JPH0752820B2 - 多電極水晶振動子 - Google Patents
多電極水晶振動子Info
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- JPH0752820B2 JPH0752820B2 JP2050453A JP5045390A JPH0752820B2 JP H0752820 B2 JPH0752820 B2 JP H0752820B2 JP 2050453 A JP2050453 A JP 2050453A JP 5045390 A JP5045390 A JP 5045390A JP H0752820 B2 JPH0752820 B2 JP H0752820B2
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- electrode
- electrodes
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- oscillator
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- H03B5/30—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02086—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02102—Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/566—Electric coupling means therefor
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- H03H9/02—Details
- H03H2009/02165—Tuning
- H03H2009/02173—Tuning of film bulk acoustic resonators [FBAR]
- H03H2009/02188—Electrically tuning
- H03H2009/02196—Electrically tuning operating on the FBAR element, e.g. by direct application of a tuning DC voltage
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は水晶発振器に使用する多電極水晶振動子（以
下、多電極振動子とする）を利用分野とし、特に、水晶
発振器を温度補償型とした場合の多電極振動子に関す
る。
下、多電極振動子とする）を利用分野とし、特に、水晶
発振器を温度補償型とした場合の多電極振動子に関す
る。
（発明の背景） 多電極振動子を用いた水晶発振器は、本発明者等により
開発されて特に温度補償型の水晶発振器として用いられ
る。例えば既に提案したものとして特願昭63−15142,同
25093、同248632、同275669、同335050号及び特願平１
−223610号等がある。
開発されて特に温度補償型の水晶発振器として用いられ
る。例えば既に提案したものとして特願昭63−15142,同
25093、同248632、同275669、同335050号及び特願平１
−223610号等がある。
（従来技術） 第６図はこの種の一例を示す水晶発振器の概略回路図で
ある。
ある。
水晶発振器は、多電極振動子１と、発振回路２と、温度
補償回路３と、周波数調整素子４とからなる。多電極振
動子１は厚みすべり振動を励起される例えばATカットの
水晶片５からなる。水晶片５の両主面には二組の対向す
る電極対６（ａ、ｂ）、７（ａ、ｂ）がｚ′軸方向に形
成される。そして、一組の電極対６に発振回路２と周波
数調整素子４を、他組の電極対７に温度補償回路３を接
続する。発振回路２は一組の電極対６による振動子を発
振子とし、温度に依存した周波数（周波数温度特性）で
発振する。また、周波数調整素子４は可変のコンデンサ
とし、発振周波数を所定値に調整する。温度補償回路３
は補償電圧発生回路８により周囲温度に対応した補償電
圧を発生して電圧可変容量素子９の容量値を変化させ
る。
補償回路３と、周波数調整素子４とからなる。多電極振
動子１は厚みすべり振動を励起される例えばATカットの
水晶片５からなる。水晶片５の両主面には二組の対向す
る電極対６（ａ、ｂ）、７（ａ、ｂ）がｚ′軸方向に形
成される。そして、一組の電極対６に発振回路２と周波
数調整素子４を、他組の電極対７に温度補償回路３を接
続する。発振回路２は一組の電極対６による振動子を発
振子とし、温度に依存した周波数（周波数温度特性）で
発振する。また、周波数調整素子４は可変のコンデンサ
とし、発振周波数を所定値に調整する。温度補償回路３
は補償電圧発生回路８により周囲温度に対応した補償電
圧を発生して電圧可変容量素子９の容量値を変化させ
る。
このようなものでは、電圧可変容量素子９の容量変化
が、二組の電極対間６、７の弾性結合により、発振回路
２の負荷容量を変化させて周波数温度特性を補償する。
しかも、周波数調整素子４との電気的な結合はないの
で、周波数調整時の温度補償回路３への影響を低減して
信頼性を高めることができる。
が、二組の電極対間６、７の弾性結合により、発振回路
２の負荷容量を変化させて周波数温度特性を補償する。
しかも、周波数調整素子４との電気的な結合はないの
で、周波数調整時の温度補償回路３への影響を低減して
信頼性を高めることができる。
（従来技術の問題点） しかしながら、上記構成の水晶発振器では、多電極振動
子１を使用するので、主振動（対称モードfs1）に対し
て斜対称モードfa1の非調和高次振動が主振動周波数f0
に接近して発生する「第７図の共振特性図」。なお、共
振特性は伝送特性法によるものである。詳述すれば、厚
みすべり振動にはモード信号（ｙ、ｘ、ｚ）で示される
無数のモードが存在する。但し、ｙは厚み方向のオバト
ーン次数、ｘ、ｚは各方向の振動の山（及び谷）の数で
ある。そして、前述のように二組の電極対６、７をｚ′
軸方向に並べた場合には、モード記号中のｚを奇数とし
た対称モードfsとそれを偶数とした斜対称モードfaが発
生する。特に（ｙ、１、１）の対称モードfs1（主振
動）とともに、これに最も近接した（ｙ、１、２）の斜
対称モードfa1が強勢的に発生する「第８図（ａ）
（ｂ）の変位分布図」。なお、第８図（ｃ）に示したよ
うに、電極対10（ab）が通常の一組のみの場合には、斜
対称モードは変位による電荷が相殺されて発生しない。
このようなことから、上記構成のものでは、発振周波数
が主振動周波数f0から斜対称モードfa1の振動周波数に
移行してしまうという周波数ジャンプ現象を引き起こす
問題があった。
子１を使用するので、主振動（対称モードfs1）に対し
て斜対称モードfa1の非調和高次振動が主振動周波数f0
に接近して発生する「第７図の共振特性図」。なお、共
振特性は伝送特性法によるものである。詳述すれば、厚
みすべり振動にはモード信号（ｙ、ｘ、ｚ）で示される
無数のモードが存在する。但し、ｙは厚み方向のオバト
ーン次数、ｘ、ｚは各方向の振動の山（及び谷）の数で
ある。そして、前述のように二組の電極対６、７をｚ′
軸方向に並べた場合には、モード記号中のｚを奇数とし
た対称モードfsとそれを偶数とした斜対称モードfaが発
生する。特に（ｙ、１、１）の対称モードfs1（主振
動）とともに、これに最も近接した（ｙ、１、２）の斜
対称モードfa1が強勢的に発生する「第８図（ａ）
（ｂ）の変位分布図」。なお、第８図（ｃ）に示したよ
うに、電極対10（ab）が通常の一組のみの場合には、斜
対称モードは変位による電荷が相殺されて発生しない。
このようなことから、上記構成のものでは、発振周波数
が主振動周波数f0から斜対称モードfa1の振動周波数に
移行してしまうという周波数ジャンプ現象を引き起こす
問題があった。
（発明の目的） 本発明は斜対称モードの発生を抑圧して周波数ジャンプ
現象を防止した多電極振動子を提供することを目的とす
る。
現象を防止した多電極振動子を提供することを目的とす
る。
（解決手段） 本発明は、一組の電極対を水晶片の中央部に、他組の電
極対を前記一組の電極対の両側に分割して形成したこと
を解決手段とする。以下、本発明の一実施例を説明す
る。
極対を前記一組の電極対の両側に分割して形成したこと
を解決手段とする。以下、本発明の一実施例を説明す
る。
（実施例） 第１図は本発明の一実施例を説明する図で、同図（ａ）
は多電極振動子の表裏面を示す展開図、同図（ｂ）はこ
れを用いた温度補償発振器の概略図である。なお、前実
施例図と同一部分には同番号を付してその説明は間略す
る。
は多電極振動子の表裏面を示す展開図、同図（ｂ）はこ
れを用いた温度補償発振器の概略図である。なお、前実
施例図と同一部分には同番号を付してその説明は間略す
る。
多電極振動子１は水晶片を例えばATカットとして円板状
に形成される。両主面にはそれぞれ対向する三組の11
（ab）、12（ab）、12（ab）をｚ′軸方向に形成する。
この実施例では、一方の主面の両側の電極対11a、12aを
パス路14aにより共通接続する。そして、発振回路２に
接続する励振用電極対とする。また、中央の一組の電極
対13を温度補償回路に接続する補償用電極対とする。な
お、他方の主面の電極対11b、12b、13bはパス路14bによ
り共通接続される。すなわち、従来例における補償用電
極対７を中央にするとともに、励振用電極対６を分割し
て補償用電極７の両側に配置した構成とする。
に形成される。両主面にはそれぞれ対向する三組の11
（ab）、12（ab）、12（ab）をｚ′軸方向に形成する。
この実施例では、一方の主面の両側の電極対11a、12aを
パス路14aにより共通接続する。そして、発振回路２に
接続する励振用電極対とする。また、中央の一組の電極
対13を温度補償回路に接続する補償用電極対とする。な
お、他方の主面の電極対11b、12b、13bはパス路14bによ
り共通接続される。すなわち、従来例における補償用電
極対７を中央にするとともに、励振用電極対６を分割し
て補償用電極７の両側に配置した構成とする。
このようなものでは、（ｙ、１、１）モードの対称モー
ドfs1は分割された各励振用電極対（以下分割電極対と
する）に同符号の電荷を発生するので、従来同様に主振
動として励起される「第２図（ａ）」。また、（ｙ、
１、２）の斜対称モードfa1は分割電極対間で異符号の
電荷を発生するので「第２図（ｂ）」、各電荷が相殺さ
れて抑圧される。したがって、第３図に示したように斜
対称モードfa1の振動レベルを相対的に小さくするの
で、主振動周波数f0からの周波数ジャンプ現象を防止で
きる。
ドfs1は分割された各励振用電極対（以下分割電極対と
する）に同符号の電荷を発生するので、従来同様に主振
動として励起される「第２図（ａ）」。また、（ｙ、
１、２）の斜対称モードfa1は分割電極対間で異符号の
電荷を発生するので「第２図（ｂ）」、各電荷が相殺さ
れて抑圧される。したがって、第３図に示したように斜
対称モードfa1の振動レベルを相対的に小さくするの
で、主振動周波数f0からの周波数ジャンプ現象を防止で
きる。
（他の実施例） 第４図は本発明の他の実施例を説明する多電極振動子を
使用した温度補償発振器の概略図である。
使用した温度補償発振器の概略図である。
この実施例では、一方の主面の両側の二組の電極対11
a、12aをパス路14aにより共通接続して補償用電極対と
し、中央の一組の電極対13を励振用電極対とする。そし
て、それぞれ発振回路２及び温度補償回路に接続する。
なお、他方の主面の電極対11b、12b、13bはパス路14bに
より共通接続される。すなわち、従来例における励振用
電極対７を中央にするとともに、補償用電極対６を分割
して励振用電極７の両側に配置した構成とする。
a、12aをパス路14aにより共通接続して補償用電極対と
し、中央の一組の電極対13を励振用電極対とする。そし
て、それぞれ発振回路２及び温度補償回路に接続する。
なお、他方の主面の電極対11b、12b、13bはパス路14bに
より共通接続される。すなわち、従来例における励振用
電極対７を中央にするとともに、補償用電極対６を分割
して励振用電極７の両側に配置した構成とする。
このようなものでも、前述同様に（ｙ、１、２）の斜対
称モードfa1は共通接続の分割電極対間で異符号の電荷
を発生して相殺されるので、結果的に（ｙ、１、１）の
主振動に対する振動レベルを小さくし、主振動周波数f0
からの周波数ジャンプ現象を防止できる。
称モードfa1は共通接続の分割電極対間で異符号の電荷
を発生して相殺されるので、結果的に（ｙ、１、１）の
主振動に対する振動レベルを小さくし、主振動周波数f0
からの周波数ジャンプ現象を防止できる。
（他の事項） なお、上記実施例では、励振用電極対及び補償用電極対
はｚ′軸方向に並べたが、ｘ軸方向であってもよいもの
である。但し、この場合の斜対称モードは（１、２、
１）モードとなる。また、分割電極対は水晶片表面のパ
ス路により接続したが、リード線等により外部で共通接
続してもよい。また、多電極振動子の三組の電極対は両
主面にてそれぞれ独立させたが、一方の主面側は共通電
位となるのでその主面側は共通電極としてもよい。そし
て、例えば保持具の外部リード線（未図示）と接続す
る。水晶片の外周端部に延出される電極は任意に形成さ
れることは勿論である。
はｚ′軸方向に並べたが、ｘ軸方向であってもよいもの
である。但し、この場合の斜対称モードは（１、２、
１）モードとなる。また、分割電極対は水晶片表面のパ
ス路により接続したが、リード線等により外部で共通接
続してもよい。また、多電極振動子の三組の電極対は両
主面にてそれぞれ独立させたが、一方の主面側は共通電
位となるのでその主面側は共通電極としてもよい。そし
て、例えば保持具の外部リード線（未図示）と接続す
る。水晶片の外周端部に延出される電極は任意に形成さ
れることは勿論である。
また、各実施例では温度補償発振器を対象として説明し
たが、例えば第５図に示したように可変容量素子に温度
補償以外の電圧を印加して単に周波数を可変する電圧制
御用としてもよい。また、これらに限らず、本発明者等
による前述した特許願にある二重温度補償発振器等にも
適用する。そして、他組の電極対には電圧可変容量素子
を接続したが、これに限らず単なる可変容量素子やイン
ダクタであってもよく、要は他組の電極対には発振用電
極対と音響的に結合して発振回路の周波数に変化をもた
らすインピーダンスであればよいものである。
たが、例えば第５図に示したように可変容量素子に温度
補償以外の電圧を印加して単に周波数を可変する電圧制
御用としてもよい。また、これらに限らず、本発明者等
による前述した特許願にある二重温度補償発振器等にも
適用する。そして、他組の電極対には電圧可変容量素子
を接続したが、これに限らず単なる可変容量素子やイン
ダクタであってもよく、要は他組の電極対には発振用電
極対と音響的に結合して発振回路の周波数に変化をもた
らすインピーダンスであればよいものである。
（発明の効果） 本発明は、一組（他組）の電極対を水晶片の中央部に、
他組（一組）の電極対を前記一組（他組）の電極対の両
側に分割して形成したので、斜対称モードの発生を抑圧
して周波数ジャンプ現象を防止した多電極振動子を提供
できる。
他組（一組）の電極対を前記一組（他組）の電極対の両
側に分割して形成したので、斜対称モードの発生を抑圧
して周波数ジャンプ現象を防止した多電極振動子を提供
できる。
第１図は本発明の一実施例を説明する図で、同図（ａ）
は多電極振動子の表裏面を示す展開図、同図（ｂ）はこ
れを用いた温度補償発振器の概略図である。 第２図（ａ）（ｂ）は本発明の一実施例の作用効果を説
明する変位分布図で、第３図は同共振特性図である。 第４図は本発明の他の実施例を説明する多電極振動子を
使用した温度補償発振器の概略図、第５図は同発振器の
概略図である。 第６図は従来例を説明する多電極振動子を使用した温度
補償発振器の概略図で、第７図は同多電極振動子の共振
特性図、第８図は同変位分布図である。
は多電極振動子の表裏面を示す展開図、同図（ｂ）はこ
れを用いた温度補償発振器の概略図である。 第２図（ａ）（ｂ）は本発明の一実施例の作用効果を説
明する変位分布図で、第３図は同共振特性図である。 第４図は本発明の他の実施例を説明する多電極振動子を
使用した温度補償発振器の概略図、第５図は同発振器の
概略図である。 第６図は従来例を説明する多電極振動子を使用した温度
補償発振器の概略図で、第７図は同多電極振動子の共振
特性図、第８図は同変位分布図である。
Claims (2)
- 【請求項１】厚みすべり振動を励起される水晶片の両主
面に、それぞれ両主面間で対向した二組の電極対を結晶
軸のｘまたはｚ′軸方向の一方向に並べて形成し、前記
一組の電極対には発振回路を接続し、前記他組の電極対
には可変インピーダンスを接続した水晶発振器用の多電
極型水晶振動子において、 前記他組の電極対を水晶片の中央部に、前記一組の電極
対を前記他組の電極対の両側に分割して共通接続し、主
振動に対して発生するｘ及びｚ′軸方向のいずれの斜対
称モードをも抑圧したことを特徴とする多電極水晶振動
子。 - 【請求項２】厚みすべり振動を励起される水晶片の両主
面に、それぞれ両主面間で対向した二組の電極対を結晶
軸のｘまたはｚ′軸方向の一方向に並べて形成し、前記
一組の電極対には発振回路を接続し、前記他組の電極対
には可変インピーダンスを接続した水晶発振器用の多電
極型水晶振動子において、 前記一組の電極対を水晶片の中央部に、前記他組の電極
対を前記一組の電極対の両側に分割して共通接続し、主
振動に対して発生するｘ及びｚ′軸方向のいずれの斜対
称モードをも抑圧したことを特徴とする多電極水晶振動
子。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050453A JPH0752820B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 多電極水晶振動子 |
| KR1019900021929A KR940005372B1 (ko) | 1990-02-28 | 1990-12-27 | 다전극 수정 진동자 |
| US07/660,431 US5132643A (en) | 1990-02-28 | 1991-02-22 | Crystal resonator with plural electrodes for use in a crystal oscillating device of a temperature compensation type |
| DE4106188A DE4106188C2 (de) | 1990-02-28 | 1991-02-27 | Mehrelektroden-Quarzkristallresonator |
| GB9104177A GB2246661B (en) | 1990-02-28 | 1991-02-28 | Oscillator with multi-electrode quartz crystal resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050453A JPH0752820B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 多電極水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03252213A JPH03252213A (ja) | 1991-11-11 |
| JPH0752820B2 true JPH0752820B2 (ja) | 1995-06-05 |
Family
ID=12859284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2050453A Expired - Fee Related JPH0752820B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 多電極水晶振動子 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5132643A (ja) |
| JP (1) | JPH0752820B2 (ja) |
| KR (1) | KR940005372B1 (ja) |
| DE (1) | DE4106188C2 (ja) |
| GB (1) | GB2246661B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3094190B2 (ja) * | 1993-03-17 | 2000-10-03 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 化学計測装置 |
| US5414322A (en) * | 1994-04-19 | 1995-05-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Crystal resonator with multiple segmented lateral-field excitation electrodes |
| US5955825A (en) * | 1996-04-26 | 1999-09-21 | Mitsubishi Materials Corporation | Crystal oscillator and manufacturing method thereof |
| WO2003055063A1 (en) * | 2001-12-06 | 2003-07-03 | University Of Pittsburgh | Tunable piezoelectric micro-mechanical resonator |
| JP4989743B2 (ja) * | 2010-03-10 | 2012-08-01 | 日本電波工業株式会社 | 圧電発振器 |
| US8350633B1 (en) * | 2010-10-15 | 2013-01-08 | The Board Of Regents For Oklahoma State University | Microelectromechanical resonators with passive frequency tuning using variable impedance circuits |
| US8575819B1 (en) | 2011-07-18 | 2013-11-05 | Integrated Device Technology, Inc. | Microelectromechanical resonators with passive frequency tuning using built-in piezoelectric-based varactors |
| US9090451B1 (en) | 2011-07-19 | 2015-07-28 | Integrated Device Technology, Inc. | Microelectromechanical resonators having offset [100] and [110] crystal orientations |
| TWI887936B (zh) * | 2023-12-27 | 2025-06-21 | 泰藝電子股份有限公司 | 晶體共振器 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL176583B (nl) * | 1953-03-04 | Lummus Co | Werkwijze voor de bereiding van een straalmotorbrandstof. | |
| GB928886A (en) * | 1959-12-21 | 1963-06-19 | Plessey Co Ltd | Improvements in or relating to piezoelectric ceramic wave filter elements |
| US3423700A (en) * | 1963-04-30 | 1969-01-21 | Clevite Corp | Piezoelectric resonator |
| US3614483A (en) * | 1970-06-24 | 1971-10-19 | Clevite Corp | Width flexural resonator and coupled mode filter |
| JPS5832524B2 (ja) * | 1976-11-04 | 1983-07-13 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型水晶振動子の電極構造 |
| GB1580600A (en) * | 1978-05-09 | 1980-12-03 | Philips Electronic Associated | Kpiezoelectric devices |
| JPS54157494A (en) * | 1978-06-01 | 1979-12-12 | Seikosha Kk | Piezooelectric vibrator |
| US4376919A (en) * | 1979-10-16 | 1983-03-15 | Seikosha Co., Ltd. | Circuitry for switching effective electrode area on a crystal in a crystal oscillator to vary the oscillation frequency |
| US4329666A (en) * | 1980-08-11 | 1982-05-11 | Motorola, Inc. | Two-pole monolithic crystal filter |
| JP2545568B2 (ja) * | 1988-01-26 | 1996-10-23 | 日本電波工業株式会社 | 圧電発振器 |
| JPH02180410A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-07-13 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 温度補償多周波発振器 |
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