JPH0752524B2

JPH0752524B2 - 光ディスク原盤の作成装置

Info

Publication number: JPH0752524B2
Application number: JP62131553A
Authority: JP
Inventors: 文章植野; 道芳永島
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1987-05-29
Filing date: 1987-05-29
Publication date: 1995-06-05
Anticipated expiration: 2010-06-05
Also published as: JPS63298839A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、光ディスク原盤の作成装置に関する。

（従来の技術）光ディスク原盤（以下、単に原盤という）は、表面を研
磨したガラス等の基板にフォトレジスト（以下、単にレ
ジストと略す）を塗布し、これを記録すべき情報信号に
より強度変調したレーザ光を用いて感光させ、その感光
度に対応した情報記録を原盤に形成する。

第９図はそのような従来の原盤の作成装置の構成を、レ
ーザ光の照射構成を主にして示したもので、レジストを
塗布した基板１は、スピンドル２によって回転駆動され
るとともに、一軸移送台３によって基板１の径方向に移
送される。Ar（アルゴン）レーザ４の発するレーザ光
は、ミラー５を経て強度変調器（Ｅ−Ｏ変調器という）
６によって記録すべき信号強度に応ずる強度変調をう
け、ミラー7,8,フィルタミラー９を経てレンズアクチュ
エータ（以下、単にアクチュエータという）10によって
基板１に照射される。He−Ne（ヘリウムネオン）レーザ
11によるレーザ光は基板１に照射され、その戻り光がハ
ーフミラー12を経て光検出器13に送られ、その検出出力
によって、上記アクチュエータ10が前記Arレーザ４のレ
ーザ光の焦点を基板１に結ぶように制御する。なお、基
板１のレジストはArレーザ光には感光し、He−Neレーザ
光には感光しないレジストが使用される。

（発明が解決しようとする問題点）従来の光ディスク原盤は上記のように作成されるので、
記録用および焦点の調整制御用の２つのレーザ光（それ
ぞれ記録光，制御光と略す）をそれぞれ発振するレーザ
装置（上記の例ではArレーザ装置,He−Neレーザ装置）
２つが必要で、そのため、原盤の作成装置が大型にな
り、また、トラッキング制御を行いながらトラック溝
（以下、記録溝または溝という）を設けた基板の記録信
号で強度変調したレーザ光を照射する場合には、記録光
と制御光の焦点スポットが相対的にずれる等の欠点があ
る。

本発明は、上記の欠点を排除した光ディスク原盤の作成
装置の提供を目的とするものである。

（問題点を解決するための手段）本発明は上記の目的を、２つ以上の波長で同時に発振す
る１つのレーザ装置を設けて、その発振レーザ光の１つ
を記録光として、それを強度変調して信号の記録に用
い、他の発振レーザ光を記録光等の焦点を調整制御する
制御光とすることにより達成する。

（作用）本発明は、記録，制御の両レーザ光を１個のレーザ装置
から供給するから、装置として小型に構成でき、また、
それら記録，制御のレーザ光のスポットの相対位置は容
易には崩れないので、優れた光ディスクの原盤の作成が
可能になる。

（実施例）以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例の光ディスク原盤作成装置の
構成を示す図で、以下説明しない符号は前図までの説明
を援用し、その他の符号14は２波長の発振が可能な２波
長発振Arレーザであり、その発振光はフィルタミラー15
によって２つに分けられ、その一方のレーザ光は、Ｅ−
Ｏ変調器６によって記録すべき信号に応じた強度変調を
うけ、アクチュエータ10によりレジストを塗布した基板
１上に、レーザビームスポット（焦点）を照射するレジ
ストを感光する記録光となされ、また、他方のレーザ光
は、アクチュエータ10を経て基板１に照射され、それが
反射した戻り光をフィルタミラー9,ハーフミラー12を経
て光検出器13によって検出し、その検出出力信号にはア
クチュエータ10と基板１との距離に応ずる変化が得られ
るから、それは上記記録光のスポットを基板１上に結ば
せる、アクチュエータ10の制御に用いられる。

このような制御光の形成方法は、非点収差法，ナイフエ
ッジ法等が知られており、例えばナイフエッジ法では、
基板からの戻り光をレンズ等で収束させ、そのレンズと
焦点面間の収束光路中にナイフエッジを配置して光路の
半分を遮断し、焦点面には２分割した光検出器が置かれ
る。このようにすると、基板とアクチュエータとの距離
に応じて２分割した光検出器の出力差が得られ、それが
アクチュエータの焦点制御のための信号に用いることが
できる。本発明では、このような焦点制御が可能な光検
出器を一括して光検出器として表わしている。

基板１はスピンドル２によって回転駆動され、一軸移送
台３によって基板１の半径方向に移送される等は従来の
通りである。

なお、２波長発振のArレーザ14は、その発振波長の特定
の２波長に高い反射率を有するレーザ共振器のミラーを
用いて構成でき、さらに、それら発振する２つのレーザ
光の強度比は同様に、共振器の反射率の差を調整して実
現可能で、発振波長は、例えば記録光に457.9nm、制御
用には514.5nmの組合せができる。

また、２波長発振レーザには、Arレーザの他にクリプト
ンレーザ,Heレーザが利用でき、また、レジストは記録
光には高く、制御光には低い感度を有するものが任意に
選択できるが、一般にはレジストの感度は長波長よりも
短波長のレーザ光に対して高いため、記録光に短波長、
制御用には長波長のレーザ光を用いることが有利であ
る。さらに、基板１は一般には表面を研磨したガラス板
が使用されるが、これは、例えば銅板等、他のものであ
ってもよい。

第２図はマルチモード発振のArレーザから２波長のレー
ザ光を作出する実施例を示し、以下説明しない前図まで
と同一の符号は、それらと同一または同等の機能を有
し、16はマルチモード発振のArレーザで、その発振する
複数のレーザ光の１つをフィルタミラー15を経て選出
し、制御光とし、また、フィルタミラー17で他のレーザ
光を選出して記録光とすることにより、第１図と全く同
様に信号の記録を基板１に行うことができる。なお、マ
ルチモード発振16としては、Arレーザの他にクリプトン
レーザ,He−Neレーザが使用できる。

第３図は他の実施例の構成図である。18は予め記録溝が
形成されレジストを塗布した溝付基板である。光検出器
13は焦点信号の他に溝付基板18の記録溝によるトラッキ
ング信号を検出する。19はガルバノミラーで、上記トラ
ッキング信号によって制御され、紙面に垂直な軸の回り
に微小角度の振れを可能にして、記録光を溝付基板18の
記録溝にトラッキングするものである。

ここで、溝付基板18の記録溝は断面がＵまたはＶの一般
の溝でよく、これは機械切削により形成可能であるが、
番地切削と同時の切削は困難である。そのため、予め記
録溝を設けた基板を用いて番地を記録することになり、
したがって、トラッキングをかけることになる。

制御光および記録光は、アクチュエータ10によって溝付
基板18上に焦点スポットを結び、それらのスポットは同
一点にあって記録溝上にあってもよく、また、第４図
（ａ）のように、溝方向直線上にあってもよい。同じく
（ｂ）図のように、制御光スポット21は溝上にあり、記
録光スポット20は溝間にあるようにすると、その溝間に
信号の記録ができる。

Ｖ溝のときは記録光および制御光の両スポット20,21
は、第５図（ａ）のように溝方向の谷に直線状にあって
もよく、また、（ｂ）図のように溝の山にあるようにし
てもよい。また、それら両スポット20,21が同一点にあ
り、Ｖ溝の底または山にあってもよく、いずれの場合も
Ｖ溝の底または山に信号の記録が可能である。また、第
６図（ａ）ないし（ｂ）のように、制御光のスポット21
をＶ溝の底または山におき、記録光のスポットをＶ溝の
斜面におくと、その斜面に記録ができるから、両斜面に
記録させると従来の２倍の情報を記録した光ディスクを
提供する原盤ができる。

一般に、光ディスク原盤の作成装置では、記録光，制御
光の両スポットの位置関係が一定でないときは、記録信
号がトラックずれを生じ、再生時にクロストークを生ず
る。

両スポットの位置ずれの主要な原因は、レーザ共振器の
温度による揺らぎであるが、本発明では記録光，制御を
の両スポットとも同一レーザ装置から作成しているか
ら、温度による揺らぎがあっても、それらの相対位置は
変化せず、したがって、クロストーク等の発生は少な
い。また、制御光のスポットが揺らいでも、それによっ
てトラッキングを行っているから、信号記録には全く影
響がない。

第７図は本発明のさらに他の実施例を示し、Ｖ溝の両斜
面に信号を記録する場合の実施例である。

記録光を２波長発振Arレーザ14からフィルタミラー15に
よって２波長に分離して取り出し、記録光とする一方の
レーザ光をハーフミラー22によって２分割させ、それぞ
れをＥ−Ｏ変調器6,6′によって記録信号強度に応じて
強度変調させ、その一方を1/2波長板23により偏波面を1
/2波長ずらせてあるので、PBS（偏光ビームスプリッ
タ）24によって１つの記録光になされ、記録光と制御光
はガルバノミラー19,アクチュエータ10を経てレジスト
を塗布したＶ溝を有する基板25に絞られたビームが照射
され、それらのスポットは第８図（ａ）のように、制御
光のスポット21をＶ溝の山におき、２つの記録光のスポ
ット20,20′を上記の山の両斜面にそれぞれおくか、ま
たは同図（ｂ）のように、制御光のスポット21をＶ溝の
谷におき、２つの記録光のスポット20,20′をそれぞれ
Ｖ溝の谷の両斜面にあるようにして、制御光21でＶ溝の
山または谷にトラッキングをかけながら、異なった信号
により強度変調された記録光20,20′により、同時にＶ
溝の両斜面に信号を記録させることができる。

（発明の効果）以上、詳細に説明して明らかなように、本発明は、１つ
のレーザ装置から記録光および制御光を得て信号を記録
するから、従来必要であった２つのレーザ装置の一方を
省略して小型に構成できると同時に、レジストを塗布し
た基板に記録溝を子め形成してトラッキングをかけなが
ら信号を記録することにより、記録光のスポットと制御
光のスポットとの相対位置がずれにくいため、記録品質
が大幅に向上した原盤を作成できることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図，第２図，第３図および第７図はそれぞれ本発明
の実施例を示す図、第４図，第５図，第６図および第８
図は説明補助図で、本発明の記録光，制御光の基板上に
結ぶスポットを説明する図、第９図は従来例の説明図で
ある。１……ガラス基板、２……スピンドル、３……一軸移送
台、４……Ar（アルゴン）レーザ、5,7,8……ミラー、
6,6′……強度変調器（Ｅ−Ｏ変調器）、9,15,17……フ
ィルタミラー、10……レンズアクチュエータ（アクチュ
エータと略す）、11……He−Ne（ヘリウムネオン）レー
ザ、12,22……ハーフミラー、13……光検出器、14……
２波長発振Arレーザ、16……マルチモード発振アルゴン
レーザ、18……溝付基板、19……ガルバノミラー、20,2
0′……記録光スポット、21……制御光スポット、23…
…1/2波長板、24……PBS（偏光ビームスプリッタ）、25
……Ｖ溝付基板。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フォトレジストを塗布した光ディスク基板
に、記録信号により強度変調したレーザ光を照射する工
程を有する、記録信号を記録した光ディスク原盤の作成
装置において、上記記録信号により強度変調される記録
レーザ光と、その記録レーザ光の基板上の焦点スポット
の形成を制御するための制御レーザ光とを、少なくとも
２つ以上の異なる波長でレーザ光を発振する１つのレー
ザ装置から供給することを特徴とする光ディスク原盤の
作成装置。