JPH0756785B2

JPH0756785B2 - Ｘ線像増倍管

Info

Publication number: JPH0756785B2
Application number: JP33049987A
Authority: JP
Inventors: 山田　　均; 晃年藤田; 哲佐野; 宏久保
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-12-26
Filing date: 1987-12-26
Publication date: 1995-06-14
Anticipated expiration: 2010-06-14
Also published as: JPH01173557A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明はＸ線像増倍管に係り、特にその陽極の構造に
関する。

（従来の技術）一般にＸ線像増倍管の分野では、画質を評価する上で最
も重要な要素の一つである歪特性の向上のために、出力
面の形状をコーンケーブ状にしたり、電極の形状を色々
変更して、電子レンズ系の改良を行なっている。

その一例として、特開昭60−41744号公報記載のＸ線像
増倍管がある。このＸ線像増倍管は第３図に示すように
構成され、１は真空外囲器、２は光電陰極、３は陽極、
４は出力面、５は複数のグリッド電極である。

そして、出力面４は基板６に出力蛍光膜７を形成してな
っているが、この基板６はファイバープレートをコーン
ケーブ状の凹形状にしたものであり、各電極の形状及び
電位により構成された電子レンズ系で生じる像面の歪
を、コーンケーブ形状により補正するようになってい
る。

このような従来のＸ線像増倍管の電子レンズ系につい
て、第４図を参照して説明する。尚、第３図と同一箇所
は同一符合を付すことにする。第４図は複数のグリッド
電極６、陽極３、出力面４の順に模式的に表わすが、こ
こに生ずる電子レンズ15は陽極３内に等電位線16が入り
込むようになり、このため出力面４も一点鎖線で示すよ
うに凹面に形成する必要がある。

（発明が解決しようとする問題点）ところが、前記のような従来のＸ線像増倍管では、出力
像径よりも大きいファイバープレートを高精度でコーン
ケーブ状に加工する必要があり、非常に高価なものにな
る。又、コーンケーブ状にするため、厚いファイバープ
レートが必要となるため、チキンワイヤ（ファイバーと
ファイバーの間の欠点）の発生率が高くなる。更に、出
力蛍光膜７をコーンケーブ状に均一に形成することは非
常に難しい。

この発明は、上記問題点の原因であるコーンケーブ状の
ファイバープレートを使用せずに、歪特性を向上させて
上記問題点を解決したＸ線像増倍管を提供することを目
的とする。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段）この発明は、真空外囲器内の入力側凹面に光電陰極、出
力側に陽極及び平坦状出力面がそれぞれ設けられ、更に
真空外囲器の側壁に沿って複数のグリッド電極が配設さ
れたＸ線像増倍管において、上記陽極は前段陽極と後段
陽極に分割され、更にこの前段陽極と後段陽極の間に両
陽極より低電位が印加される中間部電極が設けられてな
ることを特徴とするＸ線像増倍管である。

（作用）この発明によれば、中間部電極によって発生する等電位
線の影響が大きくなるため、この中間部電極は光学レン
ズにおける歪補正レンズのような役割を果たし、平坦は
出力面でも歪特性を向上させることが出来る。

（実施例）以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。

この発明によるＸ線像増倍管は第１図に示すように構成
され、従来例（第３図）と同一箇所は同一符号を付す
と、真空外囲器１内の出力側には光電陽極２が設けら
れ、出力側には陽極及び平坦面を有する出力面９が設け
られている。陽極については後述するが、出力面９は従
来例とは異なり、平板状の基板10に出力蛍光膜11が形成
されている。更に、真空外囲器１の外壁に沿って、光電
陽極２と陽極との間に複数のグリッド電極５が配設され
ている。

この場合、陽極は従来と異なって前段陽極3aと後段陽極
3bに分割され、更にこの前段陽極3aと後段陽極3bの間に
は、中間部電極８が設けられている。そして、中間部電
極８の電位は両端の陽極つまり前段陽極3a、後段陽極3b
に対し低電位が印加されている。

具体的には、前段陽極3aと後段陽極3bに30KVを印加し、
中間部電極８に28KV、26KV、24KVと2KVづつ変化させた
とき、像面の中心部及び中間部の歪を樽形歪にすること
により、Ｘ線焦点12、光電陽極２と被写体13との幾何学
歪と打ち消し合い、周辺の糸巻歪も、従来の電子レンズ
と比較して減少する。尚、第１図中の符合14は、クロス
オーバー点である。

以下、第１表及び第２図により実施例と従来例の比較デ
ータを示す。

尚、第１表中、歪特性図の欄は第２図の符号イ〜ニを示
している。

第２図は、この発明のＸ線像増倍管における実施例の歪
特性を示したもので、横軸に半径を100とした時の中心
からの距離、縦軸に積分比を示す。この第２図から中間
部分（30〜80％）の歪が糸巻歪から樽形歪に変わり、周
辺部（90〜100％）での糸巻歪を抑制することが出来る
ことを示している。

即ち、30KVの中間部電圧を印加した特性は、従来例の中
間部のない電極と同等の特性を示している。つまり、積
分歪が正の場合は糸巻歪、負の場合は樽形歪の画像にな
る。

このことを第５図を参照して説明する。尚、第１図と同
一箇所は同一符合を付すことにする。第５図は複数のグ
リッド電極５、前段陽極3a、中間部電極８、後段陽極3
b、出力面９の順に模式的に表わされているが、電子レ
ンズ17は周辺になればなるほど中間部電極８によって発
生する等電位線の影響が大きくなるため、中間部電極９
は光学レンズにおける歪補正レンズのような役割を果た
すことになる。

このように中間部電極８の電圧を調整することにより、
従来、糸巻歪である電子レンズ構造を全体的に樽形歪に
することができ、通常、第６図のようにＸ線像増倍管18
の入力蛍光面が平坦でなく凸形状であるために生じる幾
何学的な糸巻歪が生じるが、それがこの樽形歪によって
相殺され歪の少ない画像が得られることになる。第６図
中の符合19はＸ線管である。

上述のように、この発明は陽極を前段陽極3aと後段陽極
3bに分割し、更に同電位に両陽極の間に、両陽極より低
電位の中間部電極８を設定することにより歪の調整が可
能となり、良好な出力画像が得られる。

尚、光電陰極２に負の電位、陽極にゼロ電位を印加した
ときでも同様な効果が得られる。

［発明の効果］この発明によれば、陽極を分割しその間に低電圧の中間
部電極を設けているので、従来の像面に大きな影響を与
えないで、糸巻歪を減少させることが可能となる。この
歪特性は、光電陽極の面積が大きくなればなる程、悪く
なるため、像面の出力輝度の一様性に大きな影響を与え
る。そして、この発明は、大画面のＸ線像増倍管に特に
効果を発揮することが期待出来る。

【図面の簡単な説明】第１図はこの発明の一実施例に係るＸ線像増倍管を示す
断面図、第２図はこの発明のＸ線像増倍管における歪特
性を示す特性曲線図、第３図は従来のＸ線像増倍管を示
す断面図、第４図は従来のＸ線像増倍管の電子レンズ系
を模式的に示す図、第５図はこの発明のＸ線像増倍管の
電子レンズ系を模式的に示す図、第６図はこの発明のＸ
線像増倍管の作用を示す概略図である。１…真空外囲器、２…光電陰極、3a…前段陽極、3b…後
段陽極、５…グリッド電極、８…中間部電極、９…出力
面、10…基板、11…出力蛍光膜、12…Ｘ線焦点、13…被
写体、14…クロスオーバー点。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者久保宏神奈川県川崎市幸区堀川町72番地株式会社東芝堀川工場内 (56)参考文献実公昭54−7737（ＪＰ，Ｙ１)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空外囲器内の入力側凹面に光電陰極、出
力側に陽極及び平坦状出力面がそれぞれ設けられ、更に
真空外囲器の側壁に沿って複数のグリッド電極が配設さ
れたＸ線像増倍管において、上記陽極は前段陽極と後段陽極に分割され、更にこの前
段陽極と後段陽極の間に両陽極より低電位が印加される
中間部電極が設けられてなることを特徴とするＸ線像増
倍管。