JPH0760494B2 - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH0760494B2 JPH0760494B2 JP27182387A JP27182387A JPH0760494B2 JP H0760494 B2 JPH0760494 B2 JP H0760494B2 JP 27182387 A JP27182387 A JP 27182387A JP 27182387 A JP27182387 A JP 27182387A JP H0760494 B2 JPH0760494 B2 JP H0760494B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- head
- thin film
- magnetic pole
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 35
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 14
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3113—Details for improving the magnetic domain structure or avoiding the formation or displacement of undesirable magnetic domains
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は高密度磁気記録に適した高再生出力の得られる
薄膜磁気ヘツドに関する。
薄膜磁気ヘツドに関する。
（従来の技術） 薄膜磁気ヘツドは、磁気デイスク、磁気テープなどの磁
気記録媒体の磁気記録密度および使用周波数を高めるた
めに考案された磁気ヘツドであり、電磁誘導を利用した
誘導型の薄膜磁気ヘツドでは、磁気ギヤツプを有する磁
気回路を形成する下部磁極膜および上部磁極膜、この磁
気回路と鎖交するコイル導体膜、コイルとコイルの間あ
るいは磁極とコイルの間を電気的、磁気的に絶縁する絶
縁体膜とを薄膜形成技術および微細加工技術によつて形
成し積層した構造になつている。また、同様の磁気コア
からなる磁気回路中に磁気抵抗効果素子を組み込んだ再
生専用の磁気抵抗効果型（MR型）の薄膜磁気ヘツドも考
案されている。
気記録媒体の磁気記録密度および使用周波数を高めるた
めに考案された磁気ヘツドであり、電磁誘導を利用した
誘導型の薄膜磁気ヘツドでは、磁気ギヤツプを有する磁
気回路を形成する下部磁極膜および上部磁極膜、この磁
気回路と鎖交するコイル導体膜、コイルとコイルの間あ
るいは磁極とコイルの間を電気的、磁気的に絶縁する絶
縁体膜とを薄膜形成技術および微細加工技術によつて形
成し積層した構造になつている。また、同様の磁気コア
からなる磁気回路中に磁気抵抗効果素子を組み込んだ再
生専用の磁気抵抗効果型（MR型）の薄膜磁気ヘツドも考
案されている。
これらの薄膜磁気ヘツドは、通常、薄膜の金属軟磁性体
からなる微細な磁気コアを用いているため、バルク型の
磁気ヘツドに比べ渦電流損失など、高周波での磁気コア
損失が少なく磁気回路もコンパクトにできるため、広い
周波数にわたる磁気記録再生において、記録再生効率を
向上させることができる。さらに誘導型の薄膜磁気ヘツ
ドは、微細な磁気コアと微細なコイル巻線で構成できる
ために低インピーダンスの磁気ヘツドとすることがで
き、本質的に高周波高密度磁気記録に適したものとなつ
ている。
からなる微細な磁気コアを用いているため、バルク型の
磁気ヘツドに比べ渦電流損失など、高周波での磁気コア
損失が少なく磁気回路もコンパクトにできるため、広い
周波数にわたる磁気記録再生において、記録再生効率を
向上させることができる。さらに誘導型の薄膜磁気ヘツ
ドは、微細な磁気コアと微細なコイル巻線で構成できる
ために低インピーダンスの磁気ヘツドとすることがで
き、本質的に高周波高密度磁気記録に適したものとなつ
ている。
この様な薄膜磁気ヘツドの電磁変換特性は、磁極膜の磁
気特性に大きく依存している。すなわち短波長の記録を
可能にする高抗磁力媒体へ充分な記録をするためには、
高い飽和磁束密度を持つた磁極膜が必要とされ、高周波
信号を忠実に効率よく記録再生するためには、高周波領
域での高い透磁率が必要となつている。
気特性に大きく依存している。すなわち短波長の記録を
可能にする高抗磁力媒体へ充分な記録をするためには、
高い飽和磁束密度を持つた磁極膜が必要とされ、高周波
信号を忠実に効率よく記録再生するためには、高周波領
域での高い透磁率が必要となつている。
高周波領域での透磁率を向上させるためには、磁化過程
として磁壁移動よりも、そのスイツチング速度が速い磁
化回転を用いる必要があり、そのためには、薄膜磁気ヘ
ツドのトラツク幅方向が容易軸となる様に磁極膜に一軸
磁気異方性を付与し、磁化困難軸方向を励磁方向とする
必要がある。
として磁壁移動よりも、そのスイツチング速度が速い磁
化回転を用いる必要があり、そのためには、薄膜磁気ヘ
ツドのトラツク幅方向が容易軸となる様に磁極膜に一軸
磁気異方性を付与し、磁化困難軸方向を励磁方向とする
必要がある。
（発明が解決しようとする問題点） しかし、磁極膜の透磁率はこの一軸磁気異方性があまり
大き過ぎると困難軸方向の磁化曲線の傾きを小さくして
しまうため、かえつて低くなつてしまい、また、一軸磁
気異方性があまり小さ過ぎると磁壁移動を生じ易くして
しまい、やはり、高周波領域での透磁率は低くなつてし
まう。すなわち、最適な大きさの一軸磁気異方性が存在
するのであるが、その最適条件は単に一軸磁気異方性の
大きさだけではなく、薄膜磁気ヘツドの磁気コアの形状
にも依存しており、単純には決定できないという問題点
があつた。
大き過ぎると困難軸方向の磁化曲線の傾きを小さくして
しまうため、かえつて低くなつてしまい、また、一軸磁
気異方性があまり小さ過ぎると磁壁移動を生じ易くして
しまい、やはり、高周波領域での透磁率は低くなつてし
まう。すなわち、最適な大きさの一軸磁気異方性が存在
するのであるが、その最適条件は単に一軸磁気異方性の
大きさだけではなく、薄膜磁気ヘツドの磁気コアの形状
にも依存しており、単純には決定できないという問題点
があつた。
本発明の目的は、上記事情に基づいて行われたもので、
磁気コアの高周波領域の透磁率を向上させ、記録再生効
率の良好な薄膜磁気ヘツドを提供することにある。
磁気コアの高周波領域の透磁率を向上させ、記録再生効
率の良好な薄膜磁気ヘツドを提供することにある。
すなわち、高周波領域において記録再生効率の良好な薄
膜磁気ヘツドを得るためには、磁気コアの形状に見合つ
た適切な一軸磁気異方性の大きさを見出すことが必要で
ある。
膜磁気ヘツドを得るためには、磁気コアの形状に見合つ
た適切な一軸磁気異方性の大きさを見出すことが必要で
ある。
（問題点を解決するための手段） 本発明の上記目的は、一軸磁気異方性を有する金属軟磁
性膜を磁極材料として用い、磁気回路の磁路方向を容易
軸方向と略直交させる様に構成し、少なくとも1MHz以上
の周波数を含む信号の記録再生をする薄膜磁気ヘッドに
おいて、磁路を構成する磁極膜の容易軸方向の長さｗが
30〜10000μｍであり、且つ前記磁極膜中に存在する180
゜磁壁の間隔をｄとした時、下記関係式（Ｉ）あるいは
関係式（II）： 0.2≦（d/w）≦0.3 ……（Ｉ） （d/w）≦0.15 ……（II） の何れかを満足することを特徴とする薄膜磁気ヘッドに
よって達成できる。
性膜を磁極材料として用い、磁気回路の磁路方向を容易
軸方向と略直交させる様に構成し、少なくとも1MHz以上
の周波数を含む信号の記録再生をする薄膜磁気ヘッドに
おいて、磁路を構成する磁極膜の容易軸方向の長さｗが
30〜10000μｍであり、且つ前記磁極膜中に存在する180
゜磁壁の間隔をｄとした時、下記関係式（Ｉ）あるいは
関係式（II）： 0.2≦（d/w）≦0.3 ……（Ｉ） （d/w）≦0.15 ……（II） の何れかを満足することを特徴とする薄膜磁気ヘッドに
よって達成できる。
以上の様にして、構成された薄膜磁気ヘツドは、磁気コ
アの高周波領域における透磁率を向上させることがで
き、記録再生効率の良好な薄膜磁気ヘツドとなる。
アの高周波領域における透磁率を向上させることがで
き、記録再生効率の良好な薄膜磁気ヘツドとなる。
以下、本発明の薄膜磁気ヘツドを詳細に説明する。
磁気ヘツドの磁区構造により、再生出力が変化すること
については、既に多くの研究がなされており、例えば、
山川等〔「単磁極型狭トラツク垂直磁気ヘツド」電子通
信学会技術研究報告磁気記録MR 84−28（1984）７〕に
よる垂直磁気ヘツドに関する報告がある。前記報告によ
れば磁極厚0.3μｍの単磁極型の垂直磁気ヘツドにおい
ては、明瞭な還流磁区が観察され、トラツク幅Ｗとトラ
ツク両端に形成された還流磁区のトラツク幅方向の長さ
2hとの比2h/wが30〜40％のときに、最大感度が得られ、
この関係は材料定数（異方性エネルギーKu,交換定数Ａ
など）によらないとしている。しかし、これらの条件
は、明瞭な還流磁区が観察される薄膜において見出され
たものであり、また、扱われた周波数も80KHz程度の比
較的低い周波数に限られている。
については、既に多くの研究がなされており、例えば、
山川等〔「単磁極型狭トラツク垂直磁気ヘツド」電子通
信学会技術研究報告磁気記録MR 84−28（1984）７〕に
よる垂直磁気ヘツドに関する報告がある。前記報告によ
れば磁極厚0.3μｍの単磁極型の垂直磁気ヘツドにおい
ては、明瞭な還流磁区が観察され、トラツク幅Ｗとトラ
ツク両端に形成された還流磁区のトラツク幅方向の長さ
2hとの比2h/wが30〜40％のときに、最大感度が得られ、
この関係は材料定数（異方性エネルギーKu,交換定数Ａ
など）によらないとしている。しかし、これらの条件
は、明瞭な還流磁区が観察される薄膜において見出され
たものであり、また、扱われた周波数も80KHz程度の比
較的低い周波数に限られている。
本発明が応用を考えている一例である電子スチルビデオ
カメラに用いるビデオフロツピーへの信号の記録再生に
おいては、10数MHzまでの信号によつて磁気ヘツドの磁
極が磁化されなければならず、また、磁極厚も、例えば
10μｍ程度となるため、磁区構造は必ずしも明瞭な還流
磁区構造を示さなくなり、いわゆるLifshityタイプの磁
区構造を示したり、三次元的な磁区構造を示したりする
様になる。さらに将来的には、高密度、高品位化のため
に、より高い信号周波数を扱う可能性があり、少なくと
も1MHz以上の周波数で薄膜磁気ヘツドの記録再生効率を
向上させるための磁極材料と磁極形状に関する条件を見
出す必要がある。
カメラに用いるビデオフロツピーへの信号の記録再生に
おいては、10数MHzまでの信号によつて磁気ヘツドの磁
極が磁化されなければならず、また、磁極厚も、例えば
10μｍ程度となるため、磁区構造は必ずしも明瞭な還流
磁区構造を示さなくなり、いわゆるLifshityタイプの磁
区構造を示したり、三次元的な磁区構造を示したりする
様になる。さらに将来的には、高密度、高品位化のため
に、より高い信号周波数を扱う可能性があり、少なくと
も1MHz以上の周波数で薄膜磁気ヘツドの記録再生効率を
向上させるための磁極材料と磁極形状に関する条件を見
出す必要がある。
以上のことを考慮し次の様な実験を行い上記条件を検討
した。すなわち磁極幅（以下Ｗと記す）がそれぞれ30μ
ｍ〜10mm、長さが30mm、厚さ12μｍの磁極幅方向に容易
軸をもつストライプ状の磁極を基板上に多数形成し、そ
の異方性磁界（以下Hkと記す）とＷにより１〜13MHzの
比透磁率μｒおよび磁区構造がどのように変化するか調
べた。磁極材料はCo91.8Nb5.9Zr2.3（at％）のスパツタ
リング膜を用い、熱処理により異方性を制御した後イオ
ンビームによるドライエツチングで各形状に仕上げた。
この膜の飽和磁歪λｓは＋３×10-7程度であり、さらに
基板として膜とほぼ同一の熱膨張係数を持つ、（株）HO
YA製PEG 3120Cを用いて、パターン形状に依存する様な
磁気弾性効果による影響が出ない様にした。比透磁率μ
ｒは、それぞれのパターンをコイル中に置きそのインダ
クタンスの変化から求めた。反磁界による影響は計算に
より、補正した。
した。すなわち磁極幅（以下Ｗと記す）がそれぞれ30μ
ｍ〜10mm、長さが30mm、厚さ12μｍの磁極幅方向に容易
軸をもつストライプ状の磁極を基板上に多数形成し、そ
の異方性磁界（以下Hkと記す）とＷにより１〜13MHzの
比透磁率μｒおよび磁区構造がどのように変化するか調
べた。磁極材料はCo91.8Nb5.9Zr2.3（at％）のスパツタ
リング膜を用い、熱処理により異方性を制御した後イオ
ンビームによるドライエツチングで各形状に仕上げた。
この膜の飽和磁歪λｓは＋３×10-7程度であり、さらに
基板として膜とほぼ同一の熱膨張係数を持つ、（株）HO
YA製PEG 3120Cを用いて、パターン形状に依存する様な
磁気弾性効果による影響が出ない様にした。比透磁率μ
ｒは、それぞれのパターンをコイル中に置きそのインダ
クタンスの変化から求めた。反磁界による影響は計算に
より、補正した。
また、磁区構造はビツター法により観察した。第１図
（ａ）、（ｂ）にそれぞれ、異方性磁界Hkが5.5,3.5θ
ｅの場合のμｒとＷの関係を示した。
（ａ）、（ｂ）にそれぞれ、異方性磁界Hkが5.5,3.5θ
ｅの場合のμｒとＷの関係を示した。
両図より、低い周波数（例えば1MHz）の時には狭いＷほ
どμｒが高くなつているが、周波数が高い場合には、μ
ｒが複雑なＷ依存性を示していることが解る。例えば、
Hk＝3.5θｅの場合には高い周波数でのμｒはＷ≒100μ
ｍで極大を、Ｗ≒300μｍ近傍で極小値を示しており、
より広いＷ範囲ではＷが広い程μｒが高くなつている。
どμｒが高くなつているが、周波数が高い場合には、μ
ｒが複雑なＷ依存性を示していることが解る。例えば、
Hk＝3.5θｅの場合には高い周波数でのμｒはＷ≒100μ
ｍで極大を、Ｗ≒300μｍ近傍で極小値を示しており、
より広いＷ範囲ではＷが広い程μｒが高くなつている。
従つて、Hk≒3.5θｅの時に高い周波数においてもμｒ
を低下させないためには、Ｗを100μｍ程度にするか、1
mmより広くする必要がある。
を低下させないためには、Ｗを100μｍ程度にするか、1
mmより広くする必要がある。
また、磁区観察よりこれらの磁区構造はμｒが極大を示
すＷより狭いＷ側では還流磁区を持ち、広いＷ側では不
明瞭になつたり、Lifshityタイプになつていることが解
つた。
すＷより狭いＷ側では還流磁区を持ち、広いＷ側では不
明瞭になつたり、Lifshityタイプになつていることが解
つた。
従つて、μｒの大きさは単に異方性の大きさのみによつ
て決まるものではなく磁極形状と異方性の大きさの組み
合わせの結果、得られる磁区構造によつて左右されてい
ることが解る。
て決まるものではなく磁極形状と異方性の大きさの組み
合わせの結果、得られる磁区構造によつて左右されてい
ることが解る。
第２図に以上の実験結果を磁区構造と対応づけて示し
た。横軸に磁極幅Ｗに対する180゜磁壁の間隔ｄの割合d
/wをとり、縦軸には13MHzのμｒおよび13MHzと1MHzのμ
ｒの比を示した。この図より、Hkがいずれの値であつて
も、d/wの値が0.2〜0.3あるいは0.15以下の時に高周波
での透磁率および透磁率の周波数特性とも良好であるこ
とが解る。
た。横軸に磁極幅Ｗに対する180゜磁壁の間隔ｄの割合d
/wをとり、縦軸には13MHzのμｒおよび13MHzと1MHzのμ
ｒの比を示した。この図より、Hkがいずれの値であつて
も、d/wの値が0.2〜0.3あるいは0.15以下の時に高周波
での透磁率および透磁率の周波数特性とも良好であるこ
とが解る。
従つて、上記関係を満たす様なd/wを選択すれば、広い
周波数に渡つて良好な記録再生効率を持つ薄膜磁気ヘツ
ドを提供できる。また、この時、上記関係を満たす様な
d/wの値は一つの薄膜磁気ヘツドの磁気回路のすべての
部分で一定である必要はなく、上記関係が満たされる範
囲であれば一つの薄膜磁気ヘツドの磁気回路の各部分で
異なつていても良い。すなわち、d/w＝0.3とd/w＝0.09
の関係になる磁極を組合わせた様な薄膜磁気ヘツドにお
いても本発明の効果は得られる。以下に本関係を使つて
作製した薄膜磁気ヘツドの実施例を示す。
周波数に渡つて良好な記録再生効率を持つ薄膜磁気ヘツ
ドを提供できる。また、この時、上記関係を満たす様な
d/wの値は一つの薄膜磁気ヘツドの磁気回路のすべての
部分で一定である必要はなく、上記関係が満たされる範
囲であれば一つの薄膜磁気ヘツドの磁気回路の各部分で
異なつていても良い。すなわち、d/w＝0.3とd/w＝0.09
の関係になる磁極を組合わせた様な薄膜磁気ヘツドにお
いても本発明の効果は得られる。以下に本関係を使つて
作製した薄膜磁気ヘツドの実施例を示す。
（実施例−１） 第３図に本発明の一実施例の薄膜磁気ヘツドの磁極形状
を示した。磁極材料には、Co91.8Nb5.9Zr2.3（at％）の
非晶質軟磁性合金を用い、磁極厚12μｍとした。異方性
は磁極幅方向に付与し、その大きさは、Hk＝5.5θｅと
した。このヘツド（ヘツドＡ）のd/wは0.25となつてい
た。比較のために磁極幅Ｗだけが異なる第４図の磁極形
状の薄膜磁気ヘツドも作製したが、このヘツド（ヘツド
Ｂ）のd/wは0.17となつていた。これら２つのヘツドの
規格化した自己録再出力は第５図の様になつており、d/
wが0.2から0.3の間の値になつているＷ＝100μｍの薄膜
磁気ヘツド（ヘツドＡ）の効率が高くなつていることが
解る。
を示した。磁極材料には、Co91.8Nb5.9Zr2.3（at％）の
非晶質軟磁性合金を用い、磁極厚12μｍとした。異方性
は磁極幅方向に付与し、その大きさは、Hk＝5.5θｅと
した。このヘツド（ヘツドＡ）のd/wは0.25となつてい
た。比較のために磁極幅Ｗだけが異なる第４図の磁極形
状の薄膜磁気ヘツドも作製したが、このヘツド（ヘツド
Ｂ）のd/wは0.17となつていた。これら２つのヘツドの
規格化した自己録再出力は第５図の様になつており、d/
wが0.2から0.3の間の値になつているＷ＝100μｍの薄膜
磁気ヘツド（ヘツドＡ）の効率が高くなつていることが
解る。
（実施例−２） 第６図に本発明の別の実施例の薄膜磁気ヘツドの磁極形
状を示した。磁極材料および膜厚は実施例−１と同一で
ある。このヘツドは下部磁極の磁極幅が2mmとなつてい
るが、記録再生のトラツク幅は、上部磁極の磁極幅の60
μｍとなつている。異方性はトラツク幅方向に付与し、
その大きさを上下部磁極とも5.5θｅとしたヘツド（ヘ
ツドＣ）、上部磁極のHkを5.5θe,下部磁極のHkを3.5θ
ｅとしたヘツド（ヘツドＤ）と比較のために上部磁極の
Hkを3.5θe,下部磁極のHkを5.5θｅとしたヘツド（ヘツ
ドＥ）を作製した。
状を示した。磁極材料および膜厚は実施例−１と同一で
ある。このヘツドは下部磁極の磁極幅が2mmとなつてい
るが、記録再生のトラツク幅は、上部磁極の磁極幅の60
μｍとなつている。異方性はトラツク幅方向に付与し、
その大きさを上下部磁極とも5.5θｅとしたヘツド（ヘ
ツドＣ）、上部磁極のHkを5.5θe,下部磁極のHkを3.5θ
ｅとしたヘツド（ヘツドＤ）と比較のために上部磁極の
Hkを3.5θe,下部磁極のHkを5.5θｅとしたヘツド（ヘツ
ドＥ）を作製した。
ヘツドＣとヘツドＥの下部磁極のd/wは0.11、ヘツドＣ
とヘツドＤの上部磁極のd/wは0.3、ヘツドＥの上部磁極
のd/wは0.33,ヘツドＤの下部磁極のd/wは0.09であつ
た。これら３つのヘツドの規格化した自己記録再出力
は、第７図の様になつており、d/wが本発明の範囲外に
あるヘツドＥの出力が4MHzでは悪くないが高い周波数で
は最も低くなつている。また、d/wが本発明の範囲内に
あるヘツドC,ヘツドＤではHkが小さい下部磁極を持つて
いるヘツドＤのほうが出力が高くなつている。
とヘツドＤの上部磁極のd/wは0.3、ヘツドＥの上部磁極
のd/wは0.33,ヘツドＤの下部磁極のd/wは0.09であつ
た。これら３つのヘツドの規格化した自己記録再出力
は、第７図の様になつており、d/wが本発明の範囲外に
あるヘツドＥの出力が4MHzでは悪くないが高い周波数で
は最も低くなつている。また、d/wが本発明の範囲内に
あるヘツドC,ヘツドＤではHkが小さい下部磁極を持つて
いるヘツドＤのほうが出力が高くなつている。
（発明の効果） 上述の様に薄膜磁気ヘッドにおいて、本発明の関係式
（Ｉ）あるいは関係式（II）の何れかを満たすような磁
極形状を選択することにより、少なくとも1MHz以上の周
波数を含む信号の記録再生効率を向上させることができ
る。
（Ｉ）あるいは関係式（II）の何れかを満たすような磁
極形状を選択することにより、少なくとも1MHz以上の周
波数を含む信号の記録再生効率を向上させることができ
る。
第１図は、磁極幅と比透磁率の関係を示した図、第２図
は、180゜磁壁の間隔ｄと磁極膜のＷとの比d/wに対する
比透磁率の関係を示した図、 第３図，第４図，第６図は本発明の実施例の薄膜磁気ヘ
ツドの磁気コアの形状を示した図、 第５図，第７図は本発明の実施例の薄膜磁気ヘツドの規
格化された自己録再出力の周波数特性を示した図であ
る。
は、180゜磁壁の間隔ｄと磁極膜のＷとの比d/wに対する
比透磁率の関係を示した図、 第３図，第４図，第６図は本発明の実施例の薄膜磁気ヘ
ツドの磁気コアの形状を示した図、 第５図，第７図は本発明の実施例の薄膜磁気ヘツドの規
格化された自己録再出力の周波数特性を示した図であ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】一軸磁気異方性を有する金属軟磁性膜を磁
極材料として用い、磁気回路の磁路方向を容易軸方向と
略直交させる様に構成し、少なくとも1MHz以上の周波数
を含む信号の記録再生をする薄膜磁気ヘッドにおいて、
磁路を構成する磁極膜の容易軸方向の長さｗが30〜1000
0μｍであり、且つ前記磁極膜中に存在する180゜磁壁の
間隔をｄとした時、下記関係式（Ｉ）あるいは関係式
（II）： 0.2≦（d/w）≦0.3 ……（Ｉ） （d/w）≦0.15 ……（II） の何れかを満足することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27182387A JPH0760494B2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 薄膜磁気ヘッド |
| DE3888287T DE3888287T2 (de) | 1987-10-29 | 1988-10-28 | Film-Magnetkopf. |
| EP88118016A EP0314172B1 (en) | 1987-10-29 | 1988-10-28 | Film magnetic head |
| KR1019880014153A KR930001144B1 (ko) | 1987-10-29 | 1988-10-29 | 박막 자기헤드. |
| US07/265,380 US5027247A (en) | 1987-10-29 | 1988-10-31 | Film magnetic head for high frequency recording |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27182387A JPH0760494B2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01116911A JPH01116911A (ja) | 1989-05-09 |
| JPH0760494B2 true JPH0760494B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=17505348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27182387A Expired - Fee Related JPH0760494B2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760494B2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP27182387A patent/JPH0760494B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 山川等「単磁極型狭トラック垂直磁気ヘッド」電子通信学会技術研究報告磁気記録ＭＲ８４−２８（１９８４）７ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01116911A (ja) | 1989-05-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6221218B1 (en) | Method of forming an inductive write head for magnetic data storage media | |
| US4295173A (en) | Thin film inductive transducer | |
| US6233116B1 (en) | Thin film write head with improved laminated flux carrying structure and method of fabrication | |
| US6151193A (en) | Thin film magnetic head | |
| US6190764B1 (en) | Inductive write head for magnetic data storage media | |
| US5027247A (en) | Film magnetic head for high frequency recording | |
| JPS5819717A (ja) | 垂直磁化記録再生用ヘッド | |
| JPH0778858B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH11110717A (ja) | 薄膜単磁極ヘッド | |
| US5403457A (en) | Method for making soft magnetic film | |
| JP2520670B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0760494B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS6257111A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JP2598018B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS6221172B2 (ja) | ||
| JPS63224016A (ja) | 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH0283809A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製法 | |
| JPH06176315A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2932755B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS58179921A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS5853695Y2 (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH01159816A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS63138512A (ja) | 薄膜磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JP3210139B2 (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド | |
| JPH03181010A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |