JPH0765758A - Ｘ線発生装置のフィラメント組立体 - Google Patents
Ｘ線発生装置のフィラメント組立体Info
- Publication number
- JPH0765758A JPH0765758A JP23731493A JP23731493A JPH0765758A JP H0765758 A JPH0765758 A JP H0765758A JP 23731493 A JP23731493 A JP 23731493A JP 23731493 A JP23731493 A JP 23731493A JP H0765758 A JPH0765758 A JP H0765758A
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- Japan
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- insulator
- holder
- filament assembly
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線発生装置に内蔵されるフィラメント組立
体に関し、幅が狭く、組み立てが容易なフィラメント組
立体を提供する。 【構成】 碍子１２によって支持された一対のステム３
と、それらのステム３間に張設されたフィラメント７
と、フィラメント７を保持するためのホルダ１３と、碍
子１２をホルダ１３に固着するための座板１５とを有す
るＸ線発生装置のフィラメント組立体１１において、座
板１５をロー付けによって碍子１２に固着した。従来
は、ネジによって碍子１２と座板１５を固定していた
が、これをロー付けによって行うようにしたので、フィ
ラメント組立体１１の幅が小さくなった。
体に関し、幅が狭く、組み立てが容易なフィラメント組
立体を提供する。 【構成】 碍子１２によって支持された一対のステム３
と、それらのステム３間に張設されたフィラメント７
と、フィラメント７を保持するためのホルダ１３と、碍
子１２をホルダ１３に固着するための座板１５とを有す
るＸ線発生装置のフィラメント組立体１１において、座
板１５をロー付けによって碍子１２に固着した。従来
は、ネジによって碍子１２と座板１５を固定していた
が、これをロー付けによって行うようにしたので、フィ
ラメント組立体１１の幅が小さくなった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ターゲットに電子を衝
突させてそのターゲットからＸ線を発生するＸ線発生装
置、特に電子を放出するためのフィラメントを主体とす
るフィラメント組立体に関する。
突させてそのターゲットからＸ線を発生するＸ線発生装
置、特に電子を放出するためのフィラメントを主体とす
るフィラメント組立体に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折装置、あるいはその他種々のＸ
線利用機器に関しては、Ｘ線を発生するためのＸ線発生
装置が必要不可欠である。このＸ線発生装置は、一般的
に、通電によって電子を放出するフィラメントと、その
フィラメントに対向して配置されたターゲットとを有し
ている。フィラメント及びターゲットのまわりは真空に
保持される。フィラメントから放出された電子はターゲ
ットに高速で衝突し、その衝突した部分からＸ線が放射
される。
線利用機器に関しては、Ｘ線を発生するためのＸ線発生
装置が必要不可欠である。このＸ線発生装置は、一般的
に、通電によって電子を放出するフィラメントと、その
フィラメントに対向して配置されたターゲットとを有し
ている。フィラメント及びターゲットのまわりは真空に
保持される。フィラメントから放出された電子はターゲ
ットに高速で衝突し、その衝突した部分からＸ線が放射
される。
【０００３】従来よりフィラメントは、図６に示すよう
なフィラメント組立体の形で取り扱われている。このフ
ィラメント組立体１は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等によっ
て形成された碍子２と、碍子２を上下に貫通する一対の
ステム３，３と、そしてネジ４，４によって碍子２の背
面に固着された座板５とを有している。各ステム３に
は、それらの下端に端子６が固着され、一方、それらの
上端にフィラメント７が接続されている。このフィラメ
ント組立体１は、座板５に設けた２個の貫通穴８，８に
ネジを通し、それらのネジを用いて所定の取り付け場所
に固定するようになっている。
なフィラメント組立体の形で取り扱われている。このフ
ィラメント組立体１は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等によっ
て形成された碍子２と、碍子２を上下に貫通する一対の
ステム３，３と、そしてネジ４，４によって碍子２の背
面に固着された座板５とを有している。各ステム３に
は、それらの下端に端子６が固着され、一方、それらの
上端にフィラメント７が接続されている。このフィラメ
ント組立体１は、座板５に設けた２個の貫通穴８，８に
ネジを通し、それらのネジを用いて所定の取り付け場所
に固定するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のフィラメント組立体に関しては、次のような欠点があ
った。すなわち、碍子２を座板５に固着するために２個
のネジ４を用いているため、フィラメント組立体１の幅
Ｗを小さくすることができなかった。また、ネジ止めの
ための面倒な工程が必要であった。
のフィラメント組立体に関しては、次のような欠点があ
った。すなわち、碍子２を座板５に固着するために２個
のネジ４を用いているため、フィラメント組立体１の幅
Ｗを小さくすることができなかった。また、ネジ止めの
ための面倒な工程が必要であった。
【０００５】本発明は、上記の問題点を解消するために
なされたものであって、幅が狭く、しかも組み立てが容
易なフィラメント組立体を提供することを目的とする。
なされたものであって、幅が狭く、しかも組み立てが容
易なフィラメント組立体を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るＸ線発生装置のフィラメント組立体
は、碍子によって支持された一対のステムと、それらの
ステム間に張設されたフィラメントと、フィラメントを
保持するためのホルダと、碍子をホルダに固着するため
の座板とを有するＸ線発生装置のフィラメント組立体に
おいて、座板をロー付けによって碍子に固着したことを
特徴としている。
め、本発明に係るＸ線発生装置のフィラメント組立体
は、碍子によって支持された一対のステムと、それらの
ステム間に張設されたフィラメントと、フィラメントを
保持するためのホルダと、碍子をホルダに固着するため
の座板とを有するＸ線発生装置のフィラメント組立体に
おいて、座板をロー付けによって碍子に固着したことを
特徴としている。
【０００７】上記のロー付けのためのロー材としては、
例えばチタンローを用いることができる。
例えばチタンローを用いることができる。
【０００８】
【作用】ロー付けによって座板を碍子に固着することに
より、ネジ止めのための領域が不要となり、その分だけ
フィラメント組立体の幅を狭くできる。通常、フィラメ
ント組立体は、例えば直方体形状のホルダの内部に組み
込まれ、そのホルダは、さらにＸ線管の管壁内に組み込
まれる。この組み込まれた状態で、フィラメントからの
電子の放出及びターゲットからのＸ線の放射が行われ、
そのＸ線がＸ線管壁の外部に取り出される。ところで、
ホルダとＸ線管壁との間の間隔が小さいと両者間に放電
が発生して、ターゲット等が損傷するおそれがある。し
かしながら本発明によれば、フィラメント組立体の幅が
小さく形成できるので、それを格納するホルダの幅も狭
く形成でき、従ってＸ線管壁との間の間隔が大きくと
れ、このため放電の発生を確実に抑えることができる。
また、Ｘ線管の幅を小さくすることにより、Ｘ線管の全
体形状を小型にできる。
より、ネジ止めのための領域が不要となり、その分だけ
フィラメント組立体の幅を狭くできる。通常、フィラメ
ント組立体は、例えば直方体形状のホルダの内部に組み
込まれ、そのホルダは、さらにＸ線管の管壁内に組み込
まれる。この組み込まれた状態で、フィラメントからの
電子の放出及びターゲットからのＸ線の放射が行われ、
そのＸ線がＸ線管壁の外部に取り出される。ところで、
ホルダとＸ線管壁との間の間隔が小さいと両者間に放電
が発生して、ターゲット等が損傷するおそれがある。し
かしながら本発明によれば、フィラメント組立体の幅が
小さく形成できるので、それを格納するホルダの幅も狭
く形成でき、従ってＸ線管壁との間の間隔が大きくと
れ、このため放電の発生を確実に抑えることができる。
また、Ｘ線管の幅を小さくすることにより、Ｘ線管の全
体形状を小型にできる。
【０００９】
【実施例】図２は、本発明に係るフィラメント組立体を
備えたＸ線発生装置の全体を示している。このＸ線発生
装置は電子銃９及びターゲット１０を有している。電子
銃９は概ね直方体形状のホルダ１３を有しており、その
ホルダ１３の中にフィラメント組立体１１及びウエネル
ト１４が格納されている。ウエネルト１４のほぼ中央に
はフィラメントを外部へ露出させるための長方形状の開
口すなわちスリット２０が形成されている。
備えたＸ線発生装置の全体を示している。このＸ線発生
装置は電子銃９及びターゲット１０を有している。電子
銃９は概ね直方体形状のホルダ１３を有しており、その
ホルダ１３の中にフィラメント組立体１１及びウエネル
ト１４が格納されている。ウエネルト１４のほぼ中央に
はフィラメントを外部へ露出させるための長方形状の開
口すなわちスリット２０が形成されている。
【００１０】フィラメント組立体１１は、図１に示すよ
うに、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等によって形成された直方
体形状の碍子１２と、その碍子１２を上下に貫通する一
対のステム３と、碍子１２の背面にロー付けによって固
着された長方形状の座板１５とを有している。座板１５
は、例えばステンレスによって形成される。各ステム３
には、それらの下端に電極端子６がロー付けによって固
着され、また、それらの上端にフィラメント７が接続さ
れている。フィラメント７は、図２において、ウエネル
ト１４に形成したスリット２０を介して外部へ露出す
る。図１に戻って、碍子１２のほぼ中央位置には径の大
きい座ぐり用貫通穴１６が開けられ、その貫通穴１６に
対応する位置の座板１５のほぼ中央位置に径の小さいネ
ジ用貫通穴１７が開けられている。
うに、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等によって形成された直方
体形状の碍子１２と、その碍子１２を上下に貫通する一
対のステム３と、碍子１２の背面にロー付けによって固
着された長方形状の座板１５とを有している。座板１５
は、例えばステンレスによって形成される。各ステム３
には、それらの下端に電極端子６がロー付けによって固
着され、また、それらの上端にフィラメント７が接続さ
れている。フィラメント７は、図２において、ウエネル
ト１４に形成したスリット２０を介して外部へ露出す
る。図１に戻って、碍子１２のほぼ中央位置には径の大
きい座ぐり用貫通穴１６が開けられ、その貫通穴１６に
対応する位置の座板１５のほぼ中央位置に径の小さいネ
ジ用貫通穴１７が開けられている。
【００１１】図２においてホルダ１３を矢印Ａ方向から
見ると、図３に示すような形状を有している。図示の通
りホルダ１３は、円形状の凹部１８及びそれに連なる長
方形状の凹部１９とを備えている。円形凹部１８にはウ
エネルト１４をはめ込むための円形貫通穴３０が形成さ
れ、また、長方形凹部１９には、ネジ穴２１が形成され
ている。図４に示すように、円形凹部１８の貫通穴３０
内には円形状のウエネルト１４がはめ込まれてネジ等に
よって固定され、長方形凹部１９の中にフィラメント組
立体１１が格納される。フィラメント組立体１１は、座
ぐり用貫通穴１６（図１）及びネジ用貫通穴１７（図
１）を貫通してネジ穴１７（図１）にねじ込まれるネジ
２２によってホルダ１３に固着される。この装着状態に
おいて、フィラメント７がウエネルト１４に形成したス
リット２０から外部へ露出する。
見ると、図３に示すような形状を有している。図示の通
りホルダ１３は、円形状の凹部１８及びそれに連なる長
方形状の凹部１９とを備えている。円形凹部１８にはウ
エネルト１４をはめ込むための円形貫通穴３０が形成さ
れ、また、長方形凹部１９には、ネジ穴２１が形成され
ている。図４に示すように、円形凹部１８の貫通穴３０
内には円形状のウエネルト１４がはめ込まれてネジ等に
よって固定され、長方形凹部１９の中にフィラメント組
立体１１が格納される。フィラメント組立体１１は、座
ぐり用貫通穴１６（図１）及びネジ用貫通穴１７（図
１）を貫通してネジ穴１７（図１）にねじ込まれるネジ
２２によってホルダ１３に固着される。この装着状態に
おいて、フィラメント７がウエネルト１４に形成したス
リット２０から外部へ露出する。
【００１２】フィラメント組立体１１をホルダ１３に組
み付ける際、座板１５の上端面１５ａ（図１）及び左側
面１５ｂが、それぞれ、長方形凹部１９の上部突当て部
１９ａ及び側部突当て部１９ｂに突き当てられ、これに
よりフィラメント７のホルダ１３に対する位置が一定位
置に決められる。
み付ける際、座板１５の上端面１５ａ（図１）及び左側
面１５ｂが、それぞれ、長方形凹部１９の上部突当て部
１９ａ及び側部突当て部１９ｂに突き当てられ、これに
よりフィラメント７のホルダ１３に対する位置が一定位
置に決められる。
【００１３】図２に戻って、両電極端子６の間に管電流
電源２３が接続され、一方の電極端子６とターゲット１
０との間に管電圧電源２４が接続され、さらに一方の電
極端子６とウエネルト１４との間にバイアス電源２５が
接続される。ホルダ１３及びターゲット１０は、図５に
示すように、Ｘ線管壁２６によって気密に密閉され、そ
のＸ線管壁２６の内部は、Ｘ線管壁２６に固定設置した
ターボ分子ポンプ２７によって排気されて真空状態に維
持される。図２において、管電流電源２３の働きにより
電極端子６を介してフィラメント７が通電し、この通電
によりフィラメント７が発熱してそこから電子が放出さ
れる。放出された電子は、バイアス電源２５の働きによ
ってウエネルト１４とフィラメント７との間に印加され
たバイアス電圧によって方向制御されてターゲット１０
上の所定形状の焦点に衝突する。このとき、管電圧電源
２４の働きによってフィラメント７とターゲット１０と
の間に印加された電圧、すなわち管電圧によって、フィ
ラメント７からターゲット１０へ向かう電子が高速に加
速される。
電源２３が接続され、一方の電極端子６とターゲット１
０との間に管電圧電源２４が接続され、さらに一方の電
極端子６とウエネルト１４との間にバイアス電源２５が
接続される。ホルダ１３及びターゲット１０は、図５に
示すように、Ｘ線管壁２６によって気密に密閉され、そ
のＸ線管壁２６の内部は、Ｘ線管壁２６に固定設置した
ターボ分子ポンプ２７によって排気されて真空状態に維
持される。図２において、管電流電源２３の働きにより
電極端子６を介してフィラメント７が通電し、この通電
によりフィラメント７が発熱してそこから電子が放出さ
れる。放出された電子は、バイアス電源２５の働きによ
ってウエネルト１４とフィラメント７との間に印加され
たバイアス電圧によって方向制御されてターゲット１０
上の所定形状の焦点に衝突する。このとき、管電圧電源
２４の働きによってフィラメント７とターゲット１０と
の間に印加された電圧、すなわち管電圧によって、フィ
ラメント７からターゲット１０へ向かう電子が高速に加
速される。
【００１４】本実施例では、図１に示すように、座板１
５がロー付けによって碍子１２に固着される。従って、
図６に示すように両者をネジ４によって固着するように
した従来のフィラメント組立体に比べて、その幅Ｗを非
常に小さくできる。フィラメント組立体１１の幅Ｗが小
さいということは、図５においてホルダ１３の幅Ｗ’を
小さくできるということであり、従って、Ｘ線管壁２６
との間の間隔Ｗａを広くできるということである。この
間隔Ｗａを広く設定することにより、ターゲット１０か
らＸ線を発生させるときに放電が発生することを確実に
防止できる。換言すれば、Ｘ線管２６を小型にした場合
でも放電の発生を防止できる。
５がロー付けによって碍子１２に固着される。従って、
図６に示すように両者をネジ４によって固着するように
した従来のフィラメント組立体に比べて、その幅Ｗを非
常に小さくできる。フィラメント組立体１１の幅Ｗが小
さいということは、図５においてホルダ１３の幅Ｗ’を
小さくできるということであり、従って、Ｘ線管壁２６
との間の間隔Ｗａを広くできるということである。この
間隔Ｗａを広く設定することにより、ターゲット１０か
らＸ線を発生させるときに放電が発生することを確実に
防止できる。換言すれば、Ｘ線管２６を小型にした場合
でも放電の発生を防止できる。
【００１５】以上、１つの実施例をあげて本発明を説明
したが、本発明はその実施例に限定されることなく、請
求の範囲に記載した技術的範囲内で種々に改変できる。
したが、本発明はその実施例に限定されることなく、請
求の範囲に記載した技術的範囲内で種々に改変できる。
【００１６】例えば、碍子１２及び座板１５の形状は図
示した形状以外の任意の形状とすることができる。
示した形状以外の任意の形状とすることができる。
【００１７】
【発明効果】本発明によれば、ロー付けによって座板を
碍子に固着したので、ネジによって固着した場合に比べ
てフィラメント組立体の幅を小さくでき、これをホルダ
に組み付け、さらにそのホルダをＸ線管内に組み付けた
場合、ホルダとＸ線管壁との間の間隔を広く設定でき、
従って放電の発生を防止できる。また、放電の発生を防
止しつつ、Ｘ線管を小型に形成できる。さらに、ネジ止
めを用いた場合に比べて作業が簡単になる。
碍子に固着したので、ネジによって固着した場合に比べ
てフィラメント組立体の幅を小さくでき、これをホルダ
に組み付け、さらにそのホルダをＸ線管内に組み付けた
場合、ホルダとＸ線管壁との間の間隔を広く設定でき、
従って放電の発生を防止できる。また、放電の発生を防
止しつつ、Ｘ線管を小型に形成できる。さらに、ネジ止
めを用いた場合に比べて作業が簡単になる。
【００１８】請求項２記載のフィラメント組立体によれ
ば、フィラメントを所定の位置に正確に、しかも簡単に
位置決めできる。
ば、フィラメントを所定の位置に正確に、しかも簡単に
位置決めできる。
【００１９】請求項３記載のフィラメント組立体によれ
ば、フィラメント組立体の幅をより一層小さく形成でき
る。
ば、フィラメント組立体の幅をより一層小さく形成でき
る。
【００２０】
【図１】本発明に係るＸ線発生装置のフィラメント組立
体の一実施例を示す分解斜視図である。
体の一実施例を示す分解斜視図である。
【図２】同フィラメント組立体を用いたＸ線発生装置を
模式的に示す斜視図である。
模式的に示す斜視図である。
【図３】フィラメント支持用のホルダの一例の内部を示
す正面図である。
す正面図である。
【図４】ホルダにフィラメント組立体を装着した状態を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図５】フィラメント及びホルダを組み付けた状態のＸ
線発生装置の正面断面図である。
線発生装置の正面断面図である。
【図６】従来のフィラメント組立体を示す斜視図であ
る。
る。
３ ステム ７ フィラメント １０ ターゲット １１ フィラメント組立体 １２ 碍子 １３ ホルダ １４ ウエネルト １５ 座板 １６ 座ぐり用貫通穴 １７ ネジ用貫通穴 １８ ウエネルト収納用凹部 １９ フィラメント組立体用凹部 １９ａ 座板突当て部 １９ｂ 座板突当て部
Claims (3)
- 【請求項１】 碍子によって支持された一対のステム
と、それらのステム間に張設されたフィラメントと、フ
ィラメントを保持するためのホルダと、碍子をホルダに
固着するための座板とを有するＸ線発生装置のフィラメ
ント組立体において、 座板をロー付けによって碍子に固着したことを特徴とす
るフィラメント組立体。 - 【請求項２】 ホルダの内部に位置決め用突当て部が設
けられており、座板の端面をその突当て部に当接させる
ことによりホルダに対するフィラメントの位置決めを行
うことを特徴とする請求項１記載のＸ線発生装置のフィ
ラメント組立体。 - 【請求項３】 碍子のうち一対のステムの間の部分に設
けられた座ぐり用貫通穴と、座板のうち座ぐり用貫通穴
に対応する部分に設けられていてその外径が座ぐり用貫
通穴よりも小さいネジ用貫通穴とを有しており、これら
の貫通穴に挿入されたネジを用いて碍子をホルダに固定
することを特徴とする請求項１記載のＸ線発生装置のフ
ィラメント組立体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23731493A JPH0765758A (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | Ｘ線発生装置のフィラメント組立体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23731493A JPH0765758A (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | Ｘ線発生装置のフィラメント組立体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0765758A true JPH0765758A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=17013536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23731493A Pending JPH0765758A (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | Ｘ線発生装置のフィラメント組立体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765758A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013206633A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Rigaku Corp | 電子銃、ｘ線発生装置及びｘ線測定装置 |
-
1993
- 1993-08-30 JP JP23731493A patent/JPH0765758A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013206633A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Rigaku Corp | 電子銃、ｘ線発生装置及びｘ線測定装置 |
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