JPH0768457A - 光学素子研磨機のワーク支持装置 - Google Patents
光学素子研磨機のワーク支持装置Info
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- JPH0768457A JPH0768457A JP24375093A JP24375093A JPH0768457A JP H0768457 A JPH0768457 A JP H0768457A JP 24375093 A JP24375093 A JP 24375093A JP 24375093 A JP24375093 A JP 24375093A JP H0768457 A JPH0768457 A JP H0768457A
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 23
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転抵抗の少ないワーク支持構造により小径
レンズの研磨を可能ならしめるとともに、軸受部分での
振動の発生・伝達を遮断して研磨面の面精度を向上させ
ることのできる光学素子研磨機のワーク支持装置を提供
することを目的とする。 【構成】 第１の軸Ｘを中心として揺動する第１の揺動
部材１０と、第２の軸Ｙを中心として揺動するように第
１の揺動部材１０に取付けられた第２の揺動部材２０
と、第３の軸Ｚを中心として回動するように第２の揺動
部材２０に静圧軸受を介して支持されたワーク支持軸３
０とから構成される。
レンズの研磨を可能ならしめるとともに、軸受部分での
振動の発生・伝達を遮断して研磨面の面精度を向上させ
ることのできる光学素子研磨機のワーク支持装置を提供
することを目的とする。 【構成】 第１の軸Ｘを中心として揺動する第１の揺動
部材１０と、第２の軸Ｙを中心として揺動するように第
１の揺動部材１０に取付けられた第２の揺動部材２０
と、第３の軸Ｚを中心として回動するように第２の揺動
部材２０に静圧軸受を介して支持されたワーク支持軸３
０とから構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学素子研磨機において
ガラスレンズ等のワークを支持するための光学素子研磨
機のワーク支持装置に関する。
ガラスレンズ等のワークを支持するための光学素子研磨
機のワーク支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学素子の研磨作業は、図６に示
すような装置によって行われていた。図において、１は
研磨皿、２は被研磨面を下向きにしたレンズ、３はレン
ズ貼付皿、４はカンザシ球４ａを介して前記貼付皿３を
スイベル運動自在に支持するカンザシであって、この装
置では、研磨皿１を回転させつつカンザシ４を揺動させ
てレンズ２を研磨していた。ところが、この装置では、
研磨角θ（レンズ２の外周上の一点をＰ，点Ｐにおける
接線をＰＮ，カンザシ球４ａの球心をＱ，としたときθ
＝∠ＰＱＮを研磨角と呼ぶ。）が充分小さいときには安
定して研磨できるものの、図７に示す如くレンズ２の曲
率が大きくなると研磨角θが大きくなり、このためレン
ズ２が従動回転しなくなって、研磨不能になるという問
題点があった。
すような装置によって行われていた。図において、１は
研磨皿、２は被研磨面を下向きにしたレンズ、３はレン
ズ貼付皿、４はカンザシ球４ａを介して前記貼付皿３を
スイベル運動自在に支持するカンザシであって、この装
置では、研磨皿１を回転させつつカンザシ４を揺動させ
てレンズ２を研磨していた。ところが、この装置では、
研磨角θ（レンズ２の外周上の一点をＰ，点Ｐにおける
接線をＰＮ，カンザシ球４ａの球心をＱ，としたときθ
＝∠ＰＱＮを研磨角と呼ぶ。）が充分小さいときには安
定して研磨できるものの、図７に示す如くレンズ２の曲
率が大きくなると研磨角θが大きくなり、このためレン
ズ２が従動回転しなくなって、研磨不能になるという問
題点があった。
【０００３】このような問題点を解決するために本出願
人は、特開昭６３−１１４８６号公報において、研磨角
を自由に設定することのできる光学素子研磨機のワーク
支持装置を提案した。この装置は、図１に示す如く、第
１の軸Ｘを中心として揺動する第１の揺動部材１０と、
前記第１の軸Ｘと直交する第２の軸Ｙを中心として揺動
するように第１の揺動部材１０に取付けられた第２の揺
動部材２０と、前記第１の軸Ｘと前記第２の軸Ｙとの交
点を通る第３の軸Ｚを中心として回動するように前記第
２の揺動部材２０に支持されたワーク支持軸３０とを備
えたものであって、ワーク支持軸３０の下端にレンズ３
５を固定して揺動自在に支持するものである。ここで、
第１の軸Ｘと第２の軸Ｙ、並びに第２の軸Ｙと第３の軸
Ｚとはそれぞれ互いに直交し、３つの軸ＸＹＺは点Ｏで
交差しており（なお、第１の軸Ｘと第３の軸Ｚとの交差
角度は、第２の揺動部材２０の揺動角度によって変化す
る。）、この点Ｏは前述の図７におけるカンザシ球４ａ
の球心Ｑに相当するものである。この装置によれば、各
揺動部材の長さを変えることにより研磨角を自由に設定
することができ、研磨角の小さな安定した研磨加工を行
うことができる。
人は、特開昭６３−１１４８６号公報において、研磨角
を自由に設定することのできる光学素子研磨機のワーク
支持装置を提案した。この装置は、図１に示す如く、第
１の軸Ｘを中心として揺動する第１の揺動部材１０と、
前記第１の軸Ｘと直交する第２の軸Ｙを中心として揺動
するように第１の揺動部材１０に取付けられた第２の揺
動部材２０と、前記第１の軸Ｘと前記第２の軸Ｙとの交
点を通る第３の軸Ｚを中心として回動するように前記第
２の揺動部材２０に支持されたワーク支持軸３０とを備
えたものであって、ワーク支持軸３０の下端にレンズ３
５を固定して揺動自在に支持するものである。ここで、
第１の軸Ｘと第２の軸Ｙ、並びに第２の軸Ｙと第３の軸
Ｚとはそれぞれ互いに直交し、３つの軸ＸＹＺは点Ｏで
交差しており（なお、第１の軸Ｘと第３の軸Ｚとの交差
角度は、第２の揺動部材２０の揺動角度によって変化す
る。）、この点Ｏは前述の図７におけるカンザシ球４ａ
の球心Ｑに相当するものである。この装置によれば、各
揺動部材の長さを変えることにより研磨角を自由に設定
することができ、研磨角の小さな安定した研磨加工を行
うことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の先願
の装置では、第２の揺動部材に対してワーク支持軸を支
持するに際してボールベアリング等のころがり軸受を用
いていたため、以下のような問題点があった。即ち上記
装置では、レンズと研磨皿との間に発生する摩擦抵抗に
よってレンズを従動回転させつつ研磨するが、径の小さ
なレンズでは、発生する摩擦抵抗がころがり軸受の回転
抵抗に負けて従動回転しなくなってしまうため、大きな
レンズしか研磨できないという問題点があった。また、
研磨中に外部の振動がころがり軸受を介してレンズに伝
わったり、ころがり軸受自体が振動発生源になったりし
て、研磨面の面精度を悪化させるという問題点もあっ
た。さらに、レンズの研磨加工に研削液を用いるため、
頻繁にころがり軸受のメンテナンスが必要であるという
問題点もあった。
の装置では、第２の揺動部材に対してワーク支持軸を支
持するに際してボールベアリング等のころがり軸受を用
いていたため、以下のような問題点があった。即ち上記
装置では、レンズと研磨皿との間に発生する摩擦抵抗に
よってレンズを従動回転させつつ研磨するが、径の小さ
なレンズでは、発生する摩擦抵抗がころがり軸受の回転
抵抗に負けて従動回転しなくなってしまうため、大きな
レンズしか研磨できないという問題点があった。また、
研磨中に外部の振動がころがり軸受を介してレンズに伝
わったり、ころがり軸受自体が振動発生源になったりし
て、研磨面の面精度を悪化させるという問題点もあっ
た。さらに、レンズの研磨加工に研削液を用いるため、
頻繁にころがり軸受のメンテナンスが必要であるという
問題点もあった。
【０００５】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、回転抵抗の少ないワーク支持構造により小径レンズ
の研磨を可能ならしめるとともに、軸受部分での振動の
発生・伝達を遮断して研磨面の面精度を向上させること
のできる光学素子研磨機のワーク支持装置を提供するこ
とを目的とする。
で、回転抵抗の少ないワーク支持構造により小径レンズ
の研磨を可能ならしめるとともに、軸受部分での振動の
発生・伝達を遮断して研磨面の面精度を向上させること
のできる光学素子研磨機のワーク支持装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光学素子研磨機のワーク支持装置では、第１
の軸を中心として揺動する第１の揺動部材と、前記第１
の軸と直交する第２の軸を中心として揺動するように前
記第１の揺動部材に取付けられた第２の揺動部材と、前
記第１の軸と前記第２の軸との交点を通る第３の軸を中
心として回動するように前記第２の揺動部材に支持され
たワーク支持軸とを備えてなる光学素子研磨機のワーク
支持装置において、前記第２の揺動部材に対して前記ワ
ーク支持軸を支持するのに静圧軸受を用いることとし
た。
に本発明の光学素子研磨機のワーク支持装置では、第１
の軸を中心として揺動する第１の揺動部材と、前記第１
の軸と直交する第２の軸を中心として揺動するように前
記第１の揺動部材に取付けられた第２の揺動部材と、前
記第１の軸と前記第２の軸との交点を通る第３の軸を中
心として回動するように前記第２の揺動部材に支持され
たワーク支持軸とを備えてなる光学素子研磨機のワーク
支持装置において、前記第２の揺動部材に対して前記ワ
ーク支持軸を支持するのに静圧軸受を用いることとし
た。
【０００７】なお本願において「静圧軸受」の語は、軸
受中の軸を他から供給された流体の圧力で浮かせて支持
する滑り軸受、の一般的な意味にとどまらず、特に、ワ
ーク支持軸の端面から側面までを包囲する空間内に流体
を供給して同ワーク支持軸をラジアル方向およびスラス
ト方向に一体的に支持する構造を含む概念として使用す
るものである。
受中の軸を他から供給された流体の圧力で浮かせて支持
する滑り軸受、の一般的な意味にとどまらず、特に、ワ
ーク支持軸の端面から側面までを包囲する空間内に流体
を供給して同ワーク支持軸をラジアル方向およびスラス
ト方向に一体的に支持する構造を含む概念として使用す
るものである。
【０００８】具体的には、図２に示す如く、ワーク支持
軸３０の上端部分と第２揺動部材２０の軸受孔２０ｂと
の間のわずかな隙間にコンプレッサ３３から流体（空気
など）を圧送する。
軸３０の上端部分と第２揺動部材２０の軸受孔２０ｂと
の間のわずかな隙間にコンプレッサ３３から流体（空気
など）を圧送する。
【０００９】
【作用】上記構成からなる本発明の光学素子研磨機のワ
ーク支持装置では、ワーク支持軸３０は、第２揺動部材
２０に対して、流体により回転自在に浮動支持される。
ーク支持装置では、ワーク支持軸３０は、第２揺動部材
２０に対して、流体により回転自在に浮動支持される。
【００１０】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明に係る光学
素子研磨機のワーク支持装置の実施例を説明する。図３
は光学素子研磨機のワーク支持装置の全体を示す分解斜
視図である。図示の通りこの装置は、第１の軸Ｘを中心
として揺動する第１の揺動部材１０と、前記第１の軸Ｘ
と直交する第２の軸Ｙを中心として揺動するように第１
の揺動部材１０に取付けられた第２の揺動部材２０と、
前記第１の軸Ｘと前記第２の軸Ｙとの交点を通る第３の
軸Ｚを中心として回動するように前記第２の揺動部材２
０に支持されたワーク支持軸３０（図４参照）とから構
成される。
素子研磨機のワーク支持装置の実施例を説明する。図３
は光学素子研磨機のワーク支持装置の全体を示す分解斜
視図である。図示の通りこの装置は、第１の軸Ｘを中心
として揺動する第１の揺動部材１０と、前記第１の軸Ｘ
と直交する第２の軸Ｙを中心として揺動するように第１
の揺動部材１０に取付けられた第２の揺動部材２０と、
前記第１の軸Ｘと前記第２の軸Ｙとの交点を通る第３の
軸Ｚを中心として回動するように前記第２の揺動部材２
０に支持されたワーク支持軸３０（図４参照）とから構
成される。
【００１１】第１の揺動部材１０は、全体がＵ字のヨー
ク形状をなし、中央部に取付孔１０ａが穿設されるとと
もに、先端部は切込１０ｂにより二股に形成されたもの
であって、上軸（図示せず）に固設されたステー１１の
孔１１ａに、ボルト１２、ナット１７、およびベアリン
グ１３，１５にて取付けられ、第１の軸Ｘを中心として
揺動自在になっている。なお、１４はカラー、１６は受
け座である。
ク形状をなし、中央部に取付孔１０ａが穿設されるとと
もに、先端部は切込１０ｂにより二股に形成されたもの
であって、上軸（図示せず）に固設されたステー１１の
孔１１ａに、ボルト１２、ナット１７、およびベアリン
グ１３，１５にて取付けられ、第１の軸Ｘを中心として
揺動自在になっている。なお、１４はカラー、１６は受
け座である。
【００１２】第２の揺動部材２０は、全体が門形に一体
形成され、上辺の中央部には後述する軸受孔２０ｂが設
けられたものであって、下端両側の足を前記第１の揺動
部材の二股の切込１０ｂに嵌め入れたのちピン孔１０
ｃ，２０ａにピン２１を貫挿することにより、第２の軸
Ｙを中心として揺動するように取付けられている。な
お、２２はピン２１の抜け落ちを防止するカバー、２３
は第１の揺動部材１０のネジ孔１０ｄに螺入してカバー
２２を固定するボルトである。
形成され、上辺の中央部には後述する軸受孔２０ｂが設
けられたものであって、下端両側の足を前記第１の揺動
部材の二股の切込１０ｂに嵌め入れたのちピン孔１０
ｃ，２０ａにピン２１を貫挿することにより、第２の軸
Ｙを中心として揺動するように取付けられている。な
お、２２はピン２１の抜け落ちを防止するカバー、２３
は第１の揺動部材１０のネジ孔１０ｄに螺入してカバー
２２を固定するボルトである。
【００１３】次に、この装置の要部を図４により説明す
る。前記第２の揺動部材２０の上辺の中央部にはワーク
支持軸３０を支持するための静圧軸受が構成される。具
体的には、第２の揺動部材２０の上辺下面に形成された
軸受孔２０ｂは、内径および深さともにワーク支持軸３
０の軸部３０ａの外径および長さに比べてわずかに大き
な寸法に設定され、この軸受孔２０ｂは、孔２０ｃにて
第２の揺動部材２０の上面に連通し、ゴム管３１を介し
て切換弁３２に接続され、コンプレッサ３３又は吸引ポ
ンプ３４の一方に選択的に接続される。また、ワーク支
持軸３０には、軸部３０ａと一体的に、ツバ部３０ｂお
よびレンズ貼付部３０ｃが形成されている。
る。前記第２の揺動部材２０の上辺の中央部にはワーク
支持軸３０を支持するための静圧軸受が構成される。具
体的には、第２の揺動部材２０の上辺下面に形成された
軸受孔２０ｂは、内径および深さともにワーク支持軸３
０の軸部３０ａの外径および長さに比べてわずかに大き
な寸法に設定され、この軸受孔２０ｂは、孔２０ｃにて
第２の揺動部材２０の上面に連通し、ゴム管３１を介し
て切換弁３２に接続され、コンプレッサ３３又は吸引ポ
ンプ３４の一方に選択的に接続される。また、ワーク支
持軸３０には、軸部３０ａと一体的に、ツバ部３０ｂお
よびレンズ貼付部３０ｃが形成されている。
【００１４】ここで、第１の軸Ｘ，第２の軸Ｙ，第３の
軸Ｚはそれぞれ直交して点Ｏで交わり、点Ｏはレンズ３
５の外周上の一点Ｐにおける接線ＰＮ上に位置するよう
に設定され、これにより、研磨角は０度になっている。
軸Ｚはそれぞれ直交して点Ｏで交わり、点Ｏはレンズ３
５の外周上の一点Ｐにおける接線ＰＮ上に位置するよう
に設定され、これにより、研磨角は０度になっている。
【００１５】次に、上記構成からなる本実施例の光学素
子研磨機のワーク支持装置の使用に際しては、まず、ワ
ーク支持軸３０下端のレンズ貼付部３０ｃにワークたる
レンズ３５を貼付け、研磨皿（図示せず）により下方か
ら支持する。次に、切換弁３２をコンプレッサ３３側に
切換えて軸受孔２０ｂ内部に空気を圧送すると、空気の
圧力によりワーク支持軸３０は第２の揺動部材２０に対
して浮動支持され、両者は非接触の状態になる。この状
態で、研磨皿を回転させ、第１の揺動部材１０および第
２の揺動部材２０を揺動させれば、レンズ３５が従動回
転して研磨が行われる。そして研磨が完了したら、切換
弁３２を吸引ポンプ３４側に切換えて、ワーク支持軸３
０を第２の揺動部材に吸着させつつレンズ３５を取り外
す。
子研磨機のワーク支持装置の使用に際しては、まず、ワ
ーク支持軸３０下端のレンズ貼付部３０ｃにワークたる
レンズ３５を貼付け、研磨皿（図示せず）により下方か
ら支持する。次に、切換弁３２をコンプレッサ３３側に
切換えて軸受孔２０ｂ内部に空気を圧送すると、空気の
圧力によりワーク支持軸３０は第２の揺動部材２０に対
して浮動支持され、両者は非接触の状態になる。この状
態で、研磨皿を回転させ、第１の揺動部材１０および第
２の揺動部材２０を揺動させれば、レンズ３５が従動回
転して研磨が行われる。そして研磨が完了したら、切換
弁３２を吸引ポンプ３４側に切換えて、ワーク支持軸３
０を第２の揺動部材に吸着させつつレンズ３５を取り外
す。
【００１６】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、例えば次のように実施してもよい。 （１）上記実施例では軸受孔２０ｂへの空気の導入を１
個の孔２０ｃのみから行っていたが、図５に示す如く、
軸部３０ａの側面およびツバ部３０ｂに達する空気道２
０ｄを複数（例えば４箇所）対称的に設けるようにして
もよい。このように、軸部３０ａ側面に直接空気圧を作
用させれば、軸部３０ａが軸受孔２０ｂ内周に接触しに
くくなり、ワーク支持の安定性を向上させることができ
る。
のではなく、例えば次のように実施してもよい。 （１）上記実施例では軸受孔２０ｂへの空気の導入を１
個の孔２０ｃのみから行っていたが、図５に示す如く、
軸部３０ａの側面およびツバ部３０ｂに達する空気道２
０ｄを複数（例えば４箇所）対称的に設けるようにして
もよい。このように、軸部３０ａ側面に直接空気圧を作
用させれば、軸部３０ａが軸受孔２０ｂ内周に接触しに
くくなり、ワーク支持の安定性を向上させることができ
る。
【００１７】（２）上記実施例では静圧軸受に供給する
流体として空気を用いたが、これに代えて研磨液を用い
てもよい。具体的には、コンプレッサ３３の代わりに、
研削液送出ポンプを接続する。研削液は空気よりも粘性
が高いので、軸部３０ａが軸受孔２０ｂ内周に接触する
可能性をより低くすることができる。
流体として空気を用いたが、これに代えて研磨液を用い
てもよい。具体的には、コンプレッサ３３の代わりに、
研削液送出ポンプを接続する。研削液は空気よりも粘性
が高いので、軸部３０ａが軸受孔２０ｂ内周に接触する
可能性をより低くすることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明の光学素子研
磨機のワーク支持装置によれば、第２の揺動部材に対し
てワーク支持軸を支持するに際して静圧軸受を用いたの
で、ワークを極めて小さな回転抵抗にて支持することが
可能となって、従来の装置では研磨できなかった小径レ
ンズの研磨が可能となる。そして、軸受部分での振動の
発生・伝達が防止できるので、研磨面の面精度を向上さ
せることができる。さらに、従来の装置に比べてメンテ
ナンスの必要も少ない利点がある。
磨機のワーク支持装置によれば、第２の揺動部材に対し
てワーク支持軸を支持するに際して静圧軸受を用いたの
で、ワークを極めて小さな回転抵抗にて支持することが
可能となって、従来の装置では研磨できなかった小径レ
ンズの研磨が可能となる。そして、軸受部分での振動の
発生・伝達が防止できるので、研磨面の面精度を向上さ
せることができる。さらに、従来の装置に比べてメンテ
ナンスの必要も少ない利点がある。
【図１】本発明の適用される光学素子研磨機のワーク支
持装置を模式的に示す斜視図である。
持装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の光学素子研磨機のワーク支持装置の要
部を模式的に示す断面図である。
部を模式的に示す断面図である。
【図３】実施例の光学素子研磨機のワーク支持装置の全
体を示す分解斜視図である。
体を示す分解斜視図である。
【図４】実施例の光学素子研磨機のワーク支持装置の要
部を示す断面図である。
部を示す断面図である。
【図５】本発明による光学素子研磨機のワーク支持装置
の他の例を示す要部断面図である。
の他の例を示す要部断面図である。
【図６】従来の光学素子研磨機のワーク支持装置を示す
図である。
図である。
【図７】従来の光学素子研磨機のワーク支持装置の問題
点を説明するための図である。
点を説明するための図である。
１ 研磨皿 ２ レンズ ３ レンズ貼付皿 ４ カンザシ ４ａ カンザシ球 １０ 第１の揺動部材 １０ａ 取付孔 １０ｂ 切込 １０ｃ ピン孔 １０ｄ ネジ孔 １１ ステー １１ａ 孔 １２ ボルト １３ ベアリング １４ カラー １５ ベアリング １６ 受け座 １７ ナット ２０ 第２の揺動部材 ２０ａ ピン孔 ２０ｂ 軸受孔 ２０ｃ 孔 ２１ ピン ２２ カバー ２３ ボルト ３０ ワーク支持軸 ３０ａ 軸部 ３０ｂ ツバ部 ３０ｃ レンズ貼付部 ３１ ゴム管 ３２ 切換弁 ３３ コンプレッサ ３４ 吸引ポンプ ３５ レンズ Ｘ 第１の軸 Ｙ 第２の軸 Ｚ 第３の軸
Claims (1)
- 【請求項１】 第１の軸を中心として揺動する第１の揺
動部材と、前記第１の軸と直交する第２の軸を中心とし
て揺動するように前記第１の揺動部材に取付けられた第
２の揺動部材と、前記第１の軸と前記第２の軸との交点
を通る第３の軸を中心として回動するように前記第２の
揺動部材に支持されたワーク支持軸とを備えてなる光学
素子研磨機のワーク支持装置において、前記第２の揺動
部材に対して前記ワーク支持軸を支持するのに静圧軸受
を用いたことを特徴とする光学素子研磨機のワーク支持
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24375093A JP3530555B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 光学素子研磨機のワーク支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24375093A JP3530555B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 光学素子研磨機のワーク支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0768457A true JPH0768457A (ja) | 1995-03-14 |
| JP3530555B2 JP3530555B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=17108431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24375093A Expired - Fee Related JP3530555B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 光学素子研磨機のワーク支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3530555B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010264549A (ja) * | 2009-05-14 | 2010-11-25 | Olympus Corp | ワーク貼付部材および研磨加工方法 |
| CN114178944A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-03-15 | 广州市极动焊接机械有限公司 | 一种自动电极帽球面研磨机 |
| DE102020128088B3 (de) | 2020-10-26 | 2022-04-14 | Optotech Optikmaschinen Gmbh | Verfahren zum Feinschleifen oder Polieren einer optischen Linse auf einem Werkstückträger |
-
1993
- 1993-09-03 JP JP24375093A patent/JP3530555B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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