JPH0755210A - 加湿用水供給装置 - Google Patents
加湿用水供給装置Info
- Publication number
- JPH0755210A JPH0755210A JP5200741A JP20074193A JPH0755210A JP H0755210 A JPH0755210 A JP H0755210A JP 5200741 A JP5200741 A JP 5200741A JP 20074193 A JP20074193 A JP 20074193A JP H0755210 A JPH0755210 A JP H0755210A
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- JP
- Japan
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- tank
- water
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- outflow
- outflow tank
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 機械的な給水装置を用いることなく、安価な
装置にて一定量の純水を加湿機の蒸発部へ供給すること
ができるようにする。 【構成】 下側に設けた加湿機９へ少量ずつの水を供給
する流出タンク１ｂの上側に、流入口３を有する流入タ
ンク１ａを配置し、流入タンク１ａと流出タンク１ｂと
の仕切り板２に、流入タンク１ａ内の水を滴状に重力滴
下させるための滴下部材を複数個設け、流出タンク１ｂ
に、この流出タンク１ｂ内の水位を一定に保つための溢
水せき５を設けた構成となっている。
装置にて一定量の純水を加湿機の蒸発部へ供給すること
ができるようにする。 【構成】 下側に設けた加湿機９へ少量ずつの水を供給
する流出タンク１ｂの上側に、流入口３を有する流入タ
ンク１ａを配置し、流入タンク１ａと流出タンク１ｂと
の仕切り板２に、流入タンク１ａ内の水を滴状に重力滴
下させるための滴下部材を複数個設け、流出タンク１ｂ
に、この流出タンク１ｂ内の水位を一定に保つための溢
水せき５を設けた構成となっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バイオファーメンタ、
クリーンルーム（ボックス）、温湿度制御恒温恒湿ボッ
クス、超精密切削加工空気制御装置、その他半導体ウエ
ハー製造装置等に用いられ、かつ純水または超純水を蒸
発させて加湿する加湿装置に、その加湿用水としての純
水を供給するための加湿用水供給装置に関するものであ
る。
クリーンルーム（ボックス）、温湿度制御恒温恒湿ボッ
クス、超精密切削加工空気制御装置、その他半導体ウエ
ハー製造装置等に用いられ、かつ純水または超純水を蒸
発させて加湿する加湿装置に、その加湿用水としての純
水を供給するための加湿用水供給装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】タンク等に一定量の水を送る場合、ポン
プやオン−オフストップバルブが一般に用いられてい
る。
プやオン−オフストップバルブが一般に用いられてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ポンプやオン−オフス
トップバルブにより送水する場合、水の流量制御は容易
であるが、超純水を含む純水を供給する場合ポンプやオ
ン−オフストッパバルブは適さない。これは純水の場合
通常の水と異なって、ポンプ等の摺動面に対して潤滑作
用をする不純物を含有していないので、これを一般のポ
ンプ等機械摩擦を行なう装置で給水すると、このポンプ
等の耐久性が低く、またこれらの摩耗により純水が汚染
さされてしまうという問題がある。あえてポンプ等で給
水しようとすると、大きな装置となり、コストが高くな
ったり、そのほかに、チューブポンプでは純水に対して
非汚染性であるが、耐久性に乏しく、その上脈動が発生
する等の不具合がある。
トップバルブにより送水する場合、水の流量制御は容易
であるが、超純水を含む純水を供給する場合ポンプやオ
ン−オフストッパバルブは適さない。これは純水の場合
通常の水と異なって、ポンプ等の摺動面に対して潤滑作
用をする不純物を含有していないので、これを一般のポ
ンプ等機械摩擦を行なう装置で給水すると、このポンプ
等の耐久性が低く、またこれらの摩耗により純水が汚染
さされてしまうという問題がある。あえてポンプ等で給
水しようとすると、大きな装置となり、コストが高くな
ったり、そのほかに、チューブポンプでは純水に対して
非汚染性であるが、耐久性に乏しく、その上脈動が発生
する等の不具合がある。
【０００４】また金属等の加熱用電線が直接水と接触す
る場合、純水を介して外部に漏電する場合がある等の問
題がある。
る場合、純水を介して外部に漏電する場合がある等の問
題がある。
【０００５】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、機械的な給水装置を用いることなく、安価な装置
にて、一定量の純水を蒸発部へ供給することができ、ま
た漏電事故が発生することのない加湿用水供給装置を提
供することを目的とするものである。
ので、機械的な給水装置を用いることなく、安価な装置
にて、一定量の純水を蒸発部へ供給することができ、ま
た漏電事故が発生することのない加湿用水供給装置を提
供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る加湿用水供給装置は、下側に設けた加
湿機９へ少量ずつの水を供給する流出タンク１ｂの上側
に、流入口３を有する流入タンク１ａを配置し、流入タ
ンク１ａと流出タンク１ｂとの仕切り板２に、流入タン
ク１ａ内の水を滴状に重力滴下させるための滴下部材を
複数個設け、流出タンク１ｂに、この流出タンク１ｂ内
の水位を一定に保つための溢水せき５を設けた構成とな
っている。また上記流入タンク１ａ及び流出タンク１ｂ
を絶縁性材料にて構成すると共に、流出タンク１ｂの内
面を疎水化処理を施した構成となっている。
に、本発明に係る加湿用水供給装置は、下側に設けた加
湿機９へ少量ずつの水を供給する流出タンク１ｂの上側
に、流入口３を有する流入タンク１ａを配置し、流入タ
ンク１ａと流出タンク１ｂとの仕切り板２に、流入タン
ク１ａ内の水を滴状に重力滴下させるための滴下部材を
複数個設け、流出タンク１ｂに、この流出タンク１ｂ内
の水位を一定に保つための溢水せき５を設けた構成とな
っている。また上記流入タンク１ａ及び流出タンク１ｂ
を絶縁性材料にて構成すると共に、流出タンク１ｂの内
面を疎水化処理を施した構成となっている。
【０００７】
【作 用】流入タンク１ａ内に流入された水は滴下部
材を介して流出タンクへ滴状となって重力滴下される。
そして流出タンク１ｂ内に滴下した水は溢水せき５で定
量保持される。流出タンク１ｂ内からこれの下側に配置
される加湿機へ少量ずつ水が供給される。このとき、流
出タンク１ｂの内面が疎水化されているのでここに水が
付着されない。
材を介して流出タンクへ滴状となって重力滴下される。
そして流出タンク１ｂ内に滴下した水は溢水せき５で定
量保持される。流出タンク１ｂ内からこれの下側に配置
される加湿機へ少量ずつ水が供給される。このとき、流
出タンク１ｂの内面が疎水化されているのでここに水が
付着されない。
【０００８】
【実 施 例】本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図中１は給水タンクであり、この給水タンク１は電
気的に絶縁体にて構成されており、仕切り板２にて上下
２段に分離されていて、これの上側が流入タンク１ａ、
下側が流出タンク１ｂとなっている。そして流入タンク
１ａには流入口３が設けてあり、また水位調整用のフロ
ートスイッチ４が内装してある。流出タンク１ｂには、
この流出タンク１ｂ内の水位を一定に保つための溢水せ
き５が設けてあり、この溢水せき５の外側に溢れた水を
排水するための排水口６が設けてある。
る。図中１は給水タンクであり、この給水タンク１は電
気的に絶縁体にて構成されており、仕切り板２にて上下
２段に分離されていて、これの上側が流入タンク１ａ、
下側が流出タンク１ｂとなっている。そして流入タンク
１ａには流入口３が設けてあり、また水位調整用のフロ
ートスイッチ４が内装してある。流出タンク１ｂには、
この流出タンク１ｂ内の水位を一定に保つための溢水せ
き５が設けてあり、この溢水せき５の外側に溢れた水を
排水するための排水口６が設けてある。
【０００９】上記仕切り板２には上下の両タンク１ａ，
１ｂを連通する連通孔７が複数個設けてある。この各連
通孔７には下端を拡開状に開口した滴下ノズル８が嵌着
してあり、この滴下ノズル８は絶縁体にて構成されてい
ると共に、これの内面は親水性となっている。そしてこ
れの孔径は２ｍｍ以下で、ここを通る水が滴状になって
落下するようになっている。また上記上下のタンク１
ａ，１ｂの内面は疎水化処理が施してある。
１ｂを連通する連通孔７が複数個設けてある。この各連
通孔７には下端を拡開状に開口した滴下ノズル８が嵌着
してあり、この滴下ノズル８は絶縁体にて構成されてい
ると共に、これの内面は親水性となっている。そしてこ
れの孔径は２ｍｍ以下で、ここを通る水が滴状になって
落下するようになっている。また上記上下のタンク１
ａ，１ｂの内面は疎水化処理が施してある。
【００１０】流出タンク１ｂの下側は加湿機９となって
いる。この加湿機９は流出タンク１ｂの底板１０と下部
タンク１１の上板１２との間に多数本の水の浸透性を有
する中空糸体１３が張設してあり、各中空糸体１３はそ
れぞれ流入タンク１ｂと下部タンク１１に連通してい
る。そしてこの各中空糸体１３にはこれの全長にわたっ
て金属細線１４が巻いてあり、この各金属細線１４は、
電極１５ａ，１５ｂを介して電源１６に接続されてい
る。流出タンク１ｂと下部タンク１１の間は通風路１７
となっていて、各中空糸体１３はここを通る風にさらさ
れるようになっている。
いる。この加湿機９は流出タンク１ｂの底板１０と下部
タンク１１の上板１２との間に多数本の水の浸透性を有
する中空糸体１３が張設してあり、各中空糸体１３はそ
れぞれ流入タンク１ｂと下部タンク１１に連通してい
る。そしてこの各中空糸体１３にはこれの全長にわたっ
て金属細線１４が巻いてあり、この各金属細線１４は、
電極１５ａ，１５ｂを介して電源１６に接続されてい
る。流出タンク１ｂと下部タンク１１の間は通風路１７
となっていて、各中空糸体１３はここを通る風にさらさ
れるようになっている。
【００１１】上記構成において、流入タンク１ａには自
然流下にて流入口３より純水が流入される。この流入口
３からの流入量はフロートスイッチ４にて制御され、流
入タンク１ａ内の水位は常に一定の範囲内になってい
る。流入タンク１ａ内の純水は仕切り板２に設けた滴下
ノズル８より流出タンク１ｂへ滴下される。そしてこの
流出タンク１ｂでの水位は溢水せき５にて保たれ、ここ
より溢れ出た純水は排出口６より排出される。
然流下にて流入口３より純水が流入される。この流入口
３からの流入量はフロートスイッチ４にて制御され、流
入タンク１ａ内の水位は常に一定の範囲内になってい
る。流入タンク１ａ内の純水は仕切り板２に設けた滴下
ノズル８より流出タンク１ｂへ滴下される。そしてこの
流出タンク１ｂでの水位は溢水せき５にて保たれ、ここ
より溢れ出た純水は排出口６より排出される。
【００１２】流出タンク１ｂ内の純水は加湿機９の中空
糸体１３を少量ずつ流下する間にこれの表面に浸み出す
と共に、通電された金属細線１４の加熱により蒸発し、
これにより通風路１７を通る風はこの純水の蒸気にて加
湿される。
糸体１３を少量ずつ流下する間にこれの表面に浸み出す
と共に、通電された金属細線１４の加熱により蒸発し、
これにより通風路１７を通る風はこの純水の蒸気にて加
湿される。
【００１３】上記作用において、流入タンク１ａから流
出タンク１ｂへの純水の供給は滴下ノズル８にて滴下に
よりなされることにより、流出タンク１ｂ内の純水は極
めて静止された状態が保たれる。また流出タンク１ｂへ
の給水が滴下によることにより、加湿機５の加熱部から
の漏電により、流出タンク１ｂの純水の電位が高くなっ
ていたとしても、この滴下部より流入タンク１ａ側へ漏
電することがなくなり、この流入タンク１ａの流入口３
より流入する純水を介して外部に漏電することがなくな
る。またこのとき、流入、流出の両タンク１ａ，１ｂの
内面が疎水性となっているので、両タンク１ａ，１ｂの
内面に水が付着せず、このそれぞれの内面を伝わっての
漏電も防止される。
出タンク１ｂへの純水の供給は滴下ノズル８にて滴下に
よりなされることにより、流出タンク１ｂ内の純水は極
めて静止された状態が保たれる。また流出タンク１ｂへ
の給水が滴下によることにより、加湿機５の加熱部から
の漏電により、流出タンク１ｂの純水の電位が高くなっ
ていたとしても、この滴下部より流入タンク１ａ側へ漏
電することがなくなり、この流入タンク１ａの流入口３
より流入する純水を介して外部に漏電することがなくな
る。またこのとき、流入、流出の両タンク１ａ，１ｂの
内面が疎水性となっているので、両タンク１ａ，１ｂの
内面に水が付着せず、このそれぞれの内面を伝わっての
漏電も防止される。
【００１４】上記構成における滴下ノズル８はプラスチ
ック、例えば６−ナイロン、６６−ナイロン、ポリプロ
ピレン表面親水化処理品等の剛性材料にて構成してもよ
いが、図２に示すように、繊維中空糸１８あるいは中実
紐状の繊維状物であってもよい。なおこれらはいずれも
親水性化処理を施してある。
ック、例えば６−ナイロン、６６−ナイロン、ポリプロ
ピレン表面親水化処理品等の剛性材料にて構成してもよ
いが、図２に示すように、繊維中空糸１８あるいは中実
紐状の繊維状物であってもよい。なおこれらはいずれも
親水性化処理を施してある。
【００１５】図３は滴下部材が内径２ｍｍの滴下ノズル
８と外径１．９ｍｍ、内径１．０ｍｍの繊維中空糸１８
の場合の流入タンク１ａの水位に対する滴下による送水
量の関係を示すもので、それぞれの送水量は流入タンク
１ａの水位に応じて変化させることがわかった。また図
４は加湿機９の加熱用の電力量と蒸発水量の関係を示す
もので、これにより、同一電力量であればこの加湿機９
への送水量が変わることにより、蒸発水量が大幅に変化
することがわかった。
８と外径１．９ｍｍ、内径１．０ｍｍの繊維中空糸１８
の場合の流入タンク１ａの水位に対する滴下による送水
量の関係を示すもので、それぞれの送水量は流入タンク
１ａの水位に応じて変化させることがわかった。また図
４は加湿機９の加熱用の電力量と蒸発水量の関係を示す
もので、これにより、同一電力量であればこの加湿機９
への送水量が変わることにより、蒸発水量が大幅に変化
することがわかった。
【００１６】なお上記実施例では流出タンク１ｂの下側
に中空糸体を用いた加湿機９を設けた例を示したが、流
出タンク１ｂの底板に１個の流出口を設け、この流出口
よりボイラ型の加湿機に一定量の水を供給するようにし
てもよい。
に中空糸体を用いた加湿機９を設けた例を示したが、流
出タンク１ｂの底板に１個の流出口を設け、この流出口
よりボイラ型の加湿機に一定量の水を供給するようにし
てもよい。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、ポンプ等の機械的な給
水装置を用いることなく、安価な装置にて一定量の純水
を加湿機９の蒸発部へ供給することができる。
水装置を用いることなく、安価な装置にて一定量の純水
を加湿機９の蒸発部へ供給することができる。
【００１８】また本発明によれば、特に、下側に設けた
加湿機９へ少量ずつの水を供給する流出タンク１ｂの上
側に流入口３を有する流入タンク１ａを配置し、流入タ
ンク１ａと流出タンク１ｂとの仕切り板２に、流入タン
ク１ａ内の水を滴状に重力落下させるための滴下部材を
複数個設け、流出タンク１ｂに、この流出タンク１ｂ内
の水位を一定に保つための溢水せき５を設けた構成とな
っていることにより、流入タンク１ａから流出タンク１
ｂへ滴状に水が供給されると共に、供給されすぎた水は
溢水せき５より溢れ出ることにより、流出タンク１ｂ内
の水は、静止された状態で一定量保持されることにな
り、従ってこの流水タンク１ｂより下側の加湿機９への
給水量を一定に保つことができ、加湿機９では高精度の
湿度を保つことができる。
加湿機９へ少量ずつの水を供給する流出タンク１ｂの上
側に流入口３を有する流入タンク１ａを配置し、流入タ
ンク１ａと流出タンク１ｂとの仕切り板２に、流入タン
ク１ａ内の水を滴状に重力落下させるための滴下部材を
複数個設け、流出タンク１ｂに、この流出タンク１ｂ内
の水位を一定に保つための溢水せき５を設けた構成とな
っていることにより、流入タンク１ａから流出タンク１
ｂへ滴状に水が供給されると共に、供給されすぎた水は
溢水せき５より溢れ出ることにより、流出タンク１ｂ内
の水は、静止された状態で一定量保持されることにな
り、従ってこの流水タンク１ｂより下側の加湿機９への
給水量を一定に保つことができ、加湿機９では高精度の
湿度を保つことができる。
【００１９】また少なくとも流出タンク１ｂを絶縁性材
料にて構成すると共に、流出タンク１ｂの内面を疎水化
処理したことにより、流出タンク１ｂへの給水が滴状に
行なわれることと相俟って、流出タンク１ｂから流入タ
ンク１ａ側への水を伝わっての漏電をなくすことができ
る。
料にて構成すると共に、流出タンク１ｂの内面を疎水化
処理したことにより、流出タンク１ｂへの給水が滴状に
行なわれることと相俟って、流出タンク１ｂから流入タ
ンク１ａ側への水を伝わっての漏電をなくすことができ
る。
【図１】本発明の実施例を示す構成説明図である。
【図２】滴下部材の他例を示す断面図である。
【図３】異なる滴下部材による流入タンクの水位に対す
る滴下による送水量の関係を示す線図である。
る滴下による送水量の関係を示す線図である。
【図４】加湿機の加熱用の電力量と蒸発水量の関係を示
す線図である。
す線図である。
１…給水タンク、１ａ…流入タンク、１ｂ…流出タン
ク、２…仕切り板、３…流入口、４…フロートメータ、
５…溢水せき、６…排出口、７…連通孔、８…滴下ノズ
ル、９…加湿機、１０…底板、１１…下部タンク、１２
…上板、１３…中空糸体、１４…金属細線、１５ａ，１
５ｂ…電極、１６…電源。
ク、２…仕切り板、３…流入口、４…フロートメータ、
５…溢水せき、６…排出口、７…連通孔、８…滴下ノズ
ル、９…加湿機、１０…底板、１１…下部タンク、１２
…上板、１３…中空糸体、１４…金属細線、１５ａ，１
５ｂ…電極、１６…電源。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今泉 久朗 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 (72)発明者 杓子 徹夫 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 (72)発明者 松本 利彦 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 (72)発明者 渡辺 弦一郎 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 下側に設けた加湿機９へ少量ずつの水を
供給する流出タンク１ｂの上側に、流入口３を有する流
入タンク１ａを配置し、流入タンク１ａと流出タンク１
ｂとの仕切り板２に、流入タンク１ａ内の水を滴状に重
力滴下させるための滴下部材を複数個設け、流出タンク
１ｂに、この流出タンク１ｂ内の水位を一定に保つため
の溢水せき５を設けたことを特徴とする加湿用水の供給
装置。 - 【請求項２】 流入タンク１ａ及び流出タンク１ｂを絶
縁性材料にて構成すると共に、流出タンク１ｂの内面を
疎水化処理を施したことを特徴とする請求項１記載の加
湿用水の供給装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5200741A JPH0755210A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 加湿用水供給装置 |
| EP94922364A EP0713060A4 (en) | 1993-08-12 | 1994-08-11 | DEVICE FOR WATER SUPPLY FOR HUMIDIFICATION AND AIR CONDITIONING THEREFORE |
| US08/537,865 US5609296A (en) | 1993-08-12 | 1994-08-11 | Water feed device for humidification and air conditioning apparatus incorporating the same |
| PCT/JP1994/001336 WO1995005563A1 (en) | 1993-08-12 | 1994-08-11 | Water supply device for humidification and air conditioner with the same |
| KR1019960700608A KR0172056B1 (ko) | 1993-08-12 | 1994-08-11 | 가습용수 공급장치 및 그것을 구비한 공조장치 |
| US08/767,805 US5701950A (en) | 1993-08-12 | 1996-12-17 | Water feed device for humidification and air conditioning apparatus incorporating the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5200741A JPH0755210A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 加湿用水供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0755210A true JPH0755210A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16429403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5200741A Pending JPH0755210A (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | 加湿用水供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755210A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6554261B2 (en) | 2000-01-19 | 2003-04-29 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Humidifier |
| JP2016512706A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-05-09 | レスメド・リミテッドＲｅｓＭｅｄ Ｌｉｍｉｔｅｄ | 加湿器リザーバー |
| JP2018196601A (ja) * | 2017-05-24 | 2018-12-13 | コメット電機株式会社 | 噴霧ノズル及びスチーム噴霧装置 |
| JPWO2018220769A1 (ja) * | 2017-05-31 | 2019-08-08 | 三菱電機株式会社 | 加湿素子、加湿装置、空気調和機および換気装置 |
| US11013881B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-05-25 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| JP2022130842A (ja) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 空気浄化装置 |
| US12194244B2 (en) | 2018-12-18 | 2025-01-14 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
-
1993
- 1993-08-12 JP JP5200741A patent/JPH0755210A/ja active Pending
Cited By (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6554261B2 (en) | 2000-01-19 | 2003-04-29 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Humidifier |
| US11504496B2 (en) | 2013-03-15 | 2022-11-22 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| US12201779B2 (en) | 2013-03-15 | 2025-01-21 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| US10342950B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-07-09 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| US12611517B2 (en) | 2013-03-15 | 2026-04-28 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| US10688271B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-06-23 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| US11013881B2 (en) | 2013-03-15 | 2021-05-25 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| US11298499B2 (en) | 2013-03-15 | 2022-04-12 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| US11311696B2 (en) | 2013-03-15 | 2022-04-26 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
| US11357947B2 (en) | 2013-03-15 | 2022-06-14 | ResMed Pty Ltd | Humidifier reservoir |
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