JPH0765385A - レーザ記録装置 - Google Patents
レーザ記録装置Info
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- JPH0765385A JPH0765385A JP5212823A JP21282393A JPH0765385A JP H0765385 A JPH0765385 A JP H0765385A JP 5212823 A JP5212823 A JP 5212823A JP 21282393 A JP21282393 A JP 21282393A JP H0765385 A JPH0765385 A JP H0765385A
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- Japan
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- laser beam
- laser
- rotation
- distance
- slider
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Landscapes
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ディスク原盤を製作するレーザ記録装置に
おいて、レーザビームの移動軌跡上に回転中心が存在し
ないように回転中心を外れた任意の位置にレーザビーム
を設定することで、高密度な光ディスク原盤を製造でき
る装置を提案することを目的とするものである。 【構成】 回転中心を通らないようにレーザビーム７を
距離Ｌの位置に設定して、所定のピッチＴｐになるよう
に矢印Ｘ方向にレーザビーム７を移動する。この時のピ
ッチＴｐは、幾何学的に距離Ｔ１を圧縮したものであ
り、距離Ｔ１に含まれるピッチ誤差成分も相対的に圧縮
され、さらにレーザ測長器１４の分解能以上の微小送り
ができるので、従来以上の狭ピッチの高密度な原盤を製
造できる装置である。
おいて、レーザビームの移動軌跡上に回転中心が存在し
ないように回転中心を外れた任意の位置にレーザビーム
を設定することで、高密度な光ディスク原盤を製造でき
る装置を提案することを目的とするものである。 【構成】 回転中心を通らないようにレーザビーム７を
距離Ｌの位置に設定して、所定のピッチＴｐになるよう
に矢印Ｘ方向にレーザビーム７を移動する。この時のピ
ッチＴｐは、幾何学的に距離Ｔ１を圧縮したものであ
り、距離Ｔ１に含まれるピッチ誤差成分も相対的に圧縮
され、さらにレーザ測長器１４の分解能以上の微小送り
ができるので、従来以上の狭ピッチの高密度な原盤を製
造できる装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザを利用した、光
ディスク原盤のレーザ記録装置に関するものである。
ディスク原盤のレーザ記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光ディスクは情報記録媒体として
小型化、大容量化が要求されており、その実現に向けて
高密度なディスク原盤を製造する為のレーザ記録装置の
開発が進められている。
小型化、大容量化が要求されており、その実現に向けて
高密度なディスク原盤を製造する為のレーザ記録装置の
開発が進められている。
【０００３】ここで従来のディスク原盤を製造するため
のレーザ記録装置について特公昭５７−７４８４３号公
報（発明の名称：光学式情報記録盤およびその記録装
置）に記載された技術について説明する。
のレーザ記録装置について特公昭５７−７４８４３号公
報（発明の名称：光学式情報記録盤およびその記録装
置）に記載された技術について説明する。
【０００４】図４は従来の光学式情報記録盤とその記録
装置を説明するための図である。特に同図（ａ）は光学
式情報記録盤の一部を破断した平面図、同図（ｂ）は同
図（ａ）の線Ｂ−Ｂに沿う破断面図と記録装置を図解的
に示す図である。
装置を説明するための図である。特に同図（ａ）は光学
式情報記録盤の一部を破断した平面図、同図（ｂ）は同
図（ａ）の線Ｂ−Ｂに沿う破断面図と記録装置を図解的
に示す図である。
【０００５】図において、ガラス基板４１上には、薄い
金属膜４２が形成されて光学式情報記録原盤４３が構成
されている。この光学式情報記録原盤４３の中心には、
回転駆動手段のモータ４４の回転軸を押通する孔が形成
される。この光学式情報記録盤４３の上部位置には、光
学的に情報を記録するための光学式情報記録装置が配設
される。光学式情報記録装置は、レーザビーム７を発生
する光学系４５、レーザビーム７を収束する集光レンズ
４６および送り機構４７を含む。
金属膜４２が形成されて光学式情報記録原盤４３が構成
されている。この光学式情報記録原盤４３の中心には、
回転駆動手段のモータ４４の回転軸を押通する孔が形成
される。この光学式情報記録盤４３の上部位置には、光
学的に情報を記録するための光学式情報記録装置が配設
される。光学式情報記録装置は、レーザビーム７を発生
する光学系４５、レーザビーム７を収束する集光レンズ
４６および送り機構４７を含む。
【０００６】以下に、光学式情報記録装置が光学的に情
報を記録する場合について説明する。光学式情報記録盤
４３は、モータ４４によって回転軸を中心に矢印Ｙ方向
に回転される。一方、光学系４５は送り機構４７によっ
て光学式情報記録原盤４３を矢印Ｘ方向に移動される。
報を記録する場合について説明する。光学式情報記録盤
４３は、モータ４４によって回転軸を中心に矢印Ｙ方向
に回転される。一方、光学系４５は送り機構４７によっ
て光学式情報記録原盤４３を矢印Ｘ方向に移動される。
【０００７】この時、送り機構４７は光学式情報記録盤
４３の記録密度を高めるために、光学式情報記録盤４３
の１回転につき、微小間隔のピッチで光学系４５を矢印
Ｙ方向に移動させる。
４３の記録密度を高めるために、光学式情報記録盤４３
の１回転につき、微小間隔のピッチで光学系４５を矢印
Ｙ方向に移動させる。
【０００８】これと同時に、光学系４５は記録信号に応
じて強弱の変化をつけたレーザビーム７を発生する。レ
ーザビーム７は集光レンズ４６によって金属膜４２上で
収束され、金属膜４２を照射する。
じて強弱の変化をつけたレーザビーム７を発生する。レ
ーザビーム７は集光レンズ４６によって金属膜４２上で
収束され、金属膜４２を照射する。
【０００９】これによって、金属膜４２の一部分には、
ピット４８が形成される。この情報の記録を繰り返すこ
とによって、ピット４８が光学式情報記録盤４３上に螺
旋上に記録される。
ピット４８が形成される。この情報の記録を繰り返すこ
とによって、ピット４８が光学式情報記録盤４３上に螺
旋上に記録される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、次のような課題がある。第一の課題は、
微小間隔のピッチ精度は光学系４５を送るための送り機
構４７の送り精度、光学式情報記録盤４３を回転させる
モータ４４の回転精度に依存しており、各精度の相対的
関係から決定されるピッチ精度以上のものを実現するこ
とはできない。
来の構成では、次のような課題がある。第一の課題は、
微小間隔のピッチ精度は光学系４５を送るための送り機
構４７の送り精度、光学式情報記録盤４３を回転させる
モータ４４の回転精度に依存しており、各精度の相対的
関係から決定されるピッチ精度以上のものを実現するこ
とはできない。
【００１１】また、集光レンズ４６は、光学式情報記録
盤４３に対して矢印Ｚ方向に動作することによりレーザ
ビーム７を光学式情報記録原盤４３上に集束するが、集
光レンズ４６の矢印Ｚ方向の動作は、矢印Ｘ方向の変動
を含んでおり、この変動がピッチ誤差の要因となる。
盤４３に対して矢印Ｚ方向に動作することによりレーザ
ビーム７を光学式情報記録原盤４３上に集束するが、集
光レンズ４６の矢印Ｚ方向の動作は、矢印Ｘ方向の変動
を含んでおり、この変動がピッチ誤差の要因となる。
【００１２】特に近年は、エアースライダ、リニアモー
タ、レーザ測長器等で送り機構４７を構成しているが、
ピッチ誤差としては±０．０４μｍ程度有り高密度化の
限界になっていた。
タ、レーザ測長器等で送り機構４７を構成しているが、
ピッチ誤差としては±０．０４μｍ程度有り高密度化の
限界になっていた。
【００１３】第二の課題は、ターンテーブル２が回転す
ることにより発生する気流が、光学系４５、送り機構４
７に直接作用し、それが外乱となって送り制御を不安定
にさせることである。この外乱による送り制御の不安定
は、送り精度を低下させてしまい光学式情報記録盤４３
上に形成されるピット４８のピッチ精度に影響を与えて
いた。
ることにより発生する気流が、光学系４５、送り機構４
７に直接作用し、それが外乱となって送り制御を不安定
にさせることである。この外乱による送り制御の不安定
は、送り精度を低下させてしまい光学式情報記録盤４３
上に形成されるピット４８のピッチ精度に影響を与えて
いた。
【００１４】そこで本発明は、このような従来の課題を
解決し得るレーザ記録装置を提供することを目的とする
ものである。
解決し得るレーザ記録装置を提供することを目的とする
ものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、ディスク原盤を吸着するターンテーブル
と、ターンテーブルを回転させるスピンドルモータと、
スピンドルモータを駆動する回転駆動部と、前記ディス
ク原盤の露光用光源としてのレーザ光源から発せられた
レーザビームをディスク原盤上に集光させるための光学
ヘッド部と、光学ヘッド部を搭載して送るためのスライ
ダと、スライダに取り付けられたリニアモータを駆動す
るための送り駆動部と、前記回転駆動部と前記送り駆動
部に指令を出すための制御部を備えたレーザ記録装置で
あって、レーザビームの移動軌跡上に回転中心が存在し
ないように、回転中心から外れた任意の位置にレーザビ
ームを設定する。
の本発明は、ディスク原盤を吸着するターンテーブル
と、ターンテーブルを回転させるスピンドルモータと、
スピンドルモータを駆動する回転駆動部と、前記ディス
ク原盤の露光用光源としてのレーザ光源から発せられた
レーザビームをディスク原盤上に集光させるための光学
ヘッド部と、光学ヘッド部を搭載して送るためのスライ
ダと、スライダに取り付けられたリニアモータを駆動す
るための送り駆動部と、前記回転駆動部と前記送り駆動
部に指令を出すための制御部を備えたレーザ記録装置で
あって、レーザビームの移動軌跡上に回転中心が存在し
ないように、回転中心から外れた任意の位置にレーザビ
ームを設定する。
【００１６】ピット、または溝の隣接間距離が一定にな
るように、回転中心からレーザビーム位置までの距離に
対応して、スライダの送り速度、またはスピンドルモー
タの回転速度の一方を補正し、その補正をする演算器を
設ける。
るように、回転中心からレーザビーム位置までの距離に
対応して、スライダの送り速度、またはスピンドルモー
タの回転速度の一方を補正し、その補正をする演算器を
設ける。
【００１７】また、ターンテーブルが回転することによ
り発生する気流が、スライダに直接作用しないようにタ
ーンテーブルとスライダの間に湾曲状の風防板を設け、
風防板の表面には、気流の方向を変えるための溝を設け
た構成を有している。
り発生する気流が、スライダに直接作用しないようにタ
ーンテーブルとスライダの間に湾曲状の風防板を設け、
風防板の表面には、気流の方向を変えるための溝を設け
た構成を有している。
【００１８】
【作用】この構成によってピッチはターンテーブルが１
回転した時のレーザビームの移動量よりも小さい値とな
るので、レーザ測長器の分解能以上の微小送りが可能と
なる。また、ターンテーブルの回転時に発生する気流の
光学系、送り機構への作用を風防板で抑制することで、
ピッチ精度を向上することができる。
回転した時のレーザビームの移動量よりも小さい値とな
るので、レーザ測長器の分解能以上の微小送りが可能と
なる。また、ターンテーブルの回転時に発生する気流の
光学系、送り機構への作用を風防板で抑制することで、
ピッチ精度を向上することができる。
【００１９】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら詳細に説明する。
しながら詳細に説明する。
【００２０】図１は本発明の一実施例を示すレーザ記録
装置のブロック図、図２（ａ）、（ｂ）はディスク原盤
１上のレーザビーム配置を示す図、図３は風防板の形状
を示す図である。
装置のブロック図、図２（ａ）、（ｂ）はディスク原盤
１上のレーザビーム配置を示す図、図３は風防板の形状
を示す図である。
【００２１】図１において本発明のレーザ記録装置は、
ガラス基板上にフォトレジストを０．１μｍ形成したデ
ィスク原盤１を吸着するターンテーブル２と、ディスク
原盤１を回転させるスピンドルモータ３と、それを駆動
するための回転駆動部４と回転数を検出するためのエン
コーダ５（分解能２０００パルス／回転）と、レーザ光
源６から発生するレーザビーム７をディスク原盤１上に
集束するための反射ミラー８、レンズ９等の光学素子で
構成された光学ヘッド部１０と、光学ヘッド部１０をデ
ィスク原盤１上部に配置するためのスライダ１１と、レ
ーザビーム７をディスク原盤１上で移動させるためのリ
ニアモータ１２と、それを駆動する送り駆動部１３と、
レーザビーム７の移動速度に対応してパルスを出力する
レーザ測長器１４（分解能０．０１μｍ／パルス）と、
回転駆動部４と送り駆動部１３に指令を出力するための
制御部１５から構成されている。
ガラス基板上にフォトレジストを０．１μｍ形成したデ
ィスク原盤１を吸着するターンテーブル２と、ディスク
原盤１を回転させるスピンドルモータ３と、それを駆動
するための回転駆動部４と回転数を検出するためのエン
コーダ５（分解能２０００パルス／回転）と、レーザ光
源６から発生するレーザビーム７をディスク原盤１上に
集束するための反射ミラー８、レンズ９等の光学素子で
構成された光学ヘッド部１０と、光学ヘッド部１０をデ
ィスク原盤１上部に配置するためのスライダ１１と、レ
ーザビーム７をディスク原盤１上で移動させるためのリ
ニアモータ１２と、それを駆動する送り駆動部１３と、
レーザビーム７の移動速度に対応してパルスを出力する
レーザ測長器１４（分解能０．０１μｍ／パルス）と、
回転駆動部４と送り駆動部１３に指令を出力するための
制御部１５から構成されている。
【００２２】また、制御部１５は、レーザ測長器１４か
らのパルスを計数するカウンタ１６と、計数値からレー
ザビーム７位置を算出して送り速度、または回転速度の
補正を行う演算器１７と、演算器１７に指令を与える制
御器１８、記録条件を設定するための条件入力器１９か
ら構成されている。
らのパルスを計数するカウンタ１６と、計数値からレー
ザビーム７位置を算出して送り速度、または回転速度の
補正を行う演算器１７と、演算器１７に指令を与える制
御器１８、記録条件を設定するための条件入力器１９か
ら構成されている。
【００２３】次に図２（ａ）、（ｂ）を用いて、レーザ
記録装置でディスク原盤１の半径５０ｍｍから矢印Ｘ方
向にピッチＴｐを１．０μｍ、回転数１８００ｒｐｍで
映像信号を記録する場合について説明する。
記録装置でディスク原盤１の半径５０ｍｍから矢印Ｘ方
向にピッチＴｐを１．０μｍ、回転数１８００ｒｐｍで
映像信号を記録する場合について説明する。
【００２４】ターンテーブル２に吸着されたディスク原
盤１は、スピンドルモータ３によって回転軸を中心に矢
印Ｙ方向に回転される。
盤１は、スピンドルモータ３によって回転軸を中心に矢
印Ｙ方向に回転される。
【００２５】一方、ディスク原盤１上部に配置された光
学ヘッド部１０は、リニアモータ１２によって矢印Ｘ方
向に移動される。
学ヘッド部１０は、リニアモータ１２によって矢印Ｘ方
向に移動される。
【００２６】この時、光学ヘッド部１０からディスク原
盤１上に照射されるレーザビーム７は、矢印Ｘ方向上に
回転中心が存在しないように予め回転中心から距離Ｌだ
け移動した位置に設定する。本レーザ記録では、距離Ｌ
を４０ｍｍに設定して行った。制御部１５は、記録開始
前に半径５０ｍｍから記録ができるように、距離Ｌの４
０ｍｍと半径５０ｍｍからレーザビーム７位置を算出し
て、その位置に予め移動させる。
盤１上に照射されるレーザビーム７は、矢印Ｘ方向上に
回転中心が存在しないように予め回転中心から距離Ｌだ
け移動した位置に設定する。本レーザ記録では、距離Ｌ
を４０ｍｍに設定して行った。制御部１５は、記録開始
前に半径５０ｍｍから記録ができるように、距離Ｌの４
０ｍｍと半径５０ｍｍからレーザビーム７位置を算出し
て、その位置に予め移動させる。
【００２７】本設定条件では、Ｃ点からＡ点までの３０
ｍｍの位置がレーザビーム７位置であり、この距離補正
を行うことにより、ディスク原盤１上の半径５０ｍｍの
位置から記録を開始することができる。
ｍｍの位置がレーザビーム７位置であり、この距離補正
を行うことにより、ディスク原盤１上の半径５０ｍｍの
位置から記録を開始することができる。
【００２８】記録はディスク原盤１を１８００ｒｐｍの
回転数で回転して、スライダ１１を矢印Ｘ方向に移動し
て行う。この時のスライダ１１の移動速度は、レーザビ
ーム７位置Ａ点から１回転した時のＢ点までの距離Ｔ１
を速度変換したものであり、距離Ｔ１は、距離Ｌを定数
として回転中心からＡ点までの距離と、回転中心からＢ
点までの距離から幾何学的に求められる。
回転数で回転して、スライダ１１を矢印Ｘ方向に移動し
て行う。この時のスライダ１１の移動速度は、レーザビ
ーム７位置Ａ点から１回転した時のＢ点までの距離Ｔ１
を速度変換したものであり、距離Ｔ１は、距離Ｌを定数
として回転中心からＡ点までの距離と、回転中心からＢ
点までの距離から幾何学的に求められる。
【００２９】つまり、Ａ点が回転中心から５０ｍｍの距
離で、１回転した時のＢ点の回転中心からの距離は、５
０ｍｍにピッチＴｐの１μｍを加算した距離であり、こ
の時のＡ点からＢ点までの距離Ｔ１は、約１．７μｍで
速度に変換すると５１μｍ／秒となる。このようにピッ
チＴｐは、距離Ｔ１を約４０％小さくした値になるの
で、レンズ９の矢印Ｚ方向に可動する時に発生する矢印
Ｘ方向の変動量の圧縮や、また、レーザ測長器１４の分
解能０．０１μｍ以上にレーザビーム７をディスク原盤
１の半径方向に微小送りできる。
離で、１回転した時のＢ点の回転中心からの距離は、５
０ｍｍにピッチＴｐの１μｍを加算した距離であり、こ
の時のＡ点からＢ点までの距離Ｔ１は、約１．７μｍで
速度に変換すると５１μｍ／秒となる。このようにピッ
チＴｐは、距離Ｔ１を約４０％小さくした値になるの
で、レンズ９の矢印Ｚ方向に可動する時に発生する矢印
Ｘ方向の変動量の圧縮や、また、レーザ測長器１４の分
解能０．０１μｍ以上にレーザビーム７をディスク原盤
１の半径方向に微小送りできる。
【００３０】このピッチＴｐは、スライダ１１が一定速
度で矢印Ｘ方向に移動するに従い相対的に変化して行く
ので、スライダ１１の移動速度を周期的に補正してピッ
チＴｐが一定になるようにする。
度で矢印Ｘ方向に移動するに従い相対的に変化して行く
ので、スライダ１１の移動速度を周期的に補正してピッ
チＴｐが一定になるようにする。
【００３１】この移動速度の補正は、移動速度に対応し
て出力されるレーザ測長器１４からのパルスをカウンタ
１６で計数して、その計数値を周期的に演算器１７で読
み取り、その計数値から最適な移動速度を算出して、速
度指令信号として送り駆動部１３に出力する。
て出力されるレーザ測長器１４からのパルスをカウンタ
１６で計数して、その計数値を周期的に演算器１７で読
み取り、その計数値から最適な移動速度を算出して、速
度指令信号として送り駆動部１３に出力する。
【００３２】また、ディスク原盤１の上部に光学ヘッド
部１０を配置してディスク原盤１を１８００ｒｐｍで回
転させると風速５〜１０ｍ／秒程度の気流が発生する。
この気流がスライダ１１とディスク原盤１と光学ヘッド
部１０との空間で乱流状態になり、光学系や送り制御系
を不安定にしてピッチＴｐの精度を低下させる要因の一
つになっていた。
部１０を配置してディスク原盤１を１８００ｒｐｍで回
転させると風速５〜１０ｍ／秒程度の気流が発生する。
この気流がスライダ１１とディスク原盤１と光学ヘッド
部１０との空間で乱流状態になり、光学系や送り制御系
を不安定にしてピッチＴｐの精度を低下させる要因の一
つになっていた。
【００３３】そこで気流がスライダ１１に直接作用しな
いようにディスク原盤１とスライダ１１との間に風防板
３０を設けた。この風防板３０は、湾曲状の形状でその
表面に溝３１を設けることにより、風防板３０に直接作
用した気流を湾曲に沿って流れるようにすることでディ
スク原盤１上部に配置した光学ヘッド部１０への影響を
抑制した。このことにより、従来のピッチ誤差±０．０
４μｍを±０．０２μｍまで小さくすることができた。
いようにディスク原盤１とスライダ１１との間に風防板
３０を設けた。この風防板３０は、湾曲状の形状でその
表面に溝３１を設けることにより、風防板３０に直接作
用した気流を湾曲に沿って流れるようにすることでディ
スク原盤１上部に配置した光学ヘッド部１０への影響を
抑制した。このことにより、従来のピッチ誤差±０．０
４μｍを±０．０２μｍまで小さくすることができた。
【００３４】本発明では、一実施例としてピッチＴｐを
一定にするためにスライダの移動速度を補正して行った
が、一方の回転速度を補正しても同様の効果が得られ
る。
一定にするためにスライダの移動速度を補正して行った
が、一方の回転速度を補正しても同様の効果が得られ
る。
【００３５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のレーザ記録
装置は、レーザビームの移動軌跡上に回転中心が存在し
ないように回転中心から外れた任意の位置にレーザビー
ムを設定することで、光学ヘッド部のピッチ誤差成分の
圧縮と、レーザ測長器の分解能以上の微小送りが可能と
なり、従来以上に狭ピッチの高密度なディスク原盤を容
易に実現できるものである。
装置は、レーザビームの移動軌跡上に回転中心が存在し
ないように回転中心から外れた任意の位置にレーザビー
ムを設定することで、光学ヘッド部のピッチ誤差成分の
圧縮と、レーザ測長器の分解能以上の微小送りが可能と
なり、従来以上に狭ピッチの高密度なディスク原盤を容
易に実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例のレーザ記録装置のブロック
図
図
【図２】同実施例装置におけるディスク原盤上のレーザ
ビーム配置図
ビーム配置図
【図３】同実施例装置における風防板の斜視図
【図４】従来の情報記録原盤とそのレーザ記録装置のブ
ロック図
ロック図
１ ディスク原盤 ２ ターンテーブル ３ スピンドルモータ ４ 回転駆動装置 ５ エンコーダ ６ レーザ光源 ７ レーザビーム ８ 反射ミラー ９ レンズ １０ 光学ヘッド部 １１ スライダ １２ リニアモータ １３ 送り駆動装置 １４ レーザ測長器 １５ 制御装置 １６ カウンタ １７ 演算器 １８ 制御部 １９ 条件入力部 ３０ 風防板 ３１ 溝 ４１ ガラス板 ４２ 金属膜 ４３ 光学式情報記録盤 ４４ モータ ４５ 光学系 ４６ 集光レンズ ４７ 送り機構 ４８ ピット
Claims (5)
- 【請求項１】ディスク原盤を吸着するターンテーブル
と、前記ターンテーブルを回転させるスピンドルモータ
と、前記スピンドルモータを駆動する回転駆動部と、前
記ディスク原盤の露光用光源としてのレーザ光源から発
せられたレーザビームを前記ディスク原盤上に集光させ
るための光学ヘッド部と、前記光学ヘッド部を搭載して
送るためのスライダと、前記スライダに取り付けられた
リニアモータを駆動するための送り駆動部と、前記回転
駆動部と前記送り駆動部に指令を出すための制御部を備
えたレーザ記録装置であって、前記レーザビームの移動
軌跡上に回転中心が存在しないように前記回転中心から
外れた任意の位置に前記レーザビームを設定することを
特徴とするレーザ記録装置。 - 【請求項２】ディスク原盤上のピット、または溝の隣接
間距離が一定になるように、回転中心からレーザビーム
位置までの距離に対応して、スライダの送り速度、また
はスピンドルモータの回転速度の一方を補正することを
特徴とする請求項１記載のレーザ記録装置。 - 【請求項３】ディスク原盤上のピット、または溝の隣接
間距離が一定になるように、回転中心からレーザビーム
位置までの距離に対応して、スライダの送り速度、また
はスピンドルモータの回転速度の一方を補正する演算器
を設けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ記録装
置。 - 【請求項４】回転中心からレーザビームの任意の設定位
置までの距離は、記録を開始する以前に予め演算器に設
定することを特徴とする請求項３記載のレーザ記録装
置。 - 【請求項５】ターンテーブルが回転することにより発生
する気流が、前記スライダに直接作用しないように前記
ターンテーブルと前記スライダの間に湾曲状の風防板を
設けて、前記風防板の表面には、気流の方向を変える為
の溝を設けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ記
録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5212823A JPH0765385A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | レーザ記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5212823A JPH0765385A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | レーザ記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0765385A true JPH0765385A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16628953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5212823A Pending JPH0765385A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | レーザ記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765385A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997011459A1 (fr) * | 1995-09-19 | 1997-03-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Procede d'exposition de disque optique d'origine, appareil d'exposition prevu a cet effet et disque optique |
| US7361456B2 (en) * | 2003-09-08 | 2008-04-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing master disk, apparatus of manufacturing master disk, method of detecting moving distance difference of master disk, and apparatus of detecting moving distance difference of master disk |
| US7384709B2 (en) * | 2001-03-30 | 2008-06-10 | Tesa Scribos Gmbh | Lithograph with a trigger mask and method of producing digital holograms in a storage medium |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP5212823A patent/JPH0765385A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997011459A1 (fr) * | 1995-09-19 | 1997-03-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Procede d'exposition de disque optique d'origine, appareil d'exposition prevu a cet effet et disque optique |
| US6203968B1 (en) | 1995-09-19 | 2001-03-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing an optical disk master using an exposure beam, its exposure apparatus and an optical disk |
| US7384709B2 (en) * | 2001-03-30 | 2008-06-10 | Tesa Scribos Gmbh | Lithograph with a trigger mask and method of producing digital holograms in a storage medium |
| US7361456B2 (en) * | 2003-09-08 | 2008-04-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing master disk, apparatus of manufacturing master disk, method of detecting moving distance difference of master disk, and apparatus of detecting moving distance difference of master disk |
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