JPH0752640Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は非走査型の電子線照射装置に関する。

（従来の技術） この種電子線照射装置において、真空チャンバーの内部
にカソードを設け、そのフィラメントより放射される電
子線を、照射窓から外部に向けて照射するようにしたも
のは、既によく知られている。

第２図はその従来例を示し、１は真空チャンバー、２は
その内部に設けられたカソード、３はフィラメント、４
は真空チャンバー１の周壁に設けられた照射窓で、加熱
されたフィラメント３から放射される電子線を、この照
射窓から外部に向けて照射するようにしてある。

５はフィラメント３に加熱用の電力を供給するための供
電線、６はこの供電線５を絶縁して導入するための絶縁
筒、７は支持用の絶縁碍子で、これは真空チャンバー１
の端面に固定して取り付けられてある。この絶縁碍子７
は絶縁筒６を支持するとともに、カソード２を支持して
いる。

８は真空チャンバー１の端面に連なるタンクで、内部に
絶縁性のガスが充填されてある。

（考案が解決しようとする課題） 従来の構成によると、絶縁碍子７はカソード２を片持式
に支持する構成となっているので、ここにかかるモーメ
ントが大となり、したがってそれに耐えるために機械的
強度を大きくして構成しなければならない。そのため大
型化するばかりでなく、構造が複雑となる欠点があっ
た。のみならずその支持部分を介してカソード２からの
熱が外部に伝導されやすくなり、そのためカソード２に
熱的なアンバランスが生ずるようになる。

またカソード２を両持式に支持する構成が考えられる
が、これによると片持式に支持する構成に比較して、そ
の各支持部分にかかるモーメントは減少するにしても、
依然としてその支持部分にはモーメントがかかることに
なり、したがってそのモーメントに耐える程度の機械的
強度が、その支持部分に要求されることになる。

この考案はカソードを簡単に支持するようにすることに
より、その支持のための碍子の小型化並びに簡略化を図
ることを目的とする。

（課題を解決するための手段） この考案はカソードを絶縁碍子によって上部から吊り下
げるようにして、機械的に支持するとともに、前記フィ
ラメントの加熱のための供電線を、前記真空チャンバー
の端面に取り付けられた筒状の絶縁碍子および前記絶縁
碍子の一端面を閉塞する閉塞板のシールド筒を挿通し
て、前記真空チャンバーの内部に導入するようにしたこ
とを特徴とする。

（作用） カソードはその上部において、絶縁碍子により吊り下げ
られるようにして支持される。したがってこれを片将式
に支持する場合よりも、絶縁碍子にかかるモーメントは
小さくてすむ。したがって機械的強度の大きい絶縁碍子
は不要となる。供電線用の絶縁碍子は、これを対地絶縁
するためにのみ使用することになり、したがってその構
成は簡単である。

（実施例） この考案の実施例を第１図によって説明する。なお第２
図と同じ符号を付した部分は、同一または対応する部分
を示す。この考案にしたがい、カソード２をその上部よ
り吊り下げるようにして絶縁碍子10により支持する。カ
ソード２はこの絶縁碍子10による吊り下げのみによって
支持される。絶縁碍子10の上端は、真空チャンバー１の
上壁の一部に固定されている。11はコロナシールドであ
る。

12は供電線５を対地絶縁するための筒状とされた絶縁碍
子で、真空チャンバー１の端面に取り付けられた支持板
13により支持されている。絶縁碍子12の真空チャンバー
１の内部に位置する側の端面は、供電線５をシールドす
るためのシールド筒15とコロナシールド14を備える閉塞
板16により閉塞されている。そして、供電線５は絶縁碍
子12およびシールド筒15を挿通して真空チャンバー１内
に導入されている。なお絶縁碍子12はカソード２の支持
には何ら関与しない。

絶縁碍子10,12はたとえばエポキシ樹脂のように絶縁性
で機械的強度の大きいものが好適である。しかしこの種
の樹脂は電子線発生時のフィラメント点灯により加熱さ
れると、熱劣化を起こし、ガスを発生することがあるの
で、大出力容量を有する構造で多量の伝導熱が加わるよ
うな場合には、セラミックス（たとえばアルミナ）によ
って構成するとよい。

以上のように構成すると、カソード２は絶縁碍子10によ
って吊り下げられるようにして支持されるので、従来の
ように片持式に支持する場合に比較して、モーメントは
小さくなり、したがってこれを支持する絶縁碍子とし
て、大きな機械的強度をもつものをなんら必要としない
ようになる。したがってその構成は極めて簡単となる。

また供電線５を対地絶縁するのに、別個の絶縁碍子12を
使用するようにしているので、その構成は極めて単純な
もので足りるようになる。

そしてカソード２を吊り下げるように支持するととも
に、その支持部分と供電線の導入部分とを分離したこと
により、カソード２から外部への熱の伝導が片持式の場
合に比較して減少するため、カソード２自体の温度均一
性が向上するようになる。

（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、カソードを絶縁
碍子により吊り下げるようにして支持するとともに、こ
の絶縁碍子と、供電線導入用の絶縁碍子とを別個にした
ので、各絶縁碍子の形状が簡単、かつ小型のもので足り
るし、更にカソードの温度均一性の向上が期待できると
いった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２図は従来
例の断面図である。 １…真空チャンバー、２…カソード、３…フィラメン
ト、５…供電線、10,12…絶縁碍子、

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】真空チャンバーの内部にカソードを設け、
   前記カソードの内部のフィラメントより放射される電子
   線を、照射窓から外部に向けて照射するようにしてなる
   電子線照射装置において、前記カソードをその上部から
   絶縁碍子によって吊り下げるようにして機械的に支持す
   るとともに、前記フィラメントの加熱のための供電線
   を、前記真空チャンバーの端面に取り付けられた筒状の
   絶縁碍子および前記絶縁碍子の一端面を閉塞する閉塞板
   のシールド筒を挿通して、前記真空チャンバーの内部に
   導入してなる電子線照射装置。