JPH0767292B2 - 圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータ - Google Patents
圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータInfo
- Publication number
- JPH0767292B2 JPH0767292B2 JP1123493A JP12349389A JPH0767292B2 JP H0767292 B2 JPH0767292 B2 JP H0767292B2 JP 1123493 A JP1123493 A JP 1123493A JP 12349389 A JP12349389 A JP 12349389A JP H0767292 B2 JPH0767292 B2 JP H0767292B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clamp
- drive
- force
- piezoelectric
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば、物品の生産加工装置や半導体素子の
製造装置等において作業台として使用するテーブルを、
一定角度ずつ回転駆動するのに用いる圧電または磁歪素
子を用いたアクチユエータに関する。
製造装置等において作業台として使用するテーブルを、
一定角度ずつ回転駆動するのに用いる圧電または磁歪素
子を用いたアクチユエータに関する。
従来の技術及び発明が解決しようとする問題点 従来この種のアクチユエータは、圧電または磁歪素子の
伸長によって移動子を回転駆動するようになっているた
め、駆動方向が一方向に限られていて応用分野が狭い欠
点があった。
伸長によって移動子を回転駆動するようになっているた
め、駆動方向が一方向に限られていて応用分野が狭い欠
点があった。
問題点を解決するための手段 上記の問題点を解決するための手段として、本発明の圧
電または磁歪素子を用いたアクチユエータは、互いに間
隔をおいた一対の摩擦側面を有して、回転駆動可能に支
持された移動子と、開閉可能に連結された一対のクラン
プシユーを、弾性部材の弾性力で閉脚付勢するととも
に、圧電素子または磁歪素子を間に挟んでその伸長変形
力で付勢力に抗して開脚させることにより、各クランプ
シユーの先端を各摩擦側面に押し付けることによるクラ
ンプと、そのクランプの解除とを行い、移動子の回転中
心の対称位置において、夫々の両クランプシユーの連結
部分を支点として揺動自由に基台に支持された一対のク
ランプ機構と、圧電素子または磁歪素子の伸長変形によ
り進出する駆動杆と、その駆動杆を後退付勢して素子に
押し付けることによつて予圧を与える予圧用弾性体とを
有して、素子の伸長変形力と、その素子の伸長変形時に
蓄勢された予圧用弾性体の復元弾力の両方を移動子の駆
動力として利用できるようになつていて、駆動杆を各ク
ランプ機構の揺動支点寄りの位置に連結してその各クラ
ンプ機構を揺動駆動する駆動機構と、駆動機構と各クラ
ンプ機構を予め設定した順序に従つて動作させる制御装
置とからなる構成とした。
電または磁歪素子を用いたアクチユエータは、互いに間
隔をおいた一対の摩擦側面を有して、回転駆動可能に支
持された移動子と、開閉可能に連結された一対のクラン
プシユーを、弾性部材の弾性力で閉脚付勢するととも
に、圧電素子または磁歪素子を間に挟んでその伸長変形
力で付勢力に抗して開脚させることにより、各クランプ
シユーの先端を各摩擦側面に押し付けることによるクラ
ンプと、そのクランプの解除とを行い、移動子の回転中
心の対称位置において、夫々の両クランプシユーの連結
部分を支点として揺動自由に基台に支持された一対のク
ランプ機構と、圧電素子または磁歪素子の伸長変形によ
り進出する駆動杆と、その駆動杆を後退付勢して素子に
押し付けることによつて予圧を与える予圧用弾性体とを
有して、素子の伸長変形力と、その素子の伸長変形時に
蓄勢された予圧用弾性体の復元弾力の両方を移動子の駆
動力として利用できるようになつていて、駆動杆を各ク
ランプ機構の揺動支点寄りの位置に連結してその各クラ
ンプ機構を揺動駆動する駆動機構と、駆動機構と各クラ
ンプ機構を予め設定した順序に従つて動作させる制御装
置とからなる構成とした。
発明の作用及び効果 本発明は上記構成になるから、いずれか一方のクランプ
機構で移動子をクランプして、駆動杆を素子の伸長変形
力で進出させまたは予圧用弾性体の復元弾力で後退さ
せ、次に、他方のクランプ機構で移動子をクランプして
駆動杆を後退または進出させるのを順次繰り返すことに
より、移動子の停止時間を大幅に短縮して、移動子を高
速で間欠回転することが可能となり、また、両クランプ
機構のクランプのタイミングを逆にすることによつて、
移動子を正逆両方向に回転駆動することができる。
機構で移動子をクランプして、駆動杆を素子の伸長変形
力で進出させまたは予圧用弾性体の復元弾力で後退さ
せ、次に、他方のクランプ機構で移動子をクランプして
駆動杆を後退または進出させるのを順次繰り返すことに
より、移動子の停止時間を大幅に短縮して、移動子を高
速で間欠回転することが可能となり、また、両クランプ
機構のクランプのタイミングを逆にすることによつて、
移動子を正逆両方向に回転駆動することができる。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、本実施例
に適用される駆動体6eは、基体７の取付孔９に螺着され
た筒体10aの前面板の中心孔に、駆動杆14bが摺動自由に
嵌装されて、その後端と取付孔９の底面の間に圧電素子
11が装着され、駆動杆14bの両側に突成した腕65と基体
７の間に渡した引張ボルト66（本発明の予圧用弾性体）
を締め付けることによつて、駆動杆14bを後退付勢する
とともに圧電素子11に予圧を与えるようになつており、
駆動杆14bが圧電素子11の伸長変形力で引張ボルト66を
弾性伸長させつつ進出する場合と、この引張ボルト66に
蓄勢された復元弾縮力の両方で移動子２を駆動し得るよ
うになつており、この駆動体6eが、外周縁の両側に摩擦
面３を設け、軸５によって基板1aに回転自由に支持され
た移動子２の一側において基板1aに固定されているとと
もに、移動子２の上下に、一対のクランプ60a、60bが配
設されておりこれらのクランプ60a、60bは、基体20に一
対のクランプシユー21が開閉可能に突成され、両クラン
プシユー21の先端の対応間隔が狭められて、上記の移動
子２の摩擦面３を挟圧する挟圧部22が形成されていると
ともに、クランプシユー21の付根部分23が薄肉となつて
弾性支点となつており、この両クランプシユー21の間に
渡された引張ボルト24を締め付けることによつて、両ク
ランプシユー21が閉脚されるようになつているととも
に、両クランプシユー21の間に、外部から磁場を与えて
磁化させることによつて伸長変形する超磁歪合金からな
る丸棒状の磁歪素子26がコイル27の中心孔に挿通されて
装着されて、その両端がクランプシユー21の内面に当て
られており、常には、引張ボルト24の引張力で両クラン
プシユー21が閉じて移動子２の摩擦面３を挟むことによ
つて移動子２をクランプするとともに磁歪素子26を予圧
し、コイル27を励磁して磁場を形成すると、磁歪素子26
が伸長変形して引張ボルト24の引張力に抗して両クラン
プシユー21を開くことによつてクランプを解除するよう
になつており、夫々、基体20に透設した長孔48を基板1a
間に渡した支持軸47に嵌めて、長さ方向の移動を許容し
つつ揺動自由に支持されているとともに、駆動体6eの駆
動杆14bの先端に取り付けられた連結板61の両端に、先
端に球形頭部63を設けた連結棒62が取り付けられて、各
球形頭部63が各クランプ60a、60bの揺動中心寄りの位置
に突成された連結部51の球形孔52内に嵌合されて連結さ
れており、上側のクランプ60aで移動子２をクランプし
て圧電素子11の伸長変形に伴う駆動杆14bの進出時に、
上側のクランプ60aで移動子２をクランプして揺動させ
つつ移動子２を押し、引張ボルト66の復元弾縮力による
駆動杆14bの後退時に、下側のクランプ60bで移動子２を
クランプして下側のクランプ60bを揺動させつつ移動子
２を引くのを繰り返して、移動子２を実線の矢線に示す
時計方向に回転駆動し、また、上記と逆の動作を繰り返
すことにより、移動子２を破線の矢線に示す反時計方向
に回転駆動するようになつており、駆動体6eの駆動杆14
bの進出時と後退時の両方で移動子２を駆動するように
したから、移動子２の停止時間が極く僅かとなつて、高
速で間欠駆動する場合に適する。
に適用される駆動体6eは、基体７の取付孔９に螺着され
た筒体10aの前面板の中心孔に、駆動杆14bが摺動自由に
嵌装されて、その後端と取付孔９の底面の間に圧電素子
11が装着され、駆動杆14bの両側に突成した腕65と基体
７の間に渡した引張ボルト66（本発明の予圧用弾性体）
を締め付けることによつて、駆動杆14bを後退付勢する
とともに圧電素子11に予圧を与えるようになつており、
駆動杆14bが圧電素子11の伸長変形力で引張ボルト66を
弾性伸長させつつ進出する場合と、この引張ボルト66に
蓄勢された復元弾縮力の両方で移動子２を駆動し得るよ
うになつており、この駆動体6eが、外周縁の両側に摩擦
面３を設け、軸５によって基板1aに回転自由に支持され
た移動子２の一側において基板1aに固定されているとと
もに、移動子２の上下に、一対のクランプ60a、60bが配
設されておりこれらのクランプ60a、60bは、基体20に一
対のクランプシユー21が開閉可能に突成され、両クラン
プシユー21の先端の対応間隔が狭められて、上記の移動
子２の摩擦面３を挟圧する挟圧部22が形成されていると
ともに、クランプシユー21の付根部分23が薄肉となつて
弾性支点となつており、この両クランプシユー21の間に
渡された引張ボルト24を締め付けることによつて、両ク
ランプシユー21が閉脚されるようになつているととも
に、両クランプシユー21の間に、外部から磁場を与えて
磁化させることによつて伸長変形する超磁歪合金からな
る丸棒状の磁歪素子26がコイル27の中心孔に挿通されて
装着されて、その両端がクランプシユー21の内面に当て
られており、常には、引張ボルト24の引張力で両クラン
プシユー21が閉じて移動子２の摩擦面３を挟むことによ
つて移動子２をクランプするとともに磁歪素子26を予圧
し、コイル27を励磁して磁場を形成すると、磁歪素子26
が伸長変形して引張ボルト24の引張力に抗して両クラン
プシユー21を開くことによつてクランプを解除するよう
になつており、夫々、基体20に透設した長孔48を基板1a
間に渡した支持軸47に嵌めて、長さ方向の移動を許容し
つつ揺動自由に支持されているとともに、駆動体6eの駆
動杆14bの先端に取り付けられた連結板61の両端に、先
端に球形頭部63を設けた連結棒62が取り付けられて、各
球形頭部63が各クランプ60a、60bの揺動中心寄りの位置
に突成された連結部51の球形孔52内に嵌合されて連結さ
れており、上側のクランプ60aで移動子２をクランプし
て圧電素子11の伸長変形に伴う駆動杆14bの進出時に、
上側のクランプ60aで移動子２をクランプして揺動させ
つつ移動子２を押し、引張ボルト66の復元弾縮力による
駆動杆14bの後退時に、下側のクランプ60bで移動子２を
クランプして下側のクランプ60bを揺動させつつ移動子
２を引くのを繰り返して、移動子２を実線の矢線に示す
時計方向に回転駆動し、また、上記と逆の動作を繰り返
すことにより、移動子２を破線の矢線に示す反時計方向
に回転駆動するようになつており、駆動体6eの駆動杆14
bの進出時と後退時の両方で移動子２を駆動するように
したから、移動子２の停止時間が極く僅かとなつて、高
速で間欠駆動する場合に適する。
第１図は本発明の一実施例の一方の基板を外した一部切
欠正面図、第２図は第１図のCC線断面図である。 2:移動子、3:摩擦面、6e:駆動体、11:圧電素子、14b:駆
動杆、21:クランプシユー、24:引張ボルト、26:磁歪素
子、47:支持軸、48:長孔、51:連結部、52:球形孔、60
a、60b:クランプ、61:連結板、62:連結棒、63:球形頭
部、66:引張ボルト（予圧用弾性体）
欠正面図、第２図は第１図のCC線断面図である。 2:移動子、3:摩擦面、6e:駆動体、11:圧電素子、14b:駆
動杆、21:クランプシユー、24:引張ボルト、26:磁歪素
子、47:支持軸、48:長孔、51:連結部、52:球形孔、60
a、60b:クランプ、61:連結板、62:連結棒、63:球形頭
部、66:引張ボルト（予圧用弾性体）
Claims (1)
- 【請求項１】互いに間隔をおいた一対の摩擦側面を有し
て、回転駆動可能に支持された移動子と、 開閉可能に連結された一対のクランプシユーを、弾性部
材の弾性力で閉脚付勢するとともに、圧電素子または磁
歪素子を間に挟んでその伸長変形力で前記付勢力に抗し
て開脚させることにより、前記各クランプシユーの先端
を前記各摩擦側面に押し付けることによるクランプと、
そのクランプの解除とを行い、前記移動子の回転中心の
対称位置において、夫々の前記両クランプシユーの連結
部分を支点として揺動自由に基台に支持された一対のク
ランプ機構と、 圧電素子または磁歪素子の伸長変形により進出する駆動
杆と、該駆動杆を後退付勢して前記素子に押し付けるこ
とによつて予圧を与える予圧用弾性体とを有して、前記
素子の伸長変形力と、該素子の伸長変形時に蓄勢された
前記予圧用弾性体の復元弾力の両方を前記移動子の駆動
力として利用できるようになつていて、前記駆動杆を前
記各クランプ機構の前記揺動支点寄りの位置に連結して
該各クランプ機構を揺動駆動する駆動機構と、 前記駆動機構と前記各クランプ機構を予め設定した順序
に従つて動作させる制御装置とからなることを特徴とす
る圧電または磁歪素子を用いたアクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1123493A JPH0767292B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1123493A JPH0767292B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02303367A JPH02303367A (ja) | 1990-12-17 |
| JPH0767292B2 true JPH0767292B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=14861993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1123493A Expired - Lifetime JPH0767292B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0767292B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109219227B (zh) * | 2018-11-01 | 2021-07-27 | 中国科学院近代物理研究所 | 调谐装置及具有其的超导加速腔 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61258679A (ja) * | 1985-05-07 | 1986-11-17 | Nec Corp | 回転角制御装置 |
| JPS61296781A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-27 | Nec Corp | 圧電型駆動装置 |
| JPS62189979A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-19 | Komatsu Ltd | 圧電アクチユエ−タ |
| JPS6387185A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-18 | Nec Corp | 回転運動発生機構 |
-
1989
- 1989-05-17 JP JP1123493A patent/JPH0767292B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02303367A (ja) | 1990-12-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102186631B (zh) | 自调节肘节式夹具 | |
| KR920007467B1 (ko) | 급동 바 클램프 | |
| JPH06320437A (ja) | 送り装置を備えたねじ込み器 | |
| JP4246052B2 (ja) | ロボット関節構造 | |
| MXPA96002172A (es) | Aparato multiplicador de fuerza. | |
| KR100463860B1 (ko) | 바이스의 파악력 설정장치 | |
| US3964738A (en) | Clamp | |
| US7004459B2 (en) | Clamping device | |
| ATE277721T1 (de) | Kniehebelspannvorrichtung | |
| JP2002005803A (ja) | 衝撃試験装置 | |
| JPS61501834A (ja) | トルク増大ハンド・レンチ | |
| JPH0767292B2 (ja) | 圧電または磁歪素子を用いたアクチュエータ | |
| JP2009166237A (ja) | ワークピース保持装置と、該ワークピース保持装置を備えたナットの雌ねじ立て機 | |
| JP2686245B2 (ja) | 被搬送物駆動装置 | |
| JP2002059294A (ja) | クランプ装置 | |
| JPH06226574A (ja) | 棒状部材のクランプ装置 | |
| JPS5839618B2 (ja) | 工作物締付装置 | |
| KR101868577B1 (ko) | 클램프 | |
| JPS6026300B2 (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| JP5377227B2 (ja) | 回動体のアシスト機構 | |
| JP2004359371A (ja) | クランパーの手動開放機構 | |
| CN210589569U (zh) | 定位装置和加工设备 | |
| JPH01106140U (ja) | ||
| JP2001150209A (ja) | ワーク位相決め装置及びチャック | |
| JP3275635B2 (ja) | 横形帯のこ盤における帯のこ張り装置 |