JPH0762481B2 - 流体シリンダ - Google Patents

流体シリンダ

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JPH0762481B2 JP4092361A JP9236192A JPH0762481B2 JP H0762481 B2 JPH0762481 B2 JP H0762481B2 JP 4092361 A JP4092361 A JP 4092361A JP 9236192 A JP9236192 A JP 9236192A JP H0762481 B2 JPH0762481 B2 JP H0762481B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は油圧又は圧縮空気などの
圧力流体によって作動する流体シリンダに関し、より詳
しくは、1つのシリンダユニットに、複数のシリンダ室
を形成し、各シリンダ室に1つのピストンを配置し、こ
れらピストンを1本のピストンロッドに固着してなる多
ピストン型の流体シリンダに関する。この流体シリンダ
は、出力を増大するために使用される。
【0002】
【従来の技術】従来からよく使われている流体シリンダ
の基本的な構成を第6図に基づいて説明する。シリンダ
ユニット10は、その両端にフランジ10A,10Bを
有し、上シリンダカバー11と、下シリンダカバー12
とがボルト16によって固着されている。シリンダユニ
ット10の内部には、シリンダ室32が形成され、ピス
トン13が摺動可能にかつ液密に収容されている。ピス
トン13は、下シリンダカバー12にあけられた穴に液
密にかつ摺動可能に挿入されたピストンロッド14の一
端にナット15で固着されている。上シリンダカバー1
1には、圧力流体をシリンダ室のピストンの加圧面A側
に作用させるための第1流通孔21が設けられ、下シリ
ンダカバー12には、圧力流体をシリンダ室のピストン
の背面B側に作用させるための第2流通孔22が設けら
れている。さらに、流体の漏れを防止するために、ピス
トンにピストンリング19が、上シリンダカバーにシー
ル17が、そして下シリンダカバーにシール17,18
がそれぞれ設けられている。
【0003】前記流体シリンダの作動を説明すると、圧
力流体は、図示しない圧力流体供給システムの切換弁か
ら、まず、上シリンダカバー11の第1流通孔21に供
給され、下シリンダカバー12の第2流通孔22はドレ
ンに連通される。そうすると、ピストン13が流体に押
されてピストンロッド14を押し出し、出力行程(パワ
ーストローク)が行われる。ピストンロッド14が所定
の位置に到達すると、図示しないリミットスイッチが作
動して切換弁を作動し、圧力流体の供給が中止される。
加圧作業が完了すると、図示しない制御装置によって切
換弁を作動させる。そうすると、圧力流体が、第2流通
孔22を経てシリンダ室32のピストン13の背面側に
供給され、ピストン13の加圧面側の流体は第1流通孔
21を通ってドレンに戻る。こうして、ピストン13が
出力行程の逆の方向に押されて帰還行程(リターンスト
ローク)が行われる。この場合、ピストン13の背面B
側の面積は、ピストンロッド14の断面積のために、加
圧面A側の面積より小さいが、その差は小さいので、ピ
ストンの出力行程の速度と帰還行程の速度とはほぼ同一
となる。
【0004】第7図は従来の流体シリンダの他の例であ
る。この例では、第6図の例のシリンダに設けたフラン
ジ10A,10Bが省略され、シリンダユニット10
は、上シリンダカバー11と下シリンダ12との間に挾
まれ、長いボルト16Aで固着された構成となっている
が、その作動は、第6図に示すシリンダと全く同じであ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記流体シ
リンダにおいて、その出力を増すには、シリンダ室に供
給される流体の圧力を高くするか、又はシリンダユニッ
トの内径を大きくする他に方法はなかった。しかし、流
体の圧力を高くすると、流体を供給するための配管を高
圧に十分に耐えるようにしなければならないと共に、シ
リンダ、シリンダーカバー、シールなども特に高圧用の
ものを使用する必要があり、コストが高くなる。また、
圧力を上げるのに実用面で限界があった。一方、シリン
ダの内径を大きくすると、シリンダの直径方向の寸法が
大きくなり、使用目的によっては、取付け場所の制限
で、十分に大きくすることができないことがあった。
【0006】本発明の目的は、流体の圧力を高めず、か
つシリンダの内径も大きくしないで、出力を増大しうる
流体シリンダを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、仕切り部材に
よって軸線方向に複数のシリンダ室に仕切られたシリン
ダユニットと、該シリンダユニットの一端に固着された
第1のシリンダカバーと、前記シリンダユニットの他端
に固着された第2のシリンダカバーと、前記仕切り部材
及び前記第2のシリンダカバーを貫通して摺動可能に支
持されたピストンロッドと、前記複数のシリンダ室の各
シリンダ室に液密にかつ摺動可能に収容されたピストン
であって加圧面と背面とを有し、前記ピストンロッドに
固着されたピストンと、前記各シリンダ室のピストンの
加圧面側に圧力流体を流入出させる第1の流体供給路
と、前記複数のシリンダ室のうちの第1のシリンダ室
あって前記第1のシリンダカバーを一端に有する第1の
シリンダ室の前記ピストンの背面側に圧力流体を流入出
させる第2の流体供給路と、前記第1のシリンダ室以外
の各シリンダ室のピストンの背面側を前記シリンダユニ
ットの外部と連通させる通気孔と、前記ピストンロッド
の前記第2のシリンダカバーから突出する部分に前記ピ
ストンロッドと実質的に平行となるように取り付けら
れ、リミットスイッチを作動させるためのドッグを有す
る補助棒とを備え、前記第2のシリンダカバーは前記通
気孔を有し、前記補助棒は前記第2のシリンダカバー
の前記通気孔を通って前記第2のシリンダカバーが固着
されているシリンダ室に出入可能である
【0008】本発明の実施態様によれば、前記第1の流
体供給路は、前記第1のシリンダカバーに設けられ、第
1の圧力流体供給管と前記第1のシリンダ室のピストン
の加圧面側とを連通させる第1の流通孔と、前記ピスト
ンロッドに設けられ、前記複数のシリンダ室のピストン
の加圧面側を互いに連通させる連通孔とからなり、前記
第2の流体供給路は、前記第1のシリンダ室のピストン
の背面側と第2の圧力流体供給管とを連通させる第2の
流通孔からなる。
【0009】さらに、本発明の別の実施態様によれば、
前記第1の流体供給路は、前記第1のシリンダカバーに
設けられ、第1の圧力流体供給管と前記第1のシリンダ
室のピストンの加圧面側とを連通させる第1の流通孔
と、前記シリンダユニットの外部に設けられ、前記複数
のシリンダ室の各シリンダ室のピストンの加圧面側を連
通させる配管とからなり、前記第2の流体供給路は、前
記第1のシリンダ室のピストンの背面側と第2の圧力流
体供給管とを連通させる第2の流通孔からなる。
【0010】
【作用】圧力流体供給システムから供給される圧力流体
は、切換弁を介して第1の圧力流体供給管を通って第1
の流体供給路より各シリンダ室のピストンの加圧面側に
供給され、複数のシリンダ室のピストンの加圧面の面積
を加え合わせた面積に、流体の圧力を掛けた値の出力が
ピスロンロッドに加わる。従って、同一内径を有する従
来の流体シリンダに比して、複数のシリンダ室の数、即
ちピストン数に相当する倍数の出力が得られる。
【0011】また、圧力流体が、第2の圧力流体供給管
を通って第2の流体供給路より第1のシリンダ室のピス
トンの背面側に供給されると、ピストンロッドは元の位
置に押し戻されて帰還行程が行われる。この場合、圧力
流体は第1のシリンダ室のみに供給され、圧力流体供給
システムのポンプの吐出量(流体の供給流量)は加圧行
程の場合とほぼ同一であるので、ピストンの帰還速度
は、出力行程のピストン移動速度より、複数のシリンダ
室の数に相当する倍数値以上の速度となって、急速帰還
(クイックリターン)の効果が得られる。
【0012】
【実施例】次に、本発明の流体シリンダを、図面を参照
して説明する。本発明に係る流体シリンダの第1の実施
例を示す図1を参照するに、シリンダユニット100
は、第1のシリンダ室131を有する第1のシリンダ本
体101と、第2のシリンダ室132を有する第2のシ
リンダ本体102とを、仕切り部材103の両側に嵌着
して形成され、仕切り部材103によって軸線方向に2
つのシリンダ室に仕切られている。シリンダユニット1
00の一端に第1のシリンダカバー111を、他端に第
2のシリンダカバー112を当てがい、これらシリンダ
カバーを貫通するボルト116で、シリンダユニット1
00を挾むように固着している。
【0013】第1のシリンダカバー111と第1のシリ
ンダ本体101との嵌合部にシール117を、第1のシ
リンダ本体101および第2のシリンダ本体102と仕
切り部材103との嵌合部にそれぞれシール118を配
置し、液密の状態になっている。仕切り部材103と第
2のシリンダカバー112とにはそれぞれ貫通孔が設け
られ、ピストンロッド200がこれらの貫通孔に通され
て摺動可能に支持されている。仕切り部材103の貫通
孔にシール120を配置し、液密の状態になっている。
【0014】第1のシリンダ室131に第1のピストン
113が、また第2のシリンダ室132に第2のピスト
ン114が収容され、それぞれピストンロッド200に
固着されている。これらピストンは、ピストンロッド2
00と一体に、それぞれのシリンダ室131,132内
で摺動可能である。ピストン113にピストンリング1
41が、ピストン114にピストンリング142が設け
られ、それぞれ、シリンダ本体101,102の内壁と
液密の接触を保っている。第1のピストン113は加圧
面A1と背面B1とを有し、第2のピストン114は加
圧面A2と背面B2とを有する。
【0015】第1のシリンダカバー111に、第1のシ
リンダ室131内の第1のピストン113の加圧面A1
側と、圧力流体供給システムとしての油圧装置500の
第1の圧力流体供給管502とを連通させる第1の流通
孔121が設けられており、仕切り部材103に、第1
のシリンダ室131の第1のピストン113の背面B1
側と、前記油圧装置500の第2の圧力流体供給管50
3とを連通させる第2の流通孔122が設けられてい
る。さらに、ピストンロッド200に、第1のピストン
113の加圧面A1側と、第2のピストン114の加圧
面A2側の上部に設けた穴212とを連通する連通孔2
11が設けられている。これにより、第1のシリンダ室
131の第1のピストン113の加圧面A1側と、第2
のシリンダ室132の第2のピストン114の加圧面A
2側とが常に連通した状態となっている。こうして、第
1の流通孔121と連通孔211とによって、第1及び
第2のシリンダ室131、132の各ピストンの加圧面
側に圧力流体を流入出させる第1の流体供給路を構成
し、第2の流通孔122によって、第1のシリンダ室1
31のピストン113の背面B2側に圧力流体を流入出
させる第2の流体供給路を構成している。
【0016】第2のシリンダカバー112に、第2のシ
リンダ室132の第2のピストン114の背面B2側
と、シリンダユニット100の外部とを連通させる通気
孔133が設けられている。
【0017】第1のピストン113は、ピストンロッド
200の上端部に形成された段部に係合するように嵌着
し、ナット115で固定されている。そして、第2のピ
ストン114は、ピストンロッド200の上端部から所
定の距離に形成された段部に係合するように嵌合され、
その上面部をクリップ143に当接させて係止されてい
る。これは、第1のピストン113では、加圧面A1側
と背面B1側とに交代で流体圧力が作用するので、第1
のピストン113をピストンロッドに対して出力行程と
帰還行程の2つの方向とも堅固に固着する必要があるの
に対して、第2のピストン114では、出力行程におい
てその加圧面A2に流体圧力が作用するだけで、その背
面B2が流体圧力を受けることがなので、第2のピスト
ン114をピストンロッド200に対して、出力行程の
方向について堅固に固着すれば良いことから、第2のピ
ストン114の背面B2側はピストン部200に形成し
た段部で受け、加圧面A2側は係止クリップ143で係
止したことによる。
【0018】第2のシリンダカバー112には、ピスト
ンロッド200の回り止め手段として、必要に応じて、
回り止め部材232を設け、これをピストンロッド20
0の側面に形成された平面部201に摺動可能に当接さ
せることができる。その詳細を図3に示す。回り止め部
材232は、ねじ233によって固定されている。第2
のシリンダカバー112には、流体圧力が作用しないの
で、シールを設ける必要はなく、従来の流体シリンダで
はシリンダカバーに回り止めを設けると圧力流体が漏れ
る問題があったのに対し、本発明では回り止めを設けて
も圧力流体が漏れることはない。
【0019】さらに、必要に応じて、ピストンロッド2
00の下端部に、補助棒231を取り付け、この補助棒
231をピストンロッド200と平行にかつ第2のシリ
ンダカバー112の通気孔133を通って第2のシリン
ダ室132の第2のピストン114の背面に向けて延在
させ、この補助棒231に、ピストンロッド200の移
動距離の上限および下限のリミットスイッチR1,R2
を作動させるためのドッグDを取りつけることができ
る。
【0020】次に、前述の第1の実施例の流体シリンダ
の動作を説明する。図1に示すように、油圧装置500
の油圧ポンプ505によって油タンク504の油液は、
圧力流体となって切換弁501を介して第1の圧力流体
供給管502を通り、第1の流通孔121に供給され
る。圧力流体は、第1のシリンダ室131の第1のピス
トン113の加圧面A1側に流入し、さらに、ピストン
ロッド200の連通孔211の入口210から連通孔2
11を通り、第2のピストン114の加圧面A2側の穴
212から第2のシリンダ室132の第2のピストン1
14の加圧面A2側に流入する。
【0021】第1のピストン113と第2のピストン1
14とは、油圧に押されてピストンロッド200に、第
1のピストン113の加圧面A1の面積に第2のピスト
ン114の加圧面A2の面積を加えた面積に油液の圧力
を乗じた出力を与え、出力行程を行なう。これと同時
に、第1のシリンダ室131の第1のピストン113の
背面B1側にある油液は、第2の流通孔122と、第2
の圧力流体供給管503と、切換弁501とを通って油
タンクに戻される。
【0022】出力行程が完了すると、図示しない制御装
置によってポンプ505が停止され、圧力流体の供給が
中止される。
【0023】次に、図示しない制御装置によってポンプ
505が再駆動され、切換弁501が図2に示すように
作動されると、圧力流体は、前記とは逆に、第2の流体
圧力供給管503から第2の流通孔122を通って第1
のシリンダ室131の第1のピストン113の背面B1
側に供給され、第1のピストン113は、逆の方向へ押
されてピストンロッド200は帰還行程を行なう。この
とき、第2のシリンダ室132の第2のピストン114
の加圧面A2側の油液は、穴212、連通孔211を通
って第1のシリンダ室131の第1のピストン113の
加圧面A1側に押し戻され、第1のシリンダ室131の
第1のピストン113の加圧面A1側の油液と合流し
て、第1の流通孔121と、第1の圧力流体供給管50
2と、切換弁501とを通って油タンク504に戻され
る。そして帰還行程が完了すると、図示しない制御装置
によってポンプ505が停止され、圧力流体の供給が中
止される。
【0024】次に本発明の第2の実施例を、図4に基づ
いて説明する。シリンダユニット100は、第1のシリ
ンダ室131を有する第1のシリンダ本体101と、第
2のシリンダ室132を有する第2のシリンダ本体11
4とを、第1の仕切り部材103の両側に嵌着するとと
もに、第3のシリンダ室152を有する第3のシリンダ
本体104を、第2の仕切り部材105を介して第2の
シリンダ本体102に連結して形成され、2つの仕切り
部材103,105によって軸線方向に3つのシリンダ
室に仕切られている。シリンダユニット100の一端に
第1のシリンダカバー111が、他端に第2のシリンダ
カバー112が、ボルト116を介してシリンダユニッ
ト100を挾むように固着されている。
【0025】第2の仕切り部材105に穴が設けられて
おり、ピストンロッド200が摺動可能にかつ液密に通
されている。そして、第3のシリンダ室152に、加圧
面A3と背面B3とを有する第3のピストン151が、
第3のシリンダ本体104の内壁に対して摺動可能にか
つ液密に収容されている。第3のピストン151は、第
2のピストン114と同様に、ピストンロッド200の
所定の位置に固着され、係止クリップ144で係止され
ている。
【0026】ピストンロッド200に、上端の入口21
0から、第2のピストン114の加圧面A2側の穴21
2と、第3のピストン151の加圧面A3側の穴213
とに連通する連通孔211が設けられ、これによって、
第1のシリンダ室131の第1のピストン113の加圧
面A1側と、第2のシリンダ室132の第2のピストン
114の加圧面A1側と、第3のシリンダ室152の第
3のピストン151の加圧面A3側とが常に連通され、
これと第1のシリンダカバー111の流通孔121とに
よって、第1の流体供給路が構成されている。
【0027】第2の仕切り部材105に、第2のシリン
ダ室132の第2のピストン114の背面B2側をシリ
ンダユニット100の外部に連通させる通気孔123が
設けられ、第2のシリンダカバー112は、第1の実施
例と同じく、第3のシリンダ室152の第3のピストン
151の背面B3側をシリンダユニット100の外部に
連通させる通気孔133を有する。
【0028】図4において、シール128、129が第
2の仕切り部材105に設けられ、ピストンリング14
5が第3のピストン151に取付けられている。その他
の構成は第1の実施例と同じであるので、それらの説明
は省略する。
【0029】次に、第2の実施例の流体シリンダの動作
を説明する。油圧装置500からの油液が、第1のシリ
ンダカバー111の第1の流通孔121へ供給される
と、油液は、第1のシリンダ室131の第1ピストン1
13の加圧面A1側に流入し、さらに、ピストン200
の連通孔211を通って穴212から第2のシリンダ室
132の第2のピストン114の加圧面A2側に流入
し、さらに、穴213から第3のシリンダ室152の第
3のピストン151の加圧面A3側に流入し、3つのピ
ストン113、114、151を押す。このとき、ピス
トンロッド200に、第1、第2及び第3のピストン1
13、114、151に作用する力を加え合わせた出力
が与えられ、ピストンロッド200は出力行程を行う。
【0030】帰還行程のとき、第1のシリンダ室131
の第1のピストン113の背面B1側にのみ油液が供給
され、出力行程で第1のシリンダ室131の第1のピス
トン113の加圧面A1側、第2のシリンダ室132の
第2のピストン114の加圧面A2側、および第3のシ
リンダ室152の第3のピストン151の加圧面A3側
に入っていた油液は、元のルートをたどって油圧装置5
00の油タンク504へ戻される。
【0031】第2の実施例では、ピストンロッド200
の出力は、同一のシリンダ内径を有する従来の流体シリ
ンダに比べると、3倍近い出力が得られる。そして、帰
還行程は、出力行程の3倍以上の早さで行われる。
【0032】次に本発明の第3の実施例を図5に基づい
て説明する。この実施例では、第2の実施例(図4)の
流体シリンダにおいて、第1の仕切り部材103に、第
2のシリンダ室132の第2のピストン114の加圧面
A2側に連通する第3の流通孔321を設け、この流通
孔をシリンダユニット100の外部に設けた配管508
を経て第1シリンダカバー111の第1流通孔121と
連結し、さらに、第2の仕切り部材105に、第3のシ
リンダ室152の第3のピストン151の加圧面A3側
に連通する第4の流通孔313を設け、この流通孔をシ
リンダユニット100の外部に設けた配管507と配管
508とを経て第1の流通孔121と第3の流通孔32
1とに連結するとともに、第2の実施例の連通孔211
と穴212,213を除いて、第1の流体供給路を構成
してある。
【0033】第3の実施例のその他の構成は、第2の実
施例と同じであるのでその説明は省略する。また、第3
の実施例による流体シリンダの動作は第2の実施例と同
じである。
【0034】以上に述べた3つの実施例では、シリンダ
室が2つ、または3つに仕切られた例を挙げたが、シリ
ンダ室は4つ以上にすることも可能である。さらに、前
記実施例では、第1のシリンダカバーに隣接するシリン
ダ室を第1のシリンダ室と称してその第1のピストンの
背面側に第2の流体供給路を設けたが、シリンダ室が3
つ以上ある場合、第2のシリンダカバーに隣接するシリ
ンダ室以外のいずれのシリンダ室を第1のシリンダ室と
することもできる。すなわち、出力行程では、各シリン
ダ室のピストンに流体圧力が作用し、帰還行程では、複
数のシリンダ室の1つのシリンダ室のみのピストンの背
面側に圧力流体が供給されるようにすれば良い。
【0035】
【発明の効果】本発明に係る流体シリンダは、複数のシ
リンダ室のそれぞれに収容したピストンを、1本のピス
トンロッドに固着し、複数のピストンに作用する力を加
え合わせた出力をピストンロッドに与えるようにしたた
め、同じシリンダ内径の従来の流体シリンダに比べて、
シリンダ室数に相当する倍数値の出力が得られる。ま
た、複数のシリンダ室のうちの1つのシリンダ室のピス
トンのみの背面に圧力流体を供給してピストンを帰還さ
せるようにしたため、帰還行程が出力行程より早くなる
効果がある。
【0036】複数のシリンダ室のうちの少なくとも一つ
のシリンダ室は、そのピストンの背面側に圧力流体が供
給されることがないので、そのシリンダ室のピストンの
背面に対面する部材にピストンロッドの回り止め手段を
設けることができる。また、リミットスイッチを作動さ
せるドッグを有する補助棒が、第2のシリンダカバーの
通気孔を通って第2のシリンダカバーが固着されている
シリンダ室に出入可能であるため、補助棒をシリンダ室
によって保護できる。さらに、補助棒の移動のためのス
ペースを確保しなくても、流体シリンダを設置するスペ
ースがあれば補助棒が移動できることから、狭いスペー
スにおいて補助棒を備える流体シリンダの使用が可能で
あり、補助棒と他の部品との干渉を避けることができ
る。
【0037】さらに、油圧装置に代えて、圧縮空気装置
を圧力流体供給システムとすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る流体シリンダの第1実施例の縦断
面図で、圧力流体供給システムを模式的に示してある。
【図2】流体シリンダに帰還行程を行わせる場合の圧力
流体供給システムの模式図である。
【図3】図1のX−X線で切断した断面図である。
【図4】本発明に係る流体シリンダの第2実施例の縦断
面図で、圧力流体供給システムを模式的に示してある。
【図5】本発明に係る流体シリンダの第3実施例の縦断
面図で、圧力流体供給システムを模式的に示してある。
【図6】従来の流体シリンダを示す縦断面図である。
【図7】従来の他の流体シリンダを示す縦断面図であ
る。
【符号の説明】
100 シリンダユニット 101 第1のシリンダ本体 102 第2のシリンダ本体 103 第1の仕切り部材 104 第3のシリンダ本体 105 第2の仕切り部材 111 第1のシリンダカバー 112 第2のシリンダカバー 113 第1のピストン 114 第2のピストン 131 第1のシリンダ室 132 第2のシリンダ室 151 第3のピストン 152 第3のシリンダ室 200 ピストンロッド 232 ピストンロッドの回り止め部材 500 圧力流体供給システム

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 仕切り部材によって軸線方向に複数のシ
    リンダ室に仕切られたシリンダユニットと、該シリンダ
    ユニットの一端に固着された第1のシリンダカバーと、
    前記シリンダユニットの他端に固着された第2のシリン
    ダカバーと、前記仕切り部材及び前記第2のシリンダカ
    バーを貫通して摺動可能に支持されたピストンロッド
    と、前記複数のシリンダ室の各シリンダ室に液密にかつ
    摺動可能に収容されたピストンであって加圧面と背面と
    を有し、前記ピストンロッドに固着されたピストンと、
    前記各シリンダ室のピストンの加圧面側に圧力流体を流
    入出させる第1の流体供給路と、前記複数のシリンダ室
    のうちの第1のシリンダ室であって前記第1のシリンダ
    カバーを一端に有する第1のシリンダ室の前記ピストン
    の背面側に圧力流体を流入出させる第2の流体供給路
    と、前記第1のシリンダ室以外の各シリンダ室のピスト
    ンの背面側を前記シリンダユニットの外部と連通させる
    通気孔と、前記ピストンロッドの前記第2のシリンダカ
    バーから突出する部分に前記ピストンロッドと実質的に
    平行となるように取り付けられ、リミットスイッチを作
    動させるためのドッグを有する補助棒とを備え、前記第
    2のシリンダカバーは前記通気孔を有し、前記補助棒
    は、前記第2のシリンダカバーの前記通気孔を通って前
    記第2のシリンダカバーが固着されているシリンダ室に
    出入可能である、流体シリンダ。
  2. 【請求項2】 前記第1の流体供給路が、前記第1のシ
    リンダ室のピストンの加圧面側に設けられ、第1の圧力
    流体供給管と第1のシリンダ室のピストンの加圧面側と
    を連通させる第1の流通孔と、前記ピストンロッドに設
    けられ、前記複数のシリンダ室のピストンの加圧面側を
    互いに連通させる連通孔とからなり、前記第2の流体供
    給路が、前記第1のシリンダ室のピストンの背面側と第
    2の圧力流体供給管とを連通させる第2の流通孔からな
    る、請求項1に記載の流体シリンダ。
  3. 【請求項3】 前記第1の流体供給路が、前記第1のシ
    リンダ室のピストンの加圧面側に設けられ、第1の圧力
    流体供給管と第1のシリンダ室の加圧面側とを連通させ
    る第1の流通孔と、前記シリンダユニットの外部に設け
    られ、前記複数のシリンダ室のピストンの加圧面側を連
    通させる配管とからなり、前記第2の流体供給路が、前
    記第1のシリンダ室のピストンの背面側と第2の圧力流
    体供給管とを連通させる第2の流通孔からなる、請求項
    1に記載の流体シリンダ。
  4. 【請求項4】 前記第1の流通孔が、前記第1のシリン
    ダカバーに設けられている、請求項2または3に記載の
    流体シリンダ。
  5. 【請求項5】 前記第2の流通孔が、前記第1のシリン
    ダ室のピストンの背面側にある仕切部材に設けられてい
    る、請求項4に記載の流体シリンダ。
  6. 【請求項6】 前記ピストンロッドに回り止め手段を設
    けた、請求項1に記載の流体シリンダ。
  7. 【請求項7】 前記回り止め手段が、前記ピストンロッ
    ドの側面に形成された平面部と、前記第2のシリンダカ
    バーに設けられ、前記ピストンロッドの平面部に摺動可
    能に当接させた回り止め部材とからなる、請求項6に記
    載の流体シリンダ。
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