JPH0759012A - 固体撮像装置及びその駆動方法 - Google Patents
固体撮像装置及びその駆動方法Info
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- JPH0759012A JPH0759012A JP5161810A JP16181093A JPH0759012A JP H0759012 A JPH0759012 A JP H0759012A JP 5161810 A JP5161810 A JP 5161810A JP 16181093 A JP16181093 A JP 16181093A JP H0759012 A JPH0759012 A JP H0759012A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＣＣＤ固体撮像装置の駆動方法において、全
画素読み出しでフルフレーム電子シャッタを可能とし、
且つインターレース読み出しを可能にする。 【構成】 行列状に配された複数の受光部１と、該受光
部１の一つ置きの列間に配された第１の垂直転送部２Ｂ
〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕と該受光部１の残りの一つ置きの列
間に配された第２の垂直転送部２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2 ，
２Ａ3 〕と、前記第１及び第２の垂直転送部２Ｂ，２Ａ
よりの電荷を水平方向に転送する水平転送部３とを有す
る固体撮像装置の駆動方法において、一行置きに位置す
る第１の受光部群の信号電荷と、残りの一行置きに位置
する第２の受光部群の信号電荷とを同時に前記第１の垂
直転送部２Ｂ及び第２の垂直転送部２Ａに夫々読み出
し、第１の垂直転送部２Ｂの信号電荷転送期間中、第２
の垂直転送部２Ａの信号電荷転送を停止し、第２の垂直
転送部２Ａの信号電荷転送期間中、第１の垂直転送部２
Ｂの信号電荷転送を停止する。
画素読み出しでフルフレーム電子シャッタを可能とし、
且つインターレース読み出しを可能にする。 【構成】 行列状に配された複数の受光部１と、該受光
部１の一つ置きの列間に配された第１の垂直転送部２Ｂ
〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕と該受光部１の残りの一つ置きの列
間に配された第２の垂直転送部２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2 ，
２Ａ3 〕と、前記第１及び第２の垂直転送部２Ｂ，２Ａ
よりの電荷を水平方向に転送する水平転送部３とを有す
る固体撮像装置の駆動方法において、一行置きに位置す
る第１の受光部群の信号電荷と、残りの一行置きに位置
する第２の受光部群の信号電荷とを同時に前記第１の垂
直転送部２Ｂ及び第２の垂直転送部２Ａに夫々読み出
し、第１の垂直転送部２Ｂの信号電荷転送期間中、第２
の垂直転送部２Ａの信号電荷転送を停止し、第２の垂直
転送部２Ａの信号電荷転送期間中、第１の垂直転送部２
Ｂの信号電荷転送を停止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像装置及びその
駆動方法に関する。
駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＣＤ固体撮像装置としては、インター
ライントランスファ（ＩＴ）型、フレームインターライ
ントランスファ（ＦＩＴ）型等のＣＣＤ固体撮像装置が
知られている。
ライントランスファ（ＩＴ）型、フレームインターライ
ントランスファ（ＦＩＴ）型等のＣＣＤ固体撮像装置が
知られている。
【０００３】ＩＴ型ＣＣＤ固体撮像装置は、行列状に配
列された複数の受光部と、各受光部列の一側に配された
複数のＣＣＤ構造の垂直転送レジスタと、ＣＣＤ構造の
水平転送レジスタとから成り、受光部で光電変換された
信号電荷を垂直ブランキング期間で垂直転送レジスタに
読み出した後、水平ブランキング期間で１水平ライン毎
の信号電荷を垂直転送レジスタから水平転送レジスタへ
転送し、水平転送レジスタを通じて出力するようになさ
れる。
列された複数の受光部と、各受光部列の一側に配された
複数のＣＣＤ構造の垂直転送レジスタと、ＣＣＤ構造の
水平転送レジスタとから成り、受光部で光電変換された
信号電荷を垂直ブランキング期間で垂直転送レジスタに
読み出した後、水平ブランキング期間で１水平ライン毎
の信号電荷を垂直転送レジスタから水平転送レジスタへ
転送し、水平転送レジスタを通じて出力するようになさ
れる。
【０００４】ＦＩＴ型ＣＣＤ固体撮像装置は、複数の受
光部が行列状に配列され、各受光部列の一側にＣＣＤ構
造の垂直転送レジスタが配されてなる撮像部と、撮像部
の垂直転送レジスタに対応する複数のＣＣＤ構造の垂直
転送レジスタを有する蓄積部と、ＣＣＤ構造の水平転送
レジスタとを有して成り、垂直ブランキング期間で、受
光部の信号電荷を垂直転送レジスタに読み出して後、撮
像部から蓄積部へ高速転送（いわゆるフレームシフト転
送）して一旦蓄積部に信号電荷を蓄積し、次いで水平ブ
ランキング期間で１水平ライン毎の信号電荷を水平転送
レジスタへ転送（いわゆるラインシフト転送）し、水平
転送レジスタを通して出力するようになされる。
光部が行列状に配列され、各受光部列の一側にＣＣＤ構
造の垂直転送レジスタが配されてなる撮像部と、撮像部
の垂直転送レジスタに対応する複数のＣＣＤ構造の垂直
転送レジスタを有する蓄積部と、ＣＣＤ構造の水平転送
レジスタとを有して成り、垂直ブランキング期間で、受
光部の信号電荷を垂直転送レジスタに読み出して後、撮
像部から蓄積部へ高速転送（いわゆるフレームシフト転
送）して一旦蓄積部に信号電荷を蓄積し、次いで水平ブ
ランキング期間で１水平ライン毎の信号電荷を水平転送
レジスタへ転送（いわゆるラインシフト転送）し、水平
転送レジスタを通して出力するようになされる。
【０００５】代表的な信号電荷の読み出し方式として
は、フィールド読み出し、フレーム読み出し等がある。
フィールド読み出しは、フィールド毎に全画素同時に読
み出し、奇数フィールドと偶数フィールドとで夫々異な
る２水平ラインの信号電荷を加算して出力する方式であ
る。
は、フィールド読み出し、フレーム読み出し等がある。
フィールド読み出しは、フィールド毎に全画素同時に読
み出し、奇数フィールドと偶数フィールドとで夫々異な
る２水平ラインの信号電荷を加算して出力する方式であ
る。
【０００６】フレーム読み出しは、１フレーム期間にわ
たって受光・電荷蓄積が行われ、フィールド毎に、奇数
ラインの受光部の信号電荷のみ、偶数ラインの受光部の
信号電荷のみを交互に読み出す方式であり、所謂インタ
ーレース読み出しを行っている。
たって受光・電荷蓄積が行われ、フィールド毎に、奇数
ラインの受光部の信号電荷のみ、偶数ラインの受光部の
信号電荷のみを交互に読み出す方式であり、所謂インタ
ーレース読み出しを行っている。
【０００７】その他、ＦＩＴ型ＣＣＤ固体撮像装置にお
いて、フレーム読み出し方式であって、しかも第１フィ
ールドの信号電荷を読み出しフレームシフト転送を行っ
た直後に、第２フィールドの信号電荷を読み出してイン
ターレース読み出しを行う方式も提案されている。
いて、フレーム読み出し方式であって、しかも第１フィ
ールドの信号電荷を読み出しフレームシフト転送を行っ
た直後に、第２フィールドの信号電荷を読み出してイン
ターレース読み出しを行う方式も提案されている。
【０００８】さらに、ＣＣＤ固体撮像装置を、撮像部の
両側に夫々蓄積部を配し且つ夫々の蓄積部に水平転送レ
ジスタを配した構成とし、撮像部から蓄積部へのフレー
ムシフト転送時に、奇数ラインの信号電荷を一方の蓄積
部へ、偶数ラインの信号電荷を他方の蓄積部へフレーム
シフト転送し、奇数フィールドでは一方の蓄積部の奇数
ラインの信号電荷のみを読み出し、偶数フィールドでは
他方の蓄積部の偶数ラインの信号電荷のみを読み出すよ
うにした方式も提案されている。
両側に夫々蓄積部を配し且つ夫々の蓄積部に水平転送レ
ジスタを配した構成とし、撮像部から蓄積部へのフレー
ムシフト転送時に、奇数ラインの信号電荷を一方の蓄積
部へ、偶数ラインの信号電荷を他方の蓄積部へフレーム
シフト転送し、奇数フィールドでは一方の蓄積部の奇数
ラインの信号電荷のみを読み出し、偶数フィールドでは
他方の蓄積部の偶数ラインの信号電荷のみを読み出すよ
うにした方式も提案されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＣＣＤ固体
撮像装置において、フレーム周期読み出しで、フレーム
期間内の任意の時点でシャッタを動作させる所謂フルフ
レーム電子シャッタを実現する方法としては、全画素読
み出しすればよいが、しかし、ＩＴ型、ＦＩＴ型等の通
常の構造ではインターレース読み出しが出来ない。
撮像装置において、フレーム周期読み出しで、フレーム
期間内の任意の時点でシャッタを動作させる所謂フルフ
レーム電子シャッタを実現する方法としては、全画素読
み出しすればよいが、しかし、ＩＴ型、ＦＩＴ型等の通
常の構造ではインターレース読み出しが出来ない。
【００１０】また、上述した第１フィールドのフレーム
シフト転送（高速転送）直後に第２フィールドを読み出
しＦＩＴ型ＣＣＤ固体撮像装置では、疑似的にフレーム
電子シャッタとインターレース読み出しが可能である。
しかし、第１フィールドと第２フィールドの読み出し時
期が多少ずれるため、高速シャッタ時に画ずれが生じて
しまう。
シフト転送（高速転送）直後に第２フィールドを読み出
しＦＩＴ型ＣＣＤ固体撮像装置では、疑似的にフレーム
電子シャッタとインターレース読み出しが可能である。
しかし、第１フィールドと第２フィールドの読み出し時
期が多少ずれるため、高速シャッタ時に画ずれが生じて
しまう。
【００１１】さらに、撮像部の両側に夫々蓄積部を配し
た両側フレームシフト転送方式のＣＣＤ固体撮像装置で
は、全画素読み出しでインターレースが可能であるが構
造が複雑となる欠点があった。
た両側フレームシフト転送方式のＣＣＤ固体撮像装置で
は、全画素読み出しでインターレースが可能であるが構
造が複雑となる欠点があった。
【００１２】本発明は、上述の点に鑑み、構造が簡単
で、しかもフルフレーム電子シャッタとインターレース
読み出しを可能にした固体撮像装置及びその駆動方法を
提供するものである。
で、しかもフルフレーム電子シャッタとインターレース
読み出しを可能にした固体撮像装置及びその駆動方法を
提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、行列状に
配された複数の受光部１と、この受光部１の一つ置きの
列間に配された第１の垂直転送部２Ｂ〔２Ｂ1 ，２
Ｂ2 〕と該受光部１の残りの一つ置きの列間に配された
第２の垂直転送部２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 〕と、
第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａよりの電荷を水
平方向に転送する水平転送部３とを有する固体撮像装置
の駆動方法において、一行置きに位置する第１の受光部
群の信号電荷を第１の垂直転送部２Ｂに、残りの一行置
きに位置する第２の受光部群の信号電荷を第２の垂直転
送部２Ａに読み出すようになす。
配された複数の受光部１と、この受光部１の一つ置きの
列間に配された第１の垂直転送部２Ｂ〔２Ｂ1 ，２
Ｂ2 〕と該受光部１の残りの一つ置きの列間に配された
第２の垂直転送部２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 〕と、
第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａよりの電荷を水
平方向に転送する水平転送部３とを有する固体撮像装置
の駆動方法において、一行置きに位置する第１の受光部
群の信号電荷を第１の垂直転送部２Ｂに、残りの一行置
きに位置する第２の受光部群の信号電荷を第２の垂直転
送部２Ａに読み出すようになす。
【００１４】第２の発明は、上記駆動方法において、固
体撮像装置をＦＩＴ（フレームインターライントランス
ファ）型固体撮像装置とする。
体撮像装置をＦＩＴ（フレームインターライントランス
ファ）型固体撮像装置とする。
【００１５】第３の発明は、上記各駆動方法において、
第１の受光部群の信号電荷と第２の受光部群の信号電荷
とを同時に読み出すようになす。
第１の受光部群の信号電荷と第２の受光部群の信号電荷
とを同時に読み出すようになす。
【００１６】第４の発明は、上記各駆動方法において、
第１の垂直転送部２Ｂの信号電荷転送期間中、第２の垂
直転送部２Ａの信号電荷転送を停止し、第２の垂直転送
部２Ａの信号電荷転送期間中、第１の垂直転送部２Ｂの
信号電荷転送を停止するようになす。
第１の垂直転送部２Ｂの信号電荷転送期間中、第２の垂
直転送部２Ａの信号電荷転送を停止し、第２の垂直転送
部２Ａの信号電荷転送期間中、第１の垂直転送部２Ｂの
信号電荷転送を停止するようになす。
【００１７】第５の発明は、上記各駆動方法において、
水平ブランキング期間中に第１又は第２の垂直転送部２
Ｂ又は２Ａの垂直２ビット分を水平転送部３に転送する
ようになす。
水平ブランキング期間中に第１又は第２の垂直転送部２
Ｂ又は２Ａの垂直２ビット分を水平転送部３に転送する
ようになす。
【００１８】第６の発明は、行列状に配された複数の受
光部１と、この受光部１の一つ置きの列間に配された第
１の垂直転送部２Ｂ〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕と該受光部１の
残りの一つ置きの列間に配された第２の垂直転送部２Ａ
〔２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 〕と、第１及び第２の垂直転
送部２Ｂ及び２Ａよりの電荷を水平方向に転送する水平
転送部３とを有する固体撮像装置において、受光部１の
電荷を垂直転送部２〔２Ａ，２Ｂ〕に読み出す読み出し
ゲート部を、奇数行に位置する受光部１では第１の垂直
転送部２Ｂ側に、偶数行に位置する受光部１では第２の
垂直転送部２Ａ側に設けて構成する。
光部１と、この受光部１の一つ置きの列間に配された第
１の垂直転送部２Ｂ〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕と該受光部１の
残りの一つ置きの列間に配された第２の垂直転送部２Ａ
〔２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 〕と、第１及び第２の垂直転
送部２Ｂ及び２Ａよりの電荷を水平方向に転送する水平
転送部３とを有する固体撮像装置において、受光部１の
電荷を垂直転送部２〔２Ａ，２Ｂ〕に読み出す読み出し
ゲート部を、奇数行に位置する受光部１では第１の垂直
転送部２Ｂ側に、偶数行に位置する受光部１では第２の
垂直転送部２Ａ側に設けて構成する。
【００１９】第７の発明は、上記固体撮像装置におい
て、第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａと水平転送
部３との間に蓄積部３４を有して構成する。
て、第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａと水平転送
部３との間に蓄積部３４を有して構成する。
【００２０】第８の発明は、上記固体撮像装置におい
て、蓄積部３４に第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２
Ａの１列毎に１つの蓄積兼転送部４２を有し、蓄積部３
４と第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａとの間に第
１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａの電荷を垂直単位
ビット毎に隣合う蓄積兼転送部３３に交互に振り分ける
制御ゲート４３を設けて構成する。
て、蓄積部３４に第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２
Ａの１列毎に１つの蓄積兼転送部４２を有し、蓄積部３
４と第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａとの間に第
１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａの電荷を垂直単位
ビット毎に隣合う蓄積兼転送部３３に交互に振り分ける
制御ゲート４３を設けて構成する。
【００２１】第９の発明は、上記第７の発明の固体撮像
装置において、蓄積部３４が第１及び第２の垂直転送部
２Ｂ及び２Ａの２列毎に１つの蓄積兼転送部５２を有す
るように構成する。
装置において、蓄積部３４が第１及び第２の垂直転送部
２Ｂ及び２Ａの２列毎に１つの蓄積兼転送部５２を有す
るように構成する。
【００２２】第１０の発明は、上記各固体撮像装置にお
いて、第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａが第１，
第２及び第３の３つの電極７，８，９で１ビットを形成
するようにして構成する。
いて、第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａが第１，
第２及び第３の３つの電極７，８，９で１ビットを形成
するようにして構成する。
【００２３】第１１の発明は、上記第１０の発明の固体
撮像装置において、第１及び第２の電極７及び８を水平
方向に配線し、第３の電極９を垂直方向に配線し、この
第３の電極９を第１の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送
部２Ａとで電気的に独立するように構成する。
撮像装置において、第１及び第２の電極７及び８を水平
方向に配線し、第３の電極９を垂直方向に配線し、この
第３の電極９を第１の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送
部２Ａとで電気的に独立するように構成する。
【００２４】
【作用】第１の発明に係る固体撮像装置の駆動方法にお
いては、一行置きに位置する（例えば奇数ラインの）第
１の受光部群の信号電荷を第１の垂直転送部２Ｂに読み
出し、残りの一行置きに位置する（例えば偶数ライン
の）第２の受光部群の信号電荷を第２の垂直転送部２Ａ
に読み出すことにより、以後、第１の垂直転送部２Ｂと
第２の垂直転送部２Ａを夫々フィールド毎に選択的に駆
動させれば、全画素同時読み出しで且つインターレース
読み出しが可能になる。そして、全画素同時読み出しが
できるので、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
いては、一行置きに位置する（例えば奇数ラインの）第
１の受光部群の信号電荷を第１の垂直転送部２Ｂに読み
出し、残りの一行置きに位置する（例えば偶数ライン
の）第２の受光部群の信号電荷を第２の垂直転送部２Ａ
に読み出すことにより、以後、第１の垂直転送部２Ｂと
第２の垂直転送部２Ａを夫々フィールド毎に選択的に駆
動させれば、全画素同時読み出しで且つインターレース
読み出しが可能になる。そして、全画素同時読み出しが
できるので、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
【００２５】第２の発明に係る駆動方法においては、固
体撮像装置をＦＩＴ型とすることにより、スミア、暗電
流の奇数フィールドと偶数フィールド間の差を低減する
ことができる。
体撮像装置をＦＩＴ型とすることにより、スミア、暗電
流の奇数フィールドと偶数フィールド間の差を低減する
ことができる。
【００２６】第３の発明に係る駆動方法においては、一
行置きに位置する第１の受光部群の信号電荷と、残りの
一行置きに位置する第２の受光部群の信号電荷とを同時
に夫々の第１の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａ
に読み出すことにより、全画素読み出しとなり、フルフ
レーム電子シャッタ動作を行うことができる。しかも、
以後、第１の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａを
夫々フィールド毎に選択的に駆動させることが可能とな
るので、全画素同時読み出しで且つインターレース読み
出しが可能になる。
行置きに位置する第１の受光部群の信号電荷と、残りの
一行置きに位置する第２の受光部群の信号電荷とを同時
に夫々の第１の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａ
に読み出すことにより、全画素読み出しとなり、フルフ
レーム電子シャッタ動作を行うことができる。しかも、
以後、第１の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａを
夫々フィールド毎に選択的に駆動させることが可能とな
るので、全画素同時読み出しで且つインターレース読み
出しが可能になる。
【００２７】第４の発明に係る駆動方法においては、更
に第１の垂直転送部２Ｂの信号電荷転送期間中は第２の
垂直転送部２Ａの信号電荷転送を停止し、第２の垂直転
送部２Ａの信号電荷転送期間中は第１の垂直転送部２Ｂ
の信号電荷転送を停止するので、全画素読み出しで且つ
インターレース読み出しが行われる。
に第１の垂直転送部２Ｂの信号電荷転送期間中は第２の
垂直転送部２Ａの信号電荷転送を停止し、第２の垂直転
送部２Ａの信号電荷転送期間中は第１の垂直転送部２Ｂ
の信号電荷転送を停止するので、全画素読み出しで且つ
インターレース読み出しが行われる。
【００２８】第５の発明に係る駆動方法においては、水
平ブランキング期間中に第１又は第２の垂直転送部２Ｂ
又は２Ａの垂直２ビット分の信号電荷を水平転送部３に
転送することにより、水平転送部３に対して奇数行又は
偶数行に位置する受光部１の配列と同じ配列順序をもっ
て信号電荷を転送することができる。
平ブランキング期間中に第１又は第２の垂直転送部２Ｂ
又は２Ａの垂直２ビット分の信号電荷を水平転送部３に
転送することにより、水平転送部３に対して奇数行又は
偶数行に位置する受光部１の配列と同じ配列順序をもっ
て信号電荷を転送することができる。
【００２９】第６の発明に係る固体撮像装置において
は、受光部１の電荷を垂直転送部２に読み出す読み出し
ゲート部６が、奇数行に位置する受光部１では第１の垂
直転送部側２Ｂに、偶数行に位置する受光部１では第２
の垂直転送部２Ａ側に夫々設けることにより、各受光部
１の信号電荷を同時に読み出したときに、奇数行に位置
する受光部１の信号電荷は第１の垂直転送部２Ｂに読み
出され、偶数行に位置する受光部１の信号電荷は第２の
垂直転送部２Ａに読み出されることになる。従って、以
後、第１の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａを夫
々フィールド毎に選択的に駆動させれば、インターレー
ス読み出し（走査）が行える。
は、受光部１の電荷を垂直転送部２に読み出す読み出し
ゲート部６が、奇数行に位置する受光部１では第１の垂
直転送部側２Ｂに、偶数行に位置する受光部１では第２
の垂直転送部２Ａ側に夫々設けることにより、各受光部
１の信号電荷を同時に読み出したときに、奇数行に位置
する受光部１の信号電荷は第１の垂直転送部２Ｂに読み
出され、偶数行に位置する受光部１の信号電荷は第２の
垂直転送部２Ａに読み出されることになる。従って、以
後、第１の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａを夫
々フィールド毎に選択的に駆動させれば、インターレー
ス読み出し（走査）が行える。
【００３０】第７の発明に係る固体撮像素子において
は、その第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａと水平
転送部３との間に蓄積部３４を有することにより、全画
素同時読み出し且つインターレース読み出しを可能にし
たＦＩＴ型の固体撮像装置を構成することができる。
は、その第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａと水平
転送部３との間に蓄積部３４を有することにより、全画
素同時読み出し且つインターレース読み出しを可能にし
たＦＩＴ型の固体撮像装置を構成することができる。
【００３１】第８の発明に係る固体撮像装置において
は、上記ＦＩＴ型固体撮像装置の蓄積部３４に、第１及
び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａの１列毎に１つの蓄積
兼転送部４２を有し、この蓄積部３４と第１及び第２の
垂直転送部２Ｂ及び２Ａとの間に、第１及び第２の垂直
転送部２Ｂ及び２Ａの電荷を垂直単位ビット毎に隣合う
蓄積兼転送部に交互に振り分ける制御ゲート４３を設け
ている。従って、全画素読み出しにおいて、奇数行に位
置する受光部１の信号電荷が第１の垂直転送部２Ｂに読
み出され、偶数行に位置する受光部１の信号電荷が第２
の垂直転送部２Ａに読み出された後、先ず各第１の垂直
転送部２Ｂの信号電荷が制御ゲート４３によって夫々蓄
積部３４の隣合う蓄積兼転送部４２に交互に振り分けら
れて転送され、続いて、各第２の垂直転送部２Ａの信号
電荷が制御ゲート４３によって、蓄積部３４の隣合う蓄
積兼転送部４２に交互に振り分けられて転送される。従
って、蓄積部３４においては各受光部１と同じ配列順序
で信号電荷が配列され、しかも蓄積部３４の下半分が奇
数行、上半分が偶数行の信号電荷が蓄積される。以後蓄
積部３４から水平転送部３へは第１フィールド期間に奇
数行の信号電荷が読み出され、次の第２フィールド期間
で偶数行の信号電荷が読み出される。この構成では、撮
像部３２で第１、第２の垂直転送部２Ｂ，２Ａの駆動が
止まる期間が撮像部３２から蓄積部３４へ転送する高速
転送（所謂フレームシフト転送）時のみで極く短い時間
であるので、スミア成分と共に暗電流むらの発生も回避
できる。
は、上記ＦＩＴ型固体撮像装置の蓄積部３４に、第１及
び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａの１列毎に１つの蓄積
兼転送部４２を有し、この蓄積部３４と第１及び第２の
垂直転送部２Ｂ及び２Ａとの間に、第１及び第２の垂直
転送部２Ｂ及び２Ａの電荷を垂直単位ビット毎に隣合う
蓄積兼転送部に交互に振り分ける制御ゲート４３を設け
ている。従って、全画素読み出しにおいて、奇数行に位
置する受光部１の信号電荷が第１の垂直転送部２Ｂに読
み出され、偶数行に位置する受光部１の信号電荷が第２
の垂直転送部２Ａに読み出された後、先ず各第１の垂直
転送部２Ｂの信号電荷が制御ゲート４３によって夫々蓄
積部３４の隣合う蓄積兼転送部４２に交互に振り分けら
れて転送され、続いて、各第２の垂直転送部２Ａの信号
電荷が制御ゲート４３によって、蓄積部３４の隣合う蓄
積兼転送部４２に交互に振り分けられて転送される。従
って、蓄積部３４においては各受光部１と同じ配列順序
で信号電荷が配列され、しかも蓄積部３４の下半分が奇
数行、上半分が偶数行の信号電荷が蓄積される。以後蓄
積部３４から水平転送部３へは第１フィールド期間に奇
数行の信号電荷が読み出され、次の第２フィールド期間
で偶数行の信号電荷が読み出される。この構成では、撮
像部３２で第１、第２の垂直転送部２Ｂ，２Ａの駆動が
止まる期間が撮像部３２から蓄積部３４へ転送する高速
転送（所謂フレームシフト転送）時のみで極く短い時間
であるので、スミア成分と共に暗電流むらの発生も回避
できる。
【００３２】第９の発明に係る固体撮像装置において
は、蓄積部３４が第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２
Ａの２列毎に１つの蓄積兼転送部５２を有する蓄積部で
あるので、全画素読み出しにおいて、奇数行に位置する
受光部１の信号電荷が第１の垂直転送部２Ｂに読み出さ
れ、偶数行に位置する受光部１の信号電荷が第２の垂直
転送部２Ａに読み出された後、先ず、各第１の垂直転送
部２Ｂの信号電荷が蓄積部３４の各対応する蓄積兼転送
部５２に転送され、次に各第２の垂直転送部２Ａの信号
電荷が蓄積部３４の上記と同じ蓄積兼転送部５２に転送
される。従って、蓄積部３４では、下半分に奇数行に対
応する信号電荷が、上半分には偶数行に対応する信号電
荷が蓄積される。以後は、水平転送部３から奇数行の信
号電荷が読み出された後に、偶数行の信号電荷が読み出
されるようになされ、このとき、奇数行、偶数行共に、
信号電荷は２ライン毎に水平転送部３に転送されて水平
転送部３内で受光部の配列順序に対応する配列順序にし
て読み出される。この構成では、撮像部３２の２列の垂
直転送部２に対して蓄積部３４で垂直転送部５２を１本
とすることで、蓄積部３４における垂直転送部５２の転
送効率を向上することができる。構造もより簡単化され
る。
は、蓄積部３４が第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２
Ａの２列毎に１つの蓄積兼転送部５２を有する蓄積部で
あるので、全画素読み出しにおいて、奇数行に位置する
受光部１の信号電荷が第１の垂直転送部２Ｂに読み出さ
れ、偶数行に位置する受光部１の信号電荷が第２の垂直
転送部２Ａに読み出された後、先ず、各第１の垂直転送
部２Ｂの信号電荷が蓄積部３４の各対応する蓄積兼転送
部５２に転送され、次に各第２の垂直転送部２Ａの信号
電荷が蓄積部３４の上記と同じ蓄積兼転送部５２に転送
される。従って、蓄積部３４では、下半分に奇数行に対
応する信号電荷が、上半分には偶数行に対応する信号電
荷が蓄積される。以後は、水平転送部３から奇数行の信
号電荷が読み出された後に、偶数行の信号電荷が読み出
されるようになされ、このとき、奇数行、偶数行共に、
信号電荷は２ライン毎に水平転送部３に転送されて水平
転送部３内で受光部の配列順序に対応する配列順序にし
て読み出される。この構成では、撮像部３２の２列の垂
直転送部２に対して蓄積部３４で垂直転送部５２を１本
とすることで、蓄積部３４における垂直転送部５２の転
送効率を向上することができる。構造もより簡単化され
る。
【００３３】第１０の発明に係る固体撮像装置において
は、第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａを第１、第
２及び第３の３つの電極７，８及び９で１ビットを構成
するので、３相駆動方式とすることができる。
は、第１及び第２の垂直転送部２Ｂ及び２Ａを第１、第
２及び第３の３つの電極７，８及び９で１ビットを構成
するので、３相駆動方式とすることができる。
【００３４】第１１の発明に係る固体撮像装置において
は、第１及び第２の電極７及び８を水平方向に配線し、
第３の電極９を垂直方向に配線し、第３の電極９を第１
の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａとで電気的に
独立させることにより、この第３の電極９によって第１
の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａを分離するこ
とができ、インターレース読み出しを可能にする。
は、第１及び第２の電極７及び８を水平方向に配線し、
第３の電極９を垂直方向に配線し、第３の電極９を第１
の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａとで電気的に
独立させることにより、この第３の電極９によって第１
の垂直転送部２Ｂと第２の垂直転送部２Ａを分離するこ
とができ、インターレース読み出しを可能にする。
【００３５】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００３６】図１〜図６は本発明をインターライントラ
ンスファ（ＩＴ）型の固体撮像装置に適用した場合の第
１実施例である。
ンスファ（ＩＴ）型の固体撮像装置に適用した場合の第
１実施例である。
【００３７】本例のＩＴ型固体撮像装置１１は、図１に
示すように、行列状に配列された複数の受光部１と、各
受光部列（ｎ列）を挟むように配置されたＣＣＤ構造の
複数（ｎ＋１本）の垂直転送レジスタ２〔２Ａ，２Ｂ〕
と、各垂直転送レジスタ２の終段に接続されたＣＣＤ構
造の水平転送レジスタ３と、水平転送レジスタ３の終段
に接続された出力部４を有して成る。駆動時において
は、奇数ライン及び偶数ラインの全受光部（画素）１か
らの信号電荷〔１，２，３，‥‥１５，１６〕を同時に
垂直転送レジスタ２に読み出すが、このとき奇数ライン
及び偶数ライン毎に夫々対応する受光部１の信号電荷
を、奇数列もしくは偶数列の垂直転送レジスタ２Ａもし
くは２Ｂに振り分けて読み出す。
示すように、行列状に配列された複数の受光部１と、各
受光部列（ｎ列）を挟むように配置されたＣＣＤ構造の
複数（ｎ＋１本）の垂直転送レジスタ２〔２Ａ，２Ｂ〕
と、各垂直転送レジスタ２の終段に接続されたＣＣＤ構
造の水平転送レジスタ３と、水平転送レジスタ３の終段
に接続された出力部４を有して成る。駆動時において
は、奇数ライン及び偶数ラインの全受光部（画素）１か
らの信号電荷〔１，２，３，‥‥１５，１６〕を同時に
垂直転送レジスタ２に読み出すが、このとき奇数ライン
及び偶数ライン毎に夫々対応する受光部１の信号電荷
を、奇数列もしくは偶数列の垂直転送レジスタ２Ａもし
くは２Ｂに振り分けて読み出す。
【００３８】即ち図示の例では、奇数ラインの受光部１
の信号電荷〔１，２，３，４，９，１０，１１，１２〕
を偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ1 ，２Ｂ2 に夫々読み
出し、また、偶数ラインの受光部１の信号電荷〔５，
６，７，８，１３，１４，１５，１６〕を奇数列の垂直
転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 に夫々読み出す。
従って、垂直転送レジスタ２Ｂ1 には両側の受光部から
の信号電荷〔１，２，９，１０〕が、垂直転送レジスタ
２Ｂ2 には両側の受光部１からの信号電荷〔３，４，１
１，１２〕が読み出され、垂直転送レジスタ２Ａには片
側の受光部１からの信号電荷〔５，１３〕が垂直転送レ
ジスタ２Ａ2 には両側の受光部１からの信号電荷〔６，
７，１４，１５〕が、垂直転送レジスタ２Ａ3 には片側
の受光部１からの信号電荷〔８，１６〕が読み出される
（図１参照）。
の信号電荷〔１，２，３，４，９，１０，１１，１２〕
を偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ1 ，２Ｂ2 に夫々読み
出し、また、偶数ラインの受光部１の信号電荷〔５，
６，７，８，１３，１４，１５，１６〕を奇数列の垂直
転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 に夫々読み出す。
従って、垂直転送レジスタ２Ｂ1 には両側の受光部から
の信号電荷〔１，２，９，１０〕が、垂直転送レジスタ
２Ｂ2 には両側の受光部１からの信号電荷〔３，４，１
１，１２〕が読み出され、垂直転送レジスタ２Ａには片
側の受光部１からの信号電荷〔５，１３〕が垂直転送レ
ジスタ２Ａ2 には両側の受光部１からの信号電荷〔６，
７，１４，１５〕が、垂直転送レジスタ２Ａ3 には片側
の受光部１からの信号電荷〔８，１６〕が読み出される
（図１参照）。
【００３９】その後、第１フィールドでは図２に示すよ
うに、奇数ラインの信号電荷が読み出された偶数列の垂
直転送レジスタ２Ｂ1 ，２Ｂ2 のみを駆動して、その奇
数ラインの信号電荷のみを水平転送レジスタ３へ転送
し、出力部４より第１フィールドのＣＣＤ信号を出力す
る。続いて、第２フィールドでは、図３に示すように偶
数ラインの信号電荷が読み出された奇数列の垂直転送レ
ジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 のみを駆動して、その偶
数ラインの信号電荷のみを水平転送レジスタ３へ転送し
出力部４より第２フィールドのＣＣＤ信号を出力するよ
うになす。
うに、奇数ラインの信号電荷が読み出された偶数列の垂
直転送レジスタ２Ｂ1 ，２Ｂ2 のみを駆動して、その奇
数ラインの信号電荷のみを水平転送レジスタ３へ転送
し、出力部４より第１フィールドのＣＣＤ信号を出力す
る。続いて、第２フィールドでは、図３に示すように偶
数ラインの信号電荷が読み出された奇数列の垂直転送レ
ジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 のみを駆動して、その偶
数ラインの信号電荷のみを水平転送レジスタ３へ転送し
出力部４より第２フィールドのＣＣＤ信号を出力するよ
うになす。
【００４０】図４は上記固体撮像装置１１における画素
を含む撮像部分の拡大図を示す。斜線５は各受光部１を
区画するチャネルストップ領域、１０は各垂直転送レジ
スタ２を構成する埋込みチャネル領域を夫々示す。受光
部１の読み出しゲート部６は、奇数ラインに位置する受
光部１では例えば偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ1 ，２
Ｂ2 側に、偶数ラインに位置する受光部１では例えば奇
数列の垂直転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 側に設
けられる。同じ垂直転送レジスタ２側に設けられる両側
の読み出しゲート部６（即ち同じライン同士の受光部の
読み出しゲート部）は垂直方向に上下にずれた位置に形
成される。
を含む撮像部分の拡大図を示す。斜線５は各受光部１を
区画するチャネルストップ領域、１０は各垂直転送レジ
スタ２を構成する埋込みチャネル領域を夫々示す。受光
部１の読み出しゲート部６は、奇数ラインに位置する受
光部１では例えば偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ1 ，２
Ｂ2 側に、偶数ラインに位置する受光部１では例えば奇
数列の垂直転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 側に設
けられる。同じ垂直転送レジスタ２側に設けられる両側
の読み出しゲート部６（即ち同じライン同士の受光部の
読み出しゲート部）は垂直方向に上下にずれた位置に形
成される。
【００４１】一方、垂直転送レジスタ２〔２Ａ，２Ｂ〕
は、第１層目多結晶シリコンによる第１転送電極７、第
２層目多結晶シリコンによる第２転送電極８及び第３層
目多結晶シリコンによる第３転送電極９で１ビットを形
成するように構成される。
は、第１層目多結晶シリコンによる第１転送電極７、第
２層目多結晶シリコンによる第２転送電極８及び第３層
目多結晶シリコンによる第３転送電極９で１ビットを形
成するように構成される。
【００４２】第１転送電極７は、水平方向に延長するよ
うに配線され、且つ垂直転送レジスタ２上では傾斜して
１側の受光部の読み出しゲート部６に跨がるように例え
ば直角三角形状部７ａに形成される。
うに配線され、且つ垂直転送レジスタ２上では傾斜して
１側の受光部の読み出しゲート部６に跨がるように例え
ば直角三角形状部７ａに形成される。
【００４３】第２転送電極８も水平方向に延長するよう
に配線され、且つ垂直転送レジスタ２上では、第１転送
電極７の直角三角形状部７ａと第３転送電極９を挟んで
対向するように、傾斜して他側の受光部の読み出しゲー
ト部６に跨がるように同じ直角三角形状部８ａに形成さ
れる。
に配線され、且つ垂直転送レジスタ２上では、第１転送
電極７の直角三角形状部７ａと第３転送電極９を挟んで
対向するように、傾斜して他側の受光部の読み出しゲー
ト部６に跨がるように同じ直角三角形状部８ａに形成さ
れる。
【００４４】第３転送電極９〔９Ａ，９Ｂ〕は垂直方向
に延長するように配線される。この第３転送電極９は奇
数列の垂直転送レジスタ２Ａと偶数列の垂直転送レジス
タ２Ｂとで電気的に独立に形成される。
に延長するように配線される。この第３転送電極９は奇
数列の垂直転送レジスタ２Ａと偶数列の垂直転送レジス
タ２Ｂとで電気的に独立に形成される。
【００４５】そして、第１転送電極７には垂直転送クロ
ックパルスφＶ1 が、第２転送電極８には垂直転送クロ
ックパルスφＶ2 が、奇数列の垂直転送レジスタ２Ａに
対応する第３転送電極９Ａには垂直転送クロックパルス
φＶ3Oが、偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂに対応する第
３転送電極９Ｂには垂直転送クロックパルスφＶ3Eが夫
々印加される。従って、この垂直転送レジスタ２はいわ
ゆる３相駆動パルスで駆動される。
ックパルスφＶ1 が、第２転送電極８には垂直転送クロ
ックパルスφＶ2 が、奇数列の垂直転送レジスタ２Ａに
対応する第３転送電極９Ａには垂直転送クロックパルス
φＶ3Oが、偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂに対応する第
３転送電極９Ｂには垂直転送クロックパルスφＶ3Eが夫
々印加される。従って、この垂直転送レジスタ２はいわ
ゆる３相駆動パルスで駆動される。
【００４６】図５は、本実施例に係る垂直転送クロック
パルスφＶ1 ，φＶ2 ，φＶ3E，φＶ3O、シャッタパル
ス、垂直ブランキングパルスＶ−ＢＬＫ、及び水平ブラ
ンキングパルスＨ−ＢＬＫのタイミングチャートを示
す。
パルスφＶ1 ，φＶ2 ，φＶ3E，φＶ3O、シャッタパル
ス、垂直ブランキングパルスＶ−ＢＬＫ、及び水平ブラ
ンキングパルスＨ−ＢＬＫのタイミングチャートを示
す。
【００４７】また、図６は、図５の拡大タイミングチャ
ートを示す。なお、図５のタイミング〜と図６のタ
イミング〜は対応している。
ートを示す。なお、図５のタイミング〜と図６のタ
イミング〜は対応している。
【００４８】次に、図４〜図６を用いて更に詳しく上記
第１実施例に係るＩＴ型固体撮像装置１１の動作を説明
する。
第１実施例に係るＩＴ型固体撮像装置１１の動作を説明
する。
【００４９】先ず、垂直ブランキング期間Ｔ1 におい
て、第１転送電極７及び第２転送電極８に印加される読
み出しパルス１２により、各受光部１で光電変換された
信号電荷が全画素同時に受光部１から垂直転送レジスタ
２に読み出される。このとき、第３転送電極９Ａ，９Ｂ
に印加される垂直転送クロックパルスφＶ3O，φＶ3Eを
低レベルにすることで、図４に示すように、偶数ライン
の受光部１では例えば左側の受光部１の信号電荷〔６〕
が垂直転送レジスタ２Ａ2 の第２転送電極８ａ下に、右
側の受光部１の信号電極〔７〕が同じ垂直転送レジスタ
２Ａ2 の第１転送電極７ａ下に夫々読み出され、他方、
奇数ラインの受光部１では例えば左側の受光部１の信号
電荷
て、第１転送電極７及び第２転送電極８に印加される読
み出しパルス１２により、各受光部１で光電変換された
信号電荷が全画素同時に受光部１から垂直転送レジスタ
２に読み出される。このとき、第３転送電極９Ａ，９Ｂ
に印加される垂直転送クロックパルスφＶ3O，φＶ3Eを
低レベルにすることで、図４に示すように、偶数ライン
の受光部１では例えば左側の受光部１の信号電荷〔６〕
が垂直転送レジスタ２Ａ2 の第２転送電極８ａ下に、右
側の受光部１の信号電極〔７〕が同じ垂直転送レジスタ
２Ａ2 の第１転送電極７ａ下に夫々読み出され、他方、
奇数ラインの受光部１では例えば左側の受光部１の信号
電荷
〔９〕が垂直転送レジスタ２Ｂ1 の第２転送電極８
ａ下に、右側の受光部１の信号電極〔１０〕が同じ垂直
転送レジスタ２Ｂ1 の第１転送電極７ａ下に夫々読み出
される等して、同一ラインの２画素の信号電荷が対応す
る垂直転送レジスタ２Ａ，２Ｂに垂直方向に互いに２分
されるようにして読み出される。
ａ下に、右側の受光部１の信号電極〔１０〕が同じ垂直
転送レジスタ２Ｂ1 の第１転送電極７ａ下に夫々読み出
される等して、同一ラインの２画素の信号電荷が対応す
る垂直転送レジスタ２Ａ，２Ｂに垂直方向に互いに２分
されるようにして読み出される。
【００５０】次いで、第１フィールドでは奇数列の垂直
転送レジスタ２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2，２Ａ3 〕の第３転
送電極９Ａに印加される垂直転送パルスφＶ3Eを３値の
うちの最も高レベルに固定してこの垂直転送レジスタ２
Ａでの電荷転送を停止した状態で、第１転送電極７、第
２転送電極８、第３転送電極９Ｂに印加される垂直転送
パルスφＶ1 ，φＶ2 ，φＶ3Oによって、偶数列の垂直
転送レジスタ２Ｂ〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕のみを駆動し、水
平ブランキング期間Ｔ2 で奇数ラインの信号電荷のみを
一ライン毎に垂直転送レジスタ２Ｂから水平転送レジス
タ３に転送する。
転送レジスタ２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2，２Ａ3 〕の第３転
送電極９Ａに印加される垂直転送パルスφＶ3Eを３値の
うちの最も高レベルに固定してこの垂直転送レジスタ２
Ａでの電荷転送を停止した状態で、第１転送電極７、第
２転送電極８、第３転送電極９Ｂに印加される垂直転送
パルスφＶ1 ，φＶ2 ，φＶ3Oによって、偶数列の垂直
転送レジスタ２Ｂ〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕のみを駆動し、水
平ブランキング期間Ｔ2 で奇数ラインの信号電荷のみを
一ライン毎に垂直転送レジスタ２Ｂから水平転送レジス
タ３に転送する。
【００５１】ここで、垂直転送レジスタ２Ｂ内には同一
ラインの２画素の信号電荷が垂直方向に上下２段に存し
ているため、水平ブランキング期間Ｔ2 内において垂直
転送レジスタ２Ｂから水平転送レジスタ３へ２段分の転
送が行われる。これにより水平転送レジスタ３内には同
一ラインに対応して信号電荷〔１，２，３，４〕，
〔９，１０，１１，１２〕の配列順序が得られ、以後、
水平転送レジスタ３内を転送して出力部４から第１フィ
ールドのＣＣＤ信号が出力される。
ラインの２画素の信号電荷が垂直方向に上下２段に存し
ているため、水平ブランキング期間Ｔ2 内において垂直
転送レジスタ２Ｂから水平転送レジスタ３へ２段分の転
送が行われる。これにより水平転送レジスタ３内には同
一ラインに対応して信号電荷〔１，２，３，４〕，
〔９，１０，１１，１２〕の配列順序が得られ、以後、
水平転送レジスタ３内を転送して出力部４から第１フィ
ールドのＣＣＤ信号が出力される。
【００５２】次いで、第２フィールドでは、逆に偶数列
の垂直転送レジスタ２Ｂ〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕の第３転送
電極９Ｂの垂直転送パルスφＶ3Oを３値のうちの最も高
いレベルに固定して偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂでの
電荷転送を停止した状態で、第１転送電極７、第２転送
電極８、第３転送電極９Ａに印加される垂直転送φ
Ｖ 1 ，φＶ2 ，φＶ3Eによって、奇数列の垂直転送レジ
スタ２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2，２Ａ3 〕のみを駆動し、水
平ブランキング期間Ｔ2 で偶数ラインの信号電荷のみを
一ライン毎に、垂直転送レジスタ２Ａから水平転送レジ
スタ３に転送する。
の垂直転送レジスタ２Ｂ〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕の第３転送
電極９Ｂの垂直転送パルスφＶ3Oを３値のうちの最も高
いレベルに固定して偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂでの
電荷転送を停止した状態で、第１転送電極７、第２転送
電極８、第３転送電極９Ａに印加される垂直転送φ
Ｖ 1 ，φＶ2 ，φＶ3Eによって、奇数列の垂直転送レジ
スタ２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2，２Ａ3 〕のみを駆動し、水
平ブランキング期間Ｔ2 で偶数ラインの信号電荷のみを
一ライン毎に、垂直転送レジスタ２Ａから水平転送レジ
スタ３に転送する。
【００５３】この場合も、水平ブランキング期間Ｔ2 内
において垂直転送レジスタ２Ａから水平転送レジスタ３
へ２段分の信号電荷の転送が行われ、これにより、水平
転送レジスタ内には同一ラインに対応した配列の順序の
信号電荷〔５，６，７，８〕，〔１３，１４，１５，１
６〕が得られ、以後、水平転送レジスタ内を転送して出
力部４から第２フィールドのＣＣＤ信号が出力される。
において垂直転送レジスタ２Ａから水平転送レジスタ３
へ２段分の信号電荷の転送が行われ、これにより、水平
転送レジスタ内には同一ラインに対応した配列の順序の
信号電荷〔５，６，７，８〕，〔１３，１４，１５，１
６〕が得られ、以後、水平転送レジスタ内を転送して出
力部４から第２フィールドのＣＣＤ信号が出力される。
【００５４】上述のＩＴ型固体撮像装置１１によれば、
受光蓄積期間が１フレーム期間であって全画素同時読み
出しでありながら、インターレース走査（読み出し）を
行うことが可能になる。また、全画素同時読み出しで且
つインターレース読み出しであるので、フレーム期間
（受光蓄積期間）内の特定の時点でシャッタパルス１３
（図５参照）を印加して基板側に電荷を掃き出す方式の
電子シャッタを行えば、フルフレーム電子シャッタが可
能である。受光部１からの信号電荷の読み出し時期は、
奇数フィールド、偶数フィールド共に同じ時期であるた
め、高速シャッタ時にも画ずれを生ずることがない。
受光蓄積期間が１フレーム期間であって全画素同時読み
出しでありながら、インターレース走査（読み出し）を
行うことが可能になる。また、全画素同時読み出しで且
つインターレース読み出しであるので、フレーム期間
（受光蓄積期間）内の特定の時点でシャッタパルス１３
（図５参照）を印加して基板側に電荷を掃き出す方式の
電子シャッタを行えば、フルフレーム電子シャッタが可
能である。受光部１からの信号電荷の読み出し時期は、
奇数フィールド、偶数フィールド共に同じ時期であるた
め、高速シャッタ時にも画ずれを生ずることがない。
【００５５】尚、図４において、チャネルストップ領域
５のパターンを変えて各受光部列の各読み出しゲート部
６を一方の垂直転送レジスタ側のみに設けるようになせ
ば、全画素読み出して２つの水平転送レジスタから各２
水平ラインづつの信号電荷を独立に読み出すようにした
所謂プログレッシブ走査を行わせることが可能になる。
５のパターンを変えて各受光部列の各読み出しゲート部
６を一方の垂直転送レジスタ側のみに設けるようになせ
ば、全画素読み出して２つの水平転送レジスタから各２
水平ラインづつの信号電荷を独立に読み出すようにした
所謂プログレッシブ走査を行わせることが可能になる。
【００５６】また、上記図４の構造でも駆動の工夫でプ
ログレッシブ走査は当然可能である。
ログレッシブ走査は当然可能である。
【００５７】なお、固体撮像装置をＩＴ型で構成した場
合の問題点は、１フィールド期間垂直転送レジスタ２の
駆動を止めることになるため、スミア成分や暗電流成分
の不要電荷が垂直転送レジスタ２に蓄積され、垂直転送
レジスタ２毎のばらつきによりむら状になることであ
る。これを避けるためにはＦＩＴ型にすれば良い。
合の問題点は、１フィールド期間垂直転送レジスタ２の
駆動を止めることになるため、スミア成分や暗電流成分
の不要電荷が垂直転送レジスタ２に蓄積され、垂直転送
レジスタ２毎のばらつきによりむら状になることであ
る。これを避けるためにはＦＩＴ型にすれば良い。
【００５８】図７〜図１３は、夫々本発明をＦＩＴ型固
体撮像装置に適用した場合の第２実施例〜第４実施例で
ある。
体撮像装置に適用した場合の第２実施例〜第４実施例で
ある。
【００５９】図７に示す第２実施例に係るＦＩＴ型固体
撮像装置３１は、複数の受光部１が、行列状に配列さ
れ、各受光部列（ｎ列）を挟むようにＣＣＤ構造の複数
（ｎ＋１本）の垂直転送レジスタ２〔２Ａ，２Ｂ〕が配
置されてなる撮像部３２と、撮像部３２の垂直転送レジ
スタ２に対応した複数（ｎ＋１本）のＣＣＤ構造の垂直
転送レジスタ即ち蓄積兼転送に供する垂直転送レジスタ
３３〔３３Ａ，３３Ｂ〕を有する蓄積部３４と、ＣＣＤ
構造の水平転送レジスタ３と、水平転送レジスタ３の終
段に接続された出力部４とを有して成る。蓄積部３４の
垂直転送レジスタ３３は撮像部３２の垂直転送レジスタ
２を延長して形成される。
撮像装置３１は、複数の受光部１が、行列状に配列さ
れ、各受光部列（ｎ列）を挟むようにＣＣＤ構造の複数
（ｎ＋１本）の垂直転送レジスタ２〔２Ａ，２Ｂ〕が配
置されてなる撮像部３２と、撮像部３２の垂直転送レジ
スタ２に対応した複数（ｎ＋１本）のＣＣＤ構造の垂直
転送レジスタ即ち蓄積兼転送に供する垂直転送レジスタ
３３〔３３Ａ，３３Ｂ〕を有する蓄積部３４と、ＣＣＤ
構造の水平転送レジスタ３と、水平転送レジスタ３の終
段に接続された出力部４とを有して成る。蓄積部３４の
垂直転送レジスタ３３は撮像部３２の垂直転送レジスタ
２を延長して形成される。
【００６０】撮像部３２では、例えば図４と同様に、奇
数ラインに位置する受光部１の信号電荷が偶数列の垂直
転送レジスタ２Ｂ〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕に読み出され、偶
数ラインに位置する受光部１の信号電荷が奇数列の垂直
転送レジスタ２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 〕に読み出
されるように構成される。
数ラインに位置する受光部１の信号電荷が偶数列の垂直
転送レジスタ２Ｂ〔２Ｂ1 ，２Ｂ2 〕に読み出され、偶
数ラインに位置する受光部１の信号電荷が奇数列の垂直
転送レジスタ２Ａ〔２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 〕に読み出
されるように構成される。
【００６１】撮像部３２及び蓄積部３４の垂直転送レジ
スタ２及び３３における転送電極は、図４で示したと同
様に形成される。即ち、第１層目多結晶シリコンの第１
転送電極７及び第２層目多結晶シリコンの第２転送電極
８が水平方向に延長するように形成され、第３層目多結
晶シリコンの第３転送電極９が両垂直転送レジスタ２及
び２２に共通となるように垂直方向に延長して形成され
る。
スタ２及び３３における転送電極は、図４で示したと同
様に形成される。即ち、第１層目多結晶シリコンの第１
転送電極７及び第２層目多結晶シリコンの第２転送電極
８が水平方向に延長するように形成され、第３層目多結
晶シリコンの第３転送電極９が両垂直転送レジスタ２及
び２２に共通となるように垂直方向に延長して形成され
る。
【００６２】そして、例えば奇数列の第３転送電極９Ａ
に垂直転送パルスφＩＭ3Oを印加し、偶数列の第３転送
電極９Ｂに垂直転送パルスφＩＭ3Eを印加し、撮像部３
２における第１転送電極７及び第２転送電極９に夫々垂
直転送パルスφＩＭ1 及びφＩＭ2 を印加して撮像部３
２ではφＩＭ1 ，φＩＭ2 とφＩＭ3O又はφＩＭ3Eによ
る３相駆動方式となす。また、蓄積部３４における第１
転送電極７及び第２転送電極８に垂直転送クロックパル
スφＳＴ1 及びφＳＴ2 を印加し、蓄積部３２ではφＳ
Ｔ1 ，φＳＴ2とφＩＭ3O又はφＩＭ3Eによる３相駆動
方式となす。
に垂直転送パルスφＩＭ3Oを印加し、偶数列の第３転送
電極９Ｂに垂直転送パルスφＩＭ3Eを印加し、撮像部３
２における第１転送電極７及び第２転送電極９に夫々垂
直転送パルスφＩＭ1 及びφＩＭ2 を印加して撮像部３
２ではφＩＭ1 ，φＩＭ2 とφＩＭ3O又はφＩＭ3Eによ
る３相駆動方式となす。また、蓄積部３４における第１
転送電極７及び第２転送電極８に垂直転送クロックパル
スφＳＴ1 及びφＳＴ2 を印加し、蓄積部３２ではφＳ
Ｔ1 ，φＳＴ2とφＩＭ3O又はφＩＭ3Eによる３相駆動
方式となす。
【００６３】図９は、第２実施例に係るＦＩＴ型固体撮
像装置３１の垂直転送パルスφＩＭ 1 ，φＩＭ2 ，φＳ
Ｔ1 ，φＳＴ2 ，φＩＭ3E，φＩＭ3O及び垂直ブランキ
ングパルスＶ−ＢＬＫのタイミングチャートを示す。
像装置３１の垂直転送パルスφＩＭ 1 ，φＩＭ2 ，φＳ
Ｔ1 ，φＳＴ2 ，φＩＭ3E，φＩＭ3O及び垂直ブランキ
ングパルスＶ−ＢＬＫのタイミングチャートを示す。
【００６４】この第２実施例では、垂直ブランキング期
間Ｔ1 の所定時点において、φＩＭ 1 及びφＩＭ2 の読
み出しパルス１２により、各受光部１の信号電荷が、全
画素同時に対応する垂直転送レジスタ２に読み出され
る。即ち、奇数ラインの受光部１の信号電荷〔１，２，
３，４，９，１０，１１，１２〕が夫々対応する偶数列
の垂直転送レジスタ２Ｂ1 ，２Ｂ2 に、偶数ラインの受
光部の信号電荷〔５，６，７，８，１３，１４，１５，
１６〕が夫々対応する奇数列の垂直転送レジスタ２
Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 に読み出される。
間Ｔ1 の所定時点において、φＩＭ 1 及びφＩＭ2 の読
み出しパルス１２により、各受光部１の信号電荷が、全
画素同時に対応する垂直転送レジスタ２に読み出され
る。即ち、奇数ラインの受光部１の信号電荷〔１，２，
３，４，９，１０，１１，１２〕が夫々対応する偶数列
の垂直転送レジスタ２Ｂ1 ，２Ｂ2 に、偶数ラインの受
光部の信号電荷〔５，６，７，８，１３，１４，１５，
１６〕が夫々対応する奇数列の垂直転送レジスタ２
Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 に読み出される。
【００６５】次に、信号電荷は、各垂直転送パルスφＩ
Ｍ1 ，φＩＭ2 ，φＩＭ3O，φＩＭ 3E，φＳＴ1 ，φＳ
Ｔ2 におけるフレームシフト転送パルス３６により、フ
レームシフト転送期間Ｔ3 内に撮像部３２から蓄積部３
４の垂直転送レジスタ３３〔３３Ａ，３３Ｂ〕に高速転
送される。
Ｍ1 ，φＩＭ2 ，φＩＭ3O，φＩＭ 3E，φＳＴ1 ，φＳ
Ｔ2 におけるフレームシフト転送パルス３６により、フ
レームシフト転送期間Ｔ3 内に撮像部３２から蓄積部３
４の垂直転送レジスタ３３〔３３Ａ，３３Ｂ〕に高速転
送される。
【００６６】次いで、第１フィールドのラインシフト転
送期間Ｔ4 では蓄積部３４における垂直転送パルスφＩ
Ｍ3Eを３値のうちの最も高いレベル３７に固定して奇数
列の垂直転送レジスタ３３Ａ〔３３Ａ1 ，３３Ａ2 ，３
３Ａ3 〕の電荷転送を停止した状態で、垂直転送パルス
φＳＴ1 ，φＳＴ2 及びφＩＭ3Oにおけるラインシフト
転送パルス３８により偶数列の垂直転送レジスタ３３Ｂ
1 ，３３Ｂ2 の信号電荷のみを水平転送レジスタ３に転
送する（図７参照）。
送期間Ｔ4 では蓄積部３４における垂直転送パルスφＩ
Ｍ3Eを３値のうちの最も高いレベル３７に固定して奇数
列の垂直転送レジスタ３３Ａ〔３３Ａ1 ，３３Ａ2 ，３
３Ａ3 〕の電荷転送を停止した状態で、垂直転送パルス
φＳＴ1 ，φＳＴ2 及びφＩＭ3Oにおけるラインシフト
転送パルス３８により偶数列の垂直転送レジスタ３３Ｂ
1 ，３３Ｂ2 の信号電荷のみを水平転送レジスタ３に転
送する（図７参照）。
【００６７】このときも、上例と同様に垂直転送レジス
タ内３３Ｂ1 ，３３Ｂ2 の垂直方向に存する同一ライン
の２画素の信号電荷例えば〔１，２〕，〔３，４〕を水
平ブランキング期間内において、垂直転送レジスタ３３
Ｂ1 ，３３Ｂ2 から水平転送レジスタ３へ２段分の転送
をなし、水平転送レジスタ３内で同一ラインに対応する
信号電荷の配列順序〔例えば１，２，３，４〕とする。
このようにして２相の水平転送パルスφＨ1 ，φＨ2 に
より水平転送レジスタ３内を転送して出力部４から第１
フィールドのＣＣＤ信号を出力する。
タ内３３Ｂ1 ，３３Ｂ2 の垂直方向に存する同一ライン
の２画素の信号電荷例えば〔１，２〕，〔３，４〕を水
平ブランキング期間内において、垂直転送レジスタ３３
Ｂ1 ，３３Ｂ2 から水平転送レジスタ３へ２段分の転送
をなし、水平転送レジスタ３内で同一ラインに対応する
信号電荷の配列順序〔例えば１，２，３，４〕とする。
このようにして２相の水平転送パルスφＨ1 ，φＨ2 に
より水平転送レジスタ３内を転送して出力部４から第１
フィールドのＣＣＤ信号を出力する。
【００６８】次に、第２フィールドのラインシフト転送
期間Ｔ5 では、蓄積部３４における垂直転送パルスφＩ
Ｍ3Oを３値のうちの最も高いレベル３７に固定して偶数
列の垂直転送レジスタ３３Ｂ1 ，３３Ｂ2 の電荷転送を
停止した状態で、垂直転送パルスφＳＴ1 ，φＳＴ2 及
びφＩＭ3Eにおけるラインシフト転送パルス３８により
奇数列の垂直転送レジスタ３３Ａ1 ，３３Ａ2 ，３３Ａ
3 の信号電荷のみを水平転送レジスタ３に転送する（図
８参照）。
期間Ｔ5 では、蓄積部３４における垂直転送パルスφＩ
Ｍ3Oを３値のうちの最も高いレベル３７に固定して偶数
列の垂直転送レジスタ３３Ｂ1 ，３３Ｂ2 の電荷転送を
停止した状態で、垂直転送パルスφＳＴ1 ，φＳＴ2 及
びφＩＭ3Eにおけるラインシフト転送パルス３８により
奇数列の垂直転送レジスタ３３Ａ1 ，３３Ａ2 ，３３Ａ
3 の信号電荷のみを水平転送レジスタ３に転送する（図
８参照）。
【００６９】このときも、垂直転送レジスタ３３Ａ1 ，
３３Ａ2 ，３３Ａ3 の信号電荷を水平ブランキング期間
内に垂直転送レジスタ３３Ａ1 ，３３Ａ2 ，３３Ａ3 か
ら水平転送レジスタ３へ２段分の転送をなし、水平転送
レジスタ３内で同一ラインに対応する信号電荷の配列順
序〔例えば５，６，７，８〕とする。このようにして水
平転送レジスタ３を通して出力部４から第２フィールド
のＣＣＤ信号を出力する。
３３Ａ2 ，３３Ａ3 の信号電荷を水平ブランキング期間
内に垂直転送レジスタ３３Ａ1 ，３３Ａ2 ，３３Ａ3 か
ら水平転送レジスタ３へ２段分の転送をなし、水平転送
レジスタ３内で同一ラインに対応する信号電荷の配列順
序〔例えば５，６，７，８〕とする。このようにして水
平転送レジスタ３を通して出力部４から第２フィールド
のＣＣＤ信号を出力する。
【００７０】その後、余剰電荷掃き出し転送期間Ｔ6 に
おいて、各垂直転送パルスφＩＭ1，φＩＭ2 ，φＳＴ
1 ，φＳＴ2 ，φＩＭ3E，φＩＭ3Oにおける余剰電荷掃
き出し転送パルス３９により撮像部３２の垂直転送レジ
スタ２内に残留するスミア成分、暗電流成分等の余剰電
荷を蓄積部３４に掃き出し、更に、図示せざるも水平転
送レジスタ３及びゲート部を通って水平転送レジスタの
下側に配されたドレイン領域に掃き出される。
おいて、各垂直転送パルスφＩＭ1，φＩＭ2 ，φＳＴ
1 ，φＳＴ2 ，φＩＭ3E，φＩＭ3Oにおける余剰電荷掃
き出し転送パルス３９により撮像部３２の垂直転送レジ
スタ２内に残留するスミア成分、暗電流成分等の余剰電
荷を蓄積部３４に掃き出し、更に、図示せざるも水平転
送レジスタ３及びゲート部を通って水平転送レジスタの
下側に配されたドレイン領域に掃き出される。
【００７１】なお、垂直転送パルスφＩＭとφＳＴを共
通（φＩＭ1 ＝φＳＴ1 ，φＩＭ2＝φＳＴ2 ）とする
こともできる。また、φＩＭ1 とφＩＭ2 ではラインシ
フト転送期間Ｔ4 ，Ｔ5 のラインシフト転送パルス３８
をなくし、一定レベルに固定するようにしてもよい。
通（φＩＭ1 ＝φＳＴ1 ，φＩＭ2＝φＳＴ2 ）とする
こともできる。また、φＩＭ1 とφＩＭ2 ではラインシ
フト転送期間Ｔ4 ，Ｔ5 のラインシフト転送パルス３８
をなくし、一定レベルに固定するようにしてもよい。
【００７２】この第２実施例に係るＦＩＴ型固体撮像装
置３１では、上側と同様に、全画素同時読み出しで且つ
インターレース走査（読み出し）を行うことができ、フ
ルフレーム電子シャッタが可能となる。そして、ＦＩＴ
型に構成されるので、ＩＴ型に比べてスミア成分を低減
することができる。但し、蓄積部３４で１フィールド期
間転送が停止するため、垂直転送レジスタ３３〔３３
Ａ，３３Ｂ〕の暗電流が発生する懼れがある。
置３１では、上側と同様に、全画素同時読み出しで且つ
インターレース走査（読み出し）を行うことができ、フ
ルフレーム電子シャッタが可能となる。そして、ＦＩＴ
型に構成されるので、ＩＴ型に比べてスミア成分を低減
することができる。但し、蓄積部３４で１フィールド期
間転送が停止するため、垂直転送レジスタ３３〔３３
Ａ，３３Ｂ〕の暗電流が発生する懼れがある。
【００７３】図１０及び図１１は、本発明の第３実施例
に係るＦＩＴ型固体撮像装置４１を示す。
に係るＦＩＴ型固体撮像装置４１を示す。
【００７４】本例は、図１０に示すように、複数の受光
部１が行列状に配列され、各受光部列（ｎ列）を挟むよ
うにＣＣＤ構造の複数（ｎ＋１本）の垂直転送レジスタ
２〔２Ａ，２Ｂ〕が配置されてなる撮像部３２と、撮像
部３２の垂直転送レジスタ２に対応した複数（実質的に
はｎ本で十分）のＣＣＤ構造の垂直転送レジスタ、即ち
蓄積兼転送に供する垂直転送レジスタ４２〔４２Ａ，４
２Ｂ〕を有する蓄積部３４と、撮像部３２及び蓄積部３
４間にあって撮像部３２の各１つの垂直転送レジスタ２
の信号電荷を蓄積部３４の隣合う２つの垂直転送レジス
タ４２Ａ，４２Ｂに振り分けるためのコントロールゲー
ト部４３と、ＣＣＤ構造の水平転送レジスタ３と、水平
転送レジスタ３の終段に接続された出力部４とを有して
成る。
部１が行列状に配列され、各受光部列（ｎ列）を挟むよ
うにＣＣＤ構造の複数（ｎ＋１本）の垂直転送レジスタ
２〔２Ａ，２Ｂ〕が配置されてなる撮像部３２と、撮像
部３２の垂直転送レジスタ２に対応した複数（実質的に
はｎ本で十分）のＣＣＤ構造の垂直転送レジスタ、即ち
蓄積兼転送に供する垂直転送レジスタ４２〔４２Ａ，４
２Ｂ〕を有する蓄積部３４と、撮像部３２及び蓄積部３
４間にあって撮像部３２の各１つの垂直転送レジスタ２
の信号電荷を蓄積部３４の隣合う２つの垂直転送レジス
タ４２Ａ，４２Ｂに振り分けるためのコントロールゲー
ト部４３と、ＣＣＤ構造の水平転送レジスタ３と、水平
転送レジスタ３の終段に接続された出力部４とを有して
成る。
【００７５】この撮像部３２は、前述の第２実施例と同
様に構成することができ、その第１転送電極及び第２転
送電極に夫々垂直転送クロックパルスφＩＭ1 及びφＩ
Ｍ2が印加され、奇数列及び偶数列の第３転送電極に夫
々垂直転送クロックパルスφＩＭ3O及びφＩＭ3Eが印加
される。
様に構成することができ、その第１転送電極及び第２転
送電極に夫々垂直転送クロックパルスφＩＭ1 及びφＩ
Ｍ2が印加され、奇数列及び偶数列の第３転送電極に夫
々垂直転送クロックパルスφＩＭ3O及びφＩＭ3Eが印加
される。
【００７６】コントロールゲート部４３にはコントロー
ルゲートパルスφcontが印加される。
ルゲートパルスφcontが印加される。
【００７７】蓄積部３４の垂直転送レジスタ４２は、例
えば第１層目、第２層目及び第３層目の多結晶シリコン
からなる第１、第２、第３の転送電極を有し、夫々の第
１、第２及び第３の転送電極に３相の垂直転送クロック
パルスφＳＴ1 ，φＳＴ2 及びφＳＴ3 が印加される。
えば第１層目、第２層目及び第３層目の多結晶シリコン
からなる第１、第２、第３の転送電極を有し、夫々の第
１、第２及び第３の転送電極に３相の垂直転送クロック
パルスφＳＴ1 ，φＳＴ2 及びφＳＴ3 が印加される。
【００７８】水平転送レジスタ３には２相の水平転送ク
ロックパルスφＨ1 及びφＨ2 が印加される。
ロックパルスφＨ1 及びφＨ2 が印加される。
【００７９】図１１は、この第３実施例に係るＦＩＴ型
固体撮像装置４１の垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩ
Ｍ2 ，φＩＭ3E，φＩＭ3O、コントロールゲートパルス
φcont及び垂直ブランキングパルスＶ−ＢＬＫのタイミ
ングチャートを示す。
固体撮像装置４１の垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩ
Ｍ2 ，φＩＭ3E，φＩＭ3O、コントロールゲートパルス
φcont及び垂直ブランキングパルスＶ−ＢＬＫのタイミ
ングチャートを示す。
【００８０】この第３実施例では、垂直ブランキング期
間Ｔ1 の所定時点において、φＩＭ 1 ，φＩＭ2 の読み
出しパルス１２により全画素同時に、即ち、奇数ライン
の受光部１の信号電荷が偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ
1 ，２Ｂ2 に、偶数ラインの受光部１の信号電荷が奇数
列の垂直転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 に夫々読
み出される。
間Ｔ1 の所定時点において、φＩＭ 1 ，φＩＭ2 の読み
出しパルス１２により全画素同時に、即ち、奇数ライン
の受光部１の信号電荷が偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ
1 ，２Ｂ2 に、偶数ラインの受光部１の信号電荷が奇数
列の垂直転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ3 に夫々読
み出される。
【００８１】次に、読み出された垂直転送レジスタ２の
信号電荷をフレームシフト転送期間Ｔ3 で各垂直転送パ
ルスφＩＭ1 ，φＩＭ2 ，φＩＭ3O，φＩＭ3E，φＳＴ
1 ，φＳＴ2 ，φＳＴ3 及びコントロールゲートパルス
φcontにおけるフレームシフト転送パルス３６により、
撮像部３２から蓄積部３４の垂直転送レジスタ４２に高
速転送する。
信号電荷をフレームシフト転送期間Ｔ3 で各垂直転送パ
ルスφＩＭ1 ，φＩＭ2 ，φＩＭ3O，φＩＭ3E，φＳＴ
1 ，φＳＴ2 ，φＳＴ3 及びコントロールゲートパルス
φcontにおけるフレームシフト転送パルス３６により、
撮像部３２から蓄積部３４の垂直転送レジスタ４２に高
速転送する。
【００８２】このとき、フレームシフト転送期間Ｔ3 の
前半では垂直転送パルスφＩＭ3Eを３値のうちの最も高
いレベル３７に固定して偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ
1 ，２Ｂ2 の信号電荷のみを高速転送し、且つコントロ
ールゲート部４３によって垂直転送レジスタ２Ｂ1 ，２
Ｂ2 内で垂直方向の上下に分離している同一ラインの２
画素の信号電荷を蓄積部３４の対応する２つの隣合う垂
直転送レジスタ４２Ａ 1 と４２Ｂ1 ，４２Ａ2 と４２Ｂ
2 に振り分けるように高速転送する。これによって蓄積
部３４の垂直転送レジスタ４２Ａ1 〜４２Ｂ2 の下半分
に奇数ラインの信号電荷が各ライン毎に水平に配列され
た状態〔１，２，３，４〕，〔９，１０，１１，１２〕
で蓄積される。
前半では垂直転送パルスφＩＭ3Eを３値のうちの最も高
いレベル３７に固定して偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ
1 ，２Ｂ2 の信号電荷のみを高速転送し、且つコントロ
ールゲート部４３によって垂直転送レジスタ２Ｂ1 ，２
Ｂ2 内で垂直方向の上下に分離している同一ラインの２
画素の信号電荷を蓄積部３４の対応する２つの隣合う垂
直転送レジスタ４２Ａ 1 と４２Ｂ1 ，４２Ａ2 と４２Ｂ
2 に振り分けるように高速転送する。これによって蓄積
部３４の垂直転送レジスタ４２Ａ1 〜４２Ｂ2 の下半分
に奇数ラインの信号電荷が各ライン毎に水平に配列され
た状態〔１，２，３，４〕，〔９，１０，１１，１２〕
で蓄積される。
【００８３】続く、フレームシフト期間Ｔ3 の後半では
垂直転送パルスφＩＭ3Oを３値のうちの最も高いレベル
３７に固定して奇数列の垂直転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ
2 ，２Ａ3 の信号電荷のみを高速転送し、且つコントロ
ールゲート部４３によって例えば垂直転送レジスタ２Ａ
2 内で垂直方向の上下に分離されている同一ラインの２
画素の信号電荷を蓄積部３４の対応する２つの隣合う垂
直転送レジスタ４３Ｂ 1 と４２Ａ2 に振り分けるように
高速転送する。これによって、蓄積部３４の垂直転送レ
ジスタ４２Ａ1 〜４２Ｂ2 の上半分に偶数ラインの信号
電荷が各ライン毎に水平に配列された状態〔５，６，
７，８〕，〔１３，１４，１５，１６〕で蓄積される。
垂直転送パルスφＩＭ3Oを３値のうちの最も高いレベル
３７に固定して奇数列の垂直転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ
2 ，２Ａ3 の信号電荷のみを高速転送し、且つコントロ
ールゲート部４３によって例えば垂直転送レジスタ２Ａ
2 内で垂直方向の上下に分離されている同一ラインの２
画素の信号電荷を蓄積部３４の対応する２つの隣合う垂
直転送レジスタ４３Ｂ 1 と４２Ａ2 に振り分けるように
高速転送する。これによって、蓄積部３４の垂直転送レ
ジスタ４２Ａ1 〜４２Ｂ2 の上半分に偶数ラインの信号
電荷が各ライン毎に水平に配列された状態〔５，６，
７，８〕，〔１３，１４，１５，１６〕で蓄積される。
【００８４】しかる後、第１フィールドのラインシフト
転送期間Ｔ4 で、蓄積部３４の垂直転送パルスφＳＴ1
〜φＳＴ3 のラインシフト転送パルス３８により奇数ラ
インの信号電荷が水平転送レジスタ３に転送され出力部
４を通して第１フィールドのＣＣＤ信号が出力され、続
いて第２フィールドのラインシフト転送期間Ｔ5 で偶数
ラインの信号電荷が水平転送レジスタ４に転送され、出
力部４を通じて第２フィールドのＣＣＤ信号が出力され
る。
転送期間Ｔ4 で、蓄積部３４の垂直転送パルスφＳＴ1
〜φＳＴ3 のラインシフト転送パルス３８により奇数ラ
インの信号電荷が水平転送レジスタ３に転送され出力部
４を通して第１フィールドのＣＣＤ信号が出力され、続
いて第２フィールドのラインシフト転送期間Ｔ5 で偶数
ラインの信号電荷が水平転送レジスタ４に転送され、出
力部４を通じて第２フィールドのＣＣＤ信号が出力され
る。
【００８５】なお、このラインシフト転送時、撮像部３
２の垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩＭ2 ，φＩＭ3E，φ
ＩＭ3O及びコントロールゲートパルスφcontは図１１に
示す一定電位に固定されるが、また、動作させてもよ
い。
２の垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩＭ2 ，φＩＭ3E，φ
ＩＭ3O及びコントロールゲートパルスφcontは図１１に
示す一定電位に固定されるが、また、動作させてもよ
い。
【００８６】その後、垂直ブランキング期間Ｔ1 内の余
剰電荷掃き出し転送期間Ｔ6 で余剰電荷掃き出し転送パ
ルス39により撮像部３２の垂直転送レジスタ２内の余剰
電荷を蓄積部３４に掃き出す。
剰電荷掃き出し転送期間Ｔ6 で余剰電荷掃き出し転送パ
ルス39により撮像部３２の垂直転送レジスタ２内の余剰
電荷を蓄積部３４に掃き出す。
【００８７】この第３実施例では、上例と同様に全画素
読み出しで且つインターレース走査（読み出し）を行う
ことができ、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
読み出しで且つインターレース走査（読み出し）を行う
ことができ、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
【００８８】そして、スミア成分の低減が図れると共
に、特に、信号電荷を垂直転送レジスタ２で停止させる
期間がフレームシフト転送期間（高速転送時）のみで極
短時間であるため暗電流の問題も生じない。
に、特に、信号電荷を垂直転送レジスタ２で停止させる
期間がフレームシフト転送期間（高速転送時）のみで極
短時間であるため暗電流の問題も生じない。
【００８９】さらに、コントロールゲート部４３を設け
て撮像部３２から蓄積部３４へのフレームシフト転送時
に同一ラインの信号電荷を水平に並べ変えているので、
ラインシフト転送では１段の転送で可能となり、ライン
シフト転送が容易となる。
て撮像部３２から蓄積部３４へのフレームシフト転送時
に同一ラインの信号電荷を水平に並べ変えているので、
ラインシフト転送では１段の転送で可能となり、ライン
シフト転送が容易となる。
【００９０】図１２及び図１３は、本発明の第４実施例
に係るＦＩＴ型固体撮像装置５１を示す。
に係るＦＩＴ型固体撮像装置５１を示す。
【００９１】本例は、図１２に示すように、複数の受光
部１が行列状に配列され、各受光部（ｎ列）を挟むよう
にＣＣＤ構造の複数（ｎ＋１本）の垂直転送レジスタ２
〔２Ａ，２Ｂ〕が配置されてなる撮像部３２と、撮像部
３２における各２列の垂直転送レジスタ２に対し１本の
垂直転送レジスタが対応するように複数のＣＣＤ構造の
垂直転送レジスタ、即ち蓄積兼転送に供する垂直転送レ
ジスタ５２〔５２Ａ1，５２Ｂ1 ，５２Ａ2 〕を有する
蓄積部３４と、ＣＣＤ構造の水平転送レジスタ３と、水
平転送レジスタ３の終段に接続された出力部４とを有し
て成る。本例では、撮像部の各２列の垂直転送レジスタ
２と蓄積部の各１本の垂直転送レジスタ５２が接続され
る形となる。
部１が行列状に配列され、各受光部（ｎ列）を挟むよう
にＣＣＤ構造の複数（ｎ＋１本）の垂直転送レジスタ２
〔２Ａ，２Ｂ〕が配置されてなる撮像部３２と、撮像部
３２における各２列の垂直転送レジスタ２に対し１本の
垂直転送レジスタが対応するように複数のＣＣＤ構造の
垂直転送レジスタ、即ち蓄積兼転送に供する垂直転送レ
ジスタ５２〔５２Ａ1，５２Ｂ1 ，５２Ａ2 〕を有する
蓄積部３４と、ＣＣＤ構造の水平転送レジスタ３と、水
平転送レジスタ３の終段に接続された出力部４とを有し
て成る。本例では、撮像部の各２列の垂直転送レジスタ
２と蓄積部の各１本の垂直転送レジスタ５２が接続され
る形となる。
【００９２】撮像部３２は、第２実施例と同様に構成す
ることができ、その第１転送電極及び第２転送電極に夫
々垂直転送クロックパルスφＩＭ1 及びφＩＭ2 が印加
され、奇数列及び偶数列の第３転送電極に夫々垂直転送
クロックパルスφＩＭ3O及びφＩＭ3Eが印加される。
ることができ、その第１転送電極及び第２転送電極に夫
々垂直転送クロックパルスφＩＭ1 及びφＩＭ2 が印加
され、奇数列及び偶数列の第３転送電極に夫々垂直転送
クロックパルスφＩＭ3O及びφＩＭ3Eが印加される。
【００９３】蓄積部３４の垂直転送レジスタ５２は、例
えば第１層目、第２層目及び第３層目の多結晶シリコン
からなる第１、第２及び第３の転送電極を有し、夫々の
第１、第２及び第３の転送電極に３相の垂直転送クロッ
クパルスφＳＴ〔φＳＴ1 ，φＳＴ2 及びφＳＴ3 〕が
印加される。
えば第１層目、第２層目及び第３層目の多結晶シリコン
からなる第１、第２及び第３の転送電極を有し、夫々の
第１、第２及び第３の転送電極に３相の垂直転送クロッ
クパルスφＳＴ〔φＳＴ1 ，φＳＴ2 及びφＳＴ3 〕が
印加される。
【００９４】水平転送レジスタには、２相の水平転送ク
ロックパルスφＨ1 及びφＨ2 が印加される。
ロックパルスφＨ1 及びφＨ2 が印加される。
【００９５】図１３は、この第４実施例に係るＦＩＴ型
固体撮像装置５１の垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩ
Ｍ2 ，φＩＭ3E，φＩＭ3O，φＳＴ（φＳＴ1 ，φＳＴ
2 ，φＳＴ3 ）、垂直ブランキングパルスＶ−ＢＬＫの
タイミングチャートを示す。
固体撮像装置５１の垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩ
Ｍ2 ，φＩＭ3E，φＩＭ3O，φＳＴ（φＳＴ1 ，φＳＴ
2 ，φＳＴ3 ）、垂直ブランキングパルスＶ−ＢＬＫの
タイミングチャートを示す。
【００９６】この第４実施例では、垂直ブランキング期
間Ｔ1 の所定時点において、φＩＭ 1 ，φＩＭ2 の読み
出しパルス１２により、全画素同時に読み出され、即ち
奇数ラインの受光部１の信号電荷が偶数列の垂直転送レ
ジスタ２Ｂ1 ，２Ｂ2 に、偶数ラインの受光部の信号電
荷が奇数列の垂直転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ 3
に夫々読み出される。
間Ｔ1 の所定時点において、φＩＭ 1 ，φＩＭ2 の読み
出しパルス１２により、全画素同時に読み出され、即ち
奇数ラインの受光部１の信号電荷が偶数列の垂直転送レ
ジスタ２Ｂ1 ，２Ｂ2 に、偶数ラインの受光部の信号電
荷が奇数列の垂直転送レジスタ２Ａ1 ，２Ａ2 ，２Ａ 3
に夫々読み出される。
【００９７】次に、読み出された垂直転送レジスタ２の
信号電荷を垂直ブランキング期間Ｔ 1 内のフレームシフ
ト転送期間Ｔ3 に、各垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩＭ
2 ，φＩＭ3O，φＩＭ3E，φＳＴ（φＳＴ1 ，φＳ
Ｔ2 ，φＳＴ3 ）におけるフレームシフト転送パルス３
６により、信号電荷が撮像部３２から蓄積部３４の垂直
転送レジスタ５２に高速転送される。
信号電荷を垂直ブランキング期間Ｔ 1 内のフレームシフ
ト転送期間Ｔ3 に、各垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩＭ
2 ，φＩＭ3O，φＩＭ3E，φＳＴ（φＳＴ1 ，φＳ
Ｔ2 ，φＳＴ3 ）におけるフレームシフト転送パルス３
６により、信号電荷が撮像部３２から蓄積部３４の垂直
転送レジスタ５２に高速転送される。
【００９８】このとき、フレームシフト転送期間Ｔ3 の
前半では垂直転送パルスφＩＭ3Eを３値のうちの最も高
いレベル３７に固定して偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ
1 ，２Ｂ2 に在る偶数ラインの信号電荷のみを対応する
垂直転送レジスタ５２Ｂ1 ，５２Ａ2 に高速転送する。
これにより、蓄積部３４の各垂直転送レジスタ５２
Ｂ 1 ，５２Ａ2 の下半分に奇数ラインの信号電荷が同一
ラインの２画素の信号電荷を上下に配列するようにして
蓄積される。
前半では垂直転送パルスφＩＭ3Eを３値のうちの最も高
いレベル３７に固定して偶数列の垂直転送レジスタ２Ｂ
1 ，２Ｂ2 に在る偶数ラインの信号電荷のみを対応する
垂直転送レジスタ５２Ｂ1 ，５２Ａ2 に高速転送する。
これにより、蓄積部３４の各垂直転送レジスタ５２
Ｂ 1 ，５２Ａ2 の下半分に奇数ラインの信号電荷が同一
ラインの２画素の信号電荷を上下に配列するようにして
蓄積される。
【００９９】続く、フレームシフト転送期間Ｔ3 の後半
では垂直転送パルスφＩＭ3Oを３値のうちの最も高いレ
ベル３７に固定して奇数列の垂直転送レベル２Ａ1 ，２
Ａ2，２Ａ3 に在る偶数ラインの信号電荷のみを対応す
る垂直転送レジスタ５２Ａ1，５２Ｂ1 ，５２Ａ2 に高
速転送する。これにより、蓄積部３４の各垂直転送レジ
スタ５２Ａ1 ，５２Ｂ1 ，５２Ａ2 の上半分に偶数ライ
ンの信号電荷が同一ラインの２画素の信号電荷を上下に
配列するようにして蓄積される。
では垂直転送パルスφＩＭ3Oを３値のうちの最も高いレ
ベル３７に固定して奇数列の垂直転送レベル２Ａ1 ，２
Ａ2，２Ａ3 に在る偶数ラインの信号電荷のみを対応す
る垂直転送レジスタ５２Ａ1，５２Ｂ1 ，５２Ａ2 に高
速転送する。これにより、蓄積部３４の各垂直転送レジ
スタ５２Ａ1 ，５２Ｂ1 ，５２Ａ2 の上半分に偶数ライ
ンの信号電荷が同一ラインの２画素の信号電荷を上下に
配列するようにして蓄積される。
【０１００】次いで、第１フィールドのラインシフト転
送期間Ｔ4 で蓄積部３４の垂直転送パルスφＳＴ1 〜φ
ＳＴ3 のラインシフト転送パルス３８により、奇数ライ
ンの信号電荷が水平転送レジスタ３に転送される。この
とき、水平ブランキング期間内で２段分の転送が行わ
れ、水平転送レジスタ３内で信号電荷が同一ラインに対
応する配列順序とされる。このようにして一ライン毎に
水平転送レジスタ３内を転送し出力部４から第１フィー
ルドのＣＣＤ信号が出力される。
送期間Ｔ4 で蓄積部３４の垂直転送パルスφＳＴ1 〜φ
ＳＴ3 のラインシフト転送パルス３８により、奇数ライ
ンの信号電荷が水平転送レジスタ３に転送される。この
とき、水平ブランキング期間内で２段分の転送が行わ
れ、水平転送レジスタ３内で信号電荷が同一ラインに対
応する配列順序とされる。このようにして一ライン毎に
水平転送レジスタ３内を転送し出力部４から第１フィー
ルドのＣＣＤ信号が出力される。
【０１０１】続いて、第２フィールドのラインシフト転
送期間Ｔ5 で偶数ラインの信号電荷が同様にして水平転
送レジスタ３に転送され、出力部４から第２フィールド
のＣＣＤ信号が出力される。その後、垂直ブランキング
期間内の余剰電荷掃き出し転送期間Ｔ6 で、余剰電荷掃
き出し転送パルス３９により撮像部３２の垂直転送レジ
スタ２内の余剰電荷を蓄積部に掃き出す。
送期間Ｔ5 で偶数ラインの信号電荷が同様にして水平転
送レジスタ３に転送され、出力部４から第２フィールド
のＣＣＤ信号が出力される。その後、垂直ブランキング
期間内の余剰電荷掃き出し転送期間Ｔ6 で、余剰電荷掃
き出し転送パルス３９により撮像部３２の垂直転送レジ
スタ２内の余剰電荷を蓄積部に掃き出す。
【０１０２】この第４実施例では、上例と同様に全画素
読み出しで且つインターレース走査（読み出し）を行う
ことができ、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
そして、図１０と同様に、スミア成分が低減すると共
に、信号電荷を垂直転送レジスタ２で停止させる期間が
フレームシフト転送期間（高速転送時）のみで極く短時
間であるため暗電流の問題も生じない。さらに、撮像部
３２の２列の垂直転送レジスタ２を、蓄積部３４で１本
の垂直転送レジスタ５２とすることで蓄積部３４の垂直
転送レジスタ５２の転送効率を向上することができる。
構造も比較的簡単化できる。
読み出しで且つインターレース走査（読み出し）を行う
ことができ、フルフレーム電子シャッタが可能となる。
そして、図１０と同様に、スミア成分が低減すると共
に、信号電荷を垂直転送レジスタ２で停止させる期間が
フレームシフト転送期間（高速転送時）のみで極く短時
間であるため暗電流の問題も生じない。さらに、撮像部
３２の２列の垂直転送レジスタ２を、蓄積部３４で１本
の垂直転送レジスタ５２とすることで蓄積部３４の垂直
転送レジスタ５２の転送効率を向上することができる。
構造も比較的簡単化できる。
【０１０３】尚、ラインシフト転送期間中の、φＩ
Ｍ1 ，φＩＭ2 ，φＩＭ3O，φＩＭ3Eは図示のように所
定電位に固定したが、ラインシフト転送パルス３８を駆
動することも可能である。
Ｍ1 ，φＩＭ2 ，φＩＭ3O，φＩＭ3Eは図示のように所
定電位に固定したが、ラインシフト転送パルス３８を駆
動することも可能である。
【０１０４】さらに、垂直転送パルスφＳＴ1 ，φＳＴ
2 を垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩＭ2 に代用（φＩＭ
1 ＝φＳＴ1 ，φＩＭ2 ＝φＳＴ2 ）することも可能で
ある。
2 を垂直転送パルスφＩＭ1 ，φＩＭ2 に代用（φＩＭ
1 ＝φＳＴ1 ，φＩＭ2 ＝φＳＴ2 ）することも可能で
ある。
【０１０５】ＦＩＴ型固体撮像装置３１，４１，５１に
おいて、電子シャッタとしては、電荷を基板側に掃き出
す方式であっても、垂直転送レジスタ２を通して掃き出
す方式であっても可能である。
おいて、電子シャッタとしては、電荷を基板側に掃き出
す方式であっても、垂直転送レジスタ２を通して掃き出
す方式であっても可能である。
【０１０６】上述したように、本実施例においては、簡
単な構成で全画素同時読み出し、フルフレーム電子シャ
ッタを可能とすると共に、インターレース読み出しを可
能とするものである。そして、固体撮像装置をＦＩＴ型
とするときには、スミアや暗電流の奇数フィールドと偶
数フィールド の差を低減することができる等の実益が
ある。
単な構成で全画素同時読み出し、フルフレーム電子シャ
ッタを可能とすると共に、インターレース読み出しを可
能とするものである。そして、固体撮像装置をＦＩＴ型
とするときには、スミアや暗電流の奇数フィールドと偶
数フィールド の差を低減することができる等の実益が
ある。
【０１０７】
【発明の効果】本発明に係る固体撮像装置の駆動方法に
よれば、全画素同時読み出しでありながら、インターレ
ース読み出しを行うことができる。そして、フルフレー
ム電子シャッタを可能とするもので、高速シャッタにお
いても画ずれを生ずることがない。また、本発明に係る
固体撮像装置によれば、比較的簡単な構成で、全画素同
時読み出しで且つインターレース読み出しを実現するこ
とができる。
よれば、全画素同時読み出しでありながら、インターレ
ース読み出しを行うことができる。そして、フルフレー
ム電子シャッタを可能とするもので、高速シャッタにお
いても画ずれを生ずることがない。また、本発明に係る
固体撮像装置によれば、比較的簡単な構成で、全画素同
時読み出しで且つインターレース読み出しを実現するこ
とができる。
【図１】本発明に係るＩＴ型固体撮像装置（第１実施
例）の構成図である。
例）の構成図である。
【図２】第１実施例の動作説明図（その１）である。
【図３】第１実施例の動作説明図（その２）である。
【図４】図１の要部の拡大図である。
【図５】第１実施例の駆動パルスのタイミングチャート
である。
である。
【図６】図５を拡大したタイミングチャートである。
【図７】本発明に係るＦＩＴ型固体撮像装置（第２実施
例）の構成図兼動作説明図（その１）である。
例）の構成図兼動作説明図（その１）である。
【図８】第２実施例の動作説明図（その２）である。
【図９】第２実施例の駆動パルスのタイミングチャート
である。
である。
【図１０】本発明に係るＦＩＴ型固体撮像装置（第３実
施例）の構成図兼動作説明図である。
施例）の構成図兼動作説明図である。
【図１１】第３実施例の駆動パルスのタイミングチャー
トである。
トである。
【図１２】本発明に係るＦＩＴ型固体撮像装置（第４実
施例）の構成図兼動作説明図である。
施例）の構成図兼動作説明図である。
【図１３】第４実施例の駆動パルスのタイミングチャー
トである。
トである。
１ 受光部 ２〔２Ａ1 ，２Ｂ1 ，２Ａ2 ，２Ｂ2 ，２Ａ3 〕 垂直
転送レジスタ ３ 水平転送レジスタ ４ 出力部 ５ チャネルストップ領域 ６，７，８ 転送電極 ９ 埋込みチャネル領域 １１，３１，４１，５１ 固体撮像装置 ３２ 撮像部 ３３〔３３Ａ1 ，３３Ｂ1 ，３３Ａ2 ，３３Ｂ2 ，３３
Ａ3 〕 垂直転送レジスタ ３４ 蓄積部 ４２〔４２Ａ1 ，４２Ｂ1 ，４２Ａ2 ，４２Ｂ2 〕 垂
直転送レジスタ ４３ コントロールゲート部 ５２〔５２Ａ1 ，５２Ｂ1 ，５２Ａ2 〕 垂直転送レジ
スタ
転送レジスタ ３ 水平転送レジスタ ４ 出力部 ５ チャネルストップ領域 ６，７，８ 転送電極 ９ 埋込みチャネル領域 １１，３１，４１，５１ 固体撮像装置 ３２ 撮像部 ３３〔３３Ａ1 ，３３Ｂ1 ，３３Ａ2 ，３３Ｂ2 ，３３
Ａ3 〕 垂直転送レジスタ ３４ 蓄積部 ４２〔４２Ａ1 ，４２Ｂ1 ，４２Ａ2 ，４２Ｂ2 〕 垂
直転送レジスタ ４３ コントロールゲート部 ５２〔５２Ａ1 ，５２Ｂ1 ，５２Ａ2 〕 垂直転送レジ
スタ
Claims (11)
- 【請求項１】 行列状に配された複数の受光部と、該受
光部の一つ置きの列間に配された第１の垂直転送部と該
受光部の残りの一つ置きの列間に配された第２の垂直転
送部と、前記第１及び第２の垂直転送部よりの電荷を水
平方向に転送する水平転送部とを有する固体撮像装置の
駆動方法において、一行置きに位置する第１の受光部群
の信号電荷を前記第１の垂直転送部に、残りの一行置き
に位置する第２の受光部群の信号電荷を前記第２の垂直
転送部に読み出すようにしたことを特徴とする固体撮像
装置の駆動方法。 - 【請求項２】 固体撮像装置がＦＩＴ型である請求項１
に記載の固体撮像装置の駆動方法。 - 【請求項３】 第１の受光部群の信号電荷と第２の受光
部群の信号電荷とを同時に読み出す請求項１又は請求項
２に記載の固体撮像装置の駆動方法。 - 【請求項４】 第１の垂直転送部の信号電荷転送期間
中、第２の垂直転送部の信号電荷転送を停止し、前記第
２の垂直転送部の信号電荷転送期間中、前記第１の垂直
転送部の信号電荷転送を停止する請求項１、請求項２又
は請求項３に記載の固体撮像装置の駆動方法。 - 【請求項５】 水平ブランキング期間中に第１又は第２
の垂直転送部の垂直２ビット分を水平転送部に転送する
請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４に記載の固
体撮像装置の駆動方法。 - 【請求項６】 行列状に配された複数の受光部と、該受
光部の一つ置きの列間に配された第１の垂直転送部及び
該受光部の残りの一つ置きの列間に配された第２の垂直
転送部と、前記第１及び第２の垂直転送部よりの電荷を
水平方向に転送する水平転送部とを有する固体撮像装置
において、 前記受光部の電荷を前記垂直転送部に読み出す読み出し
ゲート部が、奇数行に位置する受光部では前記第１の垂
直転送部側に、偶数行に位置する受光部では前記第２の
垂直転送部側に設けられていることを特徴とする固体撮
像装置。 - 【請求項７】 第１及び第２の垂直転送部と水平転送部
との間に蓄積部を有する請求項６に記載の固体撮像装
置。 - 【請求項８】 蓄積部は第１及び第２の垂直転送部の１
列毎に１つの蓄積兼転送部を有し、前記蓄積部と前記第
１及び第２の垂直転送部との間には第１及び第２の垂直
転送部の電荷を垂直単位ビット毎に隣合う前記蓄積兼転
送部に交互に振り分ける制御ゲートが設けられた請求項
７に記載の固体撮像装置。 - 【請求項９】 蓄積部は第１及び第２の垂直転送部の２
列毎に１つの蓄積兼転送部を有する請求項７に記載の固
体撮像装置。 - 【請求項１０】 第１及び第２の垂直転送部は第１、第
２及び第３の３つの電極で１ビットを構成する請求項
６、請求項７、請求項８又は請求項９に記載の固体撮像
装置。 - 【請求項１１】 第１及び第２の電極は水平方向に配線
され、第３の電極は垂直方向に配線され、前記第３の電
極は第１の垂直転送部と第２の垂直転送部とで電気的に
独立である請求項１０に記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16181093A JP3395257B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16181093A JP3395257B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0759012A true JPH0759012A (ja) | 1995-03-03 |
| JP3395257B2 JP3395257B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=15742348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16181093A Expired - Fee Related JP3395257B2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3395257B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002030109A1 (fr) * | 2000-10-03 | 2002-04-11 | Sony Corporation | Dispositif et procede de formation d"images |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP16181093A patent/JP3395257B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002030109A1 (fr) * | 2000-10-03 | 2002-04-11 | Sony Corporation | Dispositif et procede de formation d"images |
| US7719573B2 (en) | 2000-10-03 | 2010-05-18 | Sony Corporation | Device and method for processing photographic image data |
| US8390691B2 (en) | 2000-10-03 | 2013-03-05 | Sony Corporation | Device and method for processing photographic image data |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3395257B2 (ja) | 2003-04-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |