形状も変更すことにな
る。また、マーカー３は、ラベルＲを貼付するもののみ
に特定されず、単結晶体Ｍの表面に直接、識別マークを
付すようなものであってもよく、要は、引き上げ装置１
毎の識別マークを単結晶体Ｍに付すものであればよい。
バーコード以外のかたちで引き上げ装置１毎の識別マー
クを付してもよい。当然、その識別マークに合わせて、
それを読み取るマークリーダの形状も変更すことにな
る。また、マーカー３は、ラベルＲを貼付するもののみ
に特定されず、単結晶体Ｍの表面に直接、識別マークを
付すようなものであってもよく、要は、引き上げ装置１
毎の識別マークを単結晶体Ｍに付すものであればよい。
また、マーカー３として、単結晶体Ｍに付する識別マー
クを変更できるものを採用することによって、複数台の
引き上げ装置に対して１台のマーカー３を備えるように
することも可能である。
クを変更できるものを採用することによって、複数台の
引き上げ装置に対して１台のマーカー３を備えるように
することも可能である。
［発明の効果］ 以上説明したように、この発明の単結晶引き上げ装置の
群管理システムは、製造直後の単結晶体の形状と重量を
測定して、その測定データを対応する引き上げ装置に自
動的に関連付け、そしてその測定データを補正データと
して、各引き上げ装置用制御パラメータを補正する構成
であるから、実際の製造結果との照合によって補正され
た制御パラメータにしたがって、各引き上げ装置を最適
に制御することができる。
群管理システムは、製造直後の単結晶体の形状と重量を
測定して、その測定データを対応する引き上げ装置に自
動的に関連付け、そしてその測定データを補正データと
して、各引き上げ装置用制御パラメータを補正する構成
であるから、実際の製造結果との照合によって補正され
た制御パラメータにしたがって、各引き上げ装置を最適
に制御することができる。
第１図、第２図はこの発明の一実施例の説明図であり、
第１図はシステム全体のブロック構成図、第２図は直径
プロファイラーの側面図である。 １……引き上げ装置、２……制御部、 ３……マーカー、４……直径プロファイラー、 ５……スライドテーブル、 ８……ラインカメラ、 ９……バーコードリーダ、 10……重量センサ。
第１図はシステム全体のブロック構成図、第２図は直径
プロファイラーの側面図である。 １……引き上げ装置、２……制御部、 ３……マーカー、４……直径プロファイラー、 ５……スライドテーブル、 ８……ラインカメラ、 ９……バーコードリーダ、 10……重量センサ。
Claims (1)
- 【請求項１】複数の単結晶引き上げ装置を管理する群管
理システムにおいて、 各引き上げ装置にて製造された単結晶体に、それを製造
した引き上げ装置毎の識別マークを付するマーカーと、 識別マークの付された単結晶体が上部に載置されて、そ
の単結晶体を載置したままスライドするスライドテーブ
ルと、 スライドテーブルと対向する定位置に備えられ、スライ
ドテーブルのスライドに伴って、そのスライドテーブル
上の単結晶体の直径をその全長にわたって測定する直径
測定器と、 前記スライドテーブル上の単結晶体の重量を求める重量
センサと、 前記スライドテーブル上の単結晶体に付された識別マー
クを読み取るマークリーダと、 各引き上げ装置にて用いられる制御パラメータを記憶し
ていて、その制御パラメータを対応する引き上げ装置に
送り、かつ前記マークリーダによって読み取った識別マ
ーク別に、前記直径測定器と前記重量センサからのデー
タを入力し、このデータを補正データとして、対応する
引き上げ装置の制御パラメータを補正する制御手段とを
具備してなることを特徴とする単結晶引き上げ装置の群
管理システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61146372A JPH0751476B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 単結晶引き上げ装置の群管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61146372A JPH0751476B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 単結晶引き上げ装置の群管理システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS632888A JPS632888A (ja) | 1988-01-07 |
| JPH0751476B2 true JPH0751476B2 (ja) | 1995-06-05 |
Family
ID=15406226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61146372A Expired - Fee Related JPH0751476B2 (ja) | 1986-06-23 | 1986-06-23 | 単結晶引き上げ装置の群管理システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0751476B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992019797A1 (fr) * | 1991-04-26 | 1992-11-12 | Mitsubishi Materials Corporation | Procede de tirage de cristal unique |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5221471B2 (ja) * | 1971-10-18 | 1977-06-10 | ||
| JPS57122544A (en) * | 1981-01-23 | 1982-07-30 | Hitachi Ltd | Semiconductor device |
| JPS5761509U (ja) * | 1981-08-12 | 1982-04-12 |
-
1986
- 1986-06-23 JP JP61146372A patent/JPH0751476B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS632888A (ja) | 1988-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104874522A (zh) | 点胶机及点胶位置测定方法 | |
| US10455776B2 (en) | Dynamic detection device for growth of potted crop and detection method therefor | |
| US4885844A (en) | Computer aided custom tailoring with disposable measurement clothing | |
| JP3885046B2 (ja) | 植物生育解析装置 | |
| US10602665B2 (en) | Two armed robotic system for adjusting the height of an agricultural tool | |
| JP2005229818A (ja) | 植物成育解析システム及び解析方法 | |
| EP0457843A4 (en) | Method and apparatus for measuring registration between layers of a semiconductor wafer | |
| KR100867069B1 (ko) | 기판의 처리장치 및 반송장치 조정시스템 | |
| JP5926618B2 (ja) | 組合せ計量装置 | |
| JPH0774117B2 (ja) | ヒータの温度パターン作成方法及びこの温度パターンを用いたＳｉ単結晶育成制御装置 | |
| CN110004492B (zh) | 长晶炉内监测方法及长晶炉 | |
| CN115060261B (zh) | 一种用于表型检测无人车的自主导航方法及装置 | |
| US4832496A (en) | Method and apparatus for measuring the monocrystal diameter and the melt level during crucible drawing in the Czochralski process | |
| CN112098267B (zh) | 一种用于在线测量疏松体预制棒密度的装置及方法 | |
| JP3824201B2 (ja) | 作物の栄養診断方法 | |
| CN109077339A (zh) | 食品打印机承印物位置识别装置及校准方法和识别方法 | |
| JP2000350517A5 (ja) | ||
| CN209090033U (zh) | 食品打印机承印物位置自动识别装置 | |
| CN206411710U (zh) | 一种smd料盘余料全自动快速点料设备 | |
| JPS632888A (ja) | 単結晶引き上げ装置の群管理システム | |
| JP4544455B2 (ja) | 共同選果施設 | |
| DE102018006178A1 (de) | Vorrichtung und ein Verfahren zum Vermessen von Organismen | |
| CN204817068U (zh) | 点胶机 | |
| JP2563327B2 (ja) | 単結晶の直径制御方法及び装置 | |
| CN215791775U (zh) | 一种双轴光固化打印机光均匀校正装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |