JPH0757913B2 - 脱脂洗浄方法および装置 - Google Patents
脱脂洗浄方法および装置Info
- Publication number
- JPH0757913B2 JPH0757913B2 JP1280831A JP28083189A JPH0757913B2 JP H0757913 B2 JPH0757913 B2 JP H0757913B2 JP 1280831 A JP1280831 A JP 1280831A JP 28083189 A JP28083189 A JP 28083189A JP H0757913 B2 JPH0757913 B2 JP H0757913B2
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- JP
- Japan
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- oil
- cleaning
- degreasing
- treated
- container
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G5/00—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、油の付着した被処理物の脱脂洗浄方法および
装置に関し、例えば熱処理工程の前洗浄と焼き入れ後の
中間洗浄等に好適に利用できるものである。
装置に関し、例えば熱処理工程の前洗浄と焼き入れ後の
中間洗浄等に好適に利用できるものである。
従来から行われている油が付着した金属材料等の脱脂洗
浄方法としては、以下のようなものが知られている。
浄方法としては、以下のようなものが知られている。
アルカリ洗浄： カセイソーダその他のアルカリ剤の温水溶液またはアル
コール溶液に浸漬したりシャワー等を用いて洗浄する。
重度の油汚れに適用。
コール溶液に浸漬したりシャワー等を用いて洗浄する。
重度の油汚れに適用。
界面活性剤による洗浄： 界面活性剤の温溶液に浸漬したりシャワー等を用いて洗
浄する。軽度の付着汚れや油膜に対して適用。
浄する。軽度の付着汚れや油膜に対して適用。
塩素系溶剤による洗浄： 例えば、１−１−１トリエタン、トリクロールエチレ
ン、パークロールエチレン等の塩素系溶剤による浸漬ま
たは蒸気洗浄。
ン、パークロールエチレン等の塩素系溶剤による浸漬ま
たは蒸気洗浄。
フッ素系溶剤による洗浄： 例えば、フロン113による浸漬または蒸気 洗浄。
しかしながら、上記従来のアルカリ剤や界面活性剤を用
いた脱脂洗浄方法，は、被処理物の面にシミができ
るなど洗浄性能が悪いうえに、廃液処理に費用がかかる
等の問題点があり、多くは使用されていない。
いた脱脂洗浄方法，は、被処理物の面にシミができ
るなど洗浄性能が悪いうえに、廃液処理に費用がかかる
等の問題点があり、多くは使用されていない。
一方、塩素系溶剤やフッ素系溶剤を用いた脱脂洗浄方法
，はいずれも洗浄性能は高い。しかし塩素系溶剤は
毒性が強く、しかも揮発性のため洗浄装置や処理品から
多量に気化して飛散し発ガン性物質として地下水を汚染
するという問題点があり、近年その使用基準が厳しくな
ってきている。また、フッ素系溶剤も大気中に放出され
るとオゾン層破壊物質となることから、使用が極端に制
限されてきている。
，はいずれも洗浄性能は高い。しかし塩素系溶剤は
毒性が強く、しかも揮発性のため洗浄装置や処理品から
多量に気化して飛散し発ガン性物質として地下水を汚染
するという問題点があり、近年その使用基準が厳しくな
ってきている。また、フッ素系溶剤も大気中に放出され
るとオゾン層破壊物質となることから、使用が極端に制
限されてきている。
そこで本発明は、上記従来の問題点に着目してなされた
ものであり、その目的とするところは、公害や環境汚染
をもたらすアルカリ剤や塩素系あるいはフッ素系溶剤を
使用しないで高度の洗浄ができる金属脱脂洗浄方法およ
び装置を提供することにある。
ものであり、その目的とするところは、公害や環境汚染
をもたらすアルカリ剤や塩素系あるいはフッ素系溶剤を
使用しないで高度の洗浄ができる金属脱脂洗浄方法およ
び装置を提供することにある。
上記目的を達成する本発明の脱脂洗浄方法は、油の付着
した被処理物を容器内で加熱する工程と、該容器内に前
記油と共沸混合物を形成する物質を含む洗浄液を噴霧し
て前記油の沸点を下げる工程と、前記容器内を真空減圧
して付着油分を気化蒸発せしめ被処理物から除去する工
程とを包含する。
した被処理物を容器内で加熱する工程と、該容器内に前
記油と共沸混合物を形成する物質を含む洗浄液を噴霧し
て前記油の沸点を下げる工程と、前記容器内を真空減圧
して付着油分を気化蒸発せしめ被処理物から除去する工
程とを包含する。
前記洗浄液は、典型的には水または水蒸気を主とし、油
と共沸混合物を作る物質を含有している。
と共沸混合物を作る物質を含有している。
また、この方法を実施するための装置は、油の付着した
被処理物を加熱する加熱手段を有する真空容器と、前記
被処理物に付着した油との共沸混合物を形成する物質を
含んだ洗浄液を前記真空容器内に噴霧するための共沸混
合物形成用噴出手段と、前記真空容器内を排気する排気
手段とを備えている。
被処理物を加熱する加熱手段を有する真空容器と、前記
被処理物に付着した油との共沸混合物を形成する物質を
含んだ洗浄液を前記真空容器内に噴霧するための共沸混
合物形成用噴出手段と、前記真空容器内を排気する排気
手段とを備えている。
被処理物の付着油は、これと共沸混合物を形成する洗浄
液の適用により、その沸点が下げてられる。したがっ
て、前記被処理物の加熱する温度を低く抑えることがで
き、減圧下での気化が促進される。また、タール分も噴
射される高温の水蒸気で洗浄される。
液の適用により、その沸点が下げてられる。したがっ
て、前記被処理物の加熱する温度を低く抑えることがで
き、減圧下での気化が促進される。また、タール分も噴
射される高温の水蒸気で洗浄される。
以下、更に詳細に説明する。
本発明の洗浄液としては、水に例えばメタノールとかベ
ンゼン等の油と共沸混合物をつくる溶剤を混合したもの
を使用することができる。これらの溶剤を混合すること
により、付着油分の沸点降下現象が生じて蒸発が促進さ
れ、洗浄性が増す。
ンゼン等の油と共沸混合物をつくる溶剤を混合したもの
を使用することができる。これらの溶剤を混合すること
により、付着油分の沸点降下現象が生じて蒸発が促進さ
れ、洗浄性が増す。
更に、このように水に油と共沸混合物をつくる溶剤等を
混合したものに、数％の陰イオン性界面活性剤、非イオ
ン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤、両性界面活性
剤のいずれかを単独または併用で混合することも妨げな
い。これにより付着油分の金属面からの分離が促進さ
れ、洗浄性が増す。
混合したものに、数％の陰イオン性界面活性剤、非イオ
ン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤、両性界面活性
剤のいずれかを単独または併用で混合することも妨げな
い。これにより付着油分の金属面からの分離が促進さ
れ、洗浄性が増す。
上記洗浄液の組成は、被処理物の付着油分の性状や付着
量、要求される清浄度などを勘案して選定される。
量、要求される清浄度などを勘案して選定される。
上記の洗浄液は、ボイラー中で加熱して水蒸気の状態で
真空容器内に噴霧してもよく、あるいは加熱した真空容
器内に水溶液の状態で噴出し水蒸気としてもよい。いず
れにしても、洗浄液を噴霧し、減圧することで付着油分
を水蒸気と共に除去する。
真空容器内に噴霧してもよく、あるいは加熱した真空容
器内に水溶液の状態で噴出し水蒸気としてもよい。いず
れにしても、洗浄液を噴霧し、減圧することで付着油分
を水蒸気と共に除去する。
その際の減圧の程度は、被処理物の付着油量，油種ある
いは排気系の容量等で異なるが、およそ数Torr〜500Tor
rの範囲である。数Torr以上の高真空にすると、必要な
排気系の能力や容器の耐真空性能を得るための排気系の
コストが脱脂の効果に対して割高となり実用的でない。
一方、500Torr以下の低真空では脱脂効率が大幅に低下
する。
いは排気系の容量等で異なるが、およそ数Torr〜500Tor
rの範囲である。数Torr以上の高真空にすると、必要な
排気系の能力や容器の耐真空性能を得るための排気系の
コストが脱脂の効果に対して割高となり実用的でない。
一方、500Torr以下の低真空では脱脂効率が大幅に低下
する。
被処理物の加熱温度は、付着油の性状や被処理物の性
状，処理工程上の制約等を考慮して定められる。例えば
熱処理工程における前洗浄や焼き入れ後の中間洗浄を行
う場合については、100℃〜250℃の範囲が好ましい。10
0℃を下回ると付着油（焼入れ油）の気化が不十分とな
る。一方、上限は焼戻し温度内で処理するため250℃以
下とする。
状，処理工程上の制約等を考慮して定められる。例えば
熱処理工程における前洗浄や焼き入れ後の中間洗浄を行
う場合については、100℃〜250℃の範囲が好ましい。10
0℃を下回ると付着油（焼入れ油）の気化が不十分とな
る。一方、上限は焼戻し温度内で処理するため250℃以
下とする。
本発明の脱脂洗浄処理のサイクルは、種々に設定するこ
とが可能である。例えば被処理物を収納した容器内を所
定温度まで昇温し、次いで一旦減圧して付着油中の比較
的低沸点成分を予め気化せしめて除去し、その後水蒸気
を吹き込み、再び減圧して残りの油分を蒸発除去してか
ら復圧するサイクルとしてもよく、または容器内を所定
温度まで昇温した後、ただちに水蒸気を吹き込み、その
後減圧して付着油分を蒸発除去してから復圧するサイク
ルとすることも可能であり、付着油の性状等により適宜
に設定してよい。
とが可能である。例えば被処理物を収納した容器内を所
定温度まで昇温し、次いで一旦減圧して付着油中の比較
的低沸点成分を予め気化せしめて除去し、その後水蒸気
を吹き込み、再び減圧して残りの油分を蒸発除去してか
ら復圧するサイクルとしてもよく、または容器内を所定
温度まで昇温した後、ただちに水蒸気を吹き込み、その
後減圧して付着油分を蒸発除去してから復圧するサイク
ルとすることも可能であり、付着油の性状等により適宜
に設定してよい。
本発明の脱脂洗浄装置の排気手段としては、水封式真空
ポンプを用いるのがよい。水と油の混合気を吸引しても
排気能力は影響されないから、所定の真空度を維持して
長期間の連続運転が可能となる。
ポンプを用いるのがよい。水と油の混合気を吸引しても
排気能力は影響されないから、所定の真空度を維持して
長期間の連続運転が可能となる。
また、排気系に冷却トラップを設けて、気化排出された
油分を冷却液化し回収すれば、分離油の流出を効果的に
防止することができる。
油分を冷却液化し回収すれば、分離油の流出を効果的に
防止することができる。
以下、本発明の実施例を図とともに説明する。
第１図は、本発明の脱脂洗浄装置を模式的に表したもの
である。洗浄装置本体１は真空気密構造のタンクであ
り、内室1Aの外周に加熱バーナー等の発熱体２を有する
加熱室1Bがあり、その外周は断熱材３で保温されてい
る。洗浄装置本体１の一端側には開閉扉４が設けてあ
る。内室1Aには被処理物７が収納設置され、またこの被
処理物７に付着した油との共沸混合物を形成する物質を
含んだ洗浄液を前記洗浄装置本体１たる真空機密構造の
タンク内に噴出するための共沸混合物形成用噴出手段５
としての蒸気噴出ノズル、及びファン６が配設されてい
る。この共沸混合物形成用噴出手段５はボイラ８に接続
されている。内室1Aの排気系は、水封式真空ポンプ10
と、その前後に配置された熱交換器11,12と、後段の熱
交換器12の更に後段に配置された深冷トラップ13と、各
熱交換器11,12および深冷トラップ13のドレン配管が連
結された油水分離装置14を備えている。V1,V2,V3,V4は
開閉電磁弁である。
である。洗浄装置本体１は真空気密構造のタンクであ
り、内室1Aの外周に加熱バーナー等の発熱体２を有する
加熱室1Bがあり、その外周は断熱材３で保温されてい
る。洗浄装置本体１の一端側には開閉扉４が設けてあ
る。内室1Aには被処理物７が収納設置され、またこの被
処理物７に付着した油との共沸混合物を形成する物質を
含んだ洗浄液を前記洗浄装置本体１たる真空機密構造の
タンク内に噴出するための共沸混合物形成用噴出手段５
としての蒸気噴出ノズル、及びファン６が配設されてい
る。この共沸混合物形成用噴出手段５はボイラ８に接続
されている。内室1Aの排気系は、水封式真空ポンプ10
と、その前後に配置された熱交換器11,12と、後段の熱
交換器12の更に後段に配置された深冷トラップ13と、各
熱交換器11,12および深冷トラップ13のドレン配管が連
結された油水分離装置14を備えている。V1,V2,V3,V4は
開閉電磁弁である。
上記の脱脂洗浄装置を用いて、被処理物に付着した熱処
理用油（JIS 1種２号相当油および２種１号相当油）の
脱脂洗浄試験を実施した。
理用油（JIS 1種２号相当油および２種１号相当油）の
脱脂洗浄試験を実施した。
処理サイクルを第１図に示す。
予め各熱交換器11,12には常温の冷却水を流すと共に、
深冷トラップ13には図外のチラーから10℃程度の冷水を
流しておく。
深冷トラップ13には図外のチラーから10℃程度の冷水を
流しておく。
開閉扉４を開いて洗浄装置本体１の内室1Aに未処理の被
処理物を搬入し、開閉扉４を閉じ、発熱体２で加熱す
る。このとき弁V1,V3,V4は開き、弁V2は閉じておく。フ
ァン６を作動させて室内の温度分布を均一化する。15分
間で室温から170℃に昇温させることにより、付着油成
分中の比較的低沸点の成分が気化し、熱交換器11で冷却
されて再液化されたものは弁V3を経て油水分離装置14に
至り貯蔵されると共に、未液化ガスは弁V4から系外に排
出される。
処理物を搬入し、開閉扉４を閉じ、発熱体２で加熱す
る。このとき弁V1,V3,V4は開き、弁V2は閉じておく。フ
ァン６を作動させて室内の温度分布を均一化する。15分
間で室温から170℃に昇温させることにより、付着油成
分中の比較的低沸点の成分が気化し、熱交換器11で冷却
されて再液化されたものは弁V3を経て油水分離装置14に
至り貯蔵されると共に、未液化ガスは弁V4から系外に排
出される。
次いで、弁V3,V4を閉じ、水封式真空ポンプ10を運転し
て内室1A内を数Torrに減圧した後に、弁V1を閉じ、弁V2
を開いてボイラ８からの水蒸気を主とする洗浄用蒸気を
送り込む。これにより内室1A内はほぼ常圧に復圧する。
その後、弁V2は閉じ、弁V1を開いて内室1A内を排気して
数Torrに減圧させる。このとき、被処理物に付着してい
た油分は殆ど気化蒸発し洗浄が行われる。気化した油分
と水分は熱交換器11,12および深冷トラップ13で冷却液
化されて油水分離装置14に貯蔵される。
て内室1A内を数Torrに減圧した後に、弁V1を閉じ、弁V2
を開いてボイラ８からの水蒸気を主とする洗浄用蒸気を
送り込む。これにより内室1A内はほぼ常圧に復圧する。
その後、弁V2は閉じ、弁V1を開いて内室1A内を排気して
数Torrに減圧させる。このとき、被処理物に付着してい
た油分は殆ど気化蒸発し洗浄が行われる。気化した油分
と水分は熱交換器11,12および深冷トラップ13で冷却液
化されて油水分離装置14に貯蔵される。
10分間の減圧の後、水封式真空ポンプ10を停止させると
共に弁V4を開いて、内室1A内を大気圧に復圧し、開閉扉
４を開いて洗浄された被処理物を搬出する。
共に弁V4を開いて、内室1A内を大気圧に復圧し、開閉扉
４を開いて洗浄された被処理物を搬出する。
表１に試験結果の一例を示す。
表中、蒸気源の欄で、『なし』は比較例であって、蒸気
を吹き込むことなく減圧のみで処理したものである。そ
の場合の装置は、上記とは別に油真空ポンプを排気系と
した他の真空容器を用いた。
を吹き込むことなく減圧のみで処理したものである。そ
の場合の装置は、上記とは別に油真空ポンプを排気系と
した他の真空容器を用いた。
蒸気源Ａは水のみを洗浄液としたもの。
蒸気源Ｂは水とメタノール10％の混合洗浄液。
蒸気源Ｃは水とメタノール10％と陰イオン性界面活性剤
３％の混合洗浄液。
３％の混合洗浄液。
脱脂洗浄の評価は、処理したものの仕上り肌と脱油率で
行った。仕上り肌については、タール分の残留で変色の
認められたものを不可（NG）とした。脱油率は油の付着
前の試料重量と、油を付着させた後の試料の脱脂処理前
後の重量を秤量して、算出した。脱油率は90％以上あれ
ば可とされる。
行った。仕上り肌については、タール分の残留で変色の
認められたものを不可（NG）とした。脱油率は油の付着
前の試料重量と、油を付着させた後の試料の脱脂処理前
後の重量を秤量して、算出した。脱油率は90％以上あれ
ば可とされる。
以上の試験結果から、蒸気源を用いない場合は高真空、
高温度で処理してもタール分が残留し不可となること、
水蒸気を吹き込むと油種によるが処理真空度500Torr程
度まで脱脂可能でタール分も除去できること、蒸気源と
して油と共沸混合物を作る溶剤を少量混合することによ
り沸点降下現象が起きて洗浄性が増すこと、界面活性剤
を僅かに添加することにより更に洗浄性が増すこと等の
効果が得られることが明らかになった。また、分離され
た油分は油水分離装置14により回収でき、無害な水のみ
を放流することができた。
高温度で処理してもタール分が残留し不可となること、
水蒸気を吹き込むと油種によるが処理真空度500Torr程
度まで脱脂可能でタール分も除去できること、蒸気源と
して油と共沸混合物を作る溶剤を少量混合することによ
り沸点降下現象が起きて洗浄性が増すこと、界面活性剤
を僅かに添加することにより更に洗浄性が増すこと等の
効果が得られることが明らかになった。また、分離され
た油分は油水分離装置14により回収でき、無害な水のみ
を放流することができた。
なお、上記実施例は熱処理工程を対象に説明したが、こ
れに限らずその他の付着油の脱脂も可能であることは勿
論である。
れに限らずその他の付着油の脱脂も可能であることは勿
論である。
また、被処理物を金属に限定する必要はなく、非金属に
対しても適用可能である。
対しても適用可能である。
以上説明したように、本発明によれば、密閉系内に油と
共沸混合物を含んだ洗浄液、特にその水蒸気をを吹き込
んで、減圧下に処理するものとしたため、比較的低温度
で、しかも有害な塩素系溶剤や環境を汚染するフッ素系
溶剤あるいはアルカリ剤等を使用することなく、付着油
の脱脂洗浄ができて、且つ除去した油の回収も可能な、
完全無公害で省エネ型の脱脂洗浄方法および装置を提供
することができるという効果が得られる。
共沸混合物を含んだ洗浄液、特にその水蒸気をを吹き込
んで、減圧下に処理するものとしたため、比較的低温度
で、しかも有害な塩素系溶剤や環境を汚染するフッ素系
溶剤あるいはアルカリ剤等を使用することなく、付着油
の脱脂洗浄ができて、且つ除去した油の回収も可能な、
完全無公害で省エネ型の脱脂洗浄方法および装置を提供
することができるという効果が得られる。
第１図は本発明の脱脂洗浄装置の一実施例を示す系統
図、第２図は本発明の処理工程サイクルの一例を示す図
である。 図中、１は装置本体（真空容器）、２は加熱手段、５は
共沸混合物形成用噴出手段、10は排気手段である。
図、第２図は本発明の処理工程サイクルの一例を示す図
である。 図中、１は装置本体（真空容器）、２は加熱手段、５は
共沸混合物形成用噴出手段、10は排気手段である。
Claims (3)
- 【請求項１】油の付着した被処理物を容器内で加熱する
工程と、該容器内に前記油と共沸混合物を形成する物質
を含む洗浄液を噴霧して前記油の沸点を下げる工程と、
前記容器内を真空減圧して付着油分を気化蒸発せしめ被
処理物から除去する工程とを包含する脱脂洗浄方法。 - 【請求項２】前記洗浄液は水または水蒸気を主とし、油
と共沸混合物を作る物質を含有することを特徴とする請
求項（１）記載の脱脂洗浄方法。 - 【請求項３】油の付着した被処理物を加熱する加熱手段
を有する真空容器と、前記被処理物に付着した油との共
沸混合物を形成する物質を含んだ洗浄液を前記真空容器
内に噴出するための共沸混合物形成用噴出手段と、前記
真空容器内を排気する排気手段とを備えていることを特
徴とする脱脂洗浄装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1280831A JPH0757913B2 (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 脱脂洗浄方法および装置 |
| US07/720,402 US5137581A (en) | 1989-10-27 | 1991-06-25 | Degreasing and cleaning method as well as apparatus used therefor |
| US07/871,535 US5370143A (en) | 1989-10-27 | 1992-04-20 | Degreasing and cleaning method as well as apparatus used therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1280831A JPH0757913B2 (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 脱脂洗浄方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03140485A JPH03140485A (ja) | 1991-06-14 |
| JPH0757913B2 true JPH0757913B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=17630593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1280831A Expired - Lifetime JPH0757913B2 (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | 脱脂洗浄方法および装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5137581A (ja) |
| JP (1) | JPH0757913B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017196560A (ja) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | 株式会社不二越 | 真空脱脂洗浄装置および真空脱脂洗浄方法 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE35879E (en) * | 1990-03-15 | 1998-08-25 | Electrostatic Technology, Inc. | Cleaning method using both wet and dry steam, and apparatus adapted therefor |
| DE4138432C1 (ja) * | 1991-11-22 | 1993-02-18 | Aichelin Gmbh, 7015 Korntal-Muenchingen, De | |
| DE4138400C1 (ja) * | 1991-11-22 | 1993-02-18 | Aichelin Gmbh, 7015 Korntal-Muenchingen, De | |
| JPH05200371A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-10 | Nippon Techno:Kk | 脱脂方法および脱脂装置 |
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| DE4326239C2 (de) * | 1993-07-31 | 1997-06-05 | Korsch Pressen Gmbh | Tablettier-, Dragier- oder Granuliermaschine, insbesondere Rundlauf-Tablettenpresse |
| DE4329178B4 (de) * | 1993-08-30 | 2006-11-09 | EMO Oberflächentechnik GmbH | Dampfphasenreinigung |
| NZ248623A (en) * | 1993-09-09 | 1996-11-26 | Electrical Salvage Nz Ltd | Cleaning electronic equipment: use of pressure vessel containing solvent |
| JP2742238B2 (ja) * | 1995-03-16 | 1998-04-22 | 中外炉工業株式会社 | 有機溶剤を使用する洗浄装置 |
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