JPH0760468A - レーザ加工機の焦点位置検出方法およびその装置 - Google Patents
レーザ加工機の焦点位置検出方法およびその装置Info
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- JPH0760468A JPH0760468A JP5213697A JP21369793A JPH0760468A JP H0760468 A JPH0760468 A JP H0760468A JP 5213697 A JP5213697 A JP 5213697A JP 21369793 A JP21369793 A JP 21369793A JP H0760468 A JPH0760468 A JP H0760468A
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- work
- nozzle
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- lens
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ光の自動焦点出しを一回の操作のみで
行うことができるレーザ加工機の焦点位置検出方法およ
びその装置を提供する。 【構成】 レーザ加工機の焦点位置検出方法およびその
装置として、ノズル１をレンズ２の焦点位置がワーク４
の表面上にない位置からワーク４の表面上に焦点を結ぶ
位置を通過し、ワーク４の表面上の焦点がない状態にな
るまで一方向に移動を行い、その移動期間中のワーク４
の表面からのノズル１の相対座標に対するレーザ光３の
ワーク４からの反射光５のデータの分布をデータ解析部
１１により２次曲線で近似し、求めた２次曲線の頂点の
相対座標をワーク４の表面上にレンズ２が焦点を結ぶた
めの、ワーク４の表面からのノズル１の相対位置とす
る。
行うことができるレーザ加工機の焦点位置検出方法およ
びその装置を提供する。 【構成】 レーザ加工機の焦点位置検出方法およびその
装置として、ノズル１をレンズ２の焦点位置がワーク４
の表面上にない位置からワーク４の表面上に焦点を結ぶ
位置を通過し、ワーク４の表面上の焦点がない状態にな
るまで一方向に移動を行い、その移動期間中のワーク４
の表面からのノズル１の相対座標に対するレーザ光３の
ワーク４からの反射光５のデータの分布をデータ解析部
１１により２次曲線で近似し、求めた２次曲線の頂点の
相対座標をワーク４の表面上にレンズ２が焦点を結ぶた
めの、ワーク４の表面からのノズル１の相対位置とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工機の焦点位置
検出方法およびその装置に関するものである。
検出方法およびその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工機ではノズル内にあるレンズ
を交換した場合やレーザの光軸を調整した場合は、レー
ザ光の焦点位置が変わるため、レーザ光の焦点位置の調
整をし直す必要がある。
を交換した場合やレーザの光軸を調整した場合は、レー
ザ光の焦点位置が変わるため、レーザ光の焦点位置の調
整をし直す必要がある。
【０００３】以下に従来のレーザ加工機の焦点位置検出
について説明する。図３は従来のレーザ加工機のブロッ
ク図を示す。図３において１はノズル、２はレーザ光を
集光するレンズ、３はレーザ光、４はワーク、５はワー
ク４からのレーザ光３の反射光、６は反射光５を受光す
るセンサ、７はノズル１を垂直方向に駆動する垂直方向
駆動装置、８はセンサ６の出力データを記憶するセンサ
データ記憶部、９はノズル１の垂直方向の座標を記憶す
る垂直方向座標記憶部、１０はセンサデータ記憶部８の
データが最大値となる時の垂直方向座標記憶部９のデー
タからノズル１の焦点座標を求める最大光量座標検出部
である。
について説明する。図３は従来のレーザ加工機のブロッ
ク図を示す。図３において１はノズル、２はレーザ光を
集光するレンズ、３はレーザ光、４はワーク、５はワー
ク４からのレーザ光３の反射光、６は反射光５を受光す
るセンサ、７はノズル１を垂直方向に駆動する垂直方向
駆動装置、８はセンサ６の出力データを記憶するセンサ
データ記憶部、９はノズル１の垂直方向の座標を記憶す
る垂直方向座標記憶部、１０はセンサデータ記憶部８の
データが最大値となる時の垂直方向座標記憶部９のデー
タからノズル１の焦点座標を求める最大光量座標検出部
である。
【０００４】以上のような構成要素からなるレーザ加工
機について、以下これら構成要素間の関係とその動作を
説明する。まずノズル１を上死点からワーク４に向けて
降下させる。このときレンズ２の焦点位置がワーク４の
上面より上方にあるときは、ワーク４上面で反射した反
射光５は拡散されてその一部しかレンズ２へ戻らずセン
サ６が検出する反射光５の量は少ないため、センサデー
タ記憶部８のデータ値は小さい。その後、レンズ２の焦
点位置がワーク４の上面に達すると、レーザ光３のほと
んどが反射光５としてレンズ２に戻るため、センサデー
タ記憶部８のデータは最大値が表示される。更にノズル
１が下降されてレンズ２の焦点位置がワーク４の上面よ
りも下方になると、反射光５は拡散されてセンサデータ
記憶部８の値も減少する。従ってセンサデータ記憶部８
のデータが最大になる時の垂直方向座標記憶部９の座標
がレンズの焦点位置となる。
機について、以下これら構成要素間の関係とその動作を
説明する。まずノズル１を上死点からワーク４に向けて
降下させる。このときレンズ２の焦点位置がワーク４の
上面より上方にあるときは、ワーク４上面で反射した反
射光５は拡散されてその一部しかレンズ２へ戻らずセン
サ６が検出する反射光５の量は少ないため、センサデー
タ記憶部８のデータ値は小さい。その後、レンズ２の焦
点位置がワーク４の上面に達すると、レーザ光３のほと
んどが反射光５としてレンズ２に戻るため、センサデー
タ記憶部８のデータは最大値が表示される。更にノズル
１が下降されてレンズ２の焦点位置がワーク４の上面よ
りも下方になると、反射光５は拡散されてセンサデータ
記憶部８の値も減少する。従ってセンサデータ記憶部８
のデータが最大になる時の垂直方向座標記憶部９の座標
がレンズの焦点位置となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】レーザ光３の焦点がワ
ーク４上付近にあるときの反射光５の光量はワーク４の
表面の面荒さの影響を大きく受けるためにわずかな場所
の変化により大きく光量が変化する。このためにノズル
１の垂直方向の座標とそのときのレーザ３の反射光５の
光量は図４に示すように焦点付近では大きく変化するた
め、光量の最大値の場所が必ずしも焦点位置になるとは
限らない。
ーク４上付近にあるときの反射光５の光量はワーク４の
表面の面荒さの影響を大きく受けるためにわずかな場所
の変化により大きく光量が変化する。このためにノズル
１の垂直方向の座標とそのときのレーザ３の反射光５の
光量は図４に示すように焦点付近では大きく変化するた
め、光量の最大値の場所が必ずしも焦点位置になるとは
限らない。
【０００６】従来の方法では、レーザ光３の自動焦点出
しを行う場合、センサ６の受けた光量が最大になる座標
を読み取る方式のため、正しい焦点位置を求めるために
は複数回同じ操作を繰り返し、平均しなければならない
という問題点があった。
しを行う場合、センサ６の受けた光量が最大になる座標
を読み取る方式のため、正しい焦点位置を求めるために
は複数回同じ操作を繰り返し、平均しなければならない
という問題点があった。
【０００７】本発明は、上記の問題を解決するもので、
レーザ光３の自動焦点出しを一回の操作のみで行うこと
ができるレーザ加工機の焦点位置検出方法およびその装
置を提供することを目的とする。
レーザ光３の自動焦点出しを一回の操作のみで行うこと
ができるレーザ加工機の焦点位置検出方法およびその装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の１番目の発明のレーザ加工機の焦点位置検出方法は、
レーザ加工機のレーザ光を出力するノズルをレンズの焦
点位置がワークの表面上にない位置からワークの表面上
に焦点を結ぶ位置を通過し、ワークの表面上に焦点がな
い状態になるまで一方向に移動を行う操作過程と、その
移動期間中のワークの表面からのノズルの相対座標に対
するレーザ光のワークからの反射光のデータの分布を２
次曲線で近似し、求めた２次曲線の頂点の相対座標をワ
ーク表面上にレンズが焦点を結ぶための、ワークの表面
からのノズルの相対位置とする。演算過程とにより構成
されるものである。
の１番目の発明のレーザ加工機の焦点位置検出方法は、
レーザ加工機のレーザ光を出力するノズルをレンズの焦
点位置がワークの表面上にない位置からワークの表面上
に焦点を結ぶ位置を通過し、ワークの表面上に焦点がな
い状態になるまで一方向に移動を行う操作過程と、その
移動期間中のワークの表面からのノズルの相対座標に対
するレーザ光のワークからの反射光のデータの分布を２
次曲線で近似し、求めた２次曲線の頂点の相対座標をワ
ーク表面上にレンズが焦点を結ぶための、ワークの表面
からのノズルの相対位置とする。演算過程とにより構成
されるものである。
【０００９】また、この目的を達成するための２番目の
発明のレーザ加工機の焦点位置検出装置は、レーザ加工
機のレーザ光を出力するノズルをレンズの焦点位置がワ
ークの表面上にない位置からワークの表面上に焦点を結
ぶ位置を通過し、ワークの表面上に焦点がない状態にな
るまで一方向に移動を行う垂直方向駆動装置と、その移
動期間中のワーク表面からの反射光の光量を計測するセ
ンサと、前記センサからの出力を記憶するセンサデータ
記憶部と、前記垂直方向駆動装置の座標を記憶する垂直
方向座標記憶部と、前記センサデータ記憶部と前記垂直
方向座標記憶部のデータから垂直方向移動期間中のレー
ザ光の反射光のデータの分布を２次曲線で近似し、求め
た２次曲線の頂点の相対座標をワーク表面上にレンズが
焦点を結ぶためのワークの表面からのノズルの相対位置
とするデータ解析部とを具備したものである。
発明のレーザ加工機の焦点位置検出装置は、レーザ加工
機のレーザ光を出力するノズルをレンズの焦点位置がワ
ークの表面上にない位置からワークの表面上に焦点を結
ぶ位置を通過し、ワークの表面上に焦点がない状態にな
るまで一方向に移動を行う垂直方向駆動装置と、その移
動期間中のワーク表面からの反射光の光量を計測するセ
ンサと、前記センサからの出力を記憶するセンサデータ
記憶部と、前記垂直方向駆動装置の座標を記憶する垂直
方向座標記憶部と、前記センサデータ記憶部と前記垂直
方向座標記憶部のデータから垂直方向移動期間中のレー
ザ光の反射光のデータの分布を２次曲線で近似し、求め
た２次曲線の頂点の相対座標をワーク表面上にレンズが
焦点を結ぶためのワークの表面からのノズルの相対位置
とするデータ解析部とを具備したものである。
【００１０】
【作用】一番目の発明のレーザ加工機の焦点位置検出方
法は、まず操作過程により、レーザ加工機のレーザ光を
出力するノズルをレンズの焦点位置がワークの表面上に
ない位置からワークの表面上に焦点を結ぶ位置を通過
し、ワークの表面上に焦点がない状態になるまで一方向
に１回のみ移動を行うと、演算過程により、その移動期
間中にワーク表面からのノズルの相対座標に対するレー
ザ光のワークからの反射光のデータの分布が２次曲線で
近似され、求めた２次曲線の頂点の相対座標をワーク表
面上にレンズが焦点を結ぶためのワークの表面からのノ
ズルの相対位置を検出するものである。
法は、まず操作過程により、レーザ加工機のレーザ光を
出力するノズルをレンズの焦点位置がワークの表面上に
ない位置からワークの表面上に焦点を結ぶ位置を通過
し、ワークの表面上に焦点がない状態になるまで一方向
に１回のみ移動を行うと、演算過程により、その移動期
間中にワーク表面からのノズルの相対座標に対するレー
ザ光のワークからの反射光のデータの分布が２次曲線で
近似され、求めた２次曲線の頂点の相対座標をワーク表
面上にレンズが焦点を結ぶためのワークの表面からのノ
ズルの相対位置を検出するものである。
【００１１】２番目の発明のレーザ加工機の焦点位置検
出装置は、垂直方向駆動装置により、レーザ加工機のレ
ーザ光を出力するノズルをレンズの焦点位置がワークの
表面上にない位置からワークの表面上に焦点がない状態
になるまで一方向に１回のみ移動を行い、その移動期間
中のワーク表面からの反射光の光量をセンサで計測し、
このセンサからの出力をセンサデータ記憶部で記憶し、
かつ垂直方向座標記憶部のデータから、データ解析部に
より、垂直方向移動期間中のレーザ光の反射光のデータ
の分布を２次曲線で近似し、求めた２次曲線の頂点の相
対座標をワーク表面上にレンズが焦点を結ぶためのワー
クの表面からのノズルの相対位置を検出することができ
るものである。
出装置は、垂直方向駆動装置により、レーザ加工機のレ
ーザ光を出力するノズルをレンズの焦点位置がワークの
表面上にない位置からワークの表面上に焦点がない状態
になるまで一方向に１回のみ移動を行い、その移動期間
中のワーク表面からの反射光の光量をセンサで計測し、
このセンサからの出力をセンサデータ記憶部で記憶し、
かつ垂直方向座標記憶部のデータから、データ解析部に
より、垂直方向移動期間中のレーザ光の反射光のデータ
の分布を２次曲線で近似し、求めた２次曲線の頂点の相
対座標をワーク表面上にレンズが焦点を結ぶためのワー
クの表面からのノズルの相対位置を検出することができ
るものである。
【００１２】
【実施例】以下、本発明のレーザ加工機の焦点位置検出
方法およびその装置を図１〜図２にそって詳細に説明す
る。
方法およびその装置を図１〜図２にそって詳細に説明す
る。
【００１３】図１において１、２、３、４、５、６、
７、８、９はそれぞれ従来と同様のノズル、レンズ、レ
ーザ光、ワーク、反射光、センサ、垂直方向駆動装置、
センサデータ記憶部、垂直方向座標記憶部である。セン
サデータ記憶部８と垂直方向座標記憶部９のデータを解
析し、レーザ光３の焦点を求めるデータ解析部で、この
データ解析部１１はノズル１の移動期間中のワーク表面
からのノズルの相対座標に対するレーザ光のワーク４か
らの反射光のデータの分布を２次曲線で近似し、求めた
２次曲線の頂点の相対座標をワーク表面上にレンズが焦
点を結ぶための、ワーク４の表面からのノズル１の相対
位置とする演算を行うものである。
７、８、９はそれぞれ従来と同様のノズル、レンズ、レ
ーザ光、ワーク、反射光、センサ、垂直方向駆動装置、
センサデータ記憶部、垂直方向座標記憶部である。セン
サデータ記憶部８と垂直方向座標記憶部９のデータを解
析し、レーザ光３の焦点を求めるデータ解析部で、この
データ解析部１１はノズル１の移動期間中のワーク表面
からのノズルの相対座標に対するレーザ光のワーク４か
らの反射光のデータの分布を２次曲線で近似し、求めた
２次曲線の頂点の相対座標をワーク表面上にレンズが焦
点を結ぶための、ワーク４の表面からのノズル１の相対
位置とする演算を行うものである。
【００１４】上記の構成似よりなるレーザ加工機の焦点
位置検出方法およびその装置の動作を説明する。まずノ
ズル１をワーク４にぶつからないように最も低い位置
（下死点）まで手動でおろす。このときレーザ光３の焦
点はワーク４よりも下にある。この状態から垂直駆動装
置７により一定速度でノズル１をワーク４に対して垂直
に、ワーク４から離れる方向に一定距離を自動的に動か
す。移動距離は移動終了後にレーザ光３の焦点はワーク
４よりも上にあるように設定する（操作過程）。このノ
ズル１の移動中に垂直方向のワーク４の表面からの相対
座標を垂直方向座標記憶部９に記憶し、そのときのセン
サのデータをセンサデータ記憶部に記憶する。このとき
の垂直方向のワーク４の表面からの相対座標とセンサデ
ータの関係を図２のように求めることができる。図２か
らセンサデータが最大値のときのノズル１の位置は、必
ずしもレーザ光３の焦点位置ではないことがわかる。よ
り正しいレーザ光３の焦点位置を求めるために、図２の
グラフのセンサデータの最大値の付近の形状が左右対象
で、２次曲線に近いことを利用して、データ解析部１１
によりセンサデータの最大値の付近のデータを２次曲線
で近似し、求めた２次曲線の頂点の座標からレーザ光３
の焦点位置を求める。
位置検出方法およびその装置の動作を説明する。まずノ
ズル１をワーク４にぶつからないように最も低い位置
（下死点）まで手動でおろす。このときレーザ光３の焦
点はワーク４よりも下にある。この状態から垂直駆動装
置７により一定速度でノズル１をワーク４に対して垂直
に、ワーク４から離れる方向に一定距離を自動的に動か
す。移動距離は移動終了後にレーザ光３の焦点はワーク
４よりも上にあるように設定する（操作過程）。このノ
ズル１の移動中に垂直方向のワーク４の表面からの相対
座標を垂直方向座標記憶部９に記憶し、そのときのセン
サのデータをセンサデータ記憶部に記憶する。このとき
の垂直方向のワーク４の表面からの相対座標とセンサデ
ータの関係を図２のように求めることができる。図２か
らセンサデータが最大値のときのノズル１の位置は、必
ずしもレーザ光３の焦点位置ではないことがわかる。よ
り正しいレーザ光３の焦点位置を求めるために、図２の
グラフのセンサデータの最大値の付近の形状が左右対象
で、２次曲線に近いことを利用して、データ解析部１１
によりセンサデータの最大値の付近のデータを２次曲線
で近似し、求めた２次曲線の頂点の座標からレーザ光３
の焦点位置を求める。
【００１５】上記操作過程に関して、ノズル１をワーク
４から離れた位置（上死点）から、ワーク４の表面まで
移動を行い、この移動中に垂直方向の座標を垂直方向座
標記憶部９に記憶し、そのときのセンサ６のデータをセ
ンサデータ記憶部８に記憶したデータを使用しても同様
の結果が得られる。
４から離れた位置（上死点）から、ワーク４の表面まで
移動を行い、この移動中に垂直方向の座標を垂直方向座
標記憶部９に記憶し、そのときのセンサ６のデータをセ
ンサデータ記憶部８に記憶したデータを使用しても同様
の結果が得られる。
【００１６】次にデータ解析部１１におけるデータの２
次曲線の近似について具体的な演算過程を以下に述べ
る。まず、センサデータ記憶部８で記憶されているデー
タのうち最大値を求める。そのデータに対応する垂直方
向座標記憶部９の座標を求める。センサデータが最大に
なる座標からワーク４に近付く方向にセンサデータ記憶
部８のデータを調べ、データが先に求めた最大値の半分
以下になったときの座標を記憶する。センサデータが最
大になる座標からワーク４から離れる方向にセンサデー
タ記憶部８のデータを調べ、データが先に求めた最大値
の半分以下になったときの座標を記憶し、この間のデー
タに関して最小２乗法により２次曲線に近似を行い、求
めた２次曲線の頂点の座標をレーザ光３の焦点座標とす
る。
次曲線の近似について具体的な演算過程を以下に述べ
る。まず、センサデータ記憶部８で記憶されているデー
タのうち最大値を求める。そのデータに対応する垂直方
向座標記憶部９の座標を求める。センサデータが最大に
なる座標からワーク４に近付く方向にセンサデータ記憶
部８のデータを調べ、データが先に求めた最大値の半分
以下になったときの座標を記憶する。センサデータが最
大になる座標からワーク４から離れる方向にセンサデー
タ記憶部８のデータを調べ、データが先に求めた最大値
の半分以下になったときの座標を記憶し、この間のデー
タに関して最小２乗法により２次曲線に近似を行い、求
めた２次曲線の頂点の座標をレーザ光３の焦点座標とす
る。
【００１７】なお、データ解析部１１での２次曲線の近
似は、最小２乗法による近似であり以下に示す演算を行
う。
似は、最小２乗法による近似であり以下に示す演算を行
う。
【００１８】
【数１】
【００１９】（数２）はＸの平均値、（数３）はＹの平
均値、（数４）はＺの平均値、Ｘｉ，Ｙｉ，Ｚｉはｉ番
目のサンプリングデータを表すとき、次の式によりａ，
ｂ，ｃを求める。
均値、（数４）はＺの平均値、Ｘｉ，Ｙｉ，Ｚｉはｉ番
目のサンプリングデータを表すとき、次の式によりａ，
ｂ，ｃを求める。
【００２０】
【数２】
【００２１】
【数３】
【００２２】
【数４】
【００２３】
【数５】
【００２４】
【数６】
【００２５】
【数７】
【００２６】
【数８】
【００２７】
【数９】
【００２８】
【数１０】
【００２９】
【数１１】
【００３０】
【数１２】
【００３１】
【数１３】
【００３２】ｘはノズルの垂直方向座標、ｙはそのとき
のセンサデータとし、求める２次曲線の式を
のセンサデータとし、求める２次曲線の式を
【００３３】
【数１４】
【００３４】とおく。（数１５）、（数１６）、（数１
７）とおくことにより（数１４）を（数１）に当てはめ
ることができる。
７）とおくことにより（数１４）を（数１）に当てはめ
ることができる。
【００３５】
【数１５】
【００３６】
【数１６】
【００３７】
【数１７】
【００３８】以上の条件でａ，ｂ，ｃを求める。以上の
演算をデータ解析部１２で行い、求めた２次曲線の頂点
のｘ座標をノズルの焦点の位置とするものである。
演算をデータ解析部１２で行い、求めた２次曲線の頂点
のｘ座標をノズルの焦点の位置とするものである。
【００３９】
【発明の効果】以上のように本発明のレーザ加工機の焦
点位置検出方法およびその装置は、ワーク表面からのノ
ズルの相対座標に対するレーザ光のワークからの反射光
のデータの分布を２次曲線で近似し、求めた２次曲線の
頂点の相対座標をワーク表面上にレンズが焦点を結ぶた
めの、ワークの表面からのノズルの相対位置とすること
により、レンズの焦点付近における、レーザ光のワーク
からの反射光の光量がばらつくことによる影響を吸収す
ることができるため、従来に比して、１回のみの操作
で、高い精度の焦点位置調整が実現できる優れた効果を
奏するものである。
点位置検出方法およびその装置は、ワーク表面からのノ
ズルの相対座標に対するレーザ光のワークからの反射光
のデータの分布を２次曲線で近似し、求めた２次曲線の
頂点の相対座標をワーク表面上にレンズが焦点を結ぶた
めの、ワークの表面からのノズルの相対位置とすること
により、レンズの焦点付近における、レーザ光のワーク
からの反射光の光量がばらつくことによる影響を吸収す
ることができるため、従来に比して、１回のみの操作
で、高い精度の焦点位置調整が実現できる優れた効果を
奏するものである。
【図１】本発明のレーザ加工機の焦点位置検出方法を実
施する装置の概略構成図
施する装置の概略構成図
【図２】垂直方向座標とセンサデータの関係の一例を示
す相対関係図
す相対関係図
【図３】従来のレーザ加工機の焦点位置検出方法を実施
した装置の概略構成図
した装置の概略構成図
【図４】従来の垂直方向座標とセンサデータの関係の一
例を示す相対関係図
例を示す相対関係図
１ レーザ加工機のノズル ２ レーザを集光するためのレンズ ３ レーザ光 ４ ワーク ５ 反射光 ６ センサ ７ 垂直方向駆動装置 ８ センサデータ記憶部 ９ 垂直方向座標記憶部 １１ データ解析部
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ加工機のレーザ光を出力するノズ
ルをレンズの焦点位置がワークの表面上にない位置から
ワークの表面上に焦点を結ぶ位置を通過し、ワークの表
面上に焦点がない状態になるまで一方向に移動を行う操
作過程と、その移動期間中のワーク表面からのノズルの
相対座標に対するレーザ光のワークからの反射光のデー
タの分布を２次曲線で近似し、求めた２次曲線の頂点の
相対座標をワーク表面上にレンズが焦点を結ぶための、
ワークの表面からのノズルの相対位置とする演算過程に
より構成したレーザ加工機の焦点位置検出方法。 - 【請求項２】 レーザ加工機のレーザ光を出力するノズ
ルをレンズの焦点位置がワークの表面上にない位置から
ワークの表面上に焦点を結ぶ位置を通過し、ワークの表
面上に焦点がない状態になるまで一方向に移動を行う垂
直方向駆動装置と、その移動期間中のワーク表面からの
反射光の光量を計測するセンサと、前記センサからの出
力を記憶するセンサデータ記憶部と、前記垂直方向駆動
装置の座標を記憶する垂直方向座標記憶部と、前記セン
サデータ記憶部と前記垂直方向座標記憶部のデータから
垂直方向移動期間中のレーザ光の反射光のデータの分布
を２次曲線で近似し、求めた２次曲線の頂点の相対座標
をワーク表面上にレンズが焦点を結ぶためのワークの表
面からのノズルの相対位置とするデータ解析部とを具備
したレーザ加工機の焦点位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21369793A JP3259462B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | レーザ加工機の焦点位置検出方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21369793A JP3259462B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | レーザ加工機の焦点位置検出方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760468A true JPH0760468A (ja) | 1995-03-07 |
| JP3259462B2 JP3259462B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=16643501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21369793A Expired - Lifetime JP3259462B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | レーザ加工機の焦点位置検出方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3259462B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080180657A1 (en) * | 2005-06-23 | 2008-07-31 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Determining a Focal Position of a Laser |
| US20100116797A1 (en) * | 2007-06-27 | 2010-05-13 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Ascertaining a laser beam contact point |
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