JPH0765994A - 粒子加速器のビーム位置モニタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、同軸ケーブルおよび処理回路による
損失アンバランスのない高精度なＣ．Ｏ．Ｄの測定がで
きると共に、加速中の電子ビームのＣ．Ｏ．Ｄを精度よ
く測定できることを最も主要な目的としている。 【構成】本発明は、同一モニタ内の各ポジション電極に
発生するビーム位置信号を個別に入力する、モニタ近傍
に設置された複数個の電極ＲＦスイッチと、各電極ＲＦ
スイッチからのビーム位置信号を共通に制御室まで伝送
するケーブルと、制御室側に設置され、各電極ＲＦスイ
ッチを所定の順序で時系列に切換制御するように電極切
換指令を出力するタイミング制御回路と、ケーブルによ
り伝送されるビーム位置信号を、検波処理および必要に
応じて増幅処理する検波回路と、電極切換指令と同期し
て、検波回路からの処理信号を基にビームの平衡軌道に
対する水平・垂直方向のずれ量を算出する演算手段とを
備えたことを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子等の粒子を加速す
る粒子加速器のビームモニタ装置において、特に真空ダ
クト内を通過する粒子群の真空ダクト断面上の通過位置
を検出する粒子加速器のビーム位置モニタ装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は、この種の粒子加速器の全体構成
例を示す概要図である。図３において、１は線型加速器
であり、所定の運動エネルギーを持つ粒子、例えば電子
ビームを出力する。ここで出力された電子ビームは、静
電インフレクター２によって静電偏向を受け、加速リン
グ３の真空ダクト１５Ａ内の電子走行軌道に対して接線
方向から入射する。加速リング３内には、偏向電磁石４
Ａが図示の斜線部位に複数個配置されており、これによ
って線型加速器１から入射した電子ビームを偏向させ
る。よって、電子ビームは、この偏向電磁石４Ａが発生
する磁場によって、所定の真空ダクト１５Ａの軌道内に
収まるように制御される。

【０００３】一方、５Ａは高周波加速空胴であり、この
空胴内にはあらかじめ高周波電場が形成されていて、こ
れによって電子ビームが周回軌道を回る時に失なわれる
運動エネルギー（電磁波として失なわれるエネルギー）
以上のエネルギーを電子ビームに与えて、これを徐々に
加速する。また、この高周波加速空胴５Ａは、空胴内に
発生させた電場によって電子ビームを加減速することに
より、周回軌道上にバンチと呼ばれる電子ビームの進行
方向にいくつかに区切られた粒子集団を生成する。この
電子の粒子集団数は、ハーモニック数と呼ばれる。そし
て、所定の運動エネルギーに到達した電子ビームは、キ
ッカー電磁石６とデフレクター電磁石７の発生する磁場
により、加速リング３内の周回軌道から外されて、粒子
輸送管８内に取り出される。

【０００４】次に、ここで取り出された電子ビームは、
蓄積リング９に到達して、内部にあるインフレクター電
磁石１０とパータベイター電磁石１１の発生する磁場に
よって、蓄積リング９の真空ダクト１５Ｂ内の周回軌道
に入る。この時、蓄積リング９内には、前述した加速リ
ング３の場合と同様に、偏向電磁石４Ｓが複数個適正に
配置されており、入射した電子ビームの持つ運動エネル
ギー相当の磁場を事前に発生させる。電子ビームは、こ
の磁場により所定の周回軌道内に収まるように制御され
る。また、蓄積リング９内の高周波加速空胴５Ｓは、高
周波加速空胴５Ａと同様な電子ビームの加速装置であ
り、この高周波加速空胴５Ｓ内に発生させた電場によっ
て、電子ビームを一定の運動エネルギーに保つように制
御する。要するに、シンクロトロン放射現象による電子
ビームの運動エネルギーの減衰を補なう。

【０００５】さらに、蓄積リング９内の偏向電磁石４Ｓ
には、ビームライン１２と呼ばれるポートが設けられて
おり、所定の運動エネルギーを持つ電子ビームが偏向す
る時に発生するシンクロトロン放射光を、計測ポート１
３まで導くよう配設されている。このシンクロトロン放
射光は極端紫外連続光であり、計測ポート１３の光学系
で分光処理された後、半導体製造装置の光源等に利用さ
れる。

【０００６】なお、図３に示した加速リング３、蓄積リ
ング９、粒子輸送管８等には、偏向電磁石４Ａ，４Ｓ，
４Ｔの他に、四極磁石や六極磁石等が装置されており、
またビームライン１２も複数個設けられているが、説明
を簡単にする都合上、ここではその図示説明を省略して
いる。

【０００７】次に、前述した真空ダクト断面上の電子ビ
ームの通過位置を検出する位置モニタについて説明す
る。図４は、従来の位置モニタ装置の一構成例を示す概
要図であり、４個のポジション電極を用いる場合の例を
示している。

【０００８】図４において、真空ダクト１５は、前述し
たように、電子ビームの平衡軌道を内蔵するダクトであ
り、高真空に保たれている。そして、図４はこの真空ダ
クト１５内に取付けた位置モニタ装置の断面図を示した
ものであり、加速リング３や蓄積リング９の所定の位置
に複数個取付けられており、各々ビームの通過位置を検
出するポジション電極２０−１Ａ，２０−１Ｂ，２０−
１Ｃ，２０−１Ｄ，２０−２Ａ，２０−２Ｂ，２０−２
Ｃ，２０−２Ｄ…２０−ｎＡ，２０−ｎＢ，２０−ｎ
Ｃ，２０−ｎＤを内蔵している。

【０００９】いま、ポジション電極２０−１Ａ〜２０−
１ＤのＡ点を、ビームが通過したとする。この電子ビー
ムは、前述したように、進行方向にバンチした状態で通
過し、この周波数は高周波加速空胴５内の高周波電場と
同一であり、周波数は例えば５００ＭＨｚでバンチした
電子ビームが連続して、ほぼ光速でＡ点を通過する。従
って、ポジション電極２０−１Ａ，２０−１Ｂ，２０−
１Ｃ，２０−１Ｄにも、この５００ＭＨｚを基本波とす
る高周波電圧が発生する。

【００１０】ここで、各電極間の発生電圧は、電子ビー
ムと同電極間の距離に比例するため、図示した点Ａの通
過では、２０−１Ａ＞２０−１Ｄ＞２０−１Ｂ＞２０−
１Ｃの関係になる。すなわち、電子ビームの通過点に一
番近い電極２０−１Ａが一番発生電圧が大きく、一番遠
い電極２０−１Ｃの発生電圧が一番小さいことになる。
そして、この発生電圧の周波数は、５００ＭＨｚを基本
波にし、２次＝１ＧＨｚ、３次＝１．５ＧＨｚ……成分
を多く含む高周波信号となっている。

【００１１】この各電極で発生した高周波信号に対して
後述する所定の処理を行ない、電子ビームの平衡軌道に
対する水平方向の偏差量と垂直方向の偏差量を算出す
る。この偏差量のことを、加速器の分野ではＣ．Ｏ．Ｄ
（Ｃｌｏｓｅｄ ＯｒｂｉｔＤｉｓｔｏｒｓｉｏｎ）と
称し、各測定点（ポジション電極取付点）のＣ．Ｏ．Ｄ
を算出し、図３では図示していないステアリングマグネ
ットを用いて、水平、垂直方向のＣ．Ｏ．Ｄが最小とな
る補正を行なう。この補正をＣ．Ｏ．Ｄ補正と称し、加
速器の運転では最も主要な調整の一つである。

【００１２】以上のように、Ｃ．Ｏ．Ｄ補正が最終目的
であるが、次に各ポジション電極２０−１Ａ，２０−１
Ｂ，２０−１Ｃ，２０−１Ｄで発生する高周波信号の処
理について説明する。

【００１３】各ポジション電極２０−１Ａ，２０−１
Ｂ，２０−１Ｃ，２０−１Ｄに発生した高周波信号は、
通常、セミリジットケーブル２１−１Ａ，２１−１Ｂ，
２１−１Ｃ，２１−１Ｄを通して、ポジション電極２０
−１Ａ〜２０−１Ｄの近傍に設けた変換コネクタ２２−
１Ａ〜２２−１Ｄを介して、制御室まで伝送する。同軸
ケーブル２３−１Ａ〜２３−１Ｄを通して伝送した高周
波信号は、高周波同軸リレー２４Ａ〜２４Ｄを介し、Ｄ
Ｃブレーク２５Ａ〜２５Ｄを経てヘテロダイン検波回路
２６Ａ〜２６Ｄまで導かれる。高周波同軸リレー２４Ａ
〜２４Ｄは、各ポジション電極を計算機２７からのモニ
タ切換指令２８Ａ〜２８Ｄに従って切換える機能を有
し、例えば高周波同軸リレー２４Ａは、各ポジションモ
ニタのＡ電極２０−１Ａ，２０−２Ａ…２０−ｎＡを切
換える。また、ＤＣブレーク２５Ａ〜２５Ｄは、高周波
信号に含まれる直流電圧分を絶縁し、高周波信号分を導
通させる機能を有しており、これにより直流バイアス電
圧をカットする。

【００１４】ＤＣブレーク２５Ａ〜２５Ｄを通過した高
周波信号は、ヘテロダイン検波回路２６Ａ〜２６Ｄに入
力し、ここで高周波信号の基本波である５００ＭＨｚの
電圧成分のみ出力する。また、このヘテロダイン検波回
路２６Ａ〜２６Ｄには、増幅機能も合せて持っている。
これは、ポジション電極２０−１Ａ〜２０−１Ｄに発生
する高周波信号が通過電子ビームの強度に比例し、広範
囲の電子ビーム強度の高周波信号を処理するために、通
常、ヘテロダイン検波回路２６Ａ〜２６Ｄは、５０ｄＢ
前後の可変設定可能なゲインを持つ増幅回路を内蔵して
いる。

【００１５】次に、このヘテロダイン検波回路２６Ａ〜
２６Ｄにより所定の検波、および増幅処理された各ポジ
ション電極２０−１Ａ〜２０−１Ｄのポジション信号Ｊ
１Ａ，Ｊ１Ｂ，Ｊ１Ｃ，Ｊ１Ｄは、図示のように計算機
２７へ取込まれ、一旦メモリされる。

【００１６】同様にして、高周波同軸リレー２４Ａ〜２
４Ｄを計算機２７からのモニタ切換指令２８Ａ〜２８Ｄ
に従って順次切換え、前記した処理を行なうことによ
り、ポジション電極２０−２Ａ〜２０−２Ｄ…２０−ｎ
Ａ〜２０−ｎＤのポジション信号Ｊ２Ａ〜Ｊ２Ｄ…Ｊｎ
Ａ〜ＪｎＤは、順次計算機２７に取込まれてメモリされ
る。

【００１７】この場合の計算機２７の処理手順を、各ポ
ジションモニタＡ電極に発生する高周波信号を処理する
場合を例として図５のタイムチャート図に示す。なお、
図５のタイムチャート図は、計算機２７から出力される
モニタ切換指令２８Ａによる高周波同軸リレー２４Ａの
動作と、これによってヘテロダイン検波回路２６Ａから
出力される出力値とのタイムチャート図を示している。

【００１８】まず、計算機２７は、モニタ切換指令２８
Ａにより高周波同軸リレー２４Ａに対して、図示のよう
にポジション電極２０−１Ａへの切換指令を出力する。
その後、高周波同軸リレー２４Ａの切換時間Ｔ１経過後
のＴ２の期間で、ポジション電極２０−１Ａによるヘテ
ロダイン検波回路２６Ａの出力値Ｊ１Ａを取込み、一旦
メモリする。次に、高周波同軸リレー２４Ａに対してポ
ジション電極２０−２Ａへの切換指令を出力する。その
後、高周波同軸リレー２４Ａの切換時間Ｔ１を待って、
前記同様Ｔ２の期間にポジション電極２０−２Ａによる
ヘテロダイン検波回路２６Ａの出力値Ｊ２Ａを取込みメ
モリする。このようにして、順次ポジション電極２０−
ｎＡまでのヘテロダイン検波回路出力値ＪｎＡまでを取
込む。

【００１９】また、同様にして、高周波同軸リレー２４
Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄへのモニタ切換指令２８Ｂ，２８
Ｃ，２８Ｄを出力し、ポジション電極２０−１Ｂ〜２０
−ｎＢ，２０−１Ｃ〜２０−ｎＣ，２０−１Ｄ〜２０−
ｎＤに対するヘテロダイン検波回路２６Ｂ，２６Ｃ，２
６Ｄの出力値Ｊ１Ｂ〜ＪｎＢ，Ｊ１Ｃ〜ＪｎＣ，Ｊ１Ｄ
〜ＪｎＤを取込む。そして、一旦メモリした各ポジショ
ン電極信号Ｊ１Ａ〜Ｊ１Ｄ，Ｊ２Ａ〜Ｊ２Ｄ，〜ＪｎＡ
〜ＪｎＤは、前述したように、電子ビーム通過位置の情
報を持っているため、下記のように水平方向と垂直方向
の演算を行なう。

【００２０】 Ｈ１＝｛（Ｊ１Ａ＋Ｊ１Ｄ）−（Ｊ１Ｂ＋Ｊ１Ｃ）｝ ／（Ｊ１Ａ＋Ｊ１Ｂ＋Ｊ１Ｃ＋Ｊ１Ｄ） ……(1) Ｖ１＝｛（Ｊ１Ａ＋Ｊ１Ｂ）−（Ｊ１Ｃ＋Ｊ１Ｄ）｝ ／（Ｊ１Ａ＋Ｊ１Ｂ＋Ｊ１Ｃ＋Ｊ１Ｄ） ……(2) 但し、Ｊ１Ａ，Ｊ１Ｂ，Ｊ１Ｃ，Ｊ１Ｄは、ポジション
電極２０−１Ａ，２０−１Ｂ，２０−１Ｃ，２０−１Ｄ
の発生信号を、ヘテロダイン検波回路２６Ａ，２６Ｂ，
２６Ｃ，２６Ｄで所定処理した出力値。

【００２１】すなわち、水平Ｈ１は、Ｊ１ＡとＪ１Ｄお
よびＪ１ＢとＪ１Ｃの２組の和をとり、相互の差をとれ
ば水平方向の偏差となる。同様に、垂直Ｖ１は、Ｊ１Ａ
とＪ１ＢおよびＪ１ＣとＪ１Ｄの２組の和をとり、相互
の差から得られる。また、Ｊ１Ａ＋Ｊ１Ｂ＋Ｊ１Ｃ＋Ｊ
１Ｄの総和は、電子ビームの強度に比例した値であるた
め、これで割った値は電子ビームの強度によらない値と
なる。

【００２２】同様にして、上記（１），（２）式のＪ１
Ａ〜Ｊ１ＤにＪ２Ａ〜Ｊ２Ｄを代入することにより、Ｈ
２およびＶ２が得られ、このようにしてＨｎおよびＶｎ
までの演算を行なう。以上のようにして、計算機２７
は、水平Ｈ１〜Ｈｎと垂直Ｖ１〜ＶｎのＣ．Ｏ．Ｄを算
出する。

【００２３】以上、図４を参照して従来の位置モニタ装
置の一構成例について説明したが、図３に示した粒子加
速器が大型となり、粒子加速器に設置する位置モニタ台
数が増大すると、図４に示した高周波信号を制御室まで
伝送する同軸ケーブルの配線長が膨大となるため、経済
的な位置モニタ装置であるとは言えなくなる。

【００２４】そこで、図６に示すような構成の位置モニ
タ装置も採用されている。図６は、従来の位置モニタ装
置の他の構成例を示す概要図であり、図４の場合と同様
に、４個のポジション電極を用いる例を示している。ま
た、図４と同一符号を付した要素は同一機能を有するも
のである。

【００２５】以下、この図６において、図４と異なる点
について説明する。図６において、各ポジション電極２
０−１Ａ〜２０−１Ｄ，２０−２Ａ〜２０−２Ｄ…２０
−ｎＡ〜２０−ｎＤの近傍に、同軸リレー２９−１Ａ〜
２９−１Ｄ，２９−２Ａ〜２９−２Ｄ…２９−ｎＡ〜２
９−ｎＤを設け、ポジション電極で発生した高周波信号
を入力する。そして、高周波同軸リレー２９−１Ａ〜２
９−ｎＤは、モニタ間同軸ケーブル３０−１Ａ〜３０−
１Ｄ，３０−２Ａ〜３０−２Ｄ…３０−ｎ−１Ａ〜３０
−ｎ−１Ｄと、同軸ケーブル２３Ａ〜２３Ｄにより、制
御室のＤＣブレーク２５Ａ〜２５Ｄまで図示のように直
列に接続する。また、高周波同軸リレー２９−１Ａ〜２
９−ｎＤは、計算機２７からのモニタ切換指令２８−１
〜２８−ｎがＯＮしている時、図示した対応するポジシ
ョン電極側を選択し、同切換指令がＯＦＦしている時、
モニタ間同軸ケーブル側を選択する機能を有している。

【００２６】従って、計算機２７は、まずモニタ切換信
号２８−１をＯＮし、他の切換指令２８−２〜２８−ｎ
をＯＦＦし、ポジション電極２０−１Ａ〜２０−１Ｄの
高周波信号が制御室まで導かれ、ヘテロダイン検波回路
２６Ａ〜２６Ｄで処理される。計算機２７は、ヘテロダ
イン回路２６Ａ〜２６Ｄから出力されるポジション信号
Ｊ１Ａ〜Ｊ１Ｄを、図５のタイムチャート図に示すよう
に、高周波同軸リレー２９−１Ａ〜２９−１Ｄの切換時
間Ｔ１経過後のＴ２期間内に取込み、一旦メモリする。
次に、計算機２７は、モニタ切換信号２８−１をＯＦＦ
し、同モニタ切換信号２８−２をＯＮし、ポジション電
極２０−２Ａ〜２０−２Ｄの高周波信号が制御室まで導
かれ、ヘテロダイン検波回路２６Ａ〜２６Ｄで処理され
る。そして、計算機２７は、前述と同様に、ヘテロダイ
ン検波回路２６Ａ〜２６Ｄから出力されるポジション信
号Ｊ２Ａ〜Ｊ２Ｄを取込みメモリする。

【００２７】このようにして、順次モニタ切換指令２８
−１〜２８−ｎをＯＮ，ＯＦＦし、ポジション電極２０
−１Ａ〜２０−１Ｄ，２０−２Ａ〜２０−２Ｄ…２０−
ｎＡ〜２０−ｎＤに対応したポジション信号Ｊ１Ａ〜Ｊ
１Ｄ，Ｊ２Ａ〜Ｊ２Ｄ…ＪｎＡ〜ＪｎＤを順次取込む。
その後、前述した（１），（２）式でポジション信号を
演算し、水平、垂直のＣ．Ｏ．Ｄを算出する。

【００２８】以上、図４および図６に示したように、従
来の位置モニタ装置構成では、各ポジション電極信号に
対応する各ポジション信号、例えばＪ１Ａ，Ｊ１Ｂ，Ｊ
１Ｃ，Ｊ１Ｄを得るために、４本並列に制御室まで導
き、ヘテロダイン検波回路も４台準備して処理してい
る。

【００２９】このため、 （ａ）図４では、同軸ケーブル２３−１〜２３−ｎＤの
伝送距離が通常１００ｍ以上となり、また図６でも、同
軸ケーブル２３Ａ〜２３Ｄおよびモニタ間同軸ケーブル
３０−１Ａ〜３０−ｎ−１Ｄの総延長距離が数百ｍから
数ｋｍに達するものとなる。このように、配線長が長
く、かつ高周波信号を伝送する複数の同軸ケーブル相互
間の減衰量を精度よく合わせることは困難であり、各同
軸ケーブル減衰量の差異によるポジション信号の損失ア
ンバランスが発生する。

【００３０】すなわち、ヘテロダイン検波回路２６Ａ〜
２６Ｄから出力されるポジション信号、例えばＪ１Ａ〜
Ｊ１Ｄは対応する同軸ケーブルの信号減衰量をＸＡ〜Ｘ
Ｄとすると、Ｊ１Ａ−ＸＡ，Ｊ１Ｂ−ＸＢ，Ｊ１Ｃ−Ｘ
Ｃ，Ｊ１Ｄ−ＸＤとなる。そして、前述した（１），
（２）式で演算すると、水平方向、垂直方向共に、偏差
に各同軸ケーブル信号減衰量が含まれるため、Ｃ．Ｏ．
Ｄの誤差として現われる。

【００３１】（ｂ）ＤＣブレーク２５Ａ〜２５Ｄとヘテ
ロダイン検波回路２６Ａ〜２６Ｄも個別に４台設置する
ため、各機器の挿入損失やヘテロダイン検波回路内の増
幅器ゲインの相互バラツキ等、処理回路間で信号増幅ア
ンバランスが発生する。そして、これは上記（ａ）項の
同軸ケーブルの場合と同様に、直接Ｃ．Ｏ．Ｄの誤差と
して現われる。

【００３２】（ｃ）図６において、例えば同軸リレー２
９−１Ａが故障してモニタ切換指令通りに動作しなくな
った場合には、ポジション電極２０−２Ａ〜２０−ｎＡ
の高周波信号を制御室まで導くことができなくなる。従
って、１つの同軸リレーの不具合により、全てのＣ．
Ｏ．Ｄ算出が行なえなくなる可能性があると言える。

【００３３】そこで、最近では、これらの問題に対する
対策として、図４に示した変換コネクタ２２−１Ａ〜２
２−１Ｄ，２２−２Ａ〜２２−２Ｄ…２２−ｎＡ〜２２
−ｎＤの所に同軸リレーを配置し、ポジション電極から
の高周波信号を切換えて１本の同軸ケーブルで制御室へ
導き、そして制御室では、複数のモニタからの高周波信
号を切換えて単一のヘテロダイン検波回路で処理する方
法が提案されてきている。この方法をとることにより、
前記（ａ）項〜（ｃ）項の問題を解決することができ
る。

【００３４】しかしながら、このような単一回路処理方
式にすると、所定のモニタのポジション信号を計算機へ
取込むためには、少なくとも（Ｔ１＋Ｔ２）×４倍の時
間がかかる。ここで、Ｔ１は同軸リレーの機械的な動作
時間であり、通常２０ｍｓ程度を必要とする。また、Ｔ
２は計算機の能力にもよるが、通常数十ｍｓ程度必要と
する。従って、所定のモニタのＣ．Ｏ．Ｄを算出するた
めに必要なデータを取込むためには、１００ｍｓ以上か
かることになる。ところが、加速リングの運転時間は、
線形加速器から電子ビームの入射を受けて蓄積リングへ
出射するまでに約数百ｍｓから数秒間であり、この間に
電子ビームのエネルギーは時々刻々加速されている。

【００３５】従って、前述した単一処理回路方式の位置
モニタ装置では、所定のモニタにおけるポジション信号
を取込むまでにビームエネルギーが大きく変化してお
り、同一エネルギーのＣ．Ｏ．Ｄではなく、あるエネル
ギー幅をもったＣ．Ｏ．Ｄになってしまう。そして、こ
のことは、加速中の電子ビームのＣ．Ｏ．Ｄ補正を行な
いたいという要求に対して精度が上がらず、非常に大き
な問題となる。

【００３６】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
位置モニタ装置においては、同軸ケーブルおよび処理回
路による損失アンバランスにより精度の高いＣ．Ｏ．Ｄ
の測定が行なえないばかりでなく、加速中の電子ビーム
のＣ．Ｏ．Ｄを精度よく測定することが困難であるとい
う問題があった。

【００３７】本発明の目的は、同軸ケーブルおよび処理
回路による損失アンバランスのない高精度なＣ．Ｏ．Ｄ
の測定ができると共に、加速中の電子ビームのＣ．Ｏ．
Ｄを精度よく測定することが可能な極めて信頼性の高い
粒子加速器のビーム位置モニタ装置を提供することにあ
る。

【００３８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、粒子加速器のビームダクトに設けられたｍ個（ｍ
は２以上の整数）の各ポジション電極に発生するビーム
位置信号を処理して、加速中のビームの通過位置を求め
る粒子加速器のビーム位置モニタ装置において、まず、
請求項１に記載の発明では、同一モニタ内の各ポジショ
ン電極に発生するビーム位置信号をそれぞれ個別に入力
する、モニタ近傍に設置されたｍ個の電極ＲＦスイッチ
と、各電極ＲＦスイッチからのビーム位置信号を共通に
制御室まで伝送するケーブルと、制御室側に設置され、
各電極ＲＦスイッチを所定の順序で時系列に切換制御す
るように電極切換指令を出力するタイミング制御回路
と、制御室側に設置され、ケーブルにより伝送されるビ
ーム位置信号を、検波処理および必要に応じて増幅処理
する検波回路と、電極切換指令と同期して、検波回路か
らの処理信号に基づいて、ビームの平衡軌道に対する水
平および垂直方向のずれ量（Ｃ．Ｏ．Ｄ）を算出する演
算手段とを備えて構成している。

【００３９】また、請求項２に記載の発明では、同一モ
ニタ内の各ポジション電極に発生するビーム位置信号を
それぞれ個別に入力する、モニタ近傍に設置されたｍ個
の電極ＲＦスイッチと、モニタの個数（ｎ：ｎは２以上
の整数）分だけ対応して設置され、対応するモニタの各
電極ＲＦスイッチからのビーム位置信号を共通に制御室
まで伝送するｎ本のケーブルと、制御室側に設置され、
各ケーブルにより伝送される各ビーム位置信号をそれぞ
れ個別に入力するｎ個のモニタＲＦスイッチと、制御室
側に設置され、各電極ＲＦスイッチおよび各モニタＲＦ
スイッチをそれぞれ所定の順序で時系列に切換制御する
ように電極切換指令およびモニタ切換指令を出力するタ
イミング制御回路と、制御室側に設置され、ケーブルに
より伝送されモニタＲＦスイッチにより切換え出力され
るビーム位置信号を、検波処理および必要に応じて増幅
処理する検波回路と、電極切換指令およびモニタ切換指
令と同期して、検波回路からの処理信号に基づいて、ビ
ームの平衡軌道に対する水平および垂直方向のずれ量
（Ｃ．Ｏ．Ｄ）を算出する演算手段とを備えて構成して
いる。

【００４０】

【作用】従って、本発明の粒子加速器のビーム位置モニ
タ装置においては、各ポジション電極のビーム位置信号
が同一のケーブルで制御室まで伝送され、そして同一の
検波回路で処理されるため、ケーブル相互間の損失値の
アンバランスおよび処理回路相互間のアンプゲインアン
バランスによる誤差のない高精度なＣ．Ｏ．Ｄを得るこ
とができる。

【００４１】また、位置モニタ近傍および制御室の電極
ＲＦスイッチおよびモニタＲＦスイッチを、タイミング
制御回路からのそれぞれの切換指令により高速で動作さ
せ、検波回路から出力される信号を、上記切換指令と同
期したトリガ信号によりデータロガーに高速で取込むた
め、極めて少ないエネルギー幅でのＣ．Ｏ．Ｄの測定が
可能となり、加速中の電子ビームのＣ．Ｏ．Ｄを精度よ
く測定することができる。

【００４２】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して詳細に説明する。図１は、ポジション電極を４個用
いた場合の本発明による粒子加速器のビーム位置モニタ
装置の構成例を示す概要図であり、図４および図６と同
一要素には同一符号を付して示している。

【００４３】図１に示すように、本実施例の粒子加速器
のビーム位置モニタ装置は、ｍ個（本例では４個）の電
極ＲＦスイッチ３１−１Ａ〜３１−１Ｄと、ｎ本（本例
では３本）の単一の同軸ケーブル２３−１〜２３−ｎ
と、ｎ個のモニタＲＦスイッチ（本例では３個）３２−
１〜３２−ｎと、タイミング制御回路３４と、単一のＤ
Ｃブレーク２５と、単一のヘテロダイン検波回路２６
と、データロガー３３と、演算手段である計算機２７と
から構成している。

【００４４】ここで、電極ＲＦスイッチ３１−１Ａ〜３
１−１Ｄ，３１−２Ａ〜３１−２Ｄ，３１−ｎＡ〜３１
−ｎＤは、モニタ近傍に設置されており、同一モニタ内
の各ポジション電極２０−１Ａ〜２０−１Ｄ，２０−２
Ａ〜２０−２Ｄ，２０−ｎＡ〜２０−ｎＤに発生するビ
ーム位置信号をそれぞれ個別に入力するものである。

【００４５】また、同軸ケーブル２３−１〜２３−ｎ
は、モニタの個数分だけ対応して設置され、対応するモ
ニタの各電極ＲＦスイッチ３１−１Ａ〜３１−１Ｄ，３
１−２Ａ〜３１−２Ｄ，３１−ｎＡ〜３１−ｎＤからの
ビーム位置信号を共通に制御室まで伝送するものであ
る。

【００４６】さらに、モニタＲＦスイッチ３２−１〜３
２−ｎは、モニタの個数分だけ対応して制御室側に設置
され、各ケーブル２３−１〜２３−ｎにより伝送される
各ビーム位置信号をそれぞれ個別に入力するものであ
る。

【００４７】一方、タイミング制御回路３４は、制御室
側に設置され、各電極ＲＦスイッチ３１−１Ａ〜３１−
１Ｄ，３１−２Ａ〜３１−２Ｄ，３１−ｎＡ〜３１−ｎ
Ｄおよび各モニタＲＦスイッチ３２−１〜３２−ｎをそ
れぞれ所定の順序で時系列に切換制御するように、電極
切換指令３６−１Ａ〜３６−１Ｄ…３６−ｎＡ〜３６−
ｎＤおよびモニタ切換指令３５−１〜３５−ｎ、ならび
にトリガ信号３７を出力するものである。

【００４８】また、ＤＣブレーク２５は、制御室側に設
置され、ケーブル２３−１〜２３−ｎにより伝送されモ
ニタＲＦスイッチ３２−１〜３２−ｎにより切換え出力
されるビーム位置信号に含まれる直流電圧成分を絶縁
し、高周波信号分を導通させるものである。

【００４９】さらに、ヘテロダイン検波回路２６は、Ｄ
Ｃブレーク２５より出力されるビーム位置信号を、検波
処理および必要に応じて増幅処理するものである。ま
た、データロガー３３は、タイミング制御回路３４から
のトリガ信号３７に従い、ヘテロダイン検波回路２６よ
り出力されるビーム位置信号をサンプルホールドし、ロ
ギングするものである。

【００５０】さらに、計算機２７は、データロガー３３
からの出力信号に基づいて、ビームの平衡軌道に対する
水平および垂直方向のずれ量、すなわちＣ．Ｏ．Ｄを算
出するものである。

【００５１】次に、以上のように構成した本実施例の粒
子加速器のビーム位置モニタ装置の動作について説明す
る。図１において、真空ダクト１５は、電子ビームの平
衡軌道を内蔵するダクトであり、ポジション電極２０−
１Ａ〜２０−１Ｄ，２０−２Ａ〜２０−２Ｄ…２０−ｎ
Ａ〜２０−ｎＤを図示のように内蔵している。そして、
電子ビームにより、ポジション電極２０−１Ａに発生し
た高周波信号は、セミリジットケーブル２１−１Ａを通
して、ポジション電極近傍に配置した電極ＲＦスイッチ
３１−１Ａに入力される。同様にして、ポジション電極
２０−１Ｂ〜２０−１Ｄに発生した高周波信号も、セミ
リジットケーブル２１−１Ｂ〜２１−１Ｄを通して、ポ
ジション電極近傍に配置した電極ＲＦスイッチ３１−１
Ｂ〜３１−１Ｄに入力される。また、ポジション電極２
０−２Ａ〜２０−２Ｄ，……２０−ｎＡ〜２０−ｎＤに
発生した高周波信号についても、上記したポジション電
極２０−１Ａ〜２０−１Ｄと同様に、電極ＲＦスイッチ
３１−２Ａ〜３１−２Ｄ…３１−ｎＡ〜３１−ｎＤに入
力される。

【００５２】電極ＲＦスイッチ３１−１Ａ〜３１−１
Ｄ，３１−２Ａ〜３１−２Ｄ…３１−ｎＡ〜３１−ｎＤ
は、半導体で構成されたアナログスイッチであり、後述
するタイミング制御回路３４からの電極切換指令３６−
１Ａ〜３６−ｎＤによって電気的にＯＮ／ＯＦＦする機
能を有しており、各ポジション電極、例えば２０−１Ａ
〜２０−１Ｄで発生した高周波信号は、対応する電極Ｒ
Ｆスイッチ３１−１Ａ〜３１−１ＤがＯＮしている間の
み同軸ケーブル２３−１を通して制御室まで導かれる。
従って、電極ＲＦスイッチ３１−１Ａ〜３１−１Ｄの電
極切換指令３６−１Ａ〜３６−１Ｄを、３６−１Ａ，３
６−１Ｂ，３６−１Ｃ，３６−１Ｄの順にＯＮするよう
に制御することで、同軸ケーブル２３−１を通してポジ
ション電極２０−１Ａ，２０−１Ｂ，２０−１Ｃ，２０
−１Ｄで発生した高周波信号が、１本の同軸ケーブル２
３−１を通して順次制御室まで伝送される。

【００５３】同様にして、ポジション電極２０−２Ａ〜
２０−２Ｄ…２０−ｎＡ〜２０−ｎＤで発生した高周波
信号も、各々対応する電極ＲＦスイッチ３１−２Ａ〜３
１−２Ｄ…３１−ｎＡ〜３１−ｎＤの電極切換指令３６
−２Ａ〜３６−２Ｄ…３６−ｎＡ〜３６−ｎＤを、上記
と同様の順にＯＮするように制御することで、１本の同
軸ケーブル２３−２〜２３−ｎを通して順次制御室まで
伝送される。

【００５４】このようにして、同軸ケーブル２３−２〜
２３−ｎを介して伝送した高周波信号は、モニタＲＦス
イッチ３２−１〜３２−ｎに入力される。モニタＲＦス
イッチ３２−１〜３２−ｎは、電極ＲＦスイッチ３１−
１Ａ〜３１−１Ｄと同様に、半導体で構成されたアナロ
グスイッチであり、後述するタイミング制御回路３４か
らのモニタ切換指令３５−１〜３５−ｎによって電気的
にＯＮ／ＯＦＦする機能を有しており、例えば同軸ケー
ブル２３−１を介して伝送された高周波信号は、対応す
るモニタＲＦスイッチ３２−１がＯＮしている間のみ、
ＤＣブレーク２５を通してヘテロダイン検波回路２６へ
入力され、所定の検波および増幅処理がなされる。従っ
て、モニタＲＦスイッチ３２−１〜３２−ｎのモニタ切
換指令３５−１〜３５−ｎを、３５−１，３５−２…３
５−ｎの順にＯＮするように制御することで、同軸ケー
ブル２３−１〜２３−ｎを介して伝送された高周波信号
は、順次単一のＤＣブレーク２５およびヘテロダイン回
路２６によって、所定の検波および増幅処理がなされ
る。

【００５５】すなわち、各ポジション電極２０−１Ａ〜
２０−１Ｄ，２０−２Ａ〜２０−２Ｄ…２０−ｎＡ〜２
０−ｎＤで発生した高周波信号は、全て単一の処理回路
で処理され、各々ポジション信号Ｊ１Ａ〜Ｊ１Ｄ，Ｊ２
Ａ〜Ｊ２Ｄ…ＪｎＡ〜ＪｎＤが、ヘテロダイン検波回路
２６から出力される。そして、タイミング制御回路３４
からのトリガ信号３７に従い、データロガー３３でサン
プルホールドされ、ロギングされる。

【００５６】この時のデータロガー３３の処理手順を図
２のタイムチャート図に示す。なお、図２では、タイミ
ング制御回路３４からの電極ＲＦスイッチ３１−１Ａ〜
３１−ｎＤへの電極切換指令３６−１Ａ〜３６−ｎＤ
と、モニタＲＦスイッチ３２−１〜３２−ｎへのモニタ
切換指令３５−１〜３５−ｎと、データロガー３３への
トリガ信号３７と、ヘテロダイン検波回路２６の出力値
とのタイムチャート図を示している。

【００５７】図２において、まず、タイミング制御回路
３４は、モニタ切換指令３５−１によりモニタＲＦスイ
ッチ３２−１を図示のようにＯＮすると同時に、電極切
換指令３６−１Ａにより電極ＲＦスイッチ３１−１Ａを
ＯＮする。その後、モニタＲＦスイッチ３２−１および
電極ＲＦスイッチ３１−１Ａの切換時間Ｔ３経過後のＴ
４期間で、ポジション電極２０−１Ａによるヘテロダイ
ン検波回路２６の出力値Ｊ１Ａが、データロガー３３で
トリガ信号３７に従ってサンプルホールドされ、ロギン
グされる。次に、電極切換指令３６−１Ｂにより電極Ｒ
Ｆスイッチ３１−１ＢをＯＮし、同時に電極ＲＦスイッ
チ３１−１ＡをＯＦＦする。そして、上記と同様に、電
極ＲＦスイッチ切換時間Ｔ３経過後のＴ４期間で、ポジ
ション電極２０−１Ｂによるヘテロダイン検波回路２６
の出力値Ｊ１Ｂが、データロガー３３でトリガ信号３７
に従ってサンプルホールドされ、ロギングされる。以下
同様にして、順次ポジション電極２０−１Ｃ，２０−１
Ｄによるヘテロダイン検波回路出力値Ｊ１Ｃ，Ｊ１Ｄが
データロガーでロギングされる。

【００５８】次に、このようにして、１つのモニタの全
てのポジション電極によるヘテロダイン検波回路出力値
がデータロガーでロギングされた後、モニタ切換指令３
５−２によりモニタＲＦスイッチ３２−２を図示のよう
にＯＮし、モニタＲＦスイッチ３２−１をＯＦＦすると
同時に、電極切換指令３６−２Ａにより電極ＲＦスイッ
チ３１−２ＡをＯＮし、電極ＲＦスイッチ３１−１Ｄを
ＯＦＦする。以後、上記の手順を繰返し、ポジション電
極２０−２Ａ〜２０−２Ｄ…２０−ｎＡ〜２０−ｎＤに
よるヘテロダイン検波回路出力Ｊ２Ａ〜Ｊ２Ｄ…ＪｎＡ
〜ＪｎＤが、順次データロガー３３でロギングされる。
そして、全てのデータが所定量ロギングされた時点で、
汎用の信号伝送方式、例えばＧＰ−ＩＢ等により、信号
伝送ケーブル３８を通して計算機２７へ転送される。

【００５９】すると、計算機２７では、前述した
（１），（２）式によって、水平、垂直方向のＣ．Ｏ．
Ｄを演算するが、この場合上記したように、ポジション
信号例えばＪ１Ａ〜Ｊ１Ｄは、全て１本の同軸ケーブル
２３−１で伝送されるため、同軸ケーブルでの信号減衰
量ＸによりＪ１Ａ−Ｘ，Ｊ１Ｂ−Ｘ，Ｊ１Ｃ−Ｘ，Ｊ１
Ｄ−Ｘとなる。従って、（１），（２）式で演算する
と、減衰量Ｘは全て同一であるため、水平方向、垂直方
向の偏差には含まれない。すなわち、誤差のないＣ．
Ｏ．Ｄが得られる。また、ＤＣブレーク２５およびヘテ
ロダイン検波回路２６も、上記したように単一であるた
め、同軸ケーブルと同様となり、誤差のないＣ．Ｏ．Ｄ
が得られる。

【００６０】一方、データロガー３３は、トリガ信号３
７に従い高速、例えば１０μｓ程度のサンプル周期でサ
ンプルホールドしデータをロギングする専用器である。
また、電極ＲＦスイッチ３１−１Ａ〜３１−ｎＤ、およ
びモニタＲＦスイッチ３２−１〜３２−ｎは、電極切換
指令３６−１Ａ〜３６−ｎＤ、およびモニタ切換指令３
５−１〜３５−ｎに従い高速、例えば切換時間数百μｓ
〜数μｓでＯＮ／ＯＦＦする専用アナログスイッチであ
る。

【００６１】従って、図２に示した時間Ｔ３とＴ４の和
は１０μｓ程度であり、所定のビーム位置モニタのＣ．
Ｏ．Ｄを算出するためのデータをデータロガーにロギン
グするに必要な時間は数十μｓとなる。このように、高
速で処理できることから、ほぼ同一ビームエネルギーに
おけるポジションデータが得られ、加速中の電子ビーム
のＣ．Ｏ．Ｄを測定することが可能となる。

【００６２】上述したように、本実施例による粒子加速
器のビーム位置モニタ装置では、ビーム位置モニタの各
ポジション電極に発生するビーム位置信号をビーム位置
モニタ近傍に設置した半導体で構成されたＲＦスイッチ
を介して切換えて１本の同軸ケーブルで制御室まで配線
し、各ビーム位置モニタからの同軸ケーブルで伝送され
るビーム位置信号をさらにＲＦスイッチ回路を介して切
換えて、単一のヘテロダイン検波回路で処理する構成と
し、一方、制御室にタイミング制御回路を設置し、この
タイミング制御回路からの切換指令に従いビーム位置モ
ニタ近傍のＲＦスイッチと制御室のＲＦスイッチを切換
えることで、ヘテロダイン検波回路から出力される全て
のポジション信号を、上記したタイミング制御回路から
の切換指令に同期したトリガ信号によってデータロガー
に一旦取込み、その後計算機へ伝送して水平、垂直の
Ｃ．Ｏ．Ｄを算出する構成としたものである。

【００６３】従って、各ポジション電極からのビーム位
置信号を、半導体で構成されたＲＦスイッチで切換えて
検出する単一回路処理方式とし、このＲＦスイッチの切
換えとこれに同期したデータロガーによるビーム位置信
号のロギングを高速で行なうようにしているので、ビー
ム位置信号の損失アンバランス等による誤差がなく、か
つ加速中のＣ．Ｏ．Ｄ測定が精度よく可能になるという
目的に沿った、極めて高精度で合理的な粒子加速器のビ
ーム位置モニタ装置を得ることができる。

【００６４】なお、前述した従来方式（図６）による装
置の問題点として、同軸リレー単独の故障で全てのビー
ム位置モニタにおけるＣ．Ｏ．Ｄ測定ができなくなる可
能性があったが、本実施例の構成によれば、ＲＦスイッ
チ単独の故障はそのＲＦスイッチを通過する高周波信号
に対応したビーム位置モニタのＣ．Ｏ．Ｄが測定不能と
なるだけであり、ビーム位置モニタ装置全体のＣ．Ｏ．
Ｄ測定が行なえなくなる可能性のないことは明白であ
る。

【００６５】尚、上記実施例では、ポジション電極を４
個配置する場合について説明したが、何ら４個に限定す
る必要はない。また、上記実施例では、複数のビーム位
置モニタのポジションデータを全て制御室まで配線して
処理する構成としたが、ＤＣブレーク、ヘテロダイン検
波回路、データロガー等の処理回路をリング室に複数配
置し、この処理回路毎の近傍のビーム位置モニタのポジ
ションデータを処理して計算機へ伝送する構成とする
等、その要旨を変更しない範囲で種々に変形して実施で
きることは勿論である。

【００６６】さらに、上記実施例では、検波回路として
ヘテロダイン検波回路を用いる場合について説明した
が、これに限らず、その他の方式の検波回路を用いるよ
うにしても、前述の場合と同様に適用して、同様の効果
が得られるものである。

【００６７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、同
軸ケーブルおよび処理回路による損失アンバランスのな
い高精度なＣ．Ｏ．Ｄの測定ができると共に、加速中の
電子ビームのＣ．Ｏ．Ｄを精度よく測定することが可能
な極めて信頼性の高い粒子加速器のビーム位置モニタ装
置が提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による粒子加速器のビーム位置モニタ装
置の一実施例を示す構成図。

【図２】同実施例におけるビーム位置モニタ装置の動作
を説明するためのタイムチャート図。

【図３】粒子加速器の全体構成例を示す概要図。

【図４】従来の粒子加速器のビーム位置モニタ装置の一
構成例を示す概要図。

【図５】図４におけるビーム位置モニタ装置の動作を説
明するためのタイムチャート図。

【図６】従来の粒子加速器のビーム位置モニタ装置の他
の構成例を示す概要図。

【符号の説明】

１…線形加速器、２…静電インフレクター、３…加速リ
ング、４Ａ，４Ｓ，４Ｔ…偏向電磁石、５Ａ，５Ｓ…高
周波加速空胴、６…キッカー電磁石、７…デフレクタ
ー、８，１４…粒子輸送管、９…蓄積リング、１０…イ
ンフレクター電磁石、１１…パータベイター電磁石、１
２…ビームライン、１３…計測ポート、１５…真空ダク
ト、２０−１Ａ〜２０−ｎＤ…ポジション電極、２１−
１Ａ〜２１−ｎＤ…セミリジットケーブル、２２−１Ａ
〜２２−ｎＤ…変換コネクタ、２３−１Ａ〜２３−ｎ
Ｄ，２３Ａ〜２３Ｄ，２３−１〜２３−ｎ…同軸ケーブ
ル、２４Ａ〜２４Ｄ，２９−１Ａ〜２９−ｎＤ…高周波
同軸リレー、２５，２５Ａ〜Ｄ…ＤＣブレーク、２６，
２６Ａ〜Ｄ…ヘテロダイン検波回路、２７…計算機、２
８Ａ〜２８Ｄ，３５−１〜３５−ｎ…モニタ切換指令、
３０−１Ａ〜３０−ｎＤ…モニタ間同軸ケーブル、３１
−１Ａ〜３１−ｎＤ…電極ＲＦスイッチ、３２−１〜３
２−ｎ…モニタＲＦスイッチ、３３…データロガー、３
４…タイミング制御回路、３６−１Ａ〜３６−ｎＤ…電
極切換指令、３７…トリガ信号、３８…信号伝送ケーブ
ル、Ｊ１Ａ〜ＪｎＤ…ポジション信号。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 粒子加速器のビームダクトに設けられた
   ｍ個（ｍは２以上の整数）の各ポジション電極に発生す
   るビーム位置信号を処理して、加速中のビームの通過位
   置を求める粒子加速器のビーム位置モニタ装置におい
   て、 同一モニタ内の前記各ポジション電極に発生するビーム
   位置信号をそれぞれ個別に入力する、モニタ近傍に設置
   されたｍ個の電極ＲＦスイッチと、 前記各電極ＲＦスイッチからのビーム位置信号を共通に
   制御室まで伝送するケーブルと、 前記制御室側に設置され、前記各電極ＲＦスイッチを所
   定の順序で時系列に切換制御するように電極切換指令を
   出力するタイミング制御回路と、 前記制御室側に設置され、前記ケーブルにより伝送され
   るビーム位置信号を、検波処理および必要に応じて増幅
   処理する検波回路と、 前記電極切換指令と同期して、前記検波回路からの処理
   信号に基づいて、ビームの平衡軌道に対する水平および
   垂直方向のずれ量（Ｃ．Ｏ．Ｄ）を算出する演算手段
   と、 を備えて成ることを特徴とする粒子加速器のビーム位置
   モニタ装置。
2. 【請求項２】 粒子加速器のビームダクトに設けられた
   ｍ個（ｍは２以上の整数）の各ポジション電極に発生す
   るビーム位置信号を処理して、加速中のビームの通過位
   置を求める粒子加速器のビーム位置モニタ装置におい
   て、 同一モニタ内の前記各ポジション電極に発生するビーム
   位置信号をそれぞれ個別に入力する、モニタ近傍に設置
   されたｍ個の電極ＲＦスイッチと、 モニタの個数（ｎ：ｎは２以上の整数）分だけ対応して
   設置され、対応するモニタの前記各電極ＲＦスイッチか
   らのビーム位置信号を共通に制御室まで伝送するｎ本の
   ケーブルと、 前記制御室側に設置され、前記各ケーブルにより伝送さ
   れる各ビーム位置信号をそれぞれ個別に入力するｎ個の
   モニタＲＦスイッチと、 前記制御室側に設置され、前記各電極ＲＦスイッチおよ
   び各モニタＲＦスイッチをそれぞれ所定の順序で時系列
   に切換制御するように電極切換指令およびモニタ切換指
   令を出力するタイミング制御回路と、 前記制御室側に設置され、前記ケーブルにより伝送され
   前記モニタＲＦスイッチにより切換え出力されるビーム
   位置信号を、検波処理および必要に応じて増幅処理する
   検波回路と、 前記電極切換指令およびモニタ切換指令と同期して、前
   記検波回路からの処理信号に基づいて、ビームの平衡軌
   道に対する水平および垂直方向のずれ量（Ｃ．Ｏ．Ｄ）
   を算出する演算手段と、 を備えて成ることを特徴とする粒子加速器のビーム位置
   モニタ装置。
3. 【請求項３】 前記各ＲＦスイッチを半導体で構成し、
   タイミング制御回路からの各切換指令により高速で切換
   制御するようにしたことを特徴とする請求項１または２
   に記載の粒子加速器のビーム位置モニタ装置。