JPH0767314A - リニアモーター - Google Patents
リニアモーターInfo
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- JPH0767314A JPH0767314A JP6175005A JP17500594A JPH0767314A JP H0767314 A JPH0767314 A JP H0767314A JP 6175005 A JP6175005 A JP 6175005A JP 17500594 A JP17500594 A JP 17500594A JP H0767314 A JPH0767314 A JP H0767314A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66B—ELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
- B66B11/00—Main component parts of lifts in, or associated with, buildings or other structures
- B66B11/04—Driving gear ; Details thereof, e.g. seals
- B66B11/0407—Driving gear ; Details thereof, e.g. seals actuated by an electrical linear motor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
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- Linear Motors (AREA)
- Types And Forms Of Lifts (AREA)
- Motor Or Generator Cooling System (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 線形モーターの進行路を延長する。
【構成】 一次側２０が二次側３０の中空部の内部にお
いて第一の方向（Ａ１）又はそれと反対の第二の方向
（Ａ２）の何れかに移動可能であるように、固定された
二次側３０が可動の一次側２０をとり囲むように形成す
る。
いて第一の方向（Ａ１）又はそれと反対の第二の方向
（Ａ２）の何れかに移動可能であるように、固定された
二次側３０が可動の一次側２０をとり囲むように形成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリニアモーターに関し、
より詳細には、第一の可動部材と第二の固定部材とを有
するリニア誘導モーターに関する。
より詳細には、第一の可動部材と第二の固定部材とを有
するリニア誘導モーターに関する。
【０００２】
【従来の技術】リニア誘導モーターの作動原理は本技術
分野においては周知のことであり、また、その作動原理
は回転式モーターの作動原理と同一である。多相巻きの
一次側（コア及び巻き線）により移動性電磁場がつくら
れる。この電磁場によって二次側に電圧及び電流が発生
し、発生した電流と移動性電磁場との相互作用によりリ
ニア推力が生じる。一般的には、一次側は可動であり、
スロットが埋め込まれている導電性巻き線を含む強磁性
コアを備えているのに対して、二次側は固定であり、等
長の強磁性体に選択的に取付けられている、一定の長さ
の導電体を備えている。一次側と二次側の間にはほぼ一
定の空気の空間があり、この空間により、双方が離間さ
れている。巻き線は、インバーターと移動式動力ケーブ
ルとを介して巻き線に接続された交流電源などの電源に
電気的に接続されている。種々の形式のリニアモーター
及びそれらの作動原理に関しては、１９８７年にＰｒｅ
ｎｔｉｃｅ−Ｈａｌｌ，Ｉｎｃ．が発行した「リニア電
動モーター：理論、設計及び実際の適用例（Ｌｉｎｅａ
ｒ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｍｏｔｏｒｓ：Ｔｈｅｏｒｙ，
Ｄｅｓｉｇｎ，ａｎｄ Ｐｒａｃｔｉｃａｌ Ａｐｐｌ
ｉｃａｔｉｏｎｓ）」（Ｓ．Ａ．Ｎａｓａｒ及びＩ．Ｂ
ｏｌｄｅａ共著）を参照されたい。
分野においては周知のことであり、また、その作動原理
は回転式モーターの作動原理と同一である。多相巻きの
一次側（コア及び巻き線）により移動性電磁場がつくら
れる。この電磁場によって二次側に電圧及び電流が発生
し、発生した電流と移動性電磁場との相互作用によりリ
ニア推力が生じる。一般的には、一次側は可動であり、
スロットが埋め込まれている導電性巻き線を含む強磁性
コアを備えているのに対して、二次側は固定であり、等
長の強磁性体に選択的に取付けられている、一定の長さ
の導電体を備えている。一次側と二次側の間にはほぼ一
定の空気の空間があり、この空間により、双方が離間さ
れている。巻き線は、インバーターと移動式動力ケーブ
ルとを介して巻き線に接続された交流電源などの電源に
電気的に接続されている。種々の形式のリニアモーター
及びそれらの作動原理に関しては、１９８７年にＰｒｅ
ｎｔｉｃｅ−Ｈａｌｌ，Ｉｎｃ．が発行した「リニア電
動モーター：理論、設計及び実際の適用例（Ｌｉｎｅａ
ｒ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｍｏｔｏｒｓ：Ｔｈｅｏｒｙ，
Ｄｅｓｉｇｎ，ａｎｄ Ｐｒａｃｔｉｃａｌ Ａｐｐｌ
ｉｃａｔｉｏｎｓ）」（Ｓ．Ａ．Ｎａｓａｒ及びＩ．Ｂ
ｏｌｄｅａ共著）を参照されたい。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明者の考えによれ
ば、リニアモーターの進行路に対して最も制限を加える
ものは二次側の長さであり、この点は、例えば、管状リ
ニアモーターが作動するとき、すなわち、垂直（上下）
方向に移動するときには欠点となり得るものである。例
えば、米国特許第４，４０２，３８６号明細書（釣合い
重りとしてリニア電動モーターを用いた自己出力型エレ
ベーター）、同第５，０６２，５０１号明細書（リニア
モーター釣合い重り組立体を備えたエレベーター）及び
同第５，０９０，５１６号明細書（エレベーター用リニ
アモーターバスバー）を参照されたい。一次側が二次側
を囲んでいる場合、一次側の進行路の境界を越えた場所
以外の場所で、固定要素（例えば、ブラケットなど）を
用いて二次側を支持することは容易ではない、というこ
とを本発明者は発見した。従って、この点において、リ
ニアモーターに対するさらなる改良が可能であると考え
られる。本発明の第一の目的はリニアモーターの進行路
を延ばすことを促進させることである。本発明の第二の
目的はリニアモーターを他の表面に固定することを促進
させることである。
ば、リニアモーターの進行路に対して最も制限を加える
ものは二次側の長さであり、この点は、例えば、管状リ
ニアモーターが作動するとき、すなわち、垂直（上下）
方向に移動するときには欠点となり得るものである。例
えば、米国特許第４，４０２，３８６号明細書（釣合い
重りとしてリニア電動モーターを用いた自己出力型エレ
ベーター）、同第５，０６２，５０１号明細書（リニア
モーター釣合い重り組立体を備えたエレベーター）及び
同第５，０９０，５１６号明細書（エレベーター用リニ
アモーターバスバー）を参照されたい。一次側が二次側
を囲んでいる場合、一次側の進行路の境界を越えた場所
以外の場所で、固定要素（例えば、ブラケットなど）を
用いて二次側を支持することは容易ではない、というこ
とを本発明者は発見した。従って、この点において、リ
ニアモーターに対するさらなる改良が可能であると考え
られる。本発明の第一の目的はリニアモーターの進行路
を延ばすことを促進させることである。本発明の第二の
目的はリニアモーターを他の表面に固定することを促進
させることである。
【０００４】本発明の第三の目的は、リニアモーターの
二次側以外の防護機構を設けることなく、リニアモータ
ーの一次側を外的要因から防護することである。
二次側以外の防護機構を設けることなく、リニアモータ
ーの一次側を外的要因から防護することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るリニアモー
ターは、導電性巻き線用の複数の空間を形成するコアを
備える一次側と、前記空間内に配置されている巻き線
と、一次側が空気ギャップを介して二次側から離間され
るように一次側を囲んでいる二次側とを備えている。一
次側はほぼ円筒形状をなし、二次側は管状かつ中空であ
ることが好ましい。あるいは、一次側はほぼ平行なパイ
プの形状をなしていてもよく、二次側は、他の物を囲む
ようになっている管、あるいは、一次側が内部に適当な
空気ギャップを有するように一次側を収容し得る、他の
物を囲むようになっている他の部材であってもよい。当
然のことながら、一次側及び二次側は磁気的及び電気的
に適当な他の形状をなすこともできる。また、一次側と
それに対応する二次側の外側表面は異なっていてもよ
い。好ましい実施態様においては、二次側は複数の固定
二次側セクションを備えており、この複数の固定二次側
セクションは、例えば、積層されて機械的かつ電気的に
相互に結合した状態になっている。本リニアモーターの
作動時には、例えば、巻き線に与える電気エネルギーを
制御する従来の方法に応じて、一次側は二次側の内部で
直線的（例えば、上下）に進行する。
ターは、導電性巻き線用の複数の空間を形成するコアを
備える一次側と、前記空間内に配置されている巻き線
と、一次側が空気ギャップを介して二次側から離間され
るように一次側を囲んでいる二次側とを備えている。一
次側はほぼ円筒形状をなし、二次側は管状かつ中空であ
ることが好ましい。あるいは、一次側はほぼ平行なパイ
プの形状をなしていてもよく、二次側は、他の物を囲む
ようになっている管、あるいは、一次側が内部に適当な
空気ギャップを有するように一次側を収容し得る、他の
物を囲むようになっている他の部材であってもよい。当
然のことながら、一次側及び二次側は磁気的及び電気的
に適当な他の形状をなすこともできる。また、一次側と
それに対応する二次側の外側表面は異なっていてもよ
い。好ましい実施態様においては、二次側は複数の固定
二次側セクションを備えており、この複数の固定二次側
セクションは、例えば、積層されて機械的かつ電気的に
相互に結合した状態になっている。本リニアモーターの
作動時には、例えば、巻き線に与える電気エネルギーを
制御する従来の方法に応じて、一次側は二次側の内部で
直線的（例えば、上下）に進行する。
【０００６】一次側の移動あるいは進行は二次側の内部
で囲まれた状態で行われるので、二次側は適当な間隔を
おいて他の支持構造（例えば、壁など）に固定させるこ
とが可能になる。二次側は、その端部においてのみ支持
されることは必要でない。本発明の他の目的は図面を参
照して行う以下の詳細な説明に照らせば容易に明らかに
なる。
で囲まれた状態で行われるので、二次側は適当な間隔を
おいて他の支持構造（例えば、壁など）に固定させるこ
とが可能になる。二次側は、その端部においてのみ支持
されることは必要でない。本発明の他の目的は図面を参
照して行う以下の詳細な説明に照らせば容易に明らかに
なる。
【０００７】
【実施例】図１には、本発明の一実施例としてのリニア
モーター１０が示されている。リニアモーター１０は磁
性材料からなる円筒形一次側２０を備えており、この一
次側２０は、ほぼ一定の空気ギャップ２５を介して、導
電性材料からなり、固定された、ほぼ管状かつ中空の二
次側３０から離間されている。一次側は、例えば、複数
の強磁性体（例えば、鋼鉄）プレート又は積層体２２
ａ，２２ｂを備えている。この強磁性プレート２２ａ，
２２ｂは積層され、相互に結合されて、複数のスペース
すなわちスロット２３を形成している。このスロット２
３には多数の導電性巻き線２４が巻き込まれる。巻き線
２４は、例えば、３相交流電源２６により、インバータ
ー４０を介して電源５０（例えば、交流電源）に電気的
に接続されている。巻き線２４への電力の制御は公知の
方法により行われ、この制御により、一次側２０は二次
側３０と電磁気的に共働し、希望に応じて、一次側２０
を第一のリニア方向（矢印Ａ１）または第二のリニア方
向（矢印Ａ２）の何れかに進ませる。空気ギャップ２５
はほぼ一定に保たれ、一次側２０は、各種ローラーやス
ライド機構などの周知のガイド機構を用いることによっ
て、二次側３０の内部で容易に移動することが可能であ
る。例えば、米国特許第４，９４９，８１５号明細書、
同第５，００５，６７２号明細書及び同第５，０１４，
８２６号明細書を参照されたい。なお、本明細書はこれ
らの米国特許を引用し、それらの米国特許の内容が本明
細書に記載されているものとする。ガイド機構として
は、例えば、公知の方法（例えば、アーム２１ａ）で一
次側２０に固定された複数のガイドローラー２１があ
る。図６の側面図を参照されたい。ローラー２１は、一
次側２０の頂面及び底面の外周に、例えば、９０度の角
度で一次側２０に取り付けられている。当然のことなが
ら、ローラー２１を他の角度で取り付けることも可能で
ある。
モーター１０が示されている。リニアモーター１０は磁
性材料からなる円筒形一次側２０を備えており、この一
次側２０は、ほぼ一定の空気ギャップ２５を介して、導
電性材料からなり、固定された、ほぼ管状かつ中空の二
次側３０から離間されている。一次側は、例えば、複数
の強磁性体（例えば、鋼鉄）プレート又は積層体２２
ａ，２２ｂを備えている。この強磁性プレート２２ａ，
２２ｂは積層され、相互に結合されて、複数のスペース
すなわちスロット２３を形成している。このスロット２
３には多数の導電性巻き線２４が巻き込まれる。巻き線
２４は、例えば、３相交流電源２６により、インバータ
ー４０を介して電源５０（例えば、交流電源）に電気的
に接続されている。巻き線２４への電力の制御は公知の
方法により行われ、この制御により、一次側２０は二次
側３０と電磁気的に共働し、希望に応じて、一次側２０
を第一のリニア方向（矢印Ａ１）または第二のリニア方
向（矢印Ａ２）の何れかに進ませる。空気ギャップ２５
はほぼ一定に保たれ、一次側２０は、各種ローラーやス
ライド機構などの周知のガイド機構を用いることによっ
て、二次側３０の内部で容易に移動することが可能であ
る。例えば、米国特許第４，９４９，８１５号明細書、
同第５，００５，６７２号明細書及び同第５，０１４，
８２６号明細書を参照されたい。なお、本明細書はこれ
らの米国特許を引用し、それらの米国特許の内容が本明
細書に記載されているものとする。ガイド機構として
は、例えば、公知の方法（例えば、アーム２１ａ）で一
次側２０に固定された複数のガイドローラー２１があ
る。図６の側面図を参照されたい。ローラー２１は、一
次側２０の頂面及び底面の外周に、例えば、９０度の角
度で一次側２０に取り付けられている。当然のことなが
ら、ローラー２１を他の角度で取り付けることも可能で
ある。
【０００８】二次側３０は複数の同一の二次側セクショ
ン３０（図１及び図７）を備え、隣接するセクション３
０はブラケット３１を用いて公知の方法で相互に結合さ
れていることが好ましい。一次側２０は二次側３０の中
空空間Ｈの内部を移動するので、二次側３０は、二次側
３０の長さ方向に沿って、所望の取り付け表面に取り付
けることが可能である。二次側３０を壁Ｗに固定するた
めに、図６に示すように、ブラケット３１がボルト及び
剛性接続部材３４と組み合わされて用いられる。本リニ
アモーターの効率を高めるため、図３の断面図に示すよ
うに、二次側３０は強磁性体（例えば、鉄など）の層で
近接して囲まれた導電性材料（例えば、アルミニウムや
銅など）の内部層を有するようにしてもよい。一次側と
それに対応する二次側の形状は、本明細書に照らして当
業者が容易に理解し得るように一次側及び二次側が電磁
気的に適切に共働する限りは、所望の通りに変えること
ができる。例えば、図４及び図５に示したような一次側
２０′，２０″、二次側３０ａ′，３０ｂ′，３０
ａ″，３０ｂ″及び空気ギャップ２５′，２５″の変形
例の断面図を参照されたい。あるいは、一次側２０に
は、一次側２０の内部を貫通して延びるチャネルすなわ
ち中空部Ｃ（図６において破線で図示）を設けてもよ
い。ブレードに接続されたモーターを備えるファン６０
を設け、このファン６０は、例えば、固定スクリーン３
２を介して二次側３０の内部に空気を送り込むように大
きさを決めておく。これによって、空気はチャネルＣの
内部を通り、一次側２０が二次側３０とともに作動して
いるときに、一次側２０から熱が奪われる。当然のこと
ながら、ファン６０は、中空部Ｈに空気を送り込むた
め、他の適当な位置に配置することも可能である。必要
であれば、チャネルＣを形成しないことも可能である。
当然のことながら、空気はギャップ２５をも通過する。
ン３０（図１及び図７）を備え、隣接するセクション３
０はブラケット３１を用いて公知の方法で相互に結合さ
れていることが好ましい。一次側２０は二次側３０の中
空空間Ｈの内部を移動するので、二次側３０は、二次側
３０の長さ方向に沿って、所望の取り付け表面に取り付
けることが可能である。二次側３０を壁Ｗに固定するた
めに、図６に示すように、ブラケット３１がボルト及び
剛性接続部材３４と組み合わされて用いられる。本リニ
アモーターの効率を高めるため、図３の断面図に示すよ
うに、二次側３０は強磁性体（例えば、鉄など）の層で
近接して囲まれた導電性材料（例えば、アルミニウムや
銅など）の内部層を有するようにしてもよい。一次側と
それに対応する二次側の形状は、本明細書に照らして当
業者が容易に理解し得るように一次側及び二次側が電磁
気的に適切に共働する限りは、所望の通りに変えること
ができる。例えば、図４及び図５に示したような一次側
２０′，２０″、二次側３０ａ′，３０ｂ′，３０
ａ″，３０ｂ″及び空気ギャップ２５′，２５″の変形
例の断面図を参照されたい。あるいは、一次側２０に
は、一次側２０の内部を貫通して延びるチャネルすなわ
ち中空部Ｃ（図６において破線で図示）を設けてもよ
い。ブレードに接続されたモーターを備えるファン６０
を設け、このファン６０は、例えば、固定スクリーン３
２を介して二次側３０の内部に空気を送り込むように大
きさを決めておく。これによって、空気はチャネルＣの
内部を通り、一次側２０が二次側３０とともに作動して
いるときに、一次側２０から熱が奪われる。当然のこと
ながら、ファン６０は、中空部Ｈに空気を送り込むた
め、他の適当な位置に配置することも可能である。必要
であれば、チャネルＣを形成しないことも可能である。
当然のことながら、空気はギャップ２５をも通過する。
【０００９】本発明に係るリニアモーターは、エレベー
ターシステム用の駆動機構として用いる場合に、特に、
有用である。図７を参照されたい。このように用いる場
合には、一次側２０は、例えば、本明細書の記述に照ら
してエレベーターの分野における当業者が容易に理解し
得るようなロープＲやプーリーＰを有している公知のロ
ープ機構を介して、箱（カー）に機械的に取り付けられ
る。例えば、米国特許５，０９０，５１６を参照された
い。なお、本明細書はこの米国特許を引用し、この米国
特許の内容が本明細書に記載されているものとする。最
後に、必要ならば、二次側３０の一方又は双方の端部Ｅ
は、ロープＲ、ケーブル２６その他（図７参照）を通す
ようにされているカバーで閉じる、すなわち、蓋をする
ようにすることもできる。現段階において本発明の好適
な実施例と考えられるものを説明してきたが、本発明の
思想及び範囲を逸脱することなく、種々の変更や修正を
行うことが可能である。
ターシステム用の駆動機構として用いる場合に、特に、
有用である。図７を参照されたい。このように用いる場
合には、一次側２０は、例えば、本明細書の記述に照ら
してエレベーターの分野における当業者が容易に理解し
得るようなロープＲやプーリーＰを有している公知のロ
ープ機構を介して、箱（カー）に機械的に取り付けられ
る。例えば、米国特許５，０９０，５１６を参照された
い。なお、本明細書はこの米国特許を引用し、この米国
特許の内容が本明細書に記載されているものとする。最
後に、必要ならば、二次側３０の一方又は双方の端部Ｅ
は、ロープＲ、ケーブル２６その他（図７参照）を通す
ようにされているカバーで閉じる、すなわち、蓋をする
ようにすることもできる。現段階において本発明の好適
な実施例と考えられるものを説明してきたが、本発明の
思想及び範囲を逸脱することなく、種々の変更や修正を
行うことが可能である。
【図１】図１は本発明に係る反転リニアモーターの側面
断面図である。
断面図である。
【図２】３相交流電源に接続されたインバーターを示す
概略的な回路図である。
概略的な回路図である。
【図３】強磁性層３０ａに近接して囲まれた導電層３０
ｂを備える多層構造の二次側３０の内部に配置された一
次側の上方から見た断面図である。
ｂを備える多層構造の二次側３０の内部に配置された一
次側の上方から見た断面図である。
【図４】他の形状をなしている一次側とそれに対応する
二次側の上方から見た断面図である。
二次側の上方から見た断面図である。
【図５】他の形状をなしている一次側とそれに対応する
二次側の上方から見た断面図である。
二次側の上方から見た断面図である。
【図６】一部断面図を含む本発明の概略的な側面図であ
り、壁Ｗに固定されている二次側３０の内部の一次側２
０をガイドするローラー機構２１、２１ａを表してい
る。一次側は一次側を貫通するチャネルＣを備えてお
り、このチャネルＣにより、本リニアモーターの作動中
に、ファン６０が吹いた空気が一次側２０を冷却するよ
うになっている。
り、壁Ｗに固定されている二次側３０の内部の一次側２
０をガイドするローラー機構２１、２１ａを表してい
る。一次側は一次側を貫通するチャネルＣを備えてお
り、このチャネルＣにより、本リニアモーターの作動中
に、ファン６０が吹いた空気が一次側２０を冷却するよ
うになっている。
【図７】本発明を適用したエレベーターシステムの概略
的な回路図である。
的な回路図である。
１０ 一次側 ２０ 二次側 ２０′，２０″ 一次側の変形例 ２１ ガイドローラー ２１ａ アーム ２２ａ，２２ｂ 強磁性体プレート ２３ スロット ２４ 巻き線 ２５ 空気ギャップ ２５′，２５″ 空気ギャップの変形例 ２６ 動力ケーブル ３０ 二次側 ３０ａ′，３０ｂ′，３０ａ″，３０ｂ″二次側の変形
例 ３１ ブラケット ３２ 固定スクリーン ３４ 接続部材 ４０ インバーター ５０ 電源 ６０ ファン
例 ３１ ブラケット ３２ 固定スクリーン ３４ 接続部材 ４０ インバーター ５０ 電源 ６０ ファン
Claims (13)
- 【請求項１】 複数の巻き線用空間を形成している一次
側と、 前記空間内に配置された巻き線と、 前記一次側をとり囲み、かつ、細長いチャネルを形成し
ている二次側とを備え、前記一次側は前記チャネルの内
部に位置し、かつ、空気ギャップを介して前記二次側か
ら離間されており、これによって、前記一次側は前記二
次側の長手方向において前記二次側の内部を移動し得る
ものであるリニアモーター。 - 【請求項２】 前記空気ギャップはほぼ一定であること
を特徴とする請求項１に記載のリニアモーター。 - 【請求項３】 前記一次側は前記空間を形成している金
属積層体の一体コアを有していることを特徴とする請求
項１に記載のリニアモーター。 - 【請求項４】 前記一次側は鋼鉄からなることを特徴と
する請求項１に記載のリニアモーター。 - 【請求項５】 前記二次側は、強磁性材料の外周層に近
接して囲まれた導電性材料の内周層を備えていることを
特徴とする請求項１に記載のリニアモーター。 - 【請求項６】 前記導電性材料は銅であることを特徴と
する請求項５に記載のリニアモーター。 - 【請求項７】 前記導電性材料はアルミニウムであるこ
とを特徴とする請求項５に記載のリニアモーター。 - 【請求項８】 前記強磁性材料は鉄であることを特徴と
する請求項５に記載のリニアモーター。 - 【請求項９】 前記二次側は、積層されて一体の二次側
を形成する複数のセクションを有していることを特徴と
する請求項５に記載のリニアモーター。 - 【請求項１０】 前記二次側は壁の表面に取り付けられ
ていることを特徴とする請求項９に記載のリニアモータ
ー。 - 【請求項１１】 二次側の内部に配置された一次側を有
するリニアモーターと、 箱と、 前記一次側の移動により前記箱が移動するように前記箱
を前記一次側に機械的に結合しているロープ機構とを備
えるエレベーターシステム。 - 【請求項１２】 前記一次側は該一次側の中を長手方向
に延びるチャネルを備えていることを特徴とする請求項
１１に記載のエレベーターシステム。 - 【請求項１３】 さらにファンを備え、このファンは、
該ファンの作動により前記一次側に空気の流れを引き起
こすように前記二次側の中空部と、流体の移動が可能で
あるように連通しているものであることを特徴とする請
求項１１に記載のエレベーターシステム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US10083893A | 1993-07-30 | 1993-07-30 | |
| US08/100838 | 1993-07-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0767314A true JPH0767314A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=22281803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6175005A Withdrawn JPH0767314A (ja) | 1993-07-30 | 1994-07-27 | リニアモーター |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0767314A (ja) |
| KR (1) | KR950003159A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009258196A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Hitachi High-Technologies Corp | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板移動方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
-
1994
- 1994-07-27 JP JP6175005A patent/JPH0767314A/ja not_active Withdrawn
- 1994-07-29 KR KR1019940018709A patent/KR950003159A/ko not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009258196A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Hitachi High-Technologies Corp | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板移動方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950003159A (ko) | 1995-02-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |